JP2015230949A - 半導体装置及びその製造方法並びに転写シート及びその製造方法 - Google Patents
半導体装置及びその製造方法並びに転写シート及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015230949A JP2015230949A JP2014115871A JP2014115871A JP2015230949A JP 2015230949 A JP2015230949 A JP 2015230949A JP 2014115871 A JP2014115871 A JP 2014115871A JP 2014115871 A JP2014115871 A JP 2014115871A JP 2015230949 A JP2015230949 A JP 2015230949A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- pattern
- semiconductor device
- transfer sheet
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 293
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 44
- 239000012782 phase change material Substances 0.000 claims description 39
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 31
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 19
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 12
- 230000007704 transition Effects 0.000 abstract 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 23
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 23
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 16
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- -1 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 2
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000009974 thixotropic effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/42—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
- H01L23/427—Cooling by change of state, e.g. use of heat pipes
- H01L23/4275—Cooling by change of state, e.g. use of heat pipes by melting or evaporation of solids
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4871—Bases, plates or heatsinks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/367—Cooling facilitated by shape of device
- H01L23/3675—Cooling facilitated by shape of device characterised by the shape of the housing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/544—Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
- H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
- H01L2223/54426—Marks applied to semiconductor devices or parts for alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24802—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体モジュール10の内部に実装された半導体素子と、半導体素子から生じる熱を放熱器へ放熱し、半導体モジュール10に形成された放熱面13と、相転移材料からなり、放熱面上に形成されたパターン14と、パターン14を覆う第1のフィルムとしてのフィルム15を備える。
【選択図】 図1
Description
まず、本発明の実施の形態1にかかる半導体装置100の構成を説明する。図1は、本発明の実施の形態1にかかる半導体装置100を示す側面図である。図1において、半導体装置100は、半導体モジュール10と、パターン14と、接着面16を有する第1のフィルムとしてのフィルム15とを備えている。半導体モジュール10は、放熱面13を備えた金属板11と、ケース12とを備えている。
図8は、本発明の実施の形態2にかかる半導体装置300の側面図である。図8において、図1から図7と同じ符号を付けたものは、同一又は対応する構成を示しており、その説明を省略する。本発明の実施の形態2にかかる半導体装置300は、本発明の実施の形態1とは、放熱面の形状が相違している。それ以外は、本発明の実施の形態1と同様である。本発明の実施の形態2では、本発明の実施の形態1と相違する部分について説明し、同一又は対応する部分についての説明は省略する。
図13は、本発明の実施の形態3にかかる半導体装置400を示す側面図である。図13において、図1から図12同じ符号を付けたものは、同一又は対応する構成を示しており、その説明を省略する。本発明の実施の形態3にかかる半導体装置400は、本発明の実施の形態1及び本発明の実施の形態2とは、パターン14を覆うフィルムが相違している。それ以外は、本発明の実施の形態1及び本発明の実施の形態2と同様である。本発明の実施の形態3では、本発明の実施の形態1及び本発明の実施の形態2とそれぞれと相違する部分について説明し、同一又は対応する部分についての説明は省略する。
