JP2008153385A - 高周波スイッチ - Google Patents
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Abstract
【課題】非導通MOSFETへの高周波信号の漏れを抑制し、信号伝送損失が低減された高周波スイッチを提供する。
【解決手段】抵抗率が25Ω・cm以上のp型半導体領域と、前記p型半導体領域の表面に選択的に設けられたp型ウェル領域と、前記ウェル領域の表面に選択的に設けられたn型のソース及びドレインと、前記ソースと前記ドレインとの間の導通を制御するゲートと、前記p半導体領域に接続されたバックゲート電極と、を有するMOSFETを備えたことを特徴とする高周波スイッチが提供される。
【選択図】図1
【解決手段】抵抗率が25Ω・cm以上のp型半導体領域と、前記p型半導体領域の表面に選択的に設けられたp型ウェル領域と、前記ウェル領域の表面に選択的に設けられたn型のソース及びドレインと、前記ソースと前記ドレインとの間の導通を制御するゲートと、前記p半導体領域に接続されたバックゲート電極と、を有するMOSFETを備えたことを特徴とする高周波スイッチが提供される。
【選択図】図1
Description
本発明は、高周波スイッチに関する。
携帯電話などの電子機器における送受信切り替えスイッチとして、化合物半導体素子が使用されてきた。しかし、シリコンMOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor)の高周波特性の改善が目覚ましく、携帯電子機器の高周波スイッチとして応用が拡大している。
MOSFETで構成されたSPDT(Single Pole Double Throw)型の高周波スイッチは、第1の端子と第2の端子との間、及び第1の端子と第3の端子と間にnチャネルMOSFETがそれぞれ接続される。第1の端子は、例えばアンテナへさらに接続される。MOSFETのゲート電圧を制御することにより、いずれかのMOSFETを導通させ、第2の端子または第3の端子とアンテナとを接続させることができる。
このMOSFETは、例えばシリコンp型基板の上にp型ウェル領域を形成し、このp型ウェル領域にn型ソース及びドレイン領域を選択的に形成したnチャネル構造とすることができる。p型基板にはMOSFETのバックゲート電極が形成され接地される。導通状態のMOSFETは、非導通状態のMOSFETと比較して通常では伝送損失が小さい。しかし、高周波信号レベルが高くなるに従い、非導通であったMOSFETへの信号漏れが増加する。この漏れ信号がp型基板(すなわち接地)とn型ソース及びドレインとの間の寄生ダイオードを導通させるレベルになると、導通していたMOSFETへ通過させたい高周波信号が非導通であったMOSFETから接地へ逃げるようになる。このため、高周波スイッチの本来は小さい伝送損失が次第に増加する。
MOSFETのバックゲートを、抵抗器を介して接地することにより高周波電流の透過損失を低減する高周波スイッチ回路の技術開示例がある(特許文献1)。
特開平10−242826号公報
しかし、抵抗器を介してバックゲートを接地しても、高周波電流の漏れを完全に抑制することは困難であり、信号伝送損失の観点からは改善の余地があった。
本発明は、かかる課題の認識に基づいてなされたものであり、非導通MOSFETを介した高周波信号の接地への漏れを抑制し、信号伝送損失が低減された高周波スイッチを提供する。
本発明は、かかる課題の認識に基づいてなされたものであり、非導通MOSFETを介した高周波信号の接地への漏れを抑制し、信号伝送損失が低減された高周波スイッチを提供する。
本発明の一態様によれば、抵抗率が25Ω・cm以上のp型半導体領域と、前記p型半導体領域の表面に選択的に設けられたp型ウェル領域と、前記ウェル領域の表面に選択的に設けられたn型のソース及びドレインと、前記ソースと前記ドレインとの間の導通を制御するゲートと、前記p半導体領域に接続されたバックゲート電極と、を有するMOSFETを備えたことを特徴とする高周波スイッチが提供される。
本発明の他の一態様によれば、第1の端子と第2の端子との間に接続された第1のMOSFETと、前記第1の端子と第3の端子との間に接続された第2のMOSFETと、を備え、前記第1及び第2のMOSFETは、ゲート、ドレイン及びソースを有し、前記ゲートの電圧を制御することにより相補的に導通または非導通とされ、前記ソース及び前記ドレインはp型ウェル領域の表面に選択的に設けられたn型半導体領域からなり、前記ウェル領域は抵抗率が25Ω・cm以上のp型半導体領域の表面に選択的に設けられ、前記p型半導体領域は、接地へ接続されたことを特徴とする高周波スイッチが提供される。
本発明により、非導通MOSFETを介した高周波信号の接地への漏れを抑制し、信号伝送損失が低減された高周波スイッチが提供される。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明の具体例にかかる高周波スイッチを表し、同図(a)はMOSFETの模式断面図、同図(b)は高周波スイッチの回路図である。
