JP2015514325A - 光起電性薄膜太陽電池セル用の多層裏面電極、該多層裏面電極を薄膜太陽電池セル及びモジュールの製造に使用する方法、多層裏面電極を含んだ光起電性薄膜太陽電池セル及びモジュール並びにその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
少なくとも1つのバルク裏面電極層と、
少なくとも1つの導電性バリア層と
少なくとも1つの接触層、特にオーミック接触層とを含み、
−前記少なくとも1つのバルク裏面電極層は、
バナジウム(V)、マンガン(Mn)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)及び/又はタングステン(W)を含むか若しくは実質的にバナジウム(V)、マンガン(Mn)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)及び/又はタングステン(W)からなり、
及び/又は、
バナジウム(V)、マンガン(Mn)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)及び/又はタングステン(W)を含有する合金を含むか若しくは実質的にバナジウム(V)、マンガン(Mn)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)及び/又はタングステン(W)を含有する合金からなり、
−前記少なくとも1つの接触層は、
モリブデン(Mo)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、ジルコニウム(Zr)及び/又はコバルト(Co)、特にモリブデン(Mo)及び/又はタングステン(W)を含むか若しくは実質的にモリブデン(Mo)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、ジルコニウム(Zr)及び/又はコバルト(Co)、特にモリブデン(Mo)及び/又はタングステン(W)からなり、
及び/又は
少なくとも1つの金属カルコゲン化物を含むか若しくは実質的に少なくとも1つの金属カルコゲン化物からなり、
及び/又は
前記バリア層に隣接している少なくとも1つの第1の層と、前記バリア層に隣接していない、すなわち第1の層によって必ずバリア層から分離されている少なくとも1つの第2の層とを含み、前記前記第1の層は、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、ジルコニウム(Zr)及び/又はコバルト(Co)、特にモリブデン(Mo)及び/又はタングステン(W)を含むか若しくは実質的にモリブデン(Mo)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、ジルコニウム(Zr)及び/又はコバルト(Co)、特にモリブデン(Mo)及び/又はタングステン(W)からなり、前記第2の層は、少なくとも1つの金属カルコゲン化物を含むか実質的に少なくとも1つの金属カルコゲン化物からなる、
ことを特徴とする多層裏面電極である。
バルク裏面電極層、バリア層、接触層、半導体吸収層の金属及び/又は1つ以上のドーパントを、物理的薄膜堆積法又は化学的気相堆積法を用いて供給するステップを含み、
前記物理的薄膜堆積法には、特に、それぞれ有利には高真空中での、物理蒸着(PVD)コーティング、電子ビーム蒸発を用いた蒸着、抵抗蒸発を用いた蒸着、誘導蒸着、ARC蒸着、及び/又は、陰極スパッタリング(スパッタコーティング)、特にDCマグネトロンスパッタリングないしRFマグネトロンスパッタリングが含まれ、前記化学的気相堆積法には、特に化学蒸着(CVD)、低圧CVD及び/又は雰囲気(大気圧)CVDが含まれる方法によって解決される。
Claims (22)
- 光起電性薄膜太陽電池セル用の多層裏面電極であって、
以下に記載する順序で、
少なくとも1つのバルク裏面電極層と、
少なくとも1つの導電性バリア層と
少なくとも1つの接触層、特にオーミック接触層とを含み、
−前記少なくとも1つのバルク裏面電極層は、
バナジウム(V)、マンガン(Mn)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)及び/又はタングステン(W)を含むか若しくは実質的にバナジウム(V)、マンガン(Mn)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)及び/又はタングステン(W)からなり、
及び/又は、
バナジウム(V)、マンガン(Mn)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)及び/又はタングステン(W)を含有する合金を含むか若しくは実質的にバナジウム(V)、マンガン(Mn)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)及び/又はタングステン(W)を含有する合金からなり、
−前記少なくとも1つの接触層は、
