JP2015200910A - 投影露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
これにより、移動手段による移動量で基板搬送手段による位置ずれを修正することができる。
この方法により正確に遮光位置に遮光手段を移動させることができる。
図1は、投影露光装置100の概略側面図である。
投影露光装置100は、大別して、紫外線を含む波長域の光束を照射する光源10と、光源10からの光束を集光する照明光学系30と、フォトマスクMを保持するマスクステージ40と、投影光学系50と、基板ステージ60とを備えている。
波長選択部15を通過した光束はフライアイレンズ32に入射する。フライアイレンズ32は、多数の正レンズエレメントをその中心軸線が光軸OAに沿って延びるように縦横に且つ緻密に配列されている。従って、フライアイレンズ32に入射した光束は、多数のレンズエレメントにより波面分割され、その後側焦点面(即ち、射出面の近傍)にレンズエレメントの数と同数の光源からなる二次光源を形成する。
図3はXYステージ62及び第1遮光体装置80をZ軸方向から見た平面図である。図3では真空チャック69に基板CBが載置された状態で、後述する第1遮光体装置80の遮光羽86が開いた状態である。
図4は、搬送アームによって基板CBが基板テーブル60の真空チャック69に載置される状態を示した斜視図である。図4では搬送ロボットRB1と搬送ロボットRB2とが基板CBを搬送する。
図5は、第1遮光体装置80の動作フローチャートである。図6を参照しながら説明する。図6(a)は基板CBが真空チャック69に搬入又は搬出される状態を示した図である。図6(b)は基板CBの周辺部が遮光羽86で覆われた図である。
図6(b)に示された状態がステップS107又はS108に示された状態である。
ステップS110では、移動ガイド82及びアクチュエータ83が遮光羽86Aと遮光羽86BとをX軸方向に移動させ、基板CB上から退避させる。
ステップS112では、基板リフター68が上昇し、基板CBが真空チャック69から持ち上げられる。そこに搬送アーム92がX軸方向から基板CBの下に入り、基板CBが搬出される。
遮光羽86の構成について説明する。図6(b)に示されたように遮光羽86Aと遮光羽86Bとは近接した際には環状を形成し、基板CBの周辺部を覆う。図7(a)は環状になった遮光羽86と遮光ベースとを示した図である。図7(b)は(a)のB−B断面の拡大図である。
図8は、遮光羽86の形状に関する変形例である。本実施形態の遮光羽86の形状は以下に示すような、様々な形状をとることができる。
図9は第2遮光体装置180を示した図である。図3又は図6に示された第1遮光体装置80では移動ベース81がZ軸方向に昇降し遮光羽86を昇降させ、遮光ベース84がX軸方向に移動して遮光羽86をX軸方向に移動させた。第2遮光体装置180は、Y軸方向に伸びる回転軸を有する回転機構で遮光羽86をZ軸方向とX軸方向とに同時に移動させる。
図10(a)に示されるように、第3遮光体装置280は移動ベース281が備えられ、移動ベース281に回転軸282と一対のアクチュエータ285とが配置されている。一対のアクチュエータ285は、それぞれの一端が移動ベース281に設けられたピン286に接続され、他端が遮光ベース284に設けられたピン287に接続されている。
62 … XYステージ
69 … 真空チャック
68 … 基板リフター
80 … 第1遮光体装置
81 … 移動ベース
82 … 移動ガイド
83 … アクチュエータ
84(84A,84B) … 遮光ベース
86(86A,86B) … 遮光羽
88 … 昇降ガイド
89 … 昇降アクチュエータ
92,94 … 搬送アーム
180 … 第2遮光体装置
182 … 遮光ベース
183,185 … ピン
184 … 回転軸
186 … 回転アーム
187 … アクチュエータ
188 … 回転ピン
280 … 第3遮光体装置
281 … 移動ベース
282 … 回転軸
284 … 遮光ベース
285 … アクチュエータ
287 … ピン
AR … 矢印
AM … アライメントマーク
AC … アライメントカメラ
CB … 基板
RB … 搬送ロボット
Claims (4)
- 紫外線を含む光線をフォトマスクに照射し、前記フォトマスクを通過した光線をフォトレジストが塗布された基板に投影する投影光学系と、前記基板を載置する基板テーブルと、前記基板の周辺部を覆い前記光線を遮光する遮光手段と、を備えた投影露光装置において、
前記遮光手段は
近接した際に環状の開口を形成する形状の第1及び第2の遮光部材と、
前記第1及び第2の遮光部材が互いに近接または離間するように両者を移動させる移動手段と、を有し、
前記移動手段は、前記基板テーブルを挟んで対向する平行な一対の移動ガイドを有し、
前記第1及び第2の遮光部材が前記移動ガイドの軸方向に移動可能なように、前記第1及び第2の遮光部材の両端の一端が、前記一対の移動ガイドの一方に取り付けられ、前記第1及び第2の遮光部材の前記両端の他端が前記一対の移動ガイドの他方に取付けられる投影露光装置。 - 前記移動手段は、前記基板テーブルを挟んで対向する第1及び第2のアクチュエータを有し、
前記第1及び第2のアクチュエータの駆動によって前記移動ガイドによりガイドされて移動が制御されるように前記第1及び前記第2の遮光部材が前記第1又は第2のアクチュエータにそれぞれ連結されている請求項1に記載の投影露光装置。 - 前記第1及び第2の遮光部材はそれぞれ、取り付け取り外し可能で前記光線を遮光する第1及び第2遮光羽と、
前記第1及び第2遮光羽が取り付け取り外し可能に設置される第1及び第2遮光ベースと、を有し、
前記第1及び第2遮光ベースを介して前記遮光部材が前記移動部に取り付けられ、連結されている請求項2に記載の投影露光装置。 - 前記第1及び第2遮光ベースはそれぞれ前記第1及び第2遮光羽を位置決めする位置決め部材を有し、前記第1及び第2遮光羽はそれぞれ前記位置決め部材に対応する被位置決め部分を有している請求項3に記載の投影露光装置。
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