JP2015207630A - プリント回路板 - Google Patents

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Abstract

【課題】実装面積を増加することなく、面外方向の配線で発生するクロストークノイズを低減する。
【解決手段】プリント回路板100は、プリント配線板200と、プリント配線板200に実装された半導体パッケージ300とを備えている。プリント配線板200と半導体パッケージ300とは、複数のはんだボール400で接続されている。プリント配線板200と前記半導体パッケージ300との間には、複数のはんだボール400を覆うアンダーフィル材500が充填されている。アンダーフィル材500は、比誘電率が8.6以上54.4以下である。
【選択図】図1

Description

本発明は、プリント配線板と半導体パッケージとを接続端子で接続してなるプリント回路板に関する。
電子機器の更なる小型化、高機能化を実現するために、プリント配線板においては、配線の高密度化、回路動作の高速化が求められている。プリント配線板の高密度化のために、プリント配線板の面内方向(プリント配線板の表面に対して水平方向)に広がる信号配線(パターン)においては、配線幅及び配線間隙が縮小している。また、プリント配線板の面外方向(プリント配線板の表面に対して垂直方向)の配線であるヴィアに形成されたヴィア導体や、プリント配線板と半導体パッケージ基板とを接続する接続端子(例えば、はんだボール)においては、狭ピッチ化や小径化が進んでいる。
一方、回路動作の高速化のために、プリント回路板を伝搬する電気信号波形においては、信号周期だけでなく、信号の論理レベルの切り替わりに必要な遷移時間も短くなってきている。
このようなプリント配線板の高密度化と回路動作の高速化は、隣接信号からの電磁界結合による信号波形の乱れ、いわゆるクロストークノイズの顕在化というシグナルインテグリティの問題を引き起こす。
一般に、信号波形においては、論理レベルの安定区間において、閾値電圧に対するノイズマージンが規定されている。しかしながら、クロストークノイズの重畳により、ノイズマージンの確保が難しくなってきている。従来、クロストークノイズ対策は面内方向の配線(配線長10[mm]程度)に対して行われてきた。しかし、面外方向の配線であるヴィア導体(信号ヴィア)やはんだボール(配線長2[mm]程度)におけるクロストークノイズがノイズマージンに対して無視できないレベルになっている。
面外方向の配線である信号ヴィア間のクロストークを低減する従来技術として、近接した信号ヴィア間にグラウンド電位のヴィアを配置する方法が提案されている(特許文献1参照)。
特開2005−340247号公報
しかしながら、特許文献1に示された方法を、既に製造上の最小間隔で信号ヴィアを配置した構造に対して適用しようとすると、信号ヴィア同士の間隔を広げる必要があり、実装面積が増加してしまうという問題があった。
また、特許文献1は信号ヴィアにおけるクロストークを低減するための技術であり、はんだボールにおけるクロストークを低減することはできなかった。
そこで、本発明は、実装面積が増加することなく、接続端子間で発生するクロストークノイズを低減することを目的とする。
本発明のプリント回路板は、プリント配線板と、前記プリント配線板に実装された半導体装置と、前記プリント配線板と前記半導体装置とを接続する、互いに間隔をあけて配置された複数の接続端子と、前記プリント配線板と前記半導体装置との間に充填され、前記複数の接続端子を覆うアンダーフィル材と、を備え、前記アンダーフィル材は、比誘電率が8.6以上54.4以下であることを特徴とする。
本発明によれば、接続端子間のクロストークにおいて主な原因であった接続端子間の誘導性結合が、アンダーフィル材による接続端子間の容量性結合により打ち消される。このアンダーフィル材により実装面積が増加することなく、接続端子間、ひいては面外方向の配線間で発生するクロストークノイズを低減することができる。
実施形態に係るプリント回路板の概略構成を模式的に示す断面図である。 実施例1におけるアンダーフィル材の比誘電率と、信号配線に生じるクロストークノイズ電圧の最大変動電圧の絶対値との関係を示すグラフである。 プリント回路板のはんだボール近傍を示す断面図である。 実施例1における高誘電率材料の体積比率に対するアンダーフィル材の比誘電率を示すグラフである。 実施例1及び比較例1におけるクロストーク電圧を示す電圧波形図である。 実施例2におけるアンダーフィル材の比誘電率と、信号配線に生じるクロストークノイズ電圧の最大変動電圧の絶対値との関係を示すグラフである。 実施例2における高誘電率材料の体積比率に対するアンダーフィル材の比誘電率を示すグラフである。 実施例2及び比較例2におけるクロストーク電圧を示す電圧波形図である。 実施例3におけるアンダーフィル材の比誘電率と、信号配線に生じるクロストークノイズ電圧の最大変動電圧の絶対値との関係を示すグラフである。 実施例3における高誘電率材料の体積比率に対するアンダーフィル材の比誘電率を示すグラフである。 実施例3及び比較例3におけるクロストーク電圧を示す電圧波形図である。 比較例のプリント回路板の概略構成を模式的に示す断面図である。 比較例におけるクロストークノイズの発生状況を示すシミュレーション結果のグラフである。
