JP5739320B2 - 試料液体気化システム、診断システム及び診断プログラム - Google Patents
試料液体気化システム、診断システム及び診断プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5739320B2 JP5739320B2 JP2011286803A JP2011286803A JP5739320B2 JP 5739320 B2 JP5739320 B2 JP 5739320B2 JP 2011286803 A JP2011286803 A JP 2011286803A JP 2011286803 A JP2011286803 A JP 2011286803A JP 5739320 B2 JP5739320 B2 JP 5739320B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample liquid
- gas
- gas concentration
- liquid tank
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D21/00—Measuring or testing not otherwise provided for
- G01D21/02—Measuring two or more variables by means not covered by a single other subclass
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K13/00—Thermometers specially adapted for specific purposes
- G01K13/12—Thermometers specially adapted for specific purposes combined with sampling devices for measuring temperatures of samples of materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
例えば、図3に示すように、前記実施形態の構成に加えて、ガス導出管4においてガス濃度計41の下流側にガス流量計42(第2の流量計)を設けて、当該ガス流量計42により得られた混合ガス流量(Q2)と、キャリアガス導入管3に設けたマスフローコントローラ31(第1の流量計)により得られたキャリアガス流量(Q1)との差(Q2−Q1)を用いて試料ガス濃度(CC3)を算出しても良い。この場合、温度(TB)及び圧力(P0)により算出したガス濃度計算値(CC)とガス濃度測定値(CM)との比較で、ガス濃度計41の異常を判断するだけでなく、さらにキャリアガス流量(Q1)及び混合ガス流量(Q2)により算出したガス濃度計算値(CC3)とガス濃度測定値(CM)との比較でガス濃度計41の異常を判断することで、ガス濃度計41の診断の信頼性を高めることができる。なお、温度(TB)及び圧力(P0)により算出したガス濃度計算値(CC)とガス濃度測定値(CM)との比較を行うことなく、キャリアガス流量(Q1)及び混合ガス流量(Q2)により算出したガス濃度計算値(CC3)とガス濃度測定値(CM)との比較でガス濃度計41の異常を判断するようにしても良い。
200・・・試料液体気化装置
2 ・・・試料液体タンク
21 ・・・温度計
22 ・・・圧力計
3 ・・・キャリアガス導入管
4 ・・・ガス導出管
41 ・・・ガス濃度計
5 ・・・演算装置
51 ・・・ガス濃度算出部
52 ・・・状態判断部(異常判断部)
Claims (7)
- 試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、
前記試料液体タンクにより気化されたガスを前記試料液体タンクの外部に導出するガス導出管と、
前記ガス導出管を流れるガス濃度を測定するガス濃度計と、
前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計と、
前記試料液体タンク内の圧力を測定する圧力計と、
前記温度計により得られた温度及び前記圧力計により得られた圧力から、前記試料液体タンクで気化したガス濃度を算出するガス濃度算出部と、
前記ガス濃度算出部により算出されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして試料液体気化システムの異常を判断する状態判断部とを備え、
前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化システムが異常であると判断する試料液体気化システム。 - 前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して得られる上限値及び下限値の範囲内に前記ガス濃度測定値が含まれるか否かにより試料液体気化システムが異常か否かを判断するものである請求項1記載の試料液体気化システム。
- 前記試料液体タンクに貯留された試料液体中に、当該試料液体を気化させるキャリアガスを導入するキャリアガス導入管を備えている請求項1又は2記載の試料液体気化システム。
- 試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、前記試料液体タンクにより気化されたガスを外部に導出するガス導出管と、前記ガス導出管を流れるガス濃度を測定するガス濃度計とを備える試料液体気化装置の診断システムであって、
前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計により得られた温度及び前記試料液体タンク内の圧力を測定する圧力計により得られた圧力から算出されて前記試料液体タンクで気化したガス濃度を示すガス濃度計算値を取得するガス濃度取得部と、
前記ガス濃度取得部により取得されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして前記試料液体気化装置の異常を判断する状態判断部とを備え、
前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化装置が異常であると判断する診断システム。 - 試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、前記試料液体タンクにより気化されたガスを外部に導出するガス導出管と、前記ガス導出管を流れるガス濃度を測定するガス濃度計とを備える試料液体気化装置の診断プログラムであって、