図14は、本発明の実施の形態4にかかる転写シート500を示す側面図である。図14において、図1から図13と同じ符号を付けたものは、同一又は対応する構成を示しており、その説明を省略する。以下では、本発明の実施の形態4にかかる転写シート500は、本発明の実施の形態1から本発明の実施の形態3までの半導体装置と同梱することを想定し、説明する。
図16は、本発明の実施の形態5にかかる転写シート600を示す側面図である。図16において、図1から図15と同じ符号を付けたものは、同一又は対応する構成を示しており、その説明を省略する。本発明の実施の形態5にかかる転写シート600は、本発明の実施の形態4とは、フィルムが相違している。それ以外は、本発明の実施の形態4と同様である。本発明の実施の形態5では、本発明の実施の形態4と相違する部分について説明し、同一又は対応する部分についての説明は省略する。
図17は、本発明の実施の形態6にかかる転写シート700を示す側面図である。図17において、図1から図16と同じ符号を付けたものは、同一又は対応する構成を示しており、その説明を省略する。本発明の実施の形態6にかかる転写シート700は、本発明の実施の形態4及び本発明の実施の形態5に、構成が追加されている。本発明の実施の形態6では、本発明の実施の形態4及び本発明の実施の形態5と相違する部分について説明し、同一又は対応する部分についての説明は省略する。
図20は、本発明の実施の形態7にかかる転写シート800を示す側面図である。図20において、図1から図19と同じ符号を付けたものは、同一又は対応する構成を示しており、その説明を省略する。本発明の実施の形態7にかかる転写シート800は、本発明の実施の形態6とは、フィルムが相違している。それ以外は、本発明の実施の形態6と同様である。本発明の実施の形態7では、本発明の実施の形態6と相違する部分について説明し、同一又は対応する部分についての説明は省略する。
Claims (17)
- 半導体モジュールの内部に実装された半導体素子と、
前記半導体素子から生じる熱を放熱器へ放熱し、前記半導体モジュールに形成された放熱面と、
相転移材料からなり、前記放熱面上に形成されたパターンと、
前記パターンを覆う第1のフィルムと、
を備えた半導体装置。 - 前記第1のフィルムは、前記放熱面と向かい合い、前記放熱面の外周よりも長い第1の外周を有し、かつ前記第1の外周が前記放熱面の外周を中に含むように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1のフィルムは、前記パターンとの接着面が粗面であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記第1のフィルムは、取り付け位置を示すマークが形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1のフィルムは、前記パターンに伝わる前記半導体素子から生じた熱により融解又は昇華することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 半導体素子から生じる熱を放熱器へ放熱する放熱面上に、相転移材料を塗布する工程と、
前記相転移材料の粘度調整のための成分を揮発させ、パターンを形成する工程と、
前記パターンを第1のフィルムで覆う工程と、
を備えた半導体装置の製造方法。 - 第1のフィルムの一方の面上に、相転移材料を塗布する工程と、
前記相転移材料の粘度調整のための成分を揮発させ、パターンを形成する工程と、
前記パターンと、半導体素子から生じる熱を放熱器へ放熱する放熱面を接着させる工程と、
を備えた半導体装置の製造方法。 - 第1のフィルムと、
前記第1のフィルムの一方の面上に形成され、相転移材料からなるパターンと、
を備えた転写シート。 - 前記第1のフィルムは、前記パターンとの接着面が粗面であることを特徴とする請求項8に記載の転写シート。
- 前記第1のフィルムは、取り付け箇所を示すマークが形成されていることを特徴とする請求項8又は9に記載の転写シート。
- 前記第1のフィルムは、前記パターンに伝わる熱により融解又は昇華することを特徴とする請求項8から10のいずれか1項に記載の転写シート。
- 前記パターンを覆う第2のフィルムをさらに備えたことを特徴とする請求項8に記載の転写シート。
- 前記第2のフィルムは、前記パターンとの接着面が粗面であることを特徴とする請求項12に記載の転写シート。
- 前記第2のフィルムは、取り付け箇所を示すマークが形成されていることを特徴とする請求項12又は13に記載の転写シート。
- 前記第2のフィルムは、前記パターンに伝わる熱により融解又は昇華することを特徴とする請求項12から14のいずれか1項に記載の転写シート。
- 第1のフィルムの一方の面上に、相転移材料を塗布する工程と、
前記相転移材料の粘度調整のための成分を揮発させ、パターンを形成する工程と、
を備えた転写シートの製造方法。 - 第2のフィルムで前記パターンを覆う工程をさらに備える請求項16に記載の転写シートの製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014115871A JP2015230949A (ja) | 2014-06-04 | 2014-06-04 | 半導体装置及びその製造方法並びに転写シート及びその製造方法 |
US14/696,199 US9627293B2 (en) | 2014-06-04 | 2015-04-24 | Semiconductor device and heat-conductive sheet |
DE102015210125.8A DE102015210125A1 (de) | 2014-06-04 | 2015-06-02 | Halbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren dafür sowie Transferfolie und Herstellungsverfahren dafür |
CN201510303046.5A CN105304588A (zh) | 2014-06-04 | 2015-06-04 | 半导体装置及其制造方法、转印板及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014115871A JP2015230949A (ja) | 2014-06-04 | 2014-06-04 | 半導体装置及びその製造方法並びに転写シート及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015230949A true JP2015230949A (ja) | 2015-12-21 |