以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態に係るプリント回路板の概略構成を模式的に示す断面図である。プリント回路板100は、マザーボード等のプリント配線板200と、プリント配線板200に実装された半導体装置である半導体パッケージ300と、を備えている。プリント配線板200と半導体パッケージ300(具体的にはパッケージ基板301)とは、接続端子である複数のはんだボール400で接続されている。
半導体パッケージ300は、本実施形態では、BGA(Ball Grid Array)型の半導体パッケージである。半導体パッケージ300は、インターポーザであるパッケージ基板301と、パッケージ基板301に実装された半導体チップ302と、を有している。半導体チップ302は、パッケージ基板301の一対の面(表面)311,312のうち一方の面311に実装されている。
パッケージ基板301の一対の面311,312のうち他方の面312には、複数のパッド320がアレイ状(格子状)に互いに間隔をあけて配列されている。
プリント配線板200の一対の面(表面)211,212のうち一方の面211、つまりパッケージ基板301の面312に対向する側の面211には、パッケージ基板301のパッド320と同じ数及び同じ配列の複数のパッド220が形成されている。そして、パッケージ基板301の各パッド320とプリント配線板200の各パッド220とがはんだボール400でそれぞれ接合されている。
なお、本実施形態では、接続端子が、はんだボール400である場合について説明するがこれに限定するものではない。接続端子が、リフロー工程等の接合工程における加熱により溶融しない例えば銅や金、銀等で形成された導体ボール、又は表面に導体がメッキされた樹脂ボール等であってもよい。その際、これらボールとパッド220,320とははんだで接合される。
ここで、パッケージ基板301は、コア層330とコア層330の両面にビルドアップ層331,332が配置されて構成された、導体層(導体パターンが配置された層)が4層の積層基板である。コア層330は、ガラスエポキシ樹脂(比誘電率4.3)からなる絶縁体360で形成された絶縁体層(誘電体層)である。なお、ビルドアップ層331,332もガラスエポキシ樹脂(比誘電率4.3)で形成された絶縁体層(誘電体層)である。コア層330とビルドアップ層331,332との間、ビルドアップ層331,332の外表面に導体層が配置され、パッケージ基板301は導体層が4層の積層基板となっている。
コア層330には、信号用に貫通ヴィアが形成され、当該貫通ヴィア内にヴィア導体340が形成されている。ビルドアップ層331には、貫通ヴィアにつながるヴィアが形成され、当該ヴィア内にはヴィア導体340に電気的に接続するヴィア導体341が形成されている。ヴィア導体341は、面311に形成された配線パターン(不図示)に接続されている。不図示の配線パターンには、例えばワイヤボンディングやはんだボール等により半導体チップ302の信号端子が電気的に接続されている。
ビルドアップ層332には、貫通ヴィアにつながるヴィアが形成され、当該ヴィア内にはヴィア導体340に電気的に接続されるヴィア導体342が形成されている。ヴィア導体342は、不図示の配線パターンを介して又は直接、パッド320に電気的に接続されている。
なお、パッケージ基板301の構成はこれに限定するものではなく、例えばビルドアップ層のみ或いはコア層のみで構成されていてもよく、面312に複数のパッド320が配置されている構成であればよい。
以上の構成で、プリント回路板100は、半導体チップ302の信号端子に接続され、信号が伝送される面外方向に延びる信号配線600を複数有している。図1では、信号配線(第1の信号配線)600と、信号配線600に隣接する信号配線(第2の信号配線)600とを図示している。半導体チップ302は、信号配線600,600を通じて、プリント配線板200上に実装された他の半導体パッケージ(不図示)の半導体チップ(不図示)と通信(信号の送信または受信)可能となっている。
信号配線600は、ヴィア導体341、ヴィア導体340、ヴィア導体342、パッド320、はんだボール400及びパッド220を有する面外方向に延びる配線であり、これらが直列接続されている。信号配線600は、ヴィア導体341、ヴィア導体340、ヴィア導体342、パッド320、はんだボール400及びパッド220を有する面外方向に延びる配線であり、これらが直列接続されている。
ここで、面外方向とは、パッケージ基板301又はプリント配線板200の表面に対して垂直方向をいい、面内方向とは、パッケージ基板301又はプリント配線板200の表面に対して平行方向をいう。