図1(a)において、p型ウェル領域12は高抵抗p型領域10に隣接している。高抵抗p型領域10は、シリコン基板(厚み約0.3mm)にドーズ量4×1014cm−3のボロン(硼素)をイオン注入することにより、約30Ω・cmの抵抗率とする。また、p型ウェル領域12は、シリコン基板にドーズ量6×1015cm−3のボロンをイオン注入することにより、2乃至3Ω・cm程度の抵抗率を有し約1μmの厚みとする。
図1は、本発明の具体例にかかる高周波スイッチを表し、同図(a)はMOSFETの模式断面図、同図(b)は高周波スイッチの回路図である。
図1(a)において、p型ウェル領域12は高抵抗p型領域10に隣接している。高抵抗p型領域10は、シリコン基板(厚み約0.3mm)にドーズ量4×1014cm−3のボロン(硼素)をイオン注入することにより、約30Ω・cmの抵抗率とする。また、p型ウェル領域12は、シリコン基板にドーズ量6×1015cm−3のボロンをイオン注入することにより、2乃至3Ω・cm程度の抵抗率を有し約1μmの厚みとする。
p型ウェル領域12には、深さ0.3μm以下のn+層が拡散またはイオン注入法を用いて選択的に形成され、ソース領域14及びドレイン領域16とされる。ソース領域14、ドレイン領域16、p型ボディ層12の表面を選択的に覆うようにゲート絶縁膜18が、例えば10nmの厚みで形成される。ゲート絶縁膜としては、SiO2やSiNなどを用いることができる。
ゲート絶縁膜18の上には、タングステンなどからなるゲート電極24を形成する。また、ソース領域14の上、ドレイン領域16,高抵抗p型領域10の上に、タングステン/アルミニウム/窒化チタン(TiN)をこの順に積層して、それぞれソース電極20,ドレイン電極22,バックゲート電極26とする。
なお、高抵抗p型領域10は、バックゲートとして作用する。
なお、高抵抗p型領域10は、バックゲートとして作用する。
ここで、図1(a)に表した構造において、例えば、ゲート電極長L1を0.3μm、ソース電極L2を0.2μm、ドレイン電極L3を0.2μm、ドレイン・ソース間隔Sを0.6μmとする。このような短いチャネル長により動作周波数1GHzが可能となる。
ソース電極20に対してプラスの電圧をゲート電極24に印加すると、ゲート絶縁膜18とp型ウェル領域12との界面にnチャネルを生じる。ゲート・ソース間電圧がしきい値以上となると、MOSFETは導通する。このようしてMOSFETを導通−非導通状態に制御することができる。
次に、図1(a)のMOSFETを組み合わせたSPDT型高周波スイッチの作用について、図1(b)を参照しつつ説明する。
第1の端子30と第2の端子32との間には第1のスルーMOSFET40が、第1の端子30と第3の端子34と間には第2のスルーMOSFET42が接続される。さらに、第2の端子32と接地との間には第1のシャントMOSFET44が、第3の端子34と接地との間には第2のシャントMOSFET46が接続されている。ここで、MOSFETが接続されるとは、半導体スイッチの両端子を構成するドレイン及びソースが接続されることを表す。
第1の端子30と第2の端子32との間には第1のスルーMOSFET40が、第1の端子30と第3の端子34と間には第2のスルーMOSFET42が接続される。さらに、第2の端子32と接地との間には第1のシャントMOSFET44が、第3の端子34と接地との間には第2のシャントMOSFET46が接続されている。ここで、MOSFETが接続されるとは、半導体スイッチの両端子を構成するドレイン及びソースが接続されることを表す。
第1の端子30は、プルダウン抵抗62を介して接地されている。4つのMOSFETのゲートには抵抗60がそれぞれ接続されている。第1のスルーMOSFET40及び第3のシャントMOSFET46のゲートは、同一電源V1へ接続され、第2のスルーMOSFET42及び第1のシャントMOSFET44のゲートは同一電源V2とそれぞれ接続される。
第1のスルーMOSFET40及び第2のシャントMOSFET46を同時に導通させるようにV1≧Vth(但しVthはMOSFETのゲート電圧のしきい値)とした場合、第2のスルーMOSFET42及び第1のシャントMOSFET44を相補的に非導通とするようにV2<Vthとする。シリコンからなるnチャネルMOSFETにおけるしきい値Vthは,通常0.5乃至2.0の範囲である。
携帯電話などの電子機器において、第1の端子30はアンテナへ接続される。第2の端子32及び第3の端子34のうち、いずれか一方には受信器が、いずれか他方には送信器が接続される。
ここで、第2の端子32に受信器、第3の端子に送信器が接続された場合についてスイッチの作用をより詳細に説明する。
