TW201331585A - 樣品液體氣化系統、診斷系統及診斷方法 - Google Patents

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Tatsuya Hayashi
Yoshiomi Imoto
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Horiba Stec Co
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Abstract

一種樣品液體氣化系統、診斷系統及診斷程式。在樣品液體氣化裝置內的氣體濃度計的診斷系統中，樣品液體氣化裝置包括：樣品液體槽；氣體導出管，將通過樣品液體槽氣化而成的氣體導出至外部；及氣體濃度計，設置於氣體導出管，且測定氣體濃度測定值；診斷系統包括：氣體濃度計算部，根據由溫度計獲得的樣品液體槽內的溫度及由壓力計獲得的樣品液體槽內的壓力，算出樣品液體槽內經氣化的氣體濃度計算值；及狀態判斷部，將由氣體濃度計算部算出的氣體濃度計算值及由氣體濃度計獲得的氣體濃度測定值作為參數，判斷氣體濃度計的異常。

Description

樣品液體氣化系統、診斷系統及診斷方法
本發明涉及一種診斷整個樣品液體氣化裝置的異常的系統及其方法，所述樣品液體氣化裝置包括設置於樣品液體氣化裝置內的氣體濃度計等各種感測器、流量控制器(flow controller)等流量控制設備在內。
作為現有的樣品液體氣化裝置，如專利文獻1所示具有底下構件，其包括：樣品液體槽，儲存樣品液體；氣體導入管，將使該樣品液體氣化的載氣導入至該樣品液體槽的樣品液體；以及氣體導出管，自所述樣品液體槽導出包括樣品液體氣化而成的樣品氣體及載氣的混合氣體。並且，在所述樣品液體氣化裝置中，有時會設置例如超聲波式氣體濃度計等氣體濃度計，以測定流經所述氣體導出管的混合氣體中的樣品氣體濃度。
並且，為了判斷由所述氣體濃度計獲得的測定值是否準確，通過流入濃度已知的基準氣體，對基準氣體的已知濃度與氣體濃度計的測定值進行比較來進行。
然而，為了使基準氣體流入氣體濃度計，必須在樣品液體氣化裝置中設置用於流入基準氣體的配管，從而存在配管空間擴大、成本增大的問題。並且，由於必須在樣品液體氣化裝置中準備用於流入基準氣體的時序(sequence)(處理順序)，因此存在用戶的操作變得複雜的問題。
此外，由於在通過樣品液體氣化裝置產生了樣品氣體 的狀態下無法流入基準氣體，所以必須在暫時通過樣品液體氣化裝置使樣品氣體的生成停止之後流入基準氣體。如上所述在停止了樣品氣體的生成的狀態下判斷異常的話，必須空出時間間隔來判斷氣體濃度計的異常，從而存在檢測氣體濃度計的異常發生延遲，在此之前生成的樣品氣體的濃度偏離所需值的問題。
在所述樣品液體氣化裝置中，除了所述氣體濃度計的異常以外，在設置於樣品液體氣化裝置內的溫度計、壓力計等各種感測器或設置於氣體導入管內的質量流量控制器等流量控制設備發生異常時，也存在樣品氣體的濃度偏離所需值的問題。而且，為了判斷所述各部的異常，必須對各部個別地設定判斷時序。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2004-149925號公報
因此，本發明是為了解決上述問題而開發的，其主要課題在於無需準備基準氣體及流入基準氣體的專用配管以及個別的時序，便可以進行包括氣體濃度計等各部在內的整個系統(裝置)是否異常的判斷。
即，本發明的樣品液體氣化系統的特徵在於包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，並且使該樣品液體氣化；氣體導出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的氣體導出至所述樣品液體槽的外部；氣體濃度計，測定流經所述氣體導 出管的氣體濃度測定值；溫度計，測定所述樣品液體槽內的溫度；壓力計，測定所述樣品液體槽內的壓力；氣體濃度計算部，根據由所述溫度計獲得的溫度及由所述壓力計獲得的壓力，算出所述樣品液體槽內經氣化的氣體濃度計算值；以及狀態判斷部，將由所述氣體濃度計算部算出的氣體濃度計算值以及由所述氣體濃度計獲得的氣體濃度測定值作為參數，判斷樣品液體氣化系統的異常。