半導体パッケージ300とプリント配線板200との間、具体的には、パッケージ基板301の面312とプリント配線板200の面211との間には、はんだボール400により、間隙が形成されている。この面312と面211との間には、アンダーフィル材500が充填(注入)されている。これにより、各はんだボール400は、アンダーフィル材500により覆われている。アンダーフィル材500は、母材として、エポキシ樹脂、例えば比誘電率3.8のビスフェノールF型エポキシ樹脂を有している。
まず、比較例を用いて、面外方向の信号配線600におけるクロストークノイズの発生メカニズムについて説明する。図12は、比較例のプリント回路板100Xの概略構成を模式的に示す断面図である。プリント回路板100Xは、図1のプリント回路板100からアンダーフィル材500を取り除いた構造である。
比較例のプリント回路板100Xにおいて、面外方向の配線600にて発生する、単位長さ当たりのクロストークノイズの発生量が、プリント配線板200上での面内方向の配線と比較して大きいことが分かった。
信号配線600に対しては信号を入力しない状態で、信号配線600のヴィア導体341の直前に電気信号を入力すると、信号配線600のパッド220の直後において、起電力、いわゆるクロストークノイズを観測することができる。
図13に信号配線600のパッド220の直後で観測した波形VX1と信号配線600のパッド220の直後で観測した波形VX2を示す。VX2は本来ならば0電位のままだが、クロストークノイズによって負の電位に揺れてしまっている。
このクロストークノイズは、信号配線600と信号配線600との電磁界結合に起因する。電磁界結合によるクロストークノイズは、信号配線600と信号配線600との容量性結合によって電界の影響を受けて発生する成分と、信号配線600と信号配線600との誘導性結合によって磁界の影響を受けて発生する成分とに分類される。
信号配線600に正電位のステップパルス信号が流れた時、電界の影響を受けて、信号配線600に発生するクロストークノイズは、正の振幅を持つパルスとして現れる。一方、磁界の影響を受けて信号配線600に発生するクロストークノイズは、負の振幅を持つパルスとして現れる。
実際には、電界の影響を受けてクロストークノイズが発生する現象と、磁界の影響を受けてクロストークノイズが発生する現象とは同時に起こる。このため、最終的なクロストークノイズは、電界の影響を受けて発生する正の振幅と、磁界の影響を受けて発生する負の振幅とを足し合わせて、それぞれの影響を相殺した振幅となる。
電界の影響を受けて発生する正の振幅を持ったクロストークノイズは、信号配線600と信号配線600との間の容量性結合の大きさに比例する。また、容量性結合は、信号導体周囲、即ち信号配線600と信号配線600との間の比誘電率に相関を持つ。
磁界の影響を受けて発生する負の振幅を持ったクロストークノイズは、信号配線600と信号配線600との間の誘導性結合の大きさに比例する。また、誘導性結合は、信号導体周囲、即ち信号配線600と信号配線600との間の比透磁率に相関を持つ。
また、容量性結合及び誘導性結合は、信号導体周囲のグラウンド、他の信号導体の配置状況と信号導体の幅に相関を持つ。
一般に、電子機器に搭載されるプリント配線板上の配線に対しては、グランドプレーンと呼ばれる帰還電流が流れる面導体が内層に存在する。しかしながら、ヴィア導体340及びはんだボール400においては、このような帰還電流が流れる面導体は存在せず、帰還電流が流れるグラウンド導体に関しても信号と同様にヴィア導体340またははんだボール400として用意される。
パッケージ基板301のパッド220に接合されるはんだボール(接続端子)400について、信号端子となる1つのはんだボール400に対してパッケージ基板301のヴィア導体340が1つ対応して設けられている。また、信号端子となるはんだボール400(パッド320)の配置を優先し、グラウンド端子となるはんだボール400(パッド320)の数が制限される。そのため、信号端子となるはんだボール400(パッド320)に対してグラウンド端子となるはんだボール400(パッド320)の数は少なく配置される。
よって、1つの信号配線600に対して他の信号配線600との結合が、グラウンド導体との結合よりも強くなりやすい。特に、誘導性結合に関しては、グラウンド導体の有無に左右されやすく、グラウンド導体が存在しない方向への結合は、信号導体幅の約5倍の距離まで影響する。
ヴィア導体340,340においては、周囲が比誘電率4.3のガラスエポキシ樹脂で覆われている。このため、ヴィア導体340,340同士のクロストークノイズは、容量性結合と誘導性結合の足し合わせとなる。
ヴィア導体340,340の構造に起因する誘導性結合によるクロストークノイズは、容量性結合によって発生するクロストークよりも大きいため、ヴィア導体340,340で発生するクロストークノイズは誘導性結合が支配的である。
一方、はんだボール400,400においては、周囲が比誘電率1の空気である。このため、容量性結合がヴィア導体340,340と比較して弱くなる一方、誘導性結合は同程度発生するため、誘導性結合が支配的なクロストークノイズが発生する。
