JP2015197325A - 熱式流量計および流量補正方法 - Google Patents

Abstract

【課題】測定対象流体の流量を正確に測定することにつなげること、且つ、測定対象流体の流量を正確に測定するためのコストを抑えることができる。
【解決手段】本発明に係る熱量流量計は、測定対象流体を流通させる配管と、前記配管に設置され、前記測定対象流体の第１流量を測定する熱式流量センサと、前記測定対象流体の第２流量を測定する渦式流量計を含み、前記配管に着脱自在に構成された流量計部材と、測定された前記第１流量と、装着された前記流量計部材の前記渦式流量計で測定された前記第２流量と、の比較を実行する流量比較部と、前記比較の結果に基づいて、前記第１流量を補正する流量補正部と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、熱式流量計および流量補正方法に関する。

従来、配管に流れる被測定流体の流量を計測するために、渦流量計や熱式流量計が用いられている。

例えば、特許文献１は、高流量域の流量を測定するカルマン渦流量計と、低流量域からの測定を可能とする熱式流量計と、を備えた複合流量計を開示している。

また、渦式検出手段及び熱式検出手段から構成されるマルチ渦流量計を開示する特許文献２によれば、渦式検出手段は、低流量計測には不向きであり、熱式検出手段は、高流量計測には不向きであることが知られている。

特開平２−１６１３１３号公報 特開２００６−０２９９６６号公報

しかしながら、特許文献１のカルマン渦流量計及び特許文献２の渦式検出手段は、上記のように高流量域においては被測定流体の流量を精度よく測定することが可能である一方、渦流量計及び渦式検出手段は高コストであるという問題があった。

また、特許文献１に記載される複合流量計及び特許文献２に記載されるマルチ渦流量計では、汚れなどによって生じる、熱式流量計及び熱式検出手段の測定流量値のズレを校正する手段がなく、そのまま流量の測定を実行して不正確な測定値を出力してしまうおそれがあった。

そこで、本発明は、測定対象流体の流量を正確に測定することにつなげること、且つ、測定対象流体の流量を正確に測定するためのコストを抑えることを目的の一つとし得る。

本願発明者が実際に、低流量域から測定対象流体の流量Ｑ１を正確に測定できる熱式流量センサ及び高流量域おいて測定対象流体の流量Ｑ２を正確に測定できる渦式流量計を使用して測定対象流体の流量を測定し、測定結果を鋭意検証したところ、（１）渦式流量計が汚れなどに強いこと、（２）熱式流量センサが流量Ｑ１を測定した測定流量域と、渦式流量計が流量Ｑ２を測定した測定流量域と、の間に重複流量域があり、この重複流量域における熱式流量センサ及び渦式流量計の測定値を比較すれば、熱式流量センサ及び渦式流量計のいずれかにおいて汚れなどによる測定精度の劣化（異常）を判断することができ、さらに一方の測定値で他方の測定値を校正可能なことを見出した。そこで、上記重複流量域において、汚れなどに強く、より正確に流量を測定可能な渦式流量計であって、配管に脱着自在に設けられた渦式流量計が流体の流量Ｑ２を測定し、熱式流量センサが流体の流量Ｑ１を測定し、流量Ｑ２を基準流量として流量Ｑ２と流量Ｑ１との比較を実行し、その比較結果に基づいて、熱式流量センサの測定流量を補正することとした。

上記課題を解決するために、本発明の一側面に係る熱式流量計は、測定対象流体を流通させる配管と、前記配管に設置され、前記測定対象流体の第１流量を測定する熱式流量センサと、前記測定対象流体の第２流量を測定する渦式流量計を含み、前記配管に着脱自在に構成された流量計部材と、測定された前記第１流量と、装着された前記流量計部材の前記渦式流量計で測定された前記第２流量と、の比較を実行する流量比較部と、前記比較の結果に基づいて、前記第１流量を補正する流量補正部と、を備える。

