JP2015226998A - アライメントマークを有するスクリーン製版 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 スクリーン製版に形成するアライメントマーク5を前記スクリーン製版に使用する感光性樹脂2で形成し、前記アライメントマーク5周辺部を白色系統の樹脂4で囲むように形成されているアライメントマークを有するスクリーン製版。
【選択図】図3
Description
導電性ボール搭載装置によって対象の基板にはんだボールを搭載するには、先ず対象の基板の電極パッド部分に、酸化物を除去してぬれ性を良くするためのフラックスを、メタルマスク版を用いてスクリーン印刷する。具体的には、基板が搭置された印刷テーブル上に、各電極パッドの位置に合わせて複数の開口部が形成されたメタルマスク版を対向させ、次いでメタルマスク版に形成されたアライメントマーク、および基板に形成されたアライメントマークを装置に搭載されているCCDカメラにて撮像し、次いでその撮像結果をもとにメタルマスク版のアライメントマークと基板のアライメントマークの位置が一致するようにメタルマスク版に対する基板の位置を修正し、次いでメタルマスク版と基板を接触させた状態(オンコンタクト方式という)でメタルマスク上に供給されたフラックスをスキージを用いて塗り広げて、メタルマスク版の開口部を通してフラックスを基板の各電極パッド部分に転写、塗布する。次いで、導電性ボール搭載装置を用いて、フラックスが塗布されている各電極パッド上に、はんだボールを搭載する。次いで、はんだホールの搭載が完了した基板をリフロー処理することにより、各電極パッド上のはんだボールが溶融して各電極パッド上に、はんだバンプが形成されるフラックス塗布装置(例えば、特許文献1参照)等の技術が存在している。
その対策として、一般的なスクリーン印刷法で用いられるオフコンタクト方式でフラックスを印刷する方法が検討されている(例えば、特許文献2参照)。基板とメタルマスク版とを密着させた状態で印刷を行うオンコンタクト方式と異なり、オフコンタクト方式ではメタルマスク版と基板の間に僅かに隙間を設けて印刷を行う。そのため、オフコンタクト方式の印刷では、フラックスが印刷された直後にメタルマスク版が基板から離れる、いわゆる版離れ現象が発生する。この版離れ現象により、オフコンタクト方式ではフラックスの滲みが抑制された印刷が期待された。
しかしながら、実際にメタルマスク版を用いてオフコンタクト方式で印刷を行うと、メタルマスク版の主たる構成要素であるSUSやNiといった金属板の硬さが災いして、基板に発生している細かい凹凸への追従が十分にできないため、オンコンタクト方式よりはフラックスの滲みは抑制されたものの、払拭するには至らなかった。
そこで最近では、メタルマスク版の代わりにスクリーン製版を用いてオフコンタクト方式でフラックス印刷を行う方法が検討されている。
スクリーン製版は、金属製や化繊といったスクリーンメッシュと感光性樹脂で構成されており、印刷時にはスクリーン製版の構成要素である感光性樹脂が基板に追従するため、印刷滲みを抑制することが可能となる。また、フラックスの塗布量はスクリーンメッシュの仕様や感光性樹脂の厚みを変えることで調整が可能となるもので、メタルマスク版と比較すると、フラックスの塗布量の調整が容易にできるという利点もある。
ところが、従来メタルマスク版を用いてフラックス印刷を行っていた工程において、メタルマスク版に替えてスクリーン製版を用いてフラックス印刷を行おうとすると、スクリーン製版に形成したアライメントマークが、メタルマスク版のアライメントマーク認識条件では認識できないという問題が発生していた。
従来、メタルマスク版に形成したアライメントマークは、CCDカメラで確実に認識を行えるようにコントラストを高くするため、アライメントマーク自体を周辺部のメタルマスク版の金属部分よりも反射率を抑えるように黒色系統としていた(例えば、特許文献3参照)。
よって、スクリーンメッシュに感光性樹脂を塗布した後、フォトマスクを介して露光、現像を行って印刷パターンを形成するスクリーン製版にアライメントマークを形成する場合、アライメントマークの形状に感光性樹脂を除去して開口部を形成した後に、黒色系統の樹脂などでその開口部を埋めてアライメントマークとしていた。しかしながら前記のスクリーン製版を用いてフラックスを印刷しようとすると、黒色系統のアライメントマークとその周辺部の感光性樹脂とのコントラストが低いため、既存の装置のCCDカメラでは前記スクリーン製版のアライメントマークの認識ができないという問題があった。
そこで本発明は、メタルマスク版を使用していた際のアライメントマーク認識装置でも認識できるアライメントマークを形成したスクリーン製版を提供することを目的としている。
スクリーン製版に形成するアライメントマークを白色系統の樹脂で形成する構成である。
請求項1に記載の発明に加えて、アライメントマークが白色系の樹脂で略円形状に形成されている構成である。
スクリーン製版に形成するアライメントマークを前記スクリーン製版に使用する感光性樹脂で形成し、前記アライメントマーク周辺部を白色系統の樹脂で囲むように形成する構成である。
請求項3に記載の発明に加えて、アライメントマークの周辺部を囲むように形成した白色系樹脂の外形が略四角形状に形成されている構成である。
請求項3に記載の発明に加えて、アライメントマークの周辺部を囲むように形成した白色系樹脂の外形が略円形状に形成されている構成である。
(1)スクリーン製版のアライメントマークを白色系統の樹脂で形成することによって、周辺部の感光性樹脂が暗部となり、アライメントマークが明部となって、アライメントマークの反射率が大きくなることによって、コントラストが高くなるため、メタルマスク版を使用していた既存のCCDカメラでもアライメントマークを認識することができる。
(2)アライメントマークをスクリーン製版の感光性樹脂で形成し、その周辺部を白色系統の樹脂でアライメントマークを囲むように形成することで、アライメントマークが暗部となり、アライメントマークの周辺部が明部となって、アライメントマークの周辺部の反射率が大きくなることによって、コントラストが高くなるため、メタルマスク版を使用していた既存のCCDカメラでもアライメントマークを認識することができる。
図5は、本発明のスクリーン製版の実施例を示すものである。スクリーン製版は公知の、例えば額縁状の枠体7にスクリーンメッシュ1を適宜のテンション及び角度で紗張りを行い、スクリーンメッシュ1部分に感光性樹脂2を塗布し、印刷パターン6が形成されたフォトマスクを感光性樹脂2上に密着させて露光し、感光性樹脂2の不要な部分を現像、除去するといった製造方法で作製することができる。
アライメントマーク5は、基板とスクリーン製版との位置合わせを行うためのマークとなるので、印刷パターン6とアライメントマーク5の位置精度が重要である。よって、印刷パターン6が形成されたフォトマスクにアライメントマーク5も形成しておき、印刷パターン6と同時にアライメントマーク5も一括で露光して形成することが望ましい。感光性樹脂現像後のアライメントマーク5部分は感光性樹脂2が除去されて、スクリーンメッシュ1が略円形状に露出された状態、いわゆる開口部8となる。その開口部8を樹脂4を用いて埋めることでアライメントマーク5を形成する。アライメントマーク5を形成するための樹脂は、適度な粘弾性を持った樹脂であり、その樹脂をヘラやスキージ3を用いて開口部8に押し込むことで開口部8を樹脂埋めすることができる。その後、適宜の方法で樹脂を硬化させてアライメントマーク5とする(図1(a)(b)参照)。
しかしながら、印刷面10側から埋め込み処理すると、処理した跡等が目立ってしまって、スクリーン製版の外観上の見映えが悪くなる場合があるため、スキージ面9側から埋め込み処理する方が望ましい。
図1(b)および図1(d)は、スキージ面9側から樹脂4を埋め込んでいる状態を示している。
使用する樹脂としては、例えばシアノアクリレート系、エポキシ系、アクリル系、ウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系等の接着剤やその組み合わせ等広く用いることができる。また、紫外線硬化型接着剤や紫外線硬化型樹脂、水溶性エマルジョンや感光性乳剤も使用することができる。さらに、より白さを強調させるために、樹脂に顔料や染料、各種着色剤や、酸化チタンといった無機化合物等を添加しても良い。
本実施例が前記実施例と異なる所は、アライメントマーク5自体をスクリーン製版の感光性樹脂2で形成し、スクリーン製版の感光性樹脂2で形成されたアライメントマーク5の周囲を白色系統の樹脂で囲むように形成しているところである。
なお、このような形状でアライメントマーク5を形成する場合は、印刷パターン6が形成されたフォトマスクに、アライメントマーク5が感光性樹脂2で形成され、且つアライメントマーク5周辺部の感光性樹脂2が所望の形成に除去されて開口部8が形成されるようなパターンを形成しておけば良い。前記アライメントマーク5周辺部の開口部8に前記実施例と同様にヘラやスキージ3を用いて樹脂4を埋め込むことで、アライメントマーク5の周囲を白色系統の樹脂4で囲むように形成することができる。なお、樹脂4は前記実施例と同様のものを用いることができる(図1(c)(d)参照)。
なお、アライメントマーク5の形状は略円形状で、白色系統の樹脂パターンの外形は略四角形状となっている(図3(a)(b)参照)。
このような形状とすることで、CCDカメラでアライメントマーク5を認識すると、アライメントマーク5部分が暗部となり、アライメントマーク5の周辺部が明部となるので、高いコントラストでアライメントマーク5を認識することができる。さらに本実施例では、アライメントマーク5部分が暗部、その周辺部が明部となるので、従来使用していたメタルマスク版とほとんど同じ認識条件でアライメントマーク5を認識することが可能になるという前記実施例1にはない効果も得ることができる。
本実施例が前記第二実施例と異なるところは、アライメントマーク5の周囲を囲む白色系の樹脂4のパターン形状が略円形状となっているところである(図4(a)(b)参照)。
略円形状とすることで、ヘラやスキージ3を用いて開口部8に樹脂4を埋め込む際に、どのような方向からでも安定して樹脂4埋めを行うことができる。
なお、アライメントマーク5の形状に関しては、実施例1〜実施例3においては、略円形状としたが、それに限定されるものではなく、三角形状や四角形状、多角形状や十字形状など、実施例と異なる形状であっても良い。また、アライメントマーク5の周辺部の形状は、実施例2および実施例3においては、略四角形状や略円形状としたが、それに限定されるものではなく、三角形状や多角形状、十字形状など、実施例と異なる形状であっても良い。また、アライメントマーク5の大きさ及びその周辺部の数に関しても特に制限はないものとする。また、アライメントマーク5およびその周辺部の形成位置に関しても特に限定はない。形成位置は印刷パターン6内であっても良いし、印刷パターン6外であっても良い。また、スクリーン製版が印刷用スクリーンメッシュと支持体スクリーンメッシュからなる、いわゆるコンビネーション製版であるのならば、印刷用スクリーンメッシュ上に本発明のアライメントマーク5及びその周辺部を形成しても良いし、支持体のスクリーンメッシュ上に本発明のアライメントマーク5およびその周辺部を形成しても良いものである。
2・・・・感光性樹脂
3・・・・スキージ
4・・・・(白色系統)樹脂
5・・・・アライメントマーク
6・・・・印刷パターン
7・・・・枠体
8・・・・開口部
9・・・・スキージ面
10・・・・印刷面
Claims (5)
- スクリーン製版に形成するアライメントマークを白色系統の樹脂で形成したことを特徴とするアライメントマークを有するスクリーン製版。
- アライメントマークが白色系の樹脂で略円形状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のアライメントマークを有するスクリーン製版。
- スクリーン製版に形成するアライメントマークを前記スクリーン製版に使用する感光性樹脂で形成し、前記アライメントマーク周辺部を白色系統の樹脂で囲むように形成されていることを特徴とするアライメントマークを有するスクリーン製版。
- アライメントマークの周辺部を囲むように形成した白色系統樹脂の外形が略四角形状に形成されていることを特徴とする請求項3に記載のアライメントマークを有するスクリーン製版。
- アライメントマークの周辺部を囲むように形成した白色系統樹脂の外形が略円形状に形成されていることを特徴とする請求項3に記載のアライメントマークを有するスクリーン製版。
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CN109273432A (zh) * | 2018-08-15 | 2019-01-25 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 用于通孔的cdsem检测的对准标记及其制造方法 |
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