パッケージ基板301とプリント配線板200との接続信頼性を向上するために、アンダーフィル材と呼ばれる樹脂をパッケージ基板301とプリント配線板200との間に注入することがあった。この場合は、はんだボール400の周囲もアンダーフィル材となるが、アンダーフィル材は一般にエポキシ樹脂によって構成されており、比誘電率は3〜5程度であった。このような比誘電率では、面外方向の誘導性結合によるクロストークノイズを十分に低減することはできなかった。このため、信号配線600,信号配線600間、特にはんだボール400,400間においては、誘導性結合が支配的なクロストークノイズが発生していた。
以上のことから、面外方向の信号配線600,600におけるクロストークノイズの発生は、ヴィア導体340,340及びはんだボール400,400の構造に起因する誘導性結合と容量性結合のアンバランスによるものであった。特に、はんだボール400,400間の誘導性結合により、強い負の振幅を持つクロストークノイズが発生していた。
そこで、本実施形態では、はんだボール400,400間の誘導性結合に起因するクロストークノイズの負の振幅を相殺するために、パッケージ基板301とプリント配線板200との間にアンダーフィル材500を充填したものである。
アンダーフィル材500は、空気や一般的に用いられているアンダーフィル材(比誘電率3〜5)よりも比誘電率が高いものである。
このため、実装面積を増加させることなく、はんだボール400,400間で発生する誘導性結合を打ち消す容量性結合を作り出し、信号配線600,600間で発生するクロストークノイズを低減でき、ノイズマージンを確保することができる。
なお、アンダーフィル材500の比誘電率が高すぎると、正の振幅のクロストークノイズが高くなりすぎるため、アンダーフィル材500の比誘電率には、適正な範囲がある。以下、その範囲について具体的に説明する。
[実施例1]
図1に示すプリント回路板100について、シミュレーションを行った結果について説明する。まず、シミュレーションを行った条件について説明する。パッケージ基板301のヴィア導体340の高さ(長さ)H1は0.6[mm]、はんだボール400,400のピッチDは0.5[mm]、はんだボール400の高さH2は0.3[mm]とした。ヴィア導体340の周囲の絶縁体360については、ガラスエポキシ樹脂(比誘電率4.3)であり、伝送される信号のスルーレートは7.5[V/nsec]とした。
面外方向の信号配線600,600におけるクロストークノイズの低減法として、はんだボール400の間及び周囲に対して一般に使用されるアンダーフィル材(比誘電率3〜5)よりも高誘電率のアンダーフィル材500を充填した。アンダーフィル材500により、容量性結合による正の振幅を持つクロストークノイズをはんだボール400,400間で増加させている。これにより、ヴィア導体340,340及びはんだボール400,400における誘導性結合による負の振幅を持つクロストークノイズを相殺する。
図2は、実施例1におけるアンダーフィル材500の比誘電率と、信号配線600に生じるクロストークノイズ電圧の最大変動電圧の絶対値との関係のシミュレーション結果を示すグラフである。
実施例1においては、静電磁界解析ツールとしてMentor社のXFXを使用してヴィア導体340及びはんだボール400の信号伝送方向断面の解析を行い、単位長さあたりの抵抗、容量、インダクタンスをモデル化した。そして、回路シミュレータHSPICEにて作成したモデルに対してステップパルスを注入し、クロストークノイズ電圧のシミュレーションを行った。
図2より、アンダーフィル材500の比誘電率を高めるほど、容量性結合によるクロストークが増加することが分かった。この容量性結合によるクロストークにより、誘導性結合によるクロストークを相殺することができる。
比誘電率が30において、ヴィア導体340及びはんだボール400で発生している誘導性結合による負の振幅を持つクロストークノイズは全て容量性結合による正の振幅を持つクロストークによって相殺される。
アンダーフィル材500が比誘電率30よりも大きくなると、ヴィア導体340及びはんだボール400で発生する誘導性結合による負の振幅を持つクロストークノイズと相殺してなお、容量性による正の振幅を持つクロストークノイズが残る。このため、正の振幅を持つクロストークノイズが顕著に表れるようになる。
図3は、プリント回路板100のはんだボール400近傍を示す断面図である。図3に示すように、アンダーフィル材500は、母材501と、母材501に混合され、母材501に比して高誘電率の高誘電率材料502と、を有する。つまり、アンダーフィル材500の比誘電率が一般に使用されるアンダーフィル材(比誘電率3〜5)に対して高い組成は、母材501に対して高誘電率材料502をフィラーとして混合することによって得られる。
一例として、母材501は、エポキシ樹脂で構成され、高誘電率材料502は、チタン酸バリウム、酸化チタン、チタン酸ストロンチウム及びジルコン酸カルシウムのうち少なくとも1つを含んで構成されている。