また、上記課題を解決するために、本発明の一側面に係る流量補正方法は、測定対象流体を流通させる配管に設置された熱式流量センサにより前記測定対象流体の第１流量を測定し、前記測定対象流体の第２流量を測定する渦式流量計を含み、前記配管に着脱自在に構成された流量計部材であって、前記配管に装着された前記流量計部材の前記渦式流量計により前記第２流量を測定し、測定された前記第１流量と、測定された前記第２流量と、の比較を実行し、前記比較の結果に基づいて、前記第１流量を補正する。

本発明によれば、熱式流量センサの測定流量と、配管に装着された流量計部材の渦式流量計の測定流量と、の比較を実行し、その比較の結果に基づいて、熱式流量センサの測定流量を補正することによって、測定対象流体の流量を正確に測定することにつなげることができる。さらに、測定対象流体の流量を測定する渦式流量計を含む流量計部材を配管に着脱自在に構成することによって、渦式流量計が必要なときにのみ流量計部材を配管に装着すればよいので、あらかじめ熱式流量計及び渦式流量計が一体として構成されている複合流量計を用いる必要がなく、測定対象流体の流量を正確に測定するためのコストを抑えることができる。

本発明の実施形態に係る熱式流量計の構成を示す側面断面図である。 本発明の実施形態に係る熱式流量計の構成を示す平面断面図である。 本発明の実施形態に係る熱式流量計の機能的構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る渦式流量計の機能的構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る熱式流量計の熱式流量センサの測定流量を補正するためのフローチャートである。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。ただし、以下に説明する実施形態は、あくまでも例示であり、以下に明示しない種々の変形や技術の適用を排除する意図はない。即ち、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形（各実施形態を組み合わせる等）して実施することができる。また、以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付して表している。図面は模式的なものであり、必ずしも実際の寸法や比率等とは一致しない。図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることがある。

図１は、本発明の実施形態に係る熱式流量計１の構成を示す側面断面図である。図２は、本発明の実施形態に係る熱式流量計１の構成を示す平面断面図である。図３は、本発明の実施形態に係る熱式流量計１の機能的構成を示すブロック図である。

図１及び図２に示すように、本実施形態に係る熱式流量計１は、例示的に、ガスなどの測定対象流体（以下、単に「流体」という）が、矢印が示す方向に流通する配管１２と、整流機構１４と、熱式流量センサ１６と、流量計部材１００と、図１及び図２には図示していないが図３に示す制御手段４０と、を備えて構成されている。

流量計部材１００は、渦式流量計２０を備えて構成されており、渦式流量計２０は、例示的に、渦発生体２１、渦式流量センサ２２、圧力センサ２４、及び温度センサ２６を備えて構成されている。

配管１２の流体の流れ上流側の端部には、流入口３０が設けられ、下流側の端部には、排出口３２が設けられており、流入口３０及び排出口３２は、各々に取り付けられる他の配管（図示せず）と接続している。

整流機構１４は、配管１２に配設されており、流体の流れを整える機能を有している。整流機構１４は、流体の旋回流、偏流などを消滅させ又は減少させ、各種センサの特性に及ぼす悪影響を少なくするために各種センサの上流側（図１及び図２においては下側）に設置される。整流機構１４として、例えば、多孔板式、管状式、ベン式や金網やハニカムなどを使用した機構などの整流機構が挙げられる。

熱式流量センサ１６は、流体を流通させる配管１２に設置され、流体の質量流量（第１流量）を測定する。また、熱式流量センサ１６が測定する流体の流量は、本実施形態では、以下、所定の流量測定期間における瞬時流量を平均した平均流量であるとして説明するが、これに限られず、ある測定時の瞬時流量など他の流量を採用してもよい。