如上所述的樣品液體氣化系統，將根據樣品液體槽內的溫度及樣品液體槽內的壓力而算出的氣體濃度計算值以及由氣體濃度計獲得的氣體濃度測定值作為參數，判斷整個樣品液體氣化系統的異常，因此無需另行準備基準氣體、用於流入基準氣體的配管及個別的時序等。而且，在已生成樣品氣體的樣品氣體生成運轉時，也可以判斷包括樣品液體氣化系統是否異常在內的狀態。
根據樣品液體槽內的溫度及樣品液體槽內的壓力而算出的氣體濃度計算值是根據例如因起泡(bubbling)而產生的樣品液體的氣化效率、樣品液體的材料特性、樣品液體槽內的樣品液體的液量等而變動。因此，優選的是，所述狀態判斷部根據所述氣體濃度測定值是否包含於對所述氣體濃度計算值實施規定的運算而獲得的上限值與下限值的範圍內，來判斷樣品液體氣化系統是否異常。
而且，本發明的診斷系統是樣品液體氣化裝置內的氣體濃度計的診斷系統，所述樣品液體氣化裝置包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，並且使該樣品液體氣化；氣體導 出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的氣體導出至外部；以及氣體濃度計，測定流經所述氣體導出管的氣體濃度測定值；所述診斷系統的特徵在於包括：氣體濃度獲取部，獲取氣體濃度計算值，所述氣體濃度計算值是根據由測定所述樣品液體槽內的溫度的溫度計所獲得的溫度及由測定所述樣品液體槽內的壓力的壓力計所獲得的壓力而算出，表示所述樣品液體槽內經氣化的氣體濃度；以及狀態判斷部，將由所述氣體濃度獲取部獲取的氣體濃度計算值以及由所述氣體濃度計獲得的氣體濃度測定值作為參數，判斷所述樣品液體氣化裝置的異常。
此外，本發明的診斷方法是樣品液體氣化裝置的診斷方法，所述樣品液體氣化裝置包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，並且使該樣品液體氣化；氣體導出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的氣體導出至外部；以及氣體濃度計，測定流經所述氣體導出管的氣體濃度測定值；所述診斷方法的特徵在於：使電腦發揮多個功能，所述功能包括：作為氣體濃度獲取部的功能，獲取氣體濃度計算值，所述氣體濃度計算值是根據由測定所述樣品液體槽內的溫度的溫度計所獲得的溫度及由測定所述樣品液體槽內的壓力的壓力計所獲得的壓力而算出，表示所述樣品液體槽內經氣化的氣體濃度；以及作為狀態判斷部的功能，將由氣體濃度獲取部獲取的氣體濃度計算值以及由所述氣體濃度計獲得的氣體濃度測定值作為參數，判斷所述樣品液體氣化裝置的異常。
而且，本發明的樣品液體氣化系統的特徵在於包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，並且使該樣品液體氣化；載氣導入管，將使該樣品液體氣化的載氣導入至儲存於所述樣品液體槽內的樣品液體中；氣體導出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的樣品氣體及所述載氣的混合氣體導出至所述樣品液體槽的外部；氣體濃度計，測定流經所述氣體導出管的混合氣體中的氣體濃度測定值；第1流量計，設置於所述載氣導入管，測定流經該載氣導入管的載氣流量；第2流量計，設置於所述氣體導出管，測定流經該氣體導入管的混合氣體流量；氣體濃度計算部，根據由所述第1流量計獲得的載氣流量及由所述第2流量計獲得的混合氣體流量，算出氣體濃度計算值；以及狀態判斷部，將由所述氣體濃度計算部算出的氣體濃度計算值以及由所述氣體濃度計獲得的氣體濃度測定值作為參數，判斷樣品液體氣化系統的異常。