一般に使用されるアンダーフィル材の比誘電率の最大値は5.0程度である。図2より、比誘電率5.0のときのクロストーク電圧は35.1[mV]であり、ノイズ低減効果が10%以上、すなわちクロストーク電圧が31.6[mV]以下となるアンダーフィル材500の比誘電率の範囲R11は、7.8以上54.4以下である。
また、一般に使用されるアンダーフィル材に対してノイズ低減効果が20%以上、すなわち28.1[mV]以下となるアンダーフィル材500の比誘電率の範囲R12は、図2に示すように、10.5以上51.7以下である。
実施例1の構造における最もノイズ低減効果の高いアンダーフィル材500の比誘電率は、図2に示すように、30である。
図4は、アンダーフィル材500における高誘電率材料502の体積比率に対するアンダーフィル材500の比誘電率を示すグラフである。図4には、母材501をエポキシ樹脂(比誘電率3)とし、母材501に高誘電率材料502として、チタン酸バリウム・酸化チタン・チタン酸ストロンチウム・ジルコン酸カルシウム単体を混合した場合を示している。
一般に、混合材料の比誘電率は、混合材料に含まれるそれぞれの物質の比誘電率と体積比率によって決定される。このため、アンダーフィル材500の比誘電率の範囲R11(7.8以上54.4以下)を実現する組成の一例は、図4の結果から、以下の通りであった。このとき、母材501をエポキシ樹脂(比誘電率3)とし、混合する高誘電率材料502を、チタン酸バリウム・酸化チタン・チタン酸ストロンチウム・ジルコン酸カルシウムのうちいずれか1つとした。
・チタン酸バリウムの体積比率が0.4%以上4.3%以下
・酸化チタンの体積比率が2.7%以上28.6%以下
・チタン酸ストロンチウムの体積比率が1.6%以上17.3%以下
・ジルコン酸カルシウムの体積比率が17.8%以上
また、更なるノイズ低減効果(一般に使用されるアンダーフィルより20%以上ノイズ低減)があるアンダーフィル材500の比誘電率の範囲R12(10.5以上51.7以下)を実現する組成の一例は以下の通りであった。このとき、母材501をエポキシ樹脂(比誘電率3)とし、混合する高誘電率材料502を、チタン酸バリウム・酸化チタン・チタン酸ストロンチウム・ジルコン酸カルシウムのうちいずれか1つとした。
・チタン酸バリウムの体積比率が0.6%以上4.1%以下
・酸化チタンの体積比率が4.2%以上27.1%以下
・チタン酸ストロンチウムの体積比率が2.5%以上16.4%以下
・ジルコン酸カルシウムの体積比率が27.8%以上
図4より、実施例1の構造における最もノイズ低減効果の高いアンダーフィル材500(比誘電率30)の組成は、組成1〜3が考えられる。
組成1:
・チタン酸バリウム(比誘電率1200) 2.3体積%
・エポキシ樹脂(比誘電率3) 96.7体積%
・カーボンブラック 1体積%以下
組成2:
・酸化チタン(比誘電率183) 15体積%
・エポキシ樹脂(比誘電率3) 84体積%
・カーボンブラック 1体積%以下
組成3:
・チタン酸ストロンチウム(比誘電率300) 9.1体積%
・エポキシ樹脂(比誘電率3) 89.9体積%
・カーボンブラック 1体積%以下
これら組成1〜3に代表される比誘電率30のアンダーフィル材500を、はんだボール400の間及び周囲に充填(注入)することで、ヴィア導体340及びはんだボール400で発生するクロストークノイズを最も低減することができる。
以上により、はんだボール400,400間の誘導性結合により発生する負の電圧のクロストークノイズが、アンダーフィル材500によるはんだボール400,400間の容量性結合より発生する正の電圧のクロストークノイズにより打ち消される。よって、このアンダーフィル材500により実装面積が増加することなく、はんだボール400,400間、ひいては面外方向の配線600,600間で発生するクロストークノイズを低減することができる。
また、母材501として、エポキシ樹脂を主成分とすることで、はんだボール400とパッド220,320との接合を効果的に補強することができる。
特に、高誘電率材料502がチタン酸バリウムを主成分とすることで、アンダーフィル材500に対する高誘電率材料502の体積比率を小さくすることができるので、母材501による接合の補強の効果が低減するのを抑制することができる。
次に、実施例1で使用されるアンダーフィル材500の比誘電率を30、比較例1として、アンダーフィル材の比誘電率を5として、シミュレーションを行った。
実施例1のプリント回路板100と比較例1のプリント回路板において、信号配線600に対してスルーレート7.5[V/nsec]、電圧1.5[V]のステップパルスをパッケージ基板301のヴィア導体341直前に印加した。このときの信号配線600におけるはんだボール400直後のプリント配線板における配線上でのクロストーク電圧を図5に示した。図5は、実施例1及び比較例1におけるクロストーク電圧を示す電圧波形図である。実線V11は実施例1におけるクロストーク電圧であり、点線V12は比較例1におけるクロストーク電圧である。比較例1においては、35.1[mV]のクロストーク電圧が発生するが、比誘電率30のアンダーフィル材500を注入した実施例1においては7.3[mV]にクロストーク電圧を低減することができている。