流量計部材１００は、上記のように渦式流量計２０を含み、配管１２に着脱自在に構成されている。流量計部材１００は、配管１２に着脱自在に構成されていればよく、部材の材料や構造に特に制限はない。また、配管１２は、流量計部材１００を配管１２に着脱可能に装着する着脱機構１１０ａ、ｂを備えている。着脱機構１１０ａ、ｂは、例示的に、係止め凹部、流量計部材１００を配管１２に固定・支持するための固定・支持部材、配管１２及び流量計部材１００内の密封性を高めるため、流体の外部への漏れを防止するためにシーリング部材などを備えて構成されている。また、着脱機構１１０ａ、ｂは、配管１２に対する渦式流量計２０の位置決めを実行可能に構成されている。着脱機構１１０ａ、ｂは、流量計部材１００が配管１２に装着される際又は装着後に、渦式流量計２０の配管１２における位置を調整、決定可能に構成されている。なお、流量計部材１００及び配管１２の着脱機構１１０ａ、ｂは、渦式流量計２０を構成する渦発生体２１、渦式流量センサ２２、圧力センサ２４、及び温度センサ２６を少なくとも一つずつ着脱可能に構成されていてもよい。

渦式流量計２０は、流量計部材１００を介して配管１２に装着され、流体の質量流量（第２流量）を測定する。具体的には、渦式流量計２０は、渦式流量センサ２２が検出した流体の体積流量を、その体積流量と、後述する渦発生体２２の断面積と、圧力センサ２４が測定した流体の圧力と、温度センサ２６が測定した流体の温度と、に基づいて流体の質量流量を測定する。また、渦式流量計２０が測定する流体の流量は、本実施形態では、以下、所定の流量測定期間における瞬時流量を平均した平均流量であるとして説明するが、これに限られず、ある測定時の瞬時流量など他の流量を採用してもよい。なお、渦式流量計２０は、流体の質量流量を測定できるさまざまな方法を採用することができ、上記方法には限られない。

渦発生体２１は、渦式流量計２０を構成する要素の一つである。渦発生体２１は、図１に示すように柱状部材であり、配管１２内にその径方向に横断するように設置されている。このように構成された渦発生体２１は、配管１２を流通する流体に渦を発生させる。なお、渦発生体２１の形状は、流体に渦を発生させることができればよく、三角柱形状、円柱形状などの形状を備えて構成されていてもよい。

渦式流量センサ２２、圧力センサ２４、及び温度センサ２６のそれぞれは、渦式流量計２０を構成する要素の一つである。渦式流量センサ２２は、配管１２を流れる流体の体積流量を測定する。圧力センサ２４は、配管１２を流れる流体の圧力を測定する。また、温度センサ２６は、配管１２を流れる流体の温度を測定する。

なお、配管１２に設置されている熱式流量センサ１６及び流量計部材１００（渦式流量計２０）の位置関係について、流量計部材１００は、熱式流量センサ１６よりも配管１２において下流側（図１及び２において、上側）で着脱される。これにより、渦式流量計２０の渦発生体２１により流体に渦が発生した場合であっても、熱式流量センサ１６よりも配管１２においてより下流側で渦が発生することになる。したがって、渦の発生は、熱式流量センサ１６の流体の流量測定に悪影響を与えることはなく、熱式流量センサ１６は流体の流量を正確に測定することができる。

図３に示す熱式流量計１の制御手段４０は、機能的に、記憶部４１、流量判断部４３、流量補正部４５、出力部４６、及び入力部４７を備えて構成されている。また、流量補正部４５は、機能的に、補正値決定部５１及び流量算出部５３を備えて構成されている。

制御手段４０は、熱式流量センサ１６が測定した流体の質量流量（第１流量）と、渦式流量計２０が測定した流体の質量流量（第２流量）と、に基づいて熱式流量センサ１６の測定流量の補正を実行するものである。

記憶部４１は、後述するように、流量補正部４５が実行する、熱式流量センサ１６の測定流量の補正の際に用いられる、熱式流量センサ１６の測定流量（第１流量）の補正値と、熱式流量センサ１６の測定流量（第１流量）と渦式流量計２０の測定流量（第２流量）との差と、の関係を示す関係式または関係テーブルを記憶する機能ブロックである。また、記憶部４１は、熱式流量センサ１６が測定する流体の質量流量の測定可能範囲を示す情報を記憶する機能ブロックである。また、記憶部４１は、上記閾値及び上記情報のうち少なくとも一つを入力・出力可能である。なお、記憶部４１は、上記の他、熱式流量センサ１６が測定する流体の質量流量の測定精度が高い流量域を示す情報などを記憶してもよい。この場合は、記憶部４１は、上記情報を、後述する流量判断部４３で必要となった際に出力する。

