JP2015211982A - レーザ処理装置及び処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
110 レーザ部
120 案内部
130 スキャナ部
140 照射部
150 撮影部
160 制御部
Claims (16)
- 基板を処理するレーザ処理装置であって、
レーザビームを発生させ、前記レーザビームを分岐させるレーザ部と、
前記レーザビームの進行方向を調節する複数のスキャナを有し、前記レーザビームが通過する光路を提供するスキャナ部と、
前記レーザ部と前記スキャナ部との間に配設され、分岐されたレーザビームを選択的に前記スキャナに導く案内部と、
前記スキャナ部を通過したレーザビームを前記基板に照射する照射部と、
前記基板を撮影する撮影部と、
を備えるレーザ処理装置。 - 前記スキャナ部は、
前記レーザビームのうちの少なくとも一部の波長のレーザビームの進行方向を調節する第1のスキャナと、
前記第1のスキャナにより進行方向が調節されるレーザビームとは波長が異なるレーザビームの進行方向を調節する第2のスキャナと、
を有する請求項1に記載のレーザ処理装置。 - 前記第1のスキャナ又は前記第2のスキャナのうちの少なくとも一方は、波長が異なる複数の波長のレーザビームの進行方向を調節する請求項2に記載のレーザ処理装置。
- 前記案内部は、
前記レーザビームが分岐される数に見合う分だけ配設され、前記レーザビームの光路を開閉する遮断器と、
前記遮断器と前記第1のスキャナとの間及び前記遮断器と前記第2のスキャナとの間に配設され、前記遮断器を通過したレーザビームを前記スキャナに導くレーザミラーと、
を有する請求項3に記載のレーザ処理装置。 - 前記照射部は、前記レーザビームを前記基板にフォーカシングさせる対物レンズを有する請求項1に記載のレーザ処理装置。
- 前記撮影部は、
前記基板を撮影するカメラと、
前記基板に照明を当てる照明器と、
前記カメラの焦点を補正する自動焦点器と、
を有する請求項1に記載のレーザ処理装置。 - 前記レーザ部を作動させ、前記基板又は前記基板上のパターンの材料に応じて前記案内部の作動を制御し、前記案内部を通過したレーザビームの波長に応じて前記スキャナ部において使用するスキャナを選択する制御部をさらに備える請求項1から請求項6のうちのいずれか一項に記載のレーザ処理装置。
- 前記制御部は、前記基板上のパターンの微細化度に応じて前記カメラの撮影倍率を調節する請求項6に記載のレーザ処理装置。
- 前記カメラは、前記制御部による前記基板のレビューに際して前記基板に対する撮影倍率を5〜20倍だけ拡大し、前記基板の処理作業に際して前記基板に対する撮影倍率を20〜50倍だけ拡大する請求項8に記載のレーザ処理装置。
- 基板をレーザで処理するレーザ処理方法であって、
レーザビームを発生させる過程と、
前記レーザビームの波長を選択する過程と、
前記基板を撮影し、前記基板に前記レーザビームを照射して処理し、前記基板をモニタリングする過程と、
前記基板の処理に不良が発生すれば、レーザ処理作業を中断する過程と、
を含むレーザ処理方法。 - 前記レーザビームの波長を選択する過程は、
前記基板又は基板上のパターンの材料に応じて前記レーザビームの波長を選択する請求項10に記載のレーザ処理方法。 - 前記基板を撮影する過程は、
前記基板上のパターンの微細化度に応じて撮影倍率を調節する請求項10に記載のレーザ処理方法。 - 前記基板を撮影する過程は、
前記基板に対する作業の種類に応じて撮影倍率を調節する請求項10に記載のレーザ処理方法。 - 前記基板の処理に不良が発生すれば、レーザ処理作業を中断する過程は、
前記基板の位置を調節して再処理する過程を含む請求項10に記載のレーザ処理方法。 - 前記パターンの材料が金属膜であれば、第1の波長レーザビームを選択し、有機膜又は酸化インジウム錫膜であれば、前記第1の波長レーザビームよりも波長が短い第2の波長レーザビームを選択する請求項11に記載のレーザ処理方法。
- 前記基板を処理することは、
前記基板の上に形成されたパターンの不良をリペアすることを含む請求項10から請求項15のうちのいずれか一項に記載のレーザ処理方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140052456A KR101560378B1 (ko) | 2014-04-30 | 2014-04-30 | 레이저 처리장치 및 처리방법 |
KR10-2014-0052456 | 2014-04-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015211982A true JP2015211982A (ja) | 2015-11-26 |
JP6423294B2 JP6423294B2 (ja) | 2018-11-14 |
Family
ID=54399934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015052099A Active JP6423294B2 (ja) | 2014-04-30 | 2015-03-16 | レーザ処理装置及び処理方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6423294B2 (ja) |
KR (1) | KR101560378B1 (ja) |
CN (1) | CN105014245B (ja) |
TW (1) | TWI553981B (ja) |
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2014
- 2014-04-30 KR KR1020140052456A patent/KR101560378B1/ko active IP Right Grant
-
2015
- 2015-03-16 JP JP2015052099A patent/JP6423294B2/ja active Active
- 2015-04-29 CN CN201510210016.XA patent/CN105014245B/zh active Active
- 2015-04-30 TW TW104113807A patent/TWI553981B/zh active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP6423294B2 (ja) | 2018-11-14 |
CN105014245A (zh) | 2015-11-04 |
CN105014245B (zh) | 2018-04-20 |
TWI553981B (zh) | 2016-10-11 |
TW201541771A (zh) | 2015-11-01 |
KR101560378B1 (ko) | 2015-10-20 |
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