なお、実施例1においては、信号配線600と信号配線600についてのクロストークについて述べたが、面外方向の他の配線で発生するクロストークノイズについても低減できることは明らかである。
[実施例2]
次に、実施例2として、図1に示すプリント回路板100について、上記実施例1に対してはんだボール400,400間のピッチ、及びはんだボール400の高さを変えた場合についてのシミュレーション結果について説明する。
実施例2におけるプリント回路板100において、パッケージ基板301のヴィア導体340の長さH1は0.6[mm]、BGAのはんだボール400のピッチDは0.4[mm]、はんだボール400の高さH2は0.24[mm]とした。
図6は、実施例2におけるアンダーフィル材500の比誘電率と、信号配線600に生じるクロストークノイズ電圧の最大変動電圧の絶対値のシミュレーション結果を示すグラフである。当該シミュレーションは、実施例1と同様のシミュレーションとした。
図6より、一般に使用されるアンダーフィル材の比誘電率の最大値(比誘電率5)におけるクロストークノイズ電圧は、32.9[mV]である。このクロストークノイズ電圧32.9[mV]に対するノイズ低減効果が10%以上、即ちクロストークノイズ電圧が29.6[mV]以下となるアンダーフィル材500の比誘電率の範囲R21は、8.2以上62.8以下である。
また、図6より、一般に使用されるアンダーフィル材に対してノイズ低減効果が20%以上、すなわちクロストークノイズ電圧が26.3[mV]となるアンダーフィル材500の比誘電率の範囲R22は、11.1以上59.6以下である。
また、図6より、実施例2における最もノイズ低減効果の高いアンダーフィル材500の比誘電率は35であった。
図7は、実施例1同様に実施例2の形態におけるアンダーフィル材500における高誘電率材料502の体積比率に対するアンダーフィル材500の比誘電率を示すグラフである。図7には、母材501をエポキシ樹脂(比誘電率3)とし、母材501に高誘電率材料502として、チタン酸バリウム・酸化チタン・チタン酸ストロンチウム・ジルコン酸カルシウム単体を混合した場合を示している。
アンダーフィル材500の比誘電率の範囲R21(8.2以上62.8以下)を実現する組成の一例は、図7の結果から、以下の通りであった。このとき、母材501をエポキシ樹脂(比誘電率3)とし、混合する高誘電率材料502を、チタン酸バリウム・酸化チタン・チタン酸ストロンチウム・ジルコン酸カルシウムのうちいずれか1つとした。
・チタン酸バリウムの体積比率が0.4%以上5%以下
・酸化チタンの体積比率が2.9%以上33.2%以下
・チタン酸ストロンチウムの体積比率が1.8%以上20.1%以下
・ジルコン酸カルシウムの体積比率が19.3%以上
また、更なるノイズ低減効果(一般に使用されるアンダーフィルより20%以上ノイズ低減)があるアンダーフィル材500の比誘電率の範囲R22(11.1以上59.6以下)を実現する組成の一例は以下の通りであった。このとき、母材501をエポキシ樹脂(比誘電率3)とし、混合する高誘電率材料502を、チタン酸バリウム・酸化チタン・チタン酸ストロンチウム・ジルコン酸カルシウムのうちいずれか1つとした。
・チタン酸バリウムの体積比率が0.7%以上4.7%以下
・酸化チタンの体積比率が4.5%以上31.4%以下
・チタン酸ストロンチウムの体積比率が2.7%以上19.1%以下
・ジルコン酸カルシウムの体積比率が30%以上
図7より、実施例2の構造における最もノイズ低減効果の高い(比誘電率が35の)アンダーフィル材500の組成は、以下の組成1〜3が考えられる。
組成1:
・チタン酸バリウム(比誘電率1200) 2.7体積%
・エポキシ樹脂(比誘電率3) 96.3体積%
・カーボンブラック 1体積%以下
組成2:
・酸化チタン(比誘電率183) 17.8体積%
・エポキシ樹脂(比誘電率3) 81.2体積%
・カーボンブラック 1体積%以下
組成3:
・チタン酸ストロンチウム(比誘電率300) 10.8体積%
・エポキシ樹脂(比誘電率3) 81.2体積%
・カーボンブラック 1体積%以下
これら組成1〜3に代表される比誘電率35のアンダーフィル材500をはんだボール400の間及び周囲に注入することで、ヴィア導体340及びはんだボール400で発生するクロストークノイズを最も低減することができる。
以上により、はんだボール400,400間の誘導性結合により発生する負の電圧のクロストークノイズが、アンダーフィル材500によるはんだボール400,400間の容量性結合より発生する正の電圧のクロストークノイズにより打ち消される。よって、このアンダーフィル材500により実装面積が増加することなく、はんだボール400,400間、ひいては面外方向の配線600,600間で発生するクロストークノイズを低減することができる。
また、母材501として、エポキシ樹脂を主成分とすることで、はんだボール400とパッド220,320との接合を効果的に補強することができる。