流量判断部４３は、流体の流量が、熱式流量センサ１６が測定可能な範囲内であるかを判断する機能ブロックである。具体的には、流量判断部４３は、記憶部４１に記憶されている、熱式流量センサ１６が流体の質量流量を測定可能な範囲を示す情報に基づいて、熱式流量センサ１６が流体の質量流量を測定可能な範囲内であるかを判断する。

流量補正部４５は、後述するように、渦式流量計２０の流量比較部６５が実行する熱式流量センサ１６の測定質量流量（第１流量）と渦式流量計２０の測定質量流量（第２流量）との比較の結果に基づいて、第１流量を補正する機能ブロックである。また、流量補正部４５は、流量比較部６５により第１流量と第２流量との差が所定の閾値を上回ったか否かが判断され、上記差が所定の閾値を上回った場合に第１流量を補正する機能ブロックである。

具体的には、流量補正部４５は、後述するように、渦式流量計２０の流量比較部６５から、当該流量比較部６５が実行する熱式流量センサ１６の測定質量流量と渦式流量計２０の測定質量流量との比較の結果を受信する。そして、流量補正部４５の補正値決定部５１は、熱式流量センサ１６の測定質量流量（第１流量）と渦式流量計２０の測定質量流量（第２流量）との差に応じて、熱式流量センサ１６の上記第１流量を補正する補正値を決定するより具体的には、流量補正部４５の補正値決定部５１は、記憶部４１に記憶されている、熱式流量センサ１６の第１流量を補正する補正値と、熱式流量センサ１６の測定流量と渦式流量計２０の測定流量との差と、の関係を示す関係式または関係テーブルを参照することによって、第１流量と第２流量との差に応じた、熱式流量センサ１６の第１流量を補正する補正値を決定する。そして、流量補正部４５の流量算出部５３は、熱式流量センサ１６の出力特性を、決定された上記補正値で補正して、配管１２を流通する流量を第１流量として算出する。

なお、流量補正部４５は、熱式流量センサ１６の測定流量の補正を複数回実行してもよい。具体的には、まず、渦式流量計２０の流量比較部６５は、熱式流量センサ１６及び渦式流量計２０が任意の同一測定時間帯で測定したそれぞれの測定流量を比較するが、この比較を別の時間帯の渦式流量計２０が、熱式流量センサ１６が測定した時間帯と同一の時間帯で測定した測定流量と、を比較することを。流量補正部４５は、流量比較部６５が実行した複数回の比較の結果のそれぞれに基づいて、熱式流量センサ１６の測定流量を補正する。

出力部４６は、画像や音声などを出力する機能ブロックである。具体的には、熱式流量計１の操作画面の表示や流量補正部４５が実行した、熱式流量センサ１６の測定流量の補正の結果の通知などを実行する機能ブロックである。出力部４６としては、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどの画像表示装置やプリンタなどを採用することができる。

入力部４７は、ユーザの操作情報などを入力する機能ブロックである。例えば、操作ボタン、キーボードやマウスなどの情報入力可能なコンピュータを採用することができる。なお、入力部４７の機能は、出力部４６が備えていてもよい。例えば、出力部４７がタッチパネルを有する画像表示装置などであった場合、ユーザはそのタッチパネルを使用して、操作情報を出力部４６に供給することもできる。

図４は、本発明の実施形態に係る渦式流量計２０の機能的構成を示すブロック図である。図４に示すように、渦式流量計２０は、機能的に、制御手段６０、渦式流量センサ２２、圧力センサ２４、及び温度センサ２６を備えて構成されている。また、制御手段６０は、機能的に、記憶部６１、流量判断部６３、流量比較部６５、入力部６７、及び入力部６９を備えて構成されている。