而且，本發明的樣品液體氣化系統的特徵在於包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，並且使該樣品液體氣化；氣體導出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的氣體導出至所述樣品液體槽的外部；氣體濃度計，測定流經所述氣體導出管的氣體中的樣品氣體的分壓，並測定氣體濃度；溫度計，測定所述樣品液體槽內的溫度；壓力計算部，根據由所述溫度計獲得的溫度，算出所述樣品液體的飽和蒸氣壓；以及狀態判斷部，將由所述壓力計算部算出的飽和蒸氣壓以及由所述氣體濃度計獲得的分壓作為參數，判斷樣 品液體氣化系統的異常。如上所述通過由氣體濃度計獲得的分壓與利用由溫度計獲得的溫度而算出的飽和蒸氣壓的比較，也會獲得與上述同樣的效果。
根據如上所述構成的本發明，根據氣體濃度計算值及氣體濃度測定值來判斷包括氣體濃度計等各部在內的整個系統(裝置)是否異常，所述氣體濃度計算值是根據樣品液體槽內的溫度及樣品液體槽內的壓力而算出，所述氣體濃度測定值是由氣體濃度計而獲得，因此無需準備基準氣體及流入基準氣體的專用配管以及個別的時序，便可以進行包括整個系統(裝置)是否異常在內的狀態的判斷。
以下，參照附圖，對本發明的樣品液體氣化系統的一實施方式進行說明。
本實施方式的樣品液體氣化系統100是將成為成膜原料的樣品液體通過起泡法加以氣化而供給至例如使用了半導體製造工序(process)中所使用的化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition，CVD)法等的成膜裝置中。
具體而言，所述樣品液體氣化系統100如圖1所示，包括：樣品液體槽2，儲存樣品液體；載氣導入管3，將載氣導入至儲存於樣品液體槽2內的樣品液體中，使其起泡；以及氣體導出管4，將通過樣品液體槽2氣化而成的樣品氣體及載氣的混合氣體導出至樣品液體槽2的外部。
在載氣導入管3上，設置有質量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)31作為用於控制流經該載氣導入管3的載氣流量的流量控制設備。而且，在氣體導出管4上，設置有例如超聲波式的氣體濃度計41，氣體濃度計41用以測定流經該氣體導出管4的混合氣體中的樣品氣體濃度。再者，通過這些構成，構成樣品液體氣化裝置200。
此外，在樣品液體槽2內，設置有測定儲存於該樣品液體槽2內的樣品液體的溫度的溫度計21、以及測定樣品液體槽2內的壓力(總壓)的壓力計22。
並且，在本實施方式中，包括具有如下功能的運算裝置5：自溫度計21獲取溫度檢測信號，並且自壓力計22獲取壓力檢測信號，診斷包括所述氣體濃度計41是否異常在內的狀態。
所述運算裝置5是包括中央處理器(Central Processing Unit，CPU)、記憶體、輸入輸出介面、類比-數位(Analog-to-Digital，AD)轉換器等的通用或專用的電腦(computer)，根據存儲於所述記憶體的規定區域的控制程式(program)使CPU、周邊設備等共同工作，由此作為氣體濃度計算部51及狀態判斷部52等發揮作用。再者，本實施方式的狀態判斷部52是作為判斷氣體濃度計41是否異常的異常判斷部而發揮作用。
以下，與說明氣體濃度計算部51及狀態判斷部52一併說明通過運算裝置5而實施的氣體濃度計41的診斷處理。再者，本實施方式的氣體濃度計41的診斷處理在通常的樣品氣體生成運轉時常時進行。
首先，氣體濃度計算部51自溫度計21獲取表示樣品液體的溫度(TB)的溫度檢測信號(步驟S1)，算出樣品液體槽2內的樣品氣體的蒸氣壓(分壓(PT))(步驟S2)。並且，氣體濃度計算部51自壓力計22獲取表示樣品液體槽2內的壓力(總壓(P0))的壓力檢測信號(步驟S3)，根據樣品液體槽2內的總壓(P0)及所述樣品氣體的蒸氣壓(PT)計算樣品氣體濃度(氣體濃度計算值(CC))(步驟S4)。
