JP2015207351A - 多極子レンズ、収差補正装置、および電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
1つは、上記多極子レンズを含む収差補正装置、および電子顕微鏡を提供することにある。
ヨークと、
前記ヨークに磁気的に接続された基部、および前記基部に磁気的に接続された先端部を有する極子と、
を備えた構造体を含み、
前記構造体は複数積層され、
前記構造体の積層方向に隣り合う前記先端部の間には、非磁性体からなる磁場分離部が設けられている。
前記磁場分離部は、導電性を有していてもよい。
前記先端部に電圧を印加するための端子を含んでいてもよい。
前記基部と前記先端部とは、離間していてもよい。
前記積層方向に隣り合う前記極子が発生させる電場の強度は等しく、前記積層方向に隣り合う前記極子が発生させる磁場の強度は異なっていてもよい。
前記磁場分離部は、前記積層方向に隣り合う前記先端部と接していてもよい。
前記積層方向に隣り合う前記基部の間には、非磁性体からなる第1支持部が設けられていてもよい。
前記積層方向に隣り合う前記ヨークの間には、非磁性体からなる第2支持部が設けられていてもよい。
前記基部に設けられた第1コイルと、
前記基部に設けられ、前記第1コイルよりも巻き数が少ない第2コイルと、
を含んでいてもよい。
本発明に係る多極子レンズを含む。
前記多極子レンズは、色収差を打ち消すための電磁場を発生させてもよい。
本発明に係る収差補正装置を含む。
前記基部と前記先端部との間には、真空隔壁が配置されていてもよい。
まず、本実施形態に係る多極子レンズについて、図面を参照しながら説明する。図1は、多極子レンズ100を模式的に示す平面図である。図2は、多極子レンズ100を模式的に示す断面図である。図3は、多極子レンズ100の極子12a,12b,12cを模式的に示す斜視図である。図4は、多極子レンズ100を模式的に示す一部切欠き斜視断面図である。なお、図2は、図1のII−II線断面図である。また、図1および図2には、互いに直交する軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
支持部40,42と、を含む。
のため、第2構造体10bを構成する各部材12b,14b,16b,18bの詳細な説明を省略する。
部13aと第2構造体10bの先端部13bとの間は電気的に接続される。同様に、磁場分離部22によって、第2構造体10bの先端部13bと第3構造体10cの先端部13cとの間は電気的に接続される。磁場分離部20,22の材質は、例えば、銅(Cu)、ステンレス鋼(SUS)等である。磁場分離部20,22の厚さd(Z軸方向の大きさ、図2参照)は、例えば、1mm以上3mm以下程度である。
10b,10cの積層方向に隣り合う先端部13bと先端部13cとを接触させた場合に、多極子が発生させる静磁場を模式的に示す図である。なお、図5および図6において、矢印Bは、静磁場の大きさを表している。
2.1. 色収差補正装置の構成
次に、本実施形態に係る色収差補正装置について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る色収差補正装置は、電子顕微鏡用の色収差補正装置である。ここで、電子顕微鏡とは、観察対象に電子(電子線)を当てて拡大する顕微鏡であり、例えば、透過電子顕微鏡(TEM)、走査型透過電子顕微鏡(STEM)、走査電子顕微鏡(SEM)等である。
る。
10bの構成は、図12に示す第1部分110aの構成と同様である。すなわち、第1多極子110の第2部分110bは、光軸OAの周囲に配列された、四極の電極112a〜112dと、四極の磁極114a〜114dと、を有している。
、コンビネーションアベレーションにより電子線に対して凹レンズ作用を生じさせる。すなわち、第3部分110cは、電子線EBに対する凹レンズ作用を有している。
2多極子120において、電子線EBは、第1部分120aに入射し、第2部分120bを通って第3部分120cから射出する。第2多極子120の3つの部分120a,120b,120cの各々は、電場四極子場と磁場四極子場とを重畳して電磁場重畳の四極子場を発生させる。第2多極子120の3つの部分120a,120b,120cが発生させる電磁場重畳の四極子場によって、第2の電磁場が形成される。すなわち、第2の電磁場は、光軸OAに沿って並ぶ各部分120a,120b,120cがつくる電磁場重畳の四極子場によって構成されている。
体的には、第1部分120aは、多極子場のプライマリー項以外の高次項による場によってコンビネーションアベレーションが発生する厚みを有している。そのため、第1部分120aでは、コンビネーションアベレーションにより負の色収差が発生する。また、第1部分120aは、コンビネーションアベレーションにより電子線に対して凹レンズ作用を生じさせる。すなわち、第1部分120aは、電子線EBに対する凹レンズ作用を有している。
される(FB<FE)。これにより、第3部分120cは、第1部分120aと同様に、電子線EBに二回非点成分を与え、軌道を変化させる。より具体的には、第3部分120cは、電子線EBのX軌道EBxに二回非点の発散方向の成分を与え、電子線EBのY軌道EByに二回非点の収束方向の成分を与える。これにより、第2多極子120から射出される電子線EBの二回非点成分をなくす(低減する)ことができる。第2多極子120の第3部分120cが発生させる電磁場重畳の四極子場は、第1多極子110の第3部分110cが発生させる電磁場重畳の四極子場を光軸OAまわりに90°回転させた場である。
転送レンズ130は、図示の例では、3つのレンズ130a,130b,130cで構成されている。転送レンズ130は、例えば、転送倍率1:1のレンズである。転送レンズ130は、第1多極子110において形成された逆空間像を、第2多極子120に転送する。転送レンズ130は、例えば、第1多極子110の中心を第2多極子120の中心に完全転送させる配置からずらし、第2多極子120の出口(射出面)で二回非点成分が無いように配置される。なお、図示はしないが、転送レンズ130が一対(2つ)のレンズで構成されてもよい。
次に、本実施形態に係る色収差補正装置1000の動作について説明する。図16は、色収差補正装置1000の第1多極子110内および第2多極子120内の電子線の軌道を示す模式図である。図16において、それぞれの円は、角度ごと(10mradごと)の電子線の軌道を示している。以下、図11および図16を参照しながら説明する。
次に、電子線の進行方向に対して厚みを持った四極子場のコンビネーションアベレーションにより、凹レンズ効果が発生する原理、および第2多極子120で色二回非点収差を相殺できる原理について説明する。
ーションにより、凹レンズ効果を発生させることができる。また、第1多極子110の第2部分110bは、電子線の進行方向に対して厚みを持った四極子場のコンビネーションアベレーションにより、凸レンズ効果を発生させることができる。
よって、第1の静磁場および第2の静磁場を発生させることができる。これにより、色収差を補正することができる。
次に、本実施形態に係る色収差補正装置の変形例について、図面を参照しながら説明する。
まず、第1変形例について説明する。図17は、第1変形例に係る色収差補正装置2000の光学系を示す図である。図18は、色収差補正装置2000の第1多極子110および第2多極子120について説明するための図である。なお、図18(A)は、色収差補正装置2000の構成を説明するための図である。図18(A)では、電子線EBのX軸方向の典型的なビーム軌道としてX軌道EBxを示し、電子線EBのY軸方向の典型的なビーム軌道としてY軌道EByを示している。図18(B)は、多極子110,120の各部分110a,110b,110c,120a,120b,120cにおける二回非点成分を示す図である。図18(C)は、多極子110,120の各部分110a,110b,110c,120a,120b,120cで発生するレンズ効果を示す図である。図18(D)は、第1多極子110および第2多極子120で発生する色二回非点成分を示す図である。
次に、第2変形例について説明する。図19は、第2変形例に係る色収差補正装置3000の光学系を示す図である。以下、色収差補正装置3000において、上述した色収差補正装置1000の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
称の電場を重畳させる第3多極子3010と、第2多極子120が発生させる第2の電磁場に、四回対称の電場を重畳させる第4多極子3020と、を含む。これにより、色収差補正装置3000では、色収差に加えて、球面収差を補正することができる。
次に、第3変形例について説明する。図20は、第3変形例に係る色収差補正装置4000の光学系を示す図である。以下、色収差補正装置4000において、上述した色収差補正装置1000の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
補正に加えて、球面収差を補正することができる。
次に、第4変形例について説明する。図21は、第4変形例に係る電子顕微鏡300の構成を説明するための図である。以下、電子顕微鏡300において、上述した電子顕微鏡200の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
Claims (13)
- ヨークと、
前記ヨークに磁気的に接続された基部、および前記基部に磁気的に接続された先端部を有する極子と、
を備えた構造体を含み、
前記構造体は複数積層され、
前記構造体の積層方向に隣り合う前記先端部の間には、非磁性体からなる磁場分離部が設けられている、多極子レンズ。 - 請求項1において、
前記磁場分離部は、導電性を有している、多極子レンズ。 - 請求項1または2において、
前記先端部に電圧を印加するための端子を含む、多極子レンズ。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記基部と前記先端部とは、離間している、多極子レンズ。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記積層方向に隣り合う前記極子が発生させる電場の強度は等しく、前記積層方向に隣り合う前記極子が発生させる磁場の強度は異なっている、多極子レンズ。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記磁場分離部は、前記積層方向に隣り合う前記先端部と接している、多極子レンズ。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記積層方向に隣り合う前記基部の間には、非磁性体からなる第1支持部が設けられている、多極子レンズ。 - 請求項1ないし7のいずれか1項において、
前記積層方向に隣り合う前記ヨークの間には、非磁性体からなる第2支持部が設けられている、多極子レンズ。 - 請求項1ないし8のいずれか1項において、
前記基部に設けられた第1コイルと、
前記基部に設けられ、前記第1コイルよりも巻き数が少ない第2コイルと、
を含む、多極子レンズ。 - 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の多極子レンズを含む、収差補正装置。
- 請求項10において、
前記多極子レンズは、色収差を打ち消すための電磁場を発生させる、収差補正装置。 - 請求項10または11に記載の収差補正装置を含む、電子顕微鏡。
- 請求項12において、
前記基部と前記先端部との間には、真空隔壁が配置されている、電子顕微鏡。
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