Family
ID=54707013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014115871A Pending JP2015230949A (ja) | 2014-06-04 | 2014-06-04 | 半導体装置及びその製造方法並びに転写シート及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9627293B2 (ja) |
JP (1) | JP2015230949A (ja) |
CN (1) | CN105304588A (ja) |
DE (1) | DE102015210125A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021132157A (ja) * | 2020-02-20 | 2021-09-09 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4546411A (en) * | 1983-10-31 | 1985-10-08 | Kaufman Lance R | Mounting of a compact circuit package to a heat sink or the like |
JPH11168161A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Mitsubishi Electric Corp | パワーモジュール及びそのヒートシンクへの取付け方法 |
JP2002532914A (ja) * | 1998-12-15 | 2002-10-02 | パーカー−ハニフイン・コーポレーシヨン | 相変化熱的インターフェース材料の塗布方法 |
JP2003311977A (ja) * | 2002-04-19 | 2003-11-06 | Noritsu Koki Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2005522551A (ja) * | 2002-04-12 | 2005-07-28 | ダウ・コーニング・コーポレイション | 熱伝導性相転移材料 |
JP2006528434A (ja) * | 2003-05-13 | 2006-12-14 | パーカー−ハニフイン・コーポレーシヨン | 熱管理材料 |
JP2008155467A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Canon Inc | ヘッドカートリッジ、保護テープ、インクジェット記録ヘッドカートリッジの吐出口封止方法 |
JP2009277976A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 塗布方法およびパターン形成用マスク |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5457165A (en) * | 1990-03-19 | 1995-10-10 | Hughes Aircraft Company | Encapsulant of amine-cured epoxy resin blends |
US5315154A (en) * | 1993-05-14 | 1994-05-24 | Hughes Aircraft Company | Electronic assembly including heat absorbing material for limiting temperature through isothermal solid-solid phase transition |
WO1997048957A1 (en) | 1996-06-21 | 1997-12-24 | Thermalloy, Inc. | Pre-application of grease to heat sinks with a protective coating |
JP3072491U (ja) | 2000-04-13 | 2000-10-20 | 富士高分子工業株式会社 | 保護フィルム付きシリコーンゲル放熱シート |
JP3988735B2 (ja) * | 2004-03-15 | 2007-10-10 | 日立金属株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4530283B2 (ja) | 2004-09-22 | 2010-08-25 | 富士高分子工業株式会社 | 熱伝導性シート及びその製造方法 |
TWI295095B (en) | 2004-09-22 | 2008-03-21 | Fuji Polymer Ind | Thermally conductive sheet and method for producing the same |
JPWO2007020697A1 (ja) * | 2005-08-18 | 2009-02-19 | 日立プラズマディスプレイ株式会社 | フラットディスプレイ装置 |
JP5066333B2 (ja) * | 2005-11-02 | 2012-11-07 | シチズン電子株式会社 | Led発光装置。 |
JP5096010B2 (ja) | 2007-02-01 | 2012-12-12 | ポリマテック株式会社 | 熱拡散シート及び熱拡散シートの位置決め方法 |
WO2008116020A2 (en) * | 2007-03-20 | 2008-09-25 | Outlast Technologies, Inc. | Articles having enhanced reversible thermal properties and enhanced moisture wicking properties to control hot flashes |
JP2010129632A (ja) | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Toppan Printing Co Ltd | 剥離シート付き接着シートおよび金属板貼合装置および金属板貼合方法 |
JP5271879B2 (ja) | 2008-11-28 | 2013-08-21 | 富士高分子工業株式会社 | 熱拡散シート及びその実装方法 |
US8937384B2 (en) * | 2012-04-25 | 2015-01-20 | Qualcomm Incorporated | Thermal management of integrated circuits using phase change material and heat spreaders |
