JP2015219374A - 微細構造体、光学フィルタ及び光学装置 - Google Patents
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Abstract
Description
基板上に、可視光の波長サイズよりも短いピッチで2次元状に配置した凹凸を有する微細構造が設けられた微細構造体であって、
前記微細構造は前記基板側の下部領域と該下部領域上の上部領域とからなり、
前記下部領域はその高さ方向に形状変化が無く、
前記上部領域はその高さ方向に連続的若しくは段階的な形状変化を有し、
前記微細構造のうち少なくとも前記下部領域に対応する部分の屈折率が、その高さ方向に、連続的若しくは段階的に変化している
ことを特徴とする、微細構造体である。
さらには、このような光学フィルタを光量絞り装置などの光学装置に用いる事で、例えばフィルタの反射に起因した画像劣化等の不具合を改善しつつ、耐久性を向上させるなど、高性能化を実現した光学装置を提供する事が可能である。
(実施例1)微細構造体
透明基板平面上に微細構造を形成し、更に微細構造体内部の屈折率を変化させた微細構造体に関する実施例について、以下に詳しく記載する。
多層薄膜により構成された、光量調整用の光学膜であるND膜上に、反射低減効果を発現する微細構造体を設けたNDフィルタを作製した実施例について、以下に詳しく記載する。
先の本実施例2においては、微細構造体を備えたNDフィルタについて述べたが、この他の光学フィルタにおいても、同様の効果を得る事が可能である。
次に、本実施例2、3で作製した光学フィルタを備える光量絞り装置に適用した実施例について図7を用いて説明する。
次に、本実施例2、3で作製した光学フィルタを搭載しているビデオカメラ等の撮像装置に適用した実施例について図8を用いて説明する。
11.微細構造
12.密着層
13、25.一定部分
14、26.変化部分
20.基板
21.ND膜
22.微細構造
23.NDフィルタ
24.密着層
31.絞り羽根
32.絞り羽根支持板
33.光量絞り装置
34.NDフィルタ
51.撮影光学系
52.固体撮像素子
53.光学ローパスフィルタ
54.NDフィルタ
55.絞り羽根
56.絞り羽根
57.地板
Claims (8)
- 基板上に、可視光の波長サイズよりも短いピッチで2次元状に配置した凹凸を有する微細構造が設けられた微細構造体であって、
前記微細構造は前記基板側の下部領域と該下部領域上の上部領域とからなり、
前記下部領域はその高さ方向に形状変化が無く、
前記上部領域はその高さ方向に連続的若しくは段階的な形状変化を有し、
前記微細構造のうち少なくとも前記下部領域に対応する部分の屈折率が、その高さ方向に、連続的若しくは段階的に変化している
ことを特徴とする、微細構造体。 - 前記上部領域に対応する部分の屈折率も、その高さ方向に、連続的若しくは段階的に変化していることを特徴とする
請求項1に記載の微細構造体。 - 前記下部領域及び/または前記上部領域に対応する部分の屈折率の連続的若しくは段階的な変化が、2つ以上の屈折率の異なる成分の混合比の変化によるものであることを特徴とする請求項1または2に記載の微細構造体。
- 前記下部領域及び/または前記上部領域に対応する部分の屈折率の異なる2つ以上の成分には、有機材料からなる母材と、該母材とは屈折率の異なるドーパント物質とが含まれ、
前記下部領域及び/または前記上部領域に対応する部分の屈折率の連続的若しくは段階的な変化が、前記ドーパント物質の該母材に対する混合比の変化によるものであることを特徴とする請求項3に記載の微細構造体。 - 前記下部領域及び/または前記上部領域に対応する部分の屈折率の連続的若しくは段階的な変化が、前記微細構造の高さ方向で、前記微細構造が前記基板に近づくにつれ、前記基板の屈折率に近づく変化であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の微細構造体。
- 前記微細構造の屈折率が、前記基板の屈折率よりも低いことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の微細構造体。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の微細構造体を有することを特徴とする光学フィルタ。
- 請求項7に記載の光学フィルタを搭載することを特徴とする光学装置。
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