特に、高誘電率材料502がチタン酸バリウムを主成分とすることで、アンダーフィル材500に対する高誘電率材料502の体積比率を小さくすることができるので、母材501による接合の補強の効果が低減するのを抑制することができる。
次に、実施例2で使用されるアンダーフィル材500の比誘電率を35、比較例2として、アンダーフィル材の比誘電率を5として、シミュレーションを行った。
実施例2のプリント回路板100と比較例2のプリント回路板において、信号配線600に対してスルーレート7.5[V/nsec]、電圧1.5[V]のステップパルスをパッケージ基板301のヴィア導体341直前に印加した。このときの信号配線600におけるはんだボール400直後のプリント配線板における配線上でのクロストーク電圧を図7に示した。図8は、実施例2及び比較例2におけるクロストーク電圧を示す電圧波形図である。実線V21は実施例2におけるクロストーク電圧であり、点線V22は比較例2におけるクロストーク電圧である。比較例2においては、32.9[mV]のクロストーク電圧が発生するが、比誘電率35のアンダーフィル材500を注入した実施例2においては5.7[mV]にクロストーク電圧を低減することができている。
なお、実施例2においては、信号配線600と信号配線600についてのクロストークについて述べたが、面外方向の他の配線で発生するクロストークノイズについても低減できることは明らかである。
[実施例3]
次に、実施例3として、図1に示すプリント回路板100について、上記実施例1,2に対してはんだボール400,400間のピッチ、及びはんだボール400の高さを変えた場合についてのシミュレーション結果について説明する。
実施例3におけるプリント回路板100において、パッケージ基板301のヴィア導体340の長さH1は0.6[mm]、BGAのはんだボール400のピッチDは0.3[mm]、はんだボール400の高さH2は0.18[mm]とした。
図9は、実施例3におけるアンダーフィル材500の比誘電率と、信号配線600に生じるクロストークノイズ電圧の最大変動電圧の絶対値のシミュレーション結果を示すグラフである。当該シミュレーションは、実施例1と同様のシミュレーションとした。
図9より、一般に使用されるアンダーフィル材の比誘電率の最大値(比誘電率5)に対してノイズ低減効果が10%以上となるアンダーフィル材500の比誘電率の範囲R31は、8.6以上73.9以下である。
また、図9より、一般に使用されるアンダーフィル材に対してノイズ低減効果が20%以上となるアンダーフィル材500の比誘電率の範囲R32は、12.1以上70.1以下である。
また、図9より、実施例3における最もノイズ低減効果の高いアンダーフィル材500の比誘電率は41であった。
図10は、実施例1同様に実施例3の形態におけるアンダーフィル材500における高誘電率材料502の体積比率に対するアンダーフィル材500の比誘電率を示すグラフである。図10には、母材501をエポキシ樹脂(比誘電率3)とし、母材501に高誘電率材料502として、チタン酸バリウム・酸化チタン・チタン酸ストロンチウム・ジルコン酸カルシウム単体を混合した場合を示している。
アンダーフィル材500の比誘電率の範囲R31(8.6以上73.9以下)を実現する組成の一例は、図10の結果から、以下の通りであった。このとき、母材501をエポキシ樹脂(比誘電率3)とし、混合する高誘電率材料502を、チタン酸バリウム・酸化チタン・チタン酸ストロンチウム・ジルコン酸カルシウムのうちいずれか1つとした。
・チタン酸バリウムの体積比率が0.5%以上5。9%以下
・酸化チタンの体積比率が3.1%以上39.4%以下
・チタン酸ストロンチウムの体積比率が1.9%以上23.9%以下
・ジルコン酸カルシウムの体積比率が20.7%以上
また、更なるノイズ低減効果(一般に使用されるアンダーフィルより20%以上ノイズ低減)があるアンダーフィル材500の比誘電率の範囲R32(12.1以上70.1以下)を実現する組成の一例は以下の通りであった。このとき、母材501をエポキシ樹脂(比誘電率3)とし、混合する高誘電率材料502を、チタン酸バリウム・酸化チタン・チタン酸ストロンチウム・ジルコン酸カルシウムのうちいずれか1つとした。
・チタン酸バリウムの体積比率が0.8%以上5.6%以下
・酸化チタンの体積比率が5.1%以上37.3%以下
・チタン酸ストロンチウムの体積比率が3.1%以上22.6%以下
・ジルコン酸カルシウムの体積比率が33.7%以上
図10より、実施例3の構造における最もノイズ低減効果の高い(比誘電率28.5の)アンダーフィル材500の組成は、以下の組成1〜3が考えられる。
組成1:
・チタン酸バリウム(比誘電率1200) 3.2体積%
・エポキシ樹脂(比誘電率3) 95.8体積%
・カーボンブラック 1体積%以下
組成2:
・酸化チタン(比誘電率183) 21.1体積%
・エポキシ樹脂(比誘電率3) 77.9体積%
・カーボンブラック 1体積%以下
組成3:
・チタン酸ストロンチウム(比誘電率300) 12.8体積%
・エポキシ樹脂(比誘電率3) 86.2体積%
・カーボンブラック 1体積%以下