V1≧Vthにより、第1のスルーMOSFET40及び第2のシャントMOSFET46を導通とし、V2<Vthにより、第2のスルーMOSFET44及び第3のシャントMOSFET44を相補的に非導通とする。
V1≧Vthにより、第1のスルーMOSFET40及び第2のシャントMOSFET46を導通とし、V2<Vthにより、第2のスルーMOSFET44及び第3のシャントMOSFET44を相補的に非導通とする。
アンテナからの受信信号は、第1の端子30、導通している第1のスルーMOSFET40、第2の端子32を経由して受信器へ伝送される。この場合、第2のスルーMOSFET42は非導通なので高いインピーダンスとなり、また第2のシャントMOSFET46は導通であり接地されているので受信信号が第3の端子34を経由して送信器へ漏れることを抑制できる。すなわち、第2のシャントMOSFET46は、第1の端子30と第3の端子34との間のアイソレーションを改善する作用を有している。なお、スルーMOSFETのみで端子の切り替えが可能であるが、漏れ信号を低減し、アイソレーションを改善するためにシャントMOSFETを設けるほうがより好ましい。
一方、V1<Vthにより、第1のスルーMOSFET40及び第2のシャントMOSFET46を非導通とし、V2≧Vthにより、第2のスルーMOSFET及び第1のシャントMOSFET44を相補的に導通とする。送信器からの送信信号は、第3の端子34、導通している第2のスルーMOSFET42、第1の端子30を経由してアンテナへ伝送される。この場合、第1のスルーMOSFET40は非導通なので高いインピーダンスとなり、また第1のシャントMOSFET44は導通であり接地されているので送信信号が第2の端子32を経由して受信器へ漏れることを抑制できる。すなわち、第1のシャントMOSFET44は、第1の端子30と第2に端子32との間のアイソレーションを改善する作用を有している。
図1(b)の高周波スイッチは、同図(a)の構成であるMOSFET、抵抗、配線層、端子などをシリコン基板上に集積化し1チップ化することができ、高周波スイッチの小型化を実現できる。
ここで再び図1(a)に戻り、MOSFETに生じる寄生ダイオードについて説明する。 高抵抗p型領域10の上に設けられたバックゲート電極26は接地により電位が固定される。この結果、ドレイン領域16と高抵抗p型領域10との間、及びソース領域14と高抵抗p型領域10との間には寄生ダイオードが形成される。しかしながら第1具体例においては、高抵抗p型領域10はp型ウェル領域12より高い抵抗率であり、寄生ダイオードの接合容量を小さくしている。この結果、寄生ダイオードを介して接地へ逃げる高周波信号を低減し、信号伝送損失の増大を抑制できる。
図2は、比較例にかかる高周波スイッチを表し、同図(a)はnチャネルMOSFETの模式断面図、同図(b)は高周波スイッチの回路図である。図2(a)において、p型ウェル領域12がp型基板11により囲まれている。p型基板11は、シリコン基板(厚み約0.3mm)にボロンをイオン注入することにより、約5Ω・cmの抵抗率とする。また、p型ウェル領域12は、第1具体例と略同様の構造とする。この基板は、MOSFETには良く用いられるものである。
比較例においては、p型基板11の抵抗率が約5Ω・cmであり、第1具体例の約30Ω・cmの約6分の1と低い。この場合、寄生ダイオード28の接合容量が増加し高周波信号が接地へ逃げる経路となる。すなわち、信号レベルが次第に高くなると寄生ダイオード28がオンし、第2のスルーMOSFET42が非導通であるにもかかわらず高周波信号が接地へ逃げるので伝送損失が増加する。この場合、第1のシャントMOSFET44の寄生ダイオード28がオンレベルであると、第1のスルーMOSFET40を通過した高周波信号のうち第2のシャントMOSFET44の寄生ダイオード28を経由して接地に逃げる部分により伝送損失が増加する。
図3は、高周波スイッチの挿入損失のp型領域の抵抗率依存性を表すグラフ図である。縦軸は2GHzにおける挿入損失であり、横軸は抵抗率(Ω・cm)である。比較例におけるp型領域11の抵抗率は3Ω・cmであり、挿入損失は2.9dBである。この挿入損失はSPDTとしては大き過ぎて不十分である。
一方、第1具体例の高抵抗p型領域10の抵抗率は30Ω・cmであり、挿入損失は0.85dBである。この挿入損失はSPDTとして十分である。図3より、挿入損失が1dB以下となるのは抵抗率が25Ω・cm以上の範囲であり、この範囲が好ましい。
図4は、本発明の具体例にかかる高周波スイッチを構成するMOSFETの模式断面図である。この高周波スイッチにおいては、p型ウェル領域12に隣接して設けられた高抵抗p型領域10はポリシリコンからなる。ポリシリコンの抵抗率を25Ω・cm以上とすることは容易である。高抵抗p型領域10の外側のp型基板11上に設けられたバックゲート電極26を、図1(b)に例示されるように接地に接続し電位を固定すると、寄生ダイオード影響を抑制でき伝送損失が低減された高周波スイッチが構成できる。