コンピュータに、前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計により得られた温度及び前記試料液体タンク内の圧力を測定する圧力計により得られた圧力から算出されて前記試料液体タンクで気化したガス濃度を示すガス濃度計算値を取得するガス濃度取得部、及びガス濃度取得部により取得されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして前記試料液体気化装置の異常を判断する状態判断部としての機能を発揮させ、
前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化装置が異常であると判断する診断プログラム。 - 試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、
前記試料液体タンクに貯留された試料液体中に、当該試料液体を気化させるキャリアガスを導入するキャリアガス導入管と、
前記試料液体タンクにより気化された試料ガス及び前記キャリアガスの混合ガスを前記試料液体タンクの外部に導出するガス導出管と、
前記ガス導出管を流れる混合ガス中の試料ガス濃度を測定するガス濃度計と、
前記キャリアガス導入管に設けられて当該キャリアガス導入管を流れるキャリアガス流量を測定する第1の流量計と、
前記ガス導出管に設けられて当該ガス導出管を流れる混合ガス流量を測定する第2の流量計と、
前記第1の流量計により得られたキャリアガス流量及び前記第2の流量計により得られた混合ガス流量から前記試料ガス濃度を算出するガス濃度算出部と、
前記ガス濃度算出部により算出されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして試料液体気化システムの異常を判断する状態判断部とを備え、
前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化システムが異常であると判断する試料液体気化システム。 - 試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、
前記試料液体タンクにより気化されたガスを前記試料液体タンクの外部に導出するガス導出管と、
前記ガス導出管を流れるガス中の試料ガスの分圧を測定してガス濃度を測定するガス濃度計と、
前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計と、
前記温度計により得られた温度から、前記試料液体の飽和蒸気圧を算出する圧力算出部と、
前記圧力算出部により算出された飽和蒸気圧と前記ガス濃度計により得られた分圧とをパラメータとして試料液体気化システムの異常を判断する状態判断部とを備え、
前記状態判断部が、前記飽和蒸気圧に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記分圧が大きい場合に試料液体気化システムが異常であると判断する試料液体気化システム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011286803A JP5739320B2 (ja) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | 試料液体気化システム、診断システム及び診断プログラム |
KR1020120150886A KR20130075675A (ko) | 2011-12-27 | 2012-12-21 | 시료 액체 기화 시스템, 진단 시스템 및 진단 프로그램 |
TW101150224A TW201331585A (zh) | 2011-12-27 | 2012-12-26 | 樣品液體氣化系統、診斷系統及診斷方法 |
CN2012105761372A CN103185771A (zh) | 2011-12-27 | 2012-12-26 | 样品液体气化系统、诊断系统及诊断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011286803A JP5739320B2 (ja) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | 試料液体気化システム、診断システム及び診断プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013133542A JP2013133542A (ja) | 2013-07-08 |
JP5739320B2 true JP5739320B2 (ja) | 2015-06-24 |
Family
ID=48677050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011286803A Expired - Fee Related JP5739320B2 (ja) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | 試料液体気化システム、診断システム及び診断プログラム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5739320B2 (ja) |
KR (1) | KR20130075675A (ja) |
CN (1) | CN103185771A (ja) |
TW (1) | TW201331585A (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103454383A (zh) * | 2013-09-05 | 2013-12-18 | 长三角(嘉兴)纳米科技产业发展研究院 | 一种气体传感器动态响应性能测试系统 |
CN104697886B (zh) * | 2013-12-04 | 2018-07-31 | 中国石油化工股份有限公司 | 测定气体在固体中的吸附参数的方法 |
CN103710681B (zh) * | 2014-01-09 | 2016-03-02 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种用于反应源瓶的试验方法 |
CN106370455B (zh) * | 2016-09-29 | 2023-04-28 | 国网吉林省电力有限公司电力科学研究院 | 一种适用于现场采样的记录仪的工作方法 |
CN106435517B (zh) * | 2016-12-11 | 2018-07-17 | 重庆工业职业技术学院 | 一种为真空镀膜机提供水蒸气的专用装置及其使用方法 |
TWI810058B (zh) * | 2022-09-06 | 2023-07-21 | 廣化科技股份有限公司 | 混合液體純度的測量方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0222472A (ja) * | 1988-07-12 | 1990-01-25 | Nec Corp | 気相成長用液体原料ガス供給装置 |