本實施方式的氣體濃度計算部51是在所述氣體濃度計算值(CC)上乘以固定係數(KF：由液體樣品槽2、載氣導入管3的特性及因起泡而產生的氣化效率等規定的固定的係數)、液位係數(KL：根據儲存於樣品液體槽2內的樣品液體的液量而變動的係數)、時間係數(KT：根據樣品液體氣化系統100的使用時間、起泡時間等而變動的係數)，來算出氣體濃度修正值(CC2)(步驟S5)。再者，固定係數KF是預先通過輸入元件等而手動輸入的係數。並且，液位係數KL可以設為通過自動測量液量而由氣體濃度計算部51算出，也可以手動輸入。此外，時間係數KT既可以設為通過自動測量使用時間等而由氣體濃度計算部51算出，也可以手動輸入。
其次，狀態判斷部52獲取通過所述氣體濃度計算部51而算出的表示氣體濃度修正值(CC2)的修正值資料(步驟S6)，並且自氣體濃度計41獲取表示氣體濃度測定值(CM)的氣體濃度測定值資料，將所述氣體濃度修正值 (CC2)及氣體濃度測定值(CM)作為參數，判斷所述氣體濃度計41的異常(步驟S7)。
具體而言，狀態判斷部52通過在由氣體濃度計算部51獲得的氣體濃度修正值(CC2)上乘以規定的範圍係數X，來算出濃度上限值(X．CC2)及濃度下限值(-X．CC2)，判斷氣體濃度計41的氣體濃度測定值(CM)是否包含於該濃度上限值(X．CC2)與濃度下限值(-X．CC2)之間。
接著，狀態判斷部52在氣體濃度計41的氣體濃度測定值(CM)不在所述上限值(X．CC2)與下限值(-X．CC2)的範圍內時，判斷氣體濃度計41為異常(步驟S7)。另一方面，如果氣體濃度測定值(CM)處於濃度上限值(X．CC2)與濃度下限值(-X．CC2)的範圍內，則繼續進行診斷處理。再者，運算裝置5在狀態判斷部52判斷為異常時，在顯示器上進行異常顯示等，利用通知元件向用戶通知氣體濃度計41為異常。另外，運算裝置5還可以停止樣品液體氣化系統100所進行的樣品氣體生成運轉。
根據如上所述構成的本實施方式的樣品液體氣化系統100，將根據儲存於樣品液體槽2內的樣品液體的溫度(TB)及樣品液體槽2內的壓力(總壓(P0))而算出的氣體濃度計算值(CC)以及由氣體濃度計41獲得的氣體濃度測定值(CM)作為參數，來判斷氣體濃度計41的異常，因此無需另行準備基準氣體、用於流入基準氣體的配管以及時序等。並且，可以在生成了樣品氣體的通常時候判斷氣體濃度計41的異常，因此可以常時判斷氣體濃度計41的 異常。
再者，本發明並不限於所述實施方式。
例如，如圖3所示，除所述實施方式的構成以外，也可以在氣體導出管4上，在氣體濃度計41的下游側設置氣體流量計42(第2流量計)，利用由該氣體流量計42獲得的混合氣體流量(Q2)與由設置於載氣導入管3上的質量流量控制器31(第1流量計)所獲得的載氣流量(Q1)的差(Q2-Q1)來算出樣品氣體濃度(CC3)。這時，不僅通過根據溫度(TB)及壓力(P0)而算出的氣體濃度計算值(CC)與氣體濃度測定值(CM)的比較，來判斷氣體濃度計41的異常，而且也可以通過根據載氣流量(Q1)及混合氣體流量(Q2)而算出的氣體濃度計算值(CC3)與氣體濃度測定值(CM)的比較，來判斷氣體濃度計41的異常，借此可以提高氣體濃度計41的診斷的可靠性。再者，也可以不進行通過溫度(TB)及壓力(P0)而算出的氣體濃度計算值(CC)與氣體濃度測定值(CM)的比較，而利用根據載氣流量(Q1)及混合氣體流量(Q2)而算出的氣體濃度計算值(CC3)與氣體濃度測定值(CM)的比較，來判斷氣體濃度計41的異常。
在所述實施方式中，是在氣體濃度計算值(CC)上乘以固定係數KF、液位係數KL、時間係數KT來進行修正，但是也可以乘以所述係數中的任一個係數來進行修正，還可以乘以其他係數進行修正，也可以不進行修正而利用氣體濃度計算值(CC)本身進行異常判斷。
而且，在所述實施方式中，是狀態判斷部判斷氣體濃度計是否異常，但是此外，還可以根據所述氣體濃度測定值與氣體濃度計算值的差對氣體濃度計的狀態劃分等級(rank)等，借此判斷氣體濃度計的狀態。