図4に表した構造は、例えば、p型基板11に凹部を設け、選択的にポリシリコンからなる高抵抗p型領域10を形成し、p型ウェル領域10を選択エピタキシャル成長することにより実現できる。
以上、図面を参照しつつ本発明の実施について説明した。しかし本発明は具体例に限定されない。本発明を構成するスイッチング回路、MOSFET,抵抗などのサイズ、形状、配置などに関して、当業者が設計変更を行ったものであっても本発明の主旨を逸脱しない限り本発明の範囲に包含される。
10 高抵抗p型領域、12 p型ウェル領域、26 バックゲート電極、30 第1の端子、32 第2の端子、34 第3の端子、40 第1のスルーMOSFET,42 第2のスルーMOSFET,44 第1のシャントMOSFET,46 第2のシャントMOSFET
Claims (5)
- 抵抗率が25Ω・cm以上のp型半導体領域と、
前記p型半導体領域の表面に選択的に設けられたp型ウェル領域と、
前記ウェル領域の表面に選択的に設けられたn型のソース及びドレインと、
前記ソースと前記ドレインとの間の導通を制御するゲートと、
前記p半導体領域に接続されたバックゲート電極と、
を有するMOSFETを備えたことを特徴とする高周波スイッチ。 - 第1の端子と第2の端子との間に接続された第1のMOSFETと、
前記第1の端子と第3の端子との間に接続された第2のMOSFETと、
を備え、
前記第1及び第2のMOSFETは、ゲート、ドレイン及びソースを有し、前記ゲートの電圧を制御することにより相補的に導通または非導通とされ、
前記ソース及び前記ドレインはp型ウェル領域の表面に選択的に設けられたn型半導体領域からなり、前記ウェル領域は抵抗率が25Ω・cm以上のp型半導体領域の表面に選択的に設けられ、
前記p型半導体領域は、接地へ接続されたことを特徴とする高周波スイッチ。 - 前記第2の端子と接地との間に接続された第1のシャントMOSFETと、
前記第3の端子と接地との間に接続された第2のシャントMOSFETと、
をさらに備え、
前記第1及び第2のシャントMOSFETは、ゲート、ドレイン及びソースを有し、前記ゲートの電圧を制御することにより相補的に導通または非導通とされ、
前記ソース及びドレインはp型ウェル領域の表面に選択的に設けられ、前記p型ウェル領域は抵抗率が25Ω・cm以上のp型半導体領域の表面に選択的に設けられ、
前記p型半導体領域は、接地へ接続されたことを特徴とする請求項2記載の高周波スイッチ。 - 前記第1のシャントMOSFET及び前記第2のMOSFETは同一のゲート電圧で制御され、
前記第2のシャントMOSFET及び前記第1のMOSFETは同一のゲート電圧で制御されることを特徴とする請求項3記載の高周波スイッチ。 - 前記p型半導体領域は、ポリシリコンを含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の高周波スイッチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006338915A JP2008153385A (ja) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | 高周波スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006338915A JP2008153385A (ja) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | 高周波スイッチ |
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JP2008153385A true JP2008153385A (ja) | 2008-07-03 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11088685B2 (en) | 2017-07-03 | 2021-08-10 | Mitsubishi Electric Corporation | High-frequency switch |
-
2006
- 2006-12-15 JP JP2006338915A patent/JP2008153385A/ja active Pending
Cited By (1)
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US11088685B2 (en) | 2017-07-03 | 2021-08-10 | Mitsubishi Electric Corporation | High-frequency switch |
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