US6779378B2 (en) * | 2002-10-30 | 2004-08-24 | Asm International N.V. | Method of monitoring evaporation rate of source material in a container |
JP4605790B2 (ja) * | 2006-06-27 | 2011-01-05 | 株式会社フジキン | 原料の気化供給装置及びこれに用いる圧力自動調整装置。 |
KR100806113B1 (ko) * | 2006-12-26 | 2008-02-21 | 주식회사 코윈디에스티 | 박막증착 장치의 원료가스 공급장치 및 잔류가스 처리장치및 그 방법 |
JP2010109303A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Horiba Ltd | 材料ガス濃度制御装置 |
CN101670184B (zh) * | 2009-10-13 | 2013-02-06 | 北京和隆优化控制技术有限公司 | 蒸发装置产量、质量、能耗多目标协调优化控制方法 |
-
2011
- 2011-12-27 JP JP2011286803A patent/JP5739320B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-12-21 KR KR1020120150886A patent/KR20130075675A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-12-26 TW TW101150224A patent/TW201331585A/zh unknown
- 2012-12-26 CN CN2012105761372A patent/CN103185771A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130075675A (ko) | 2013-07-05 |
CN103185771A (zh) | 2013-07-03 |
TW201331585A (zh) | 2013-08-01 |
JP2013133542A (ja) | 2013-07-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5739320B2 (ja) | 試料液体気化システム、診断システム及び診断プログラム | |
JP6557550B2 (ja) | 液体用流量計の試験方法、および試験装置 | |
US9638560B2 (en) | Calibration method and flow rate measurement method for flow rate controller for gas supply device | |
US20130092256A1 (en) | Flow rate control device, diagnostic device for use in flow rate measuring mechanism or for use in flow rate control device including the flow rate measuring mechanism and recording medium having diagnostic program recorded thereon for use in the same | |
JP5001908B2 (ja) | 混合ガスの成分測定装置及び成分測定方法 | |
US20160041016A1 (en) | Verfahren und Wirbelströmungsmessgerät Zur Bestimmung des Massenstromverhältnisse einermhrphasigen Strömung | |
JP2013108810A5 (ja) | ||
US20180017428A1 (en) | Method for operating a flowmeter and flowmeter | |
JP2011075373A (ja) | 機器診断方法及び機器診断装置 | |
KR102256904B1 (ko) | 열식 유량계 및 유량 보정 방법 | |
JP7273596B2 (ja) | 流量算出装置、流量算出システム、及び、流量算出装置用プログラム | |
JP4929975B2 (ja) | 流量計測装置 | |
JP3604354B2 (ja) | 質量流量測定方法および質量流量制御装置 | |
JP2014232007A (ja) | 気液二相の流量計測方法及び二相流量計測装置 | |
CN110186531B (zh) | 分析用液体监视装置 | |
US10942139B2 (en) | Operation method for flow sensor device | |
JP6940441B2 (ja) | 熱式フローセンサ装置および流量補正方法 | |
JP2015197324A (ja) | 異常判断装置及び異常判断方法 | |
JP7037883B2 (ja) | 排ガス流量測定装置、燃費測定装置、排ガス流量測定装置用プログラム、及び排ガス流量測定方法 | |
JP5559709B2 (ja) | 揮発量測定装置及び方法 | |
KR101522243B1 (ko) | 터빈을 이용한 질량유량측정 프로그램 및 이를 이용한 측정장치 | |
JP2010096671A (ja) | 熱損失評価システム及び評価方法 | |
JP6528120B2 (ja) | ガスメータ評価システム及びこれに用いられるガスメータ | |
US20230358620A1 (en) | System and Method for Non-Invasive Determining of a Fluid Temperature | |
JP2020148581A (ja) | マスフローコントローラ、校正システムおよび校正方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140521 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141125 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150423 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5739320 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |