JP2009291805A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光源から出射されたレーザビームを所望の形状で被加工物に照射するために配列された複数の微小可動素子を用いて空間変調する空間変調手段と、前記空間変調手段によって前記所望の形状に空間変調されたレーザビームの波長を他の波長に波長変換する非線形光学手段とを備える。
【選択図】図1
Description
すなわち、本発明の一態様によれば、本発明のレーザ加工装置は、レーザ光源から出射されたレーザビームを所望の形状で被加工物に照射するために配列された複数の微小可動素子を用いて空間変調する空間変調手段と、前記空間変調手段によって前記所望の形状に空間変調されたレーザビームの波長を他の波長に波長変換する非線形光学手段とを備えることを特徴とする。
図1は、本発明を適用したレーザ加工装置の構成を示す図である。
ここで、レーザ加工装置は、基板上の欠陥を修正する装置を例に説明する。
画像処理部23は、CCDカメラ12で撮像した欠陥部を含む画像と欠陥のない良品の同じ座標での画像を比較して、欠陥を抽出し、欠陥部分すなわちレーザ光を照射し修正を行う部分を、空間変調素子制御部24に伝える。
なお、主制御PC50には、動作状況、欠陥等の確認を行うためにディスプレイ21が接続されている。
以下に、本レーザ加工装置の動作について説明する。
レーザ制御部22の指示により、レーザビームは、まず光ファイバ3に入射させるための集光レンズを有したカップリングユニット2に入り、カップリングユニット2で集光される。集光されたレーザビームは光ファイバ3に入射する。そして、光ファイバ3から射出した後、空間変調素子6へ投影するための投影レンズを有した投影ユニット4へ入射する。投影ユニット4を出たレーザ光は、レーザ反射ミラー5でレーザビームの方向を変えて空間変調素子6に入射する。空間変調素子6は、空間変調素子制御部24からの指示により欠陥に対応するよう電気信号で各微小ミラー片のON/OFFをすることで2種類の角度で傾く仕組みになっている。微小ミラー片のONの部位の微小ミラー片に入射したレーザビームのみが非線形光学素子8に偏向されるようになっている。
その後、観察用照明用のダイクロイックミラー17を通過し、対物レンズ18へ入射する。対物レンズ18から射出したレーザビームは、レーザ光学系45の結像倍率で縮小され、ガラス基板19上の欠陥部分に照射され欠陥が修正される。
図1の右側は、レーザ照射形状補正機能を実現するコンピュータ、すなわち、主制御PC50の構成を示す図であり、図2は、各微小ミラー片を順次ONする動作を説明するための図であり、図3は、ガラス基板19上に照射されたガイド光を説明するための図である。
2 カップリングユニット
3 光ファイバ
4 投影ユニット
5 レーザ反射ミラー
6 空間変調素子
7 顕微鏡
8 非線形光学素子
9 干渉フィルタ
10 レーザ反射ミラー
11 レンズ
12 CCDカメラ
13 結像レンズ
14 ダイクロイックミラー
15 照明光源
16 結像レンズ
17 ダイクロイックミラー
18 対物レンズ
19 ガラス基板
20 ステージ
21 ディスプレイ
22 レーザ制御部
23 画像処理部
24 空間変調素子制御部
25 ステージ制御部
31 エリア
32 エリア
33 エリア
41 ガイド光照明エリア
42 ビームスプリッタ
43 ガイド光用照明装置
44 観察光学系
45 レーザ光学系
46 ネットワーク
50 主制御PC
Claims (6)
- レーザ光源から出射されたレーザビームを所望の形状で被加工物に照射するために配列された複数の微小可動素子を用いて空間変調する空間変調手段と、
前記空間変調手段によって前記所望の形状に空間変調されたレーザビームの波長を他の波長に波長変換する非線形光学手段と、
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記レーザ光源から出射されるレーザビームは、近赤外領域または可視領域のレーザビームであり、
前記非線形光学手段は、近赤外領域または可視領域のレーザビームを紫外領域のレーザビームへ波長変換する、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記非線形光学手段によって波長変換された後のレーザビームのみを透過する波長選択手段、
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ加工装置。 - 前記空間変調手段によって空間変調されたレーザビームの形状と、前記非線形光学手段によって波長変換されたレーザビームが照明光学系を介して前記被加工物に照射された際の形状とが異なる場合、同一形状となるように、前記空間変調手段によって空間変調されたレーザビームを補正する補正手段、
を備えることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のレーザ加工装置。 - 前記被加工物を観察するための顕微鏡装置、
を備え、
前記空間変調手段は、前記顕微鏡内部の中間結像位置に配置され、
前記非線形光学手段および前記波長選択手段は、前記顕微鏡装置内部であって、前記レーザビームを前記被加工物に結像されるための決像レンズと前記空間変調手段との間に配置される、
ことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のレーザ加工装置。 - 前記空間変調手段は、複数の微小可動素子が縦横方向に配列して構成され、各微小可動素子が所定の2種類の角度の何れかに傾くことによって、前記所望の形状のレーザビームを形成する、
ことを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008146567A JP5199734B2 (ja) | 2008-06-04 | 2008-06-04 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008146567A JP5199734B2 (ja) | 2008-06-04 | 2008-06-04 | レーザ加工装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009291805A5 JP2009291805A5 (ja) | 2012-08-23 |
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