並且，在所述實施方式中，狀態判斷部是判斷氣體濃度計的異常，但是狀態判斷部也可以將氣體濃度計視為正常，而判斷其他各種感測器或質量流量控制器等的異常。例如，在將氣體濃度計視為正常的情況下，當氣體濃度計算值未處於濃度上限值與濃度下限值之間時，可以判斷為用於計算氣體濃度計算值的溫度或壓力異常。即，由此，可以判斷為溫度計或壓力計異常。此外，在溫度計或壓力計可以視為正常的情況下，可以判斷為其他的質量流量控制器、樣品液體氣化裝置的配管等異常。
此外，如果所述實施方式的氣體濃度計是測定流經氣體導出管的氣體中的樣品氣體的分壓，並測定該樣品氣體的氣體濃度，那麼也可以設為如下構成，即，包括：溫度計，測定樣品液體槽內的溫度；壓力計算部，根據由溫度計獲得的溫度，算出所述樣品液體的飽和蒸氣壓；以及狀態判斷部，將由壓力計算部算出的飽和蒸氣壓及由所述氣體濃度計獲得的分壓作為參數，判斷樣品液體氣化系統的異常。即便為如上所述，也會獲得與所述實施方式同樣的效果。而且，可以不需要壓力計，因此可以簡化構成。
此外，在所述實施方式中，運算裝置包含氣體濃度計算部，所述氣體濃度計算部是根據由測定樣品液體槽內的 溫度的溫度計所獲得的溫度以及由測定樣品液體槽內的壓力的壓力計所獲得的壓力，而算出氣體濃度計算值；但是運算裝置也可以包含獲取氣體濃度計算值的氣體濃度獲取部，所述氣體濃度計算值是根據由測定樣品液體槽內的溫度的溫度計所獲得的溫度以及由測定樣品液體槽內的壓力的壓力計所獲得的壓力而算出，表示所述樣品液體槽內經氣化的氣體濃度。如此的話，在利用外部的運算元件計算氣體濃度計算值的情況下有效。
此外，本發明當然並不限於所述實施方式，在沒有脫離其主旨的範圍內可以進行各種變形。
2‧‧‧樣品液體槽
3‧‧‧載氣導入管
4‧‧‧氣體導出管
5‧‧‧運算裝置
21‧‧‧溫度計
22‧‧‧壓力計
31‧‧‧質量流量控制器
41‧‧‧氣體濃度計
42‧‧‧氣體流量計
51‧‧‧氣體濃度計算部
52‧‧‧狀態判斷部(異常判斷部)
100‧‧‧樣品液體氣化系統
200‧‧‧樣品液體氣化裝置
CC‧‧‧氣體濃度計算值
CC2‧‧‧氣體濃度修正值
CM‧‧‧氣體濃度測定值
P0‧‧‧總壓
S1~S7‧‧‧步驟
TB‧‧‧樣品液體的溫度
圖1是本發明的一實施方式的樣品液體氣化系統的示意性構成圖。
圖2是表示上述實施方式中的氣體濃度計診斷流程的流程圖。
圖3是變形實施方式的樣品液體氣化系統的示意性構成圖。
2‧‧‧樣品液體槽
3‧‧‧載氣導入管
4‧‧‧氣體導出管
5‧‧‧運算裝置
21‧‧‧溫度計
22‧‧‧壓力計
31‧‧‧質量流量控制器
41‧‧‧氣體濃度計
51‧‧‧氣體濃度計算部
52‧‧‧狀態判斷部(異常判斷部)
100‧‧‧樣品液體氣化系統
200‧‧‧樣品液體氣化裝置
CC‧‧‧氣體濃度計算值
CC2‧‧‧氣體濃度修正值
CM‧‧‧氣體濃度測定值
P0‧‧‧總壓
TB‧‧‧樣品液體的溫度

Claims (7)

  1. 一種樣品液體氣化系統，其特徵在於包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，並且使所述樣品液體氣化；氣體導出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的氣體導出至所述樣品液體槽的外部；氣體濃度計，測定流經所述氣體導出管的氣體濃度測定值；溫度計，測定所述樣品液體槽內的溫度；壓力計，測定所述樣品液體槽內的壓力；氣體濃度計算部，根據由所述溫度計獲得的所述溫度及由所述壓力計獲得的所述壓力，算出所述樣品液體槽內經氣化的氣體濃度計算值；以及狀態判斷部，將由所述氣體濃度計算部算出的所述氣體濃度計算值以及由所述氣體濃度計獲得的所述氣體濃度測定值作為參數，判斷樣品液體氣化系統的異常。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之樣品液體氣化系統，其中所述狀態判斷部根據所述氣體濃度測定值是否包含於對所述氣體濃度計算值實施規定的運算而獲得的上限值與下限值的範圍內，來判斷所述樣品液體氣化系統是否異常。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之樣品液體氣化系統，更包括：載氣導入管，將使所述樣品液體氣化的載氣導入至儲 存於所述樣品液體槽內的所述樣品液體中。
  4. 一種診斷系統，所述診斷系統是樣品液體氣化裝置內的氣體濃度計的診斷系統，所述樣品液體氣化裝置包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，並且使所述樣品液體氣化；氣體導出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的氣體導出至外部；以及所述氣體濃度計，測定流經所述氣體導出管的氣體濃度測定值；所述診斷系統的特徵在於包括：氣體濃度獲取部，獲取氣體濃度計算值，所述氣體濃度計算值是根據由測定所述樣品液體槽內的溫度的溫度計所獲得的所述溫度以及由測定所述樣品液體槽內的壓力的壓力計所獲得的所述壓力而算出，表示所述樣品液體槽內經氣化的氣體濃度；以及狀態判斷部，將由所述氣體濃度獲取部獲取的所述氣體濃度計算值以及由所述氣體濃度計獲得的所述氣體濃度測定值作為參數，判斷所述樣品液體氣化裝置的異常。
  5. 一種診斷方法，所述診斷方法是樣品液體氣化裝置的診斷方法，所述樣品液體氣化裝置包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，並且使所述樣品液體氣化；氣體導出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的氣體導出至外部；以及氣體濃度計，測定流經所述氣體導出管的氣體濃度測定值；所述診斷方法的特徵在於：使電腦發揮多個功能，所述功能包括：作為氣體濃度獲取部的功能，所述氣體濃度獲取部獲取氣體濃度計算值，所述氣體濃度計算值是根據由測定所述樣品液體槽內 的溫度的溫度計所獲得的所述溫度以及由測定所述樣品液體槽內的壓力的壓力計所獲得的所述壓力而算出，表示所述樣品液體槽內經氣化的氣體濃度；以及作為狀態判斷部的功能，所述狀態判斷部將由所述氣體濃度獲取部獲取的所述氣體濃度計算值以及由所述氣體濃度計獲得的所述氣體濃度測定值作為參數，判斷所述樣品液體氣化裝置的異常。
  6. 一種樣品液體氣化系統，其特徵在於包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，並且使所述樣品液體氣化；載氣導入管，將使所述樣品液體氣化的載氣導入至儲存於所述樣品液體槽內的所述樣品液體中；氣體導出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的樣品氣體及所述載氣的混合氣體導出至所述樣品液體槽的外部；氣體濃度計，測定流經所述氣體導出管的所述混合氣體中的氣體濃度測定值；第1流量計，設置於所述載氣導入管，測定流經所述載氣導入管的載氣流量；第2流量計，設置於所述氣體導出管，測定流經所述氣體導入管的混合氣體流量；氣體濃度計算部，根據由所述第1流量計獲得的所述載氣流量及由所述第2流量計獲得的所述混合氣體流量，算出氣體濃度計算值；以及 狀態判斷部，將由所述氣體濃度計算部算出的所述氣體濃度計算值以及由所述氣體濃度計獲得的所述氣體濃度測定值作為參數，判斷樣品液體氣化系統的異常。
  7. 一種樣品液體氣化系統，其特徵在於包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，並且使所述樣品液體氣化；氣體導出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的氣體導出至所述樣品液體槽的外部；氣體濃度計，測定流經所述氣體導出管的氣體中的樣品氣體的分壓，並測定氣體濃度；溫度計，測定所述樣品液體槽內的溫度；壓力計算部，根據由所述溫度計獲得的溫度，算出所述樣品液體的飽和蒸氣壓；以及狀態判斷部，將由所述壓力計算部算出的所述飽和蒸氣壓以及由所述氣體濃度計獲得的所述分壓作為參數，判斷所述樣品液體氣化系統的異常。
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