モリブデン(Mo)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、ジルコニウム(Zr)及び/又はコバルト(Co)、特にモリブデン(Mo)及び/又はタングステン(W)を含むか若しくは実質的にモリブデン(Mo)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、ジルコニウム(Zr)及び/又はコバルト(Co)、特にモリブデン(Mo)及び/又はタングステン(W)からなり、
及び/又は
少なくとも1つの金属カルコゲン化物を含むか若しくは実質的に少なくとも1つの金属カルコゲン化物からなり、
及び/又は
前記バリア層に隣接している少なくとも1つの第1の層と、前記バリア層に隣接していない少なくとも1つの第2の層とを含み、前記前記第1の層は、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、ジルコニウム(Zr)及び/又はコバルト(Co)、特にモリブデン(Mo)及び/又はタングステン(W)を含むか若しくは実質的にモリブデン(Mo)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、ジルコニウム(Zr)及び/又はコバルト(Co)、特にモリブデン(Mo)及び/又はタングステン(W)からなり、前記第2の層は、少なくとも1つの金属カルコゲン化物を含むか若しくは実質的に少なくとも1つの金属カルコゲン化物からなる、
ことを特徴とする多層裏面電極。 - 前記バルク裏面電極(層)及び前記接触層は、モリブデン又はタングステン又はモリブデン合金又はタングステン合金、特にモリブデン又はモリブデン合金を含むか若しくは実質的にモリブデン又はタングステン又はモリブデン合金又はタングステン合金、特にモリブデン又はモリブデン合金から形成されている、請求項1記載の多層裏面電極。
- 前記バリア層は、前記バルク裏面電極層から及び/又は前記バルク裏面電極層を介して遷移する、特に拡散するないしは拡散可能な成分に対するバリア、及び/又は、前記接触層から及び/又は前記接触層を介して遷移する、特に拡散するないしは拡散可能な成分に対するバリアである、請求項1又は2記載の多層裏面電極。
- 前記バリア層は、アルカリイオン、特にナトリウムイオン、セレン若しくはセレン化合物、硫黄若しくは硫黄化合物、金属、特に銅(Cu)、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、アルミニウム(Al)及び/又はタングステン(W)に対するバリア、及び/又は、アルカリイオンを含有する化合物に対するバリアである、請求項1から3いずれか1項記載の多層裏面電極。
- 前記バリア層は、少なくとも1つの金属窒化物、特にTiN、MoN、TaN、ZrN及び/又はWN、少なくとも1つの金属炭化物、少なくとも1つの金属ホウ化物、及び/又は、少なくとも1つの金属ケイ素窒化物、特にTiSiN、TaSiN及び/又はWSiNを含むか若しくは実質的に少なくとも1つの金属窒化物、特にTiN、MoN、TaN、ZrN及び/又はWN、少なくとも1つの金属炭化物、少なくとも1つの金属ホウ化物、及び/又は、少なくとも1つの金属ケイ素窒化物、特にTiSiN、TaSiN及び/又はWSiNから形成されている、請求項1から4いずれか1項記載の多層裏面電極。
- 前記バルク裏面電極層は、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、アルミニウム(Al)及び/又はナトリウム(Na)からなる群から選択された少なくとも1つの元素、及び/又は、前記元素の化合物で不純物導入されている、請求項1から5いずれか1項記載多層裏面電極。
- 前記接触層の金属カルコゲン化物の金属、ないし前記接触層の前記第2の層の金属カルコゲン化物の金属は、モリブデン、タングステン、タンタル、ジルコニウム、コバルト及び/又はニオブから選択され、前記金属カルコゲン化物のカルコゲンは、セレン及び/又は硫黄から選択され、前記金属カルコゲン化物は、特にMSe2、MS2及び/又はM(Se1-x,Sx)2、但し前記Mは、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)、コバルト(Co)又はニオブ(Nb)を示し、前記xは0〜1の値をとる、請求項1から6いずれか1項記載の多層裏面電極。
- 前記接触層の第1の層の金属と第2の層の金属とは一致しており、及び/又は、前記接触層の第1の層の金属及び/又は第2の層の金属は、前記バルク裏面電極(層)の金属と一致している、請求項1から7いずれか1項記載多層裏面電極。
- 前記接触層、前記接触層の第1の層及び/又は第2の層は、薄膜太陽電池セルの半導体吸収体層に対する少なくとも1つのドーパント、特にナトリウム、カリウム、リチウムの群から選択された少なくとも1つの元素、及び/又は、前記元素と有利には酸素、セレン、硫黄、ホウ素及び/又はハロゲン、例えばヨウ素またはフッ素、との化合物、及び/又は、有利にはモリブデン、タングステン、タンタル及び/又はニオブから選択された金属を含む少なくとも1つのアルカリ金属ブロンズ、特にナトリウムブロンズ及び/又はカリウムブロンズを有している、請求項1から8いずれか1項記載の多層裏面電極。