制御手段６０は、熱式流量センサ１６が測定した流体の質量流量（第１流量）と、渦式流量計２０が測定した流体の質量流量（第２流量）と、の比較を実行するものである。

記憶部６１は、後述するように、流量比較部６５が実行する、熱式流量センサ１６が測定した流体の質量流量と渦式流量計２０が測定した流体の質量流量との差との比較に用いられる所定の閾値、及び、渦式流量計２０が流体の質量流量を測定可能な範囲を示す情報を記憶する機能ブロックである。また、記憶部６１は、上記閾値及び上記情報の少なくとも一つを入力・出力可能である。なお、記憶部６１は、上記情報の他、渦式流量計２０が測定する流体の質量流量の測定精度が高い流量域を示す情報などを記憶してもよい。この場合は、記憶部６１は、上記情報を、後述する流量判断部６３で必要となった際に出力する。

流量判断部６３は、流体の流量が、配管１２に装着された流量計部材１００の渦式流量計２０が測定可能な範囲内であるかを判断する機能ブロックである。具体的には、流量判断部６３は、記憶部６１に記憶されている、渦式流量計２０が流体の質量流量を測定可能な範囲を示す情報に基づいて、渦式流量計２０が流体の質量流量を測定可能な範囲内であるかを判断する。

また、上述したように、渦式流量計２０は汚れなどに強い。また、熱式流量センサ１６が測定可能な流量域と渦式流量計２０が測定可能な流量域との間には重複流量域がある。そこで、本実施形態では、上記重複流量域において、汚れなどに強く、より正確に流量を測定可能な渦式流量計２０の測定値に基づいて、汚れなどに弱くて測定流量にずれが生じている熱式流量センサ１６の測定流量を補正する。すなわち、渦式流量計２０は流体の流量Ｑ２を測定し、熱式流量センサ１６は流体の流量Ｑ１を測定する。そして、流量比較部６５は、流量Ｑ２を基準流量として流量Ｑ２と流量Ｑ１との比較を実行する。このように、流量Ｑ２を基準流量と設定するためには、流量判断部６３は、少なくとも、渦式流量計２０が測定する流体の質量流量（第２流量）が測定可能な範囲内であるか否かを判断する。そして、熱式流量計１の流量判断部４３は、上記判断の前後に、熱式流量センサ１６が測定する流体の質量流量（第１流量）が測定可能な範囲内であるか否かも判断し、最終的に、上記重複領域を把握する。すなわち、流量判断部６３は、測定対象流体の流量が熱式流量センサ１６および渦式流量計２０がともに測定可能な範囲内にあるか否かを判断する。

流量比較部６５は、熱式流量センサ１６により測定された流体の質量流量（第１流量）を受信し、上記第１流量と配管１２に装着された流量計部材１００の渦式流量計２０により測定された流体の質量流量（第２流量）との比較を実行する機能ブロックである。具体的には、流量比較部６５は、測定対象流体の流量が熱式流量センサ１６および渦式流量計２０がともに測定可能な範囲内にある場合に、第１流量と第２流量との差が、記憶部６１に記憶されている所定の閾値を上回ったか否かを判断する。より具体的には、流量比較部６５は、流量比較部６５は、測定対象流体の流量が熱式流量センサ１６および渦式流量計２０がともに測定可能な範囲内にある場合に、上記重複領域における渦式流量計２０の測定質量流量を基準流量として、熱式流量センサ１６の測定質量流量と渦式流量計２０の測定質量流量との比較を実行し、さらに、熱式流量センサ１６の測定質量流量と渦式流量計２０の測定質量流量との差と、上記所定の閾値と、の比較を実行する。さらにまた、流量比較部６５は、上記比較の結果を熱式流量計１の流量補正部４５に送信する。

