JP2015515127A - Euv波長範囲用ミラー、該ミラーの製造方法、及び該ミラーを具えた投影露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 0°〜25°の少なくとも1つの入射角について40%以上の反射率を有するEUV波長範囲用ミラー(1)であって、基板(S)及び層配列を具え、この層配列が、少なくとも1つの非金属個別層(B,H,M)を含み、
前記層配列が、少なくとも2つの周期(P)の個別層の周期列から成る少なくとも1つの層サブシステム(P’)を具え、
前記周期が、高屈折率層(H)用及び低屈折率層(L)用の異なる材料で組成される2つの個別層を具え、
前記周期(P)を形成する前記少なくとも1つの層サブシステム(P’)の前記2つの個別層(H,L)が、モリブデン及びシリコン、またはルテニウム及びシリコンのいずれかであり、
前記少なくとも1つの層サブシステム(P’)の前記個別層が、少なくとも1つのバリア層(B)によって分離され、前記バリア層(B)が、B4C、C、Si窒化物、Si炭化物、Siホウ化物、Mo窒化物、Mo炭化物、Moホウ化物、Ru窒化物、Ru炭化物、及びRuホウ化物から成る材料グループから選択した材料、あるいはこの材料グループから選択した材料の化合物として製造された材料で構成されるEUV波長範囲用ミラーにおいて、
前記非金属個別層(B,H,M)が、10ppb〜10%、特に100ppb〜0.1%の不純物原子でドーピングされ、これにより、前記非金属個別層(B,H,M)について、6×1010cm-3以上の電荷キャリア密度及び/または1×10-3S/m以上の導電率、特に6×1013cm-3以上の電荷キャリア密度及び/または1S/m以上の導電率が得られることを特徴とするEUV波長範囲用ミラー(1)。 - 前記非金属個別層(B,H,M)の不純物原子によるドーピングが、周期系のV族からの少なくとも1つの元素の原子を用いて実行されることを特徴とする請求項1に記載のEUV波長範囲用ミラー(1)。
- 前記層配列が200nm未満の合計厚さを有し、前記層サブシステム(P’)の前記高屈折率層が、不純物原子でドーピングされていることを特徴とする請求項1または2に記載のEUV波長範囲用ミラー(1)。
- 前記ミラーが、光学的に使用される表面の位置において、垂直入射について、EUV波長範囲内の光を10kJ/mm2以上の投与量で照射した後に、当該ミラーの12nm〜14nmの反射スペクトル内に平均反射波長を有し、この平均反射波長は、光源の12nm〜14nmの平均発光波長から、0.25nm未満、特に0.15nm未満だけ外れていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のEUV波長範囲用ミラー(1)。
- EUV光源用の集光ミラー、またはEUV照射系用のミラーを含み、前記平均発光波長からの前記平均反射波長の偏差が、0.05nm未満であることを特徴とする請求項4に記載のEUV波長範囲用ミラー(1)。
- 前記基板から最遠の前記層サブシステム(P’)の、少なくとも10周期、特に少なくとも5周期のシリコンで組成されるすべての前記個別層が、10ppb〜10%の不純物原子でドーピングされていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のEUV波長範囲用ミラー(1)。
- 前記層配列を終端させる層(M)の表面粗さが、0.2nm rms HSFR未満であり、特に0.1nm rms HSFR未満であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のEUV波長範囲用ミラー(1)。
- 前記層配列を終端させる層(M)が、酸化物及び/または窒化物で構成され、周期系のV族からの少なくとも1つの元素の原子を用いた不純物原子でドーピングされていることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のEUV波長範囲用ミラー(1)。
- 前記層配列が、応力補償用の少なくとも1つの追加的層サブシステム(ASL)を有し、この追加的層サブシステム(ASL)が、個別層の少なくとも2つの周期(PASL)の周期列で構成され、前記周期(PASL)が、高屈折率層(HASL)用及び低屈折率層(LASL)用の異なる材料で組成される2つの個別層を具えていることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のEUV波長範囲用ミラー(1)。
- 前記層配列の全層応力の絶対値が、100MPa未満、特に50MPa未満、特に好適には20MPa未満であり、前記追加的層サブシステム(ASL)の引張応力の絶対値が+240MPa未満であり、前記追加的層サブシステム(ASL)が、前記基板と前記少なくとも1つの層サブシステム(P’)との間に配置されていることを特徴とする請求項9に記載のEUV波長範囲用ミラー(1)。
- 前記追加的層サブシステム(ASL)が、5nm以下、特に3.5nm以下の周期(PASL)の厚さ(dASL)を有することを特徴とする請求項9または10に記載のEUV波長範囲用ミラー(1)。
- 垂直入射についての反射率が60%以上であり、前記追加的層サブシステム(ASL)の周期の数(NASL)が、20未満、特に15未満であることを特徴とする請求項9に記載のEUV波長範囲用ミラー(1)。
- 請求項1〜12のいずれかに記載のミラー(1)をコーティングする方法であって、
前記少なくとも1つの非金属個別層(B,H,M)のコーティング中に、10-9mbar以上、特に10-7mbar以上の不純物原子の分圧が、コーティング装置内に存在し、
その代わりに、あるいはこれに加えて、前記コーティング中に、10ppb〜10%の不純物原子で既に相応にドーピングした少なくとも1つのスパッタリング・ターゲットを使用することを特徴とする方法。 - 前記少なくとも1つの非金属層(B,H,M)の前記コーティングを、少なくとも10-4mbarの有効ガス圧でのマグネトロン・スパッタリングによって実行することを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 請求項1〜12のいずれかに記載のミラー(1)を具えたマイクロリソグラフィー用のEUV光源、EUV照射システム、及び/またはEUV投射レンズ、及び請求項13または14に記載の方法によって製造したミラー(1)。
- 請求項15に記載のEUV光源、EUV照射系、及び/またはEUV投射レンズを具えたマイクロリソグラフィー用投影露光装置。
- 前記EUV光源用の集光ミラーが、前記投影露光装置の前記EUV照射系用のミラー及び/または前記EUV投射レンズ用のミラーの前記非金属個別層(B,H,M)の不純物原子によるドーピングよりも高濃度の不純物原子でドーピングした前記非金属個別層(B,H,M)を有することを特徴とする請求項16に記載のマイクロリソグラフィー用投影露光装置。
- 前記EUV照射系用のミラーが、前記投影露光装置の前記EUV投射レンズ用のミラーの前記非金属個別層(B,H,M)の不純物原子によるドーピングよりも高濃度の不純物原子でドーピングした前記非金属個別層(B,H,M)を有することを特徴とする請求項16または17に記載のマイクロリソグラフィー用投影露光装置。
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