- 前記バルク裏面電極層の平均厚さは、50nm〜500nmの範囲、特に80nm〜250nmの範囲にあり、及び/又は、前記バリア層の平均厚さは、10nm〜250nmの範囲、特に20nm〜150nmの範囲にあり、及び/又は、前記接触層の平均厚さは、2nm〜200nmの範囲、特に5nm〜100nmの範囲にある、請求項1から9いずれか1項記載の多層裏面電極。
- 前記バルク裏面電極層は、モリブデン及び/又はタングステン、特にモリブデンを含むか若しくは実質的にモリブデン及び/又はタングステン、特にモリブデンから形成されており、前記導電性バリア層は、TiNを含むか若しくは実質的にTiNから形成されており、前記接触層、特にドーパントを含む前記接触層は、MoSe2を含むか若しくは実質的にMoSe2から形成されている、請求項1から10いずれか1項記載の多層裏面電極。
- 前記接触層内に、所定のドーパント、特にナトリウムイオンが、1013〜1017原子/cm2の範囲の濃度、好ましくは1014〜1016原子/cm2の範囲の濃度で存在している、請求項9から11いずれか1項記載の多層裏面電極。
- 請求項1から12いずれか1項記載の少なくとも1つの多層裏面電極を含んでいることを特徴とする光起電薄膜太陽電池セル。
- 以下の順序で、少なくとも1つの基板層と、請求項1から12いずれか1項記載の少なくとも1つの多層裏面電極と、少なくとも1つの導電性バリア層と、少なくとも1つの半導体吸収層、特に前記接触層に直接当接する半導体吸収体層、特にカルコパイライト半導体吸収層若しくはケステライト半導体吸収体層と、少なくとも1つの前面電極とを含んでいる、請求項13記載の光起電薄膜太陽電池セル。
- 前記半導体吸収体層と前記前面電極との間に、少なくとも1つのバッファ層、特にZn(S,OH)若しくはIn2S3を含むか若しくは実質的にZn(S,OH)若しくはIn2S3から形成され特にCdS含有層若しくはCdS非含有層を含むか若しくは実質的にCdS含有層若しくはCdS非含有層から形成される少なくとも1つの層、及び/又は、真性酸化亜鉛及び/又は高抵抗酸化亜鉛を含むか若しくは実質的に真性な酸化亜鉛及び/又は高抵抗酸化亜鉛から形成される少なくとも1つの層が存在している、請求項14記載の光起電薄膜太陽電池セル。
- 前記半導体吸収体層は、四元系のIB−IIIA−VIA族のカルコパイライト層、特にCu(In,Ga)Se2層、五元系のIB−IIIA−VIA族のカルコパイライト層、特にCu(In,Ga)(Se1-x,Sx)2層、又はケステライト層、特にCu2ZnSn(Sex,S1-x)4層を示すか又は含み、但し前記xは0〜1の値をとり、及び/又は、前記半導体吸収層の平均厚さは、400nm〜2500nmの範囲、特に500nm〜1500nmの範囲にあり、有利には800nm〜1200nmの範囲にある、請求項13から15いずれか1項記載の光起電薄膜太陽電池セル。
- 少なくとも2つ、特に複数の、特にモノリシックに集積され直列接続された、請求項13から16いずれか1項記載の光起電性薄膜太陽電池セルを含んでいることを特徴とする、光起電性薄膜太陽電池モジュール。
- 光起電性薄膜太陽電池モジュールの製造に対して、請求項13から16いずれか1項記載の光起電性薄膜太陽電池セルを使用することを特徴とする使用方法。
- 光起電性薄膜太陽電池セル又は光起電性薄膜太陽電池モジュールの製造に対して、請求項1から12いずれか1項記載の多層裏面電極を使用することを特徴とする使用方法。
- 光起電性薄膜太陽電池セル、特に請求項13から16いずれか1項記載の光起電性薄膜太陽電池セル又は光起電性薄膜太陽電池モジュール、特に請求項17記載の光起電性薄膜太陽電池モジュールの製造中に、半導体吸収層のドーピングに対して、請求項9から12いずれか1項記載の多層裏面電極を使用することを特徴とする使用方法。
- 請求項13から16いずれか1項記載の光起電性薄膜太陽電池セル又は請求項17記載の光起電性薄膜太陽電池モジュールを製造するための方法であって、
バルク裏面電極層、バリア層、接触層、半導体吸収層の金属及び/又は1つ以上のドーパントを、物理的薄膜堆積法又は化学的気相堆積法を用いて供給するステップを含み、
前記物理的薄膜堆積法には、特に、それぞれ有利には高真空中での、物理蒸着(PVD)コーティング、電子ビーム蒸発を用いた蒸着、抵抗蒸発を用いた蒸着、誘導蒸着、ARC蒸着、及び/又は、陰極スパッタリング(スパッタコーティング)、特にDCマグネトロンスパッタリングないしRFマグネトロンスパッタリングが含まれ、
前記化学的気相堆積法には、特に化学蒸着(CVD)、低圧CVD及び/又は雰囲気(大気圧)CVDが含まれることを特徴とする方法。 - 前記1つ以上のドーパント、特にナトリウム化合物、ナトリウムイオン、ナトリウムモリブデンブロンズ及び/又はナトリウムタングステンブロンズから選択されたドーパントを、前記接触層及び/又は前記半導体吸収層の少なくとも1つの成分と一緒に、特に共通の混合ターゲット又は焼結ターゲットから供給する、請求項20又は21記載の方法。
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