出力部６７は、上記した出力部４７と同様に、画像や音声などを出力する機能ブロックである。具体的には、渦式流量計２０の操作画面の表示や流量比較部６５が実行した、測定流量の比較の結果の通知などを実行する機能ブロックである。また、後述するように、出力部６７は、熱式流量センサ１６の測定流量の補正処理が完了したことを外部に出力するように構成されている。出力部６７としては、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどの画像表示装置やプリンタなどを採用することができる。

入力部６９は、上記した入力部４９と同様に、ユーザの操作情報などを入力する機能ブロックである。例えば、操作ボタン、キーボードやマウスなどの情報入力可能なコンピュータを採用することができる。なお、入力部６９の機能は、出力部６７が備えていてもよい。例えば、出力部６７がタッチパネルを有する画像表示装置などであった場合、ユーザはそのタッチパネルを使用して、操作情報を出力部６７に供給することもできる。

図５は、本発明の実施形態に係る熱式流量計１の熱式流量センサ１６の測定流量を補正するためのフローチャートである。

まず、ステップＳ１では、渦式流量計２０は平均流量Ｑ２を測定する。

次に、ステップＳ２では、渦式流量計２０の制御手段６０の流量判断部６３は、少なくとも渦式流量計２０が測定した平均流量Ｑ２が補正（測定）可能流量域内であるか否かを判断する。

流量判断部６３が平均流量Ｑ２は補正（測定）可能流量域内でないと判断した場合、熱式流量計１（熱式流量センサ１６）の測定流量を補正する処理は終了する。

流量判断部６３が平均流量Ｑ２は補正（測定）可能流量域内であると判断した場合、ステップＳ３に進む。ステップＳ３では、熱式流量計１は、渦式流量計２０から流量測定開始の要求を受信し、平均流量Ｑ１を測定する。

ステップ４では、熱式流量計１は、渦式流量計２０へ、測定された平均流量Ｑ１を送信する。

ステップＳ５では、渦式流量計２０は平均流量Ｑ２を測定する。

ステップＳ６では、渦式流量計２０の流量比較部６５は、熱式流量計１が測定した平均流量Ｑ１と、渦式流量計２０が測定した平均流量Ｑ２と、の比較を実行する。

ステップＳ７では、流量比較部６５は、熱式流量計１が測定した平均流量Ｑ１と渦式流量計２０が測定した平均流量Ｑ２との差（誤差）が所定の閾値より大きいか否かを判断する。

流量比較部６５が、平均流量Ｑ１と平均流量Ｑ２との差（誤差）が所定の閾値より大きくないと判断した場合、後述する、ステップＳ１１に進み、渦式流量計２０は熱式流量計１の測定流量の補正が完了した（実際には、当該補正は行われていない）ことを外部出力する。

流量比較部６５が、平均流量Ｑ１と平均流量Ｑ２との差（誤差）が所定の閾値より大きいと判断した場合、ステップＳ８に進む。ステップＳ８では、渦式流量計２０は、熱式流量計１へ、上記誤差と熱式流量計１の測定流量の補正命令とを送信する。

ステップＳ９では、熱式流量計１は、上記誤差と渦式流量計２０からの熱式流量計１の測定流量の補正命令とを受信し、熱式流量計１が測定した平均流量Ｑ１の補正を実行する。

ステップ１０では、熱式流量計１は、渦式流量計２０へ補正処理が完了したことを報告する。

ステップ１１では、渦式流量計２０は、補正処理が完了したことを外部に出力する。

以上説明した実施形態によれば、測定対象流体の流量を正確に測定することができ、且つ、測定対象流体の流量を正確に測定するためのコストを抑えることができる。

（他の実施形態）
本発明は、上記実施形態に限定されることなく、種々に組み合わせることができ、変形して適用することが可能である。例えば、流量計部材１００（渦式流量計２０）が常時熱式流量計１に装着されているような、熱式流量センサ１６（熱式流量計１）と渦式流量計２０とが一体型の熱式流量計１としてもよい。