-
2014
- 2014-06-04 JP JP2014115871A patent/JP2015230949A/ja active Pending
-
2015
- 2015-04-24 US US14/696,199 patent/US9627293B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2015-06-02 DE DE102015210125.8A patent/DE102015210125A1/de not_active Withdrawn
- 2015-06-04 CN CN201510303046.5A patent/CN105304588A/zh active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4546411A (en) * | 1983-10-31 | 1985-10-08 | Kaufman Lance R | Mounting of a compact circuit package to a heat sink or the like |
JPH11168161A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Mitsubishi Electric Corp | パワーモジュール及びそのヒートシンクへの取付け方法 |
JP2002532914A (ja) * | 1998-12-15 | 2002-10-02 | パーカー−ハニフイン・コーポレーシヨン | 相変化熱的インターフェース材料の塗布方法 |
JP2005522551A (ja) * | 2002-04-12 | 2005-07-28 | ダウ・コーニング・コーポレイション | 熱伝導性相転移材料 |
JP2003311977A (ja) * | 2002-04-19 | 2003-11-06 | Noritsu Koki Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2006528434A (ja) * | 2003-05-13 | 2006-12-14 | パーカー−ハニフイン・コーポレーシヨン | 熱管理材料 |
JP2008155467A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Canon Inc | ヘッドカートリッジ、保護テープ、インクジェット記録ヘッドカートリッジの吐出口封止方法 |
JP2009277976A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 塗布方法およびパターン形成用マスク |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021132157A (ja) * | 2020-02-20 | 2021-09-09 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP7318558B2 (ja) | 2020-02-20 | 2023-08-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102015210125A1 (de) | 2015-12-17 |
US9627293B2 (en) | 2017-04-18 |
CN105304588A (zh) | 2016-02-03 |
US20150357262A1 (en) | 2015-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106816419B (zh) | 薄膜上芯片封装 | |
TWI637680B (zh) | 散熱結構及其製作方法及電子設備 | |
JP2006303240A (ja) | 放熱シート、放熱体、放熱シート製造方法及び伝熱方法 | |
JP2013247274A (ja) | 半導体パッケージ及び配線基板ユニット | |
JP6634610B2 (ja) | 熱伝導シートおよびこれを用いた電子機器 | |
JP2017084883A (ja) | グラファイトを用いたヒートシンク、および、発光装置 | |
JP6164495B2 (ja) | 回路構成体及び回路構成体の製造方法 | |
US10079191B2 (en) | Heat spreader having thermal interface material retainment | |
KR101838738B1 (ko) | 금속 박막층을 포함하는 방열 시트 | |
JP2009081246A (ja) | 半導体実装基板及びその製造方法 | |
JP2015230949A (ja) | 半導体装置及びその製造方法並びに転写シート及びその製造方法 | |
JP2009302556A (ja) | 半導体装置 | |
JP2014135374A (ja) | 伝熱基板 | |
US20100230156A1 (en) | Packaging device for an electronic element and method for making the same | |
JP5935330B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法、電子装置 | |
JP2018174226A (ja) | 電子制御装置の製造方法 | |
KR101077948B1 (ko) | 전자기기용 히트싱크 | |
JP4820263B2 (ja) | 半導体モジュール装置およびその製造方法 | |
JP2017162963A (ja) | 電子装置 | |
JP2013251413A (ja) | 放熱部材、発熱源および放熱装置 | |
JP6322764B2 (ja) | 回路基板の実装構造体および回路基板の実装方法 | |
TW201339530A (zh) | 散熱模組及其使用方法 | |
TWM611027U (zh) | 發光組件 | |
TWM542567U (zh) | 散熱膜 | |
JP2008115260A (ja) | 部材の固定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160512 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170328 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170512 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20171017 |