これら組成1〜3に代表される比誘電率41のアンダーフィル材500をはんだボール400の間及び周囲に注入することで、ヴィア導体340及びはんだボール400で発生するクロストークノイズを最も低減することができる。
以上により、はんだボール400,400間の誘導性結合により発生する負の電圧のクロストークノイズが、アンダーフィル材500によるはんだボール400,400間の容量性結合より発生する正の電圧のクロストークノイズにより打ち消される。よって、このアンダーフィル材500により実装面積が増加することなく、はんだボール400,400間、ひいては面外方向の配線600,600間で発生するクロストークノイズを低減することができる。
また、母材501として、エポキシ樹脂を主成分とすることで、はんだボール400とパッド220,320との接合を効果的に補強することができる。
特に、高誘電率材料502がチタン酸バリウムを主成分とすることで、アンダーフィル材500に対する高誘電率材料502の体積比率を小さくすることができるので、母材501による接合の補強の効果が低減するのを抑制することができる。
次に、実施例3で使用されるアンダーフィル材500の比誘電率を41、比較例3として、アンダーフィル材の比誘電率を5として、シミュレーションを行った。
実施例3のプリント回路板100と比較例3のプリント回路板において、信号配線600に対してスルーレート7.5[V/nsec]、電圧1.5[V]のステップパルスをパッケージ基板301のヴィア導体341直前に印加した。このときの信号配線600におけるはんだボール400直後のプリント配線板における配線上でのクロストーク電圧を図11に示した。図11は、実施例3及び比較例3におけるクロストーク電圧を示す電圧波形図である。実線V31は実施例3におけるクロストーク電圧であり、点線V32は比較例3におけるクロストーク電圧である。比較例3においては、29.3[mV]のクロストーク電圧が発生するが、比誘電率41のアンダーフィル材を注入した実施例3においては4.1[mV]にクロストーク電圧を低減することができている。
なお、実施例3においては、信号配線600と信号配線600についてのクロストークについて述べたが、面外方向の他の配線で発生するクロストークノイズについても低減できることは明らかである。
以上、実施例1から実施例3までについて述べたが、まとめると以下のようになる。BGAの半田ボール400のピッチDが0.3[mm]〜0.5[mm]とする。共通して一般に使用されるアンダーフィル材の比誘電率の最大値(比誘電率5)に対してノイズ低減効果が10%以上となるアンダーフィル材500の比誘電率の範囲は、8.6以上54.4以下である。また、共通して一般に使用されるアンダーフィル材の比誘電率の最大値(比誘電率5)に対してノイズ低減効果が20%以上となるアンダーフィル材500の比誘電率の範囲は、12.1以上51.7以下である。
本発明は、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で多くの変形が可能である。
上記実施形態及び実施例では、半導体装置が、BGA型の半導体パッケージである場合について説明したが、これに限定するものではなく、例えばLGA(Land Grid Array)型の半導体パッケージであってもよい。
100…プリント回路板、200…プリント配線板、300…半導体パッケージ(半導体装置)、400…はんだボール(接続端子)、500…アンダーフィル材、501…母材、502…高誘電率材料

Claims (6)

  1. プリント配線板と、
    前記プリント配線板に実装された半導体装置と、
    前記プリント配線板と前記半導体装置とを接続する、互いに間隔をあけて配置された複数の接続端子と、
    前記プリント配線板と前記半導体装置との間に充填され、前記複数の接続端子を覆うアンダーフィル材と、を備え、
    前記アンダーフィル材は、比誘電率が8.6以上54.4以下であることを特徴とするプリント回路板。
  2. 前記アンダーフィル材は、比誘電率が12.1以上51.7以下であることを特徴とする請求項1に記載のプリント回路板。
  3. 前記アンダーフィル材は、母材と、前記母材に混合され、前記母材に比して高誘電率の高誘電率材料と、を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のプリント回路板。
  4. 前記高誘電率材料は、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、酸化チタン及びジルコン酸カルシウムのうち少なくとも1つを含んでいることを特徴とする請求項3に記載のプリント回路板。
  5. 前記高誘電率材料は、チタン酸バリウムを主成分とすることを特徴とする請求項4に記載のプリント回路板。
  6. 前記母材が、エポキシ樹脂を主成分とすることを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載のプリント回路板。
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