また、熱式流量計１の各構成が備えている機能を、渦式流量計２０の各構成が備えていてもよいし、渦式流量計２０の各構成が備えている機能を、熱式流量計１の各構成が備えていてもよい。たとえば、渦式流量計２０の出力部６７の機能を出力部４７が備えていてもよい。さらに、渦式流量計２０の記憶部６１が記憶している所定の閾値や情報を熱式流量計１の記憶部４１が記憶しているように構成されていてもよい。

さらに、本発明の実施形態では、熱式流量センサ１６、渦式流量センサ２２、圧力センサ２４、及び温度センサ２６は、各１つのみ備えて構成されているが、各センサの数には特に制限はない。例えば、熱式流量センサ１６が複数備えられている場合は、各センサの流量測定値を比較することで、確からしい測定値を流体の流量として採用することができる。

さらにまた、渦式流量計２０の制御手段６０の流量比較部６５が実行する流量比較の処理を、熱式流量計１の制御手段４０において実行するように構成されていてもよい。

またさらに、熱式流量計１は、制御手段４０、６０により平均流量Ｑ１と平均流量Ｑ２との差（誤差）が所定の閾値より大きいと判断された場合、熱式流量センサ１６の異常の有無を判断するように構成されていてもよい。さらに、出力部４７、６７は、制御手段４０、６０により熱式流量センサ１６の異常の有無を判断した場合の判断結果の通知などを実行するように構成されていてもよい。

本実施形態では、出力部６７が、熱式流量センサ１６の測定流量の補正処理が完了したことを外部に出力すると説明したが、熱式流量計１の制御手段４０の出力部４７が、熱式流量センサ１６の測定流量の補正処理が完了したことを外部に出力してもよい。

なお、図５に示すフローチャートにおけるステップは必ずしもＳ１〜Ｓ１１の順で実行される必要ない。たとえば、ステップＳ３とステップＳ５とはどちらが先に実行されてもよい。

なお、本発明において、「部」とは、単に物理的手段を意味するものではなく、その「部」が有する機能をソフトウェアによって実現する場合も含む。また、１つの「部」や装置が有する機能が２つ以上の物理的手段や装置により実現されても、２つ以上の「部」や装置の機能が１つの物理的手段や装置により実現されても良い。

また、本実施形態における各部は、たとえば、メモリやハードディスクなどの記憶領域を用いたり、記憶領域を格納されているプログラムをプロセッサが実行したりすることにより実現することができる。

本発明は、次のような態様を備えていてもよい。
（付記１）測定対象流体を流通させる配管に設置され、前記測定対象流体の第１流量を測定する熱式流量センサと、前記配管に設置され、前記測定対象流体の第２流量を測定する渦式流量計と、測定された前記第１流量と前記第２流量との比較を実行する流量比較部と、前記比較の結果に基づいて、前記熱式流量センサの異常の有無を判断する異常判断部と、を備える、異常判断装置。
（付記２）
前記流量比較部は、前記第１流量と前記第２流量との差が所定の閾値を上回ったか否かを判断し、前記異常判断部は、前記流量比較部により前記差が前記所定の閾値を上回っていると判断された場合に前記熱式流量センサが異常であると判断する、付記１に記載の異常判断装置。
（付記３）
熱式流量センサの異常の有無を判断する異常判断方法であって、
測定対象流体を流通させる配管内において、前記測定対象流体の第１流量を測定し、
前記配管内において、前記測定対象流体の第２流量を測定し、
測定された前記第１流量と前記第２流量との比較を実行し、
前記比較の結果に基づいて、前記熱式流量センサの異常の有無を判断する、
異常判断方法。
（付記４）
熱式流量センサの異常の有無を判断する機能を実現させるためのプログラムであって、
測定対象流体を流通させる配管内において、前記測定対象流体の第１流量を測定する機能と、
前記配管内において、前記測定対象流体の第２流量を測定する機能と、
測定された前記第１流量と前記第２流量との比較を実行する機能と、
前記比較の結果に基づいて、前記熱式流量センサの異常の有無を判断する機能と、
を実現させるためのプログラム。
（付記５）
コンピュータに、
測定対象流体を流通させる配管に設置された熱式流量センサにより測定された、前記測定対象流体の第１流量と、前記測定対象流体の第２流量を測定する渦式流量計を含み、前記配管に着脱自在に構成された流量計部材であって、前記配管に装着された前記流量計部材の前記渦式流量計により測定された前記第２流量と、の比較を実行する機能と、
前記比較の結果に基づいて、前記第１流量を補正する機能と、
を実現させるためのプログラム。

１２ 配管
１４ 整流機構
１６ 熱式流量センサ
２０ 渦式流量計
２１ 渦発生体
２２ 渦式流量センサ
２４ 圧力センサ
２６ 温度センサ
３０ 流入口
３２ 排出口
４０ 制御手段
４１ 記憶部
４３ 流量判断部
４３ 流量比較部
４５ 流量補正部
４７ 出力部
４９ 入力部
５１ 補正値決定部
５３ 流量算出部
６０ 制御手段
６１ 記憶部
６３ 流量判断部
６５ 流量比較部
６７ 出力部
６９ 入力部
１００ 流量計部材

Claims (9)

1. 測定対象流体を流通させる配管と、
   前記配管に設置され、前記測定対象流体の第１流量を測定する熱式流量センサと、
   前記測定対象流体の第２流量を測定する渦式流量計を含み、前記配管に着脱自在に構成された流量計部材と、
   測定された前記第１流量と、装着された前記流量計部材の前記渦式流量計で測定された前記第２流量と、の比較を実行する流量比較部と、
   前記比較の結果に基づいて、前記第１流量を補正する流量補正部と、を備える、
   熱式流量計。
2. 前記測定対象流体の流量が、前記熱式流量センサおよび前記渦式流量計がともに測定可能な範囲内であるかを判断する流量判断部をさらに備える、
   請求項１に記載の熱式流量計。
3. 前記流量比較部は、前記測定対象流体の流量が前記熱式流量センサおよび前記渦式流量計がともに測定可能な範囲内にある場合に、前記第１流量と前記第２流量との差が所定の閾値を上回ったか否かを判断し、
   前記流量補正部は、前記差が前記所定の閾値を上回った場合に前記第１流量を補正する、
   請求項２に記載の熱式流量計。
4. 前記流量補正部は、
   前記第１流量と前記第２流量との差に応じて、前記熱式流量センサの前記第１流量を補正する補正値を決定する補正値決定部と、
   前記第１流量を、決定された前記補正値で補正して、補正された前記第１流量として算出する流量算出部と、を備える、
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の熱式流量計。
5. 前記熱式流量センサの前記第１流量の前記補正値と、前記第１流量と前記第２流量との差と、の関係を示す関係式または関係テーブルを記憶する記憶部をさらに備える、
   請求項４に記載の熱式流量計。
6. 前記流量計部材は、前記熱式流量センサよりも前記配管内の下流側で着脱される、
   請求項１〜５のいずれか１項に記載の熱式流量計。
7. 前記流量計部材を前記配管に着脱可能に装着する着脱機構を前記配管に備え、
   前記着脱機構は、前記配管に対する前記渦式流量計の位置決めを実行可能に構成されている、
   請求項１〜６のいずれか１項に記載の熱式流量計。
8. 前記第１流量及び前記第２流量は、所定の流量測定期間における平均流量である、
   請求項１〜７のいずれか１項に記載の熱式流量計。
9. 測定対象流体を流通させる配管に設置された熱式流量センサにより前記測定対象流体の第１流量を測定し、
   前記測定対象流体の第２流量を測定する渦式流量計を含み、前記配管に着脱自在に構成された流量計部材であって、前記配管に装着された前記流量計部材の前記渦式流量計により前記第２流量を測定し、
   測定された前記第１流量と、測定された前記第２流量と、の比較を実行し、
   前記比較の結果に基づいて、前記第１流量を補正する、
   流量補正方法。

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