JP2015195357A - 電波吸収粒子の製造方法およびその方法により製造された電波吸収粒子、電波吸収体 - Google Patents

Abstract

【課題】容易に、圧壊強度に優れた電波吸収粒子を製造する方法およびその方法により製造された電波吸収粒子、電波吸収体を提供する。【解決手段】無機粒子２を含有する無機粒子スラリーと、導電性フィラー４を含有する導電性フィラースラリーとを混合して混合スラリーを作製し、スプレードライヤー法を用いて、混合スラリーを噴霧し乾燥させて無機粒子と導電性フィラーとからなる顆粒体を形成した後、不活性雰囲気下において、未焼成時の圧壊強度よりも強い圧壊強度が発現する温度により、顆粒体を焼成することにより、無機粒子２と導電性フィラー４とからなる電波吸収粒子１を造粒する。【選択図】図１

Description

本発明は、電波吸収粒子の製造方法およびその方法により製造された電波吸収粒子、電波吸収体に関する。

近年、無線通信技術の進歩と無線通信システムの基盤整備が進み、携帯電話、無線ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）や自動料金収集システム（ＥＴＣ）などの電波利用が急速に進んでいる。

電波利用下では、機器を外部電波に影響されずに正常に作動させること（イミュニティ問題）と機器から他に影響する電波を出さないこと（エミッション問題）とを両立させることが求められており、不要な電波を吸収し、反射波を抑制する電波吸収体が注目されている。

この電波吸収体は、一般にフェライト焼結体、フェライト等の磁性粉体やカーボンブラック等の導電性粉体を、合成樹脂やゴム等に分散した成形体が知られており、導電損失、誘電損失、磁性損失により電波エネルギーを熱エネルギーに変換して吸収するものである。

誘電損失と導電損失を利用した電波吸収体としては、例えば、塩化ビニリデン系樹脂等により形成された導電性発泡粒子と、熱可塑性有機高分子（例えば、塩化ビニリデン系樹脂）からなる非導電性発泡粒子とが互いに融着された電波吸収粒子が提案されている。この導電性発泡粒子は、熱可塑性有機高分子の発泡粒子の表面に導電性粉体を有する導電性層および導電性層内の導電性粉体の脱落を防止する有機高分子のオーバーコート薄層を有している。そして、このような構成により、機械強度に優れ、長期間、安定した形状保持性を有する電波吸収粒子を提供することができると記載されている（例えば、特許文献１参照）。

また、水性媒体中に分散した樹脂粒子に対して、磁性材料を添加・分散した後に、スプレードライヤー法を用いて、噴霧し乾燥させることにより、樹脂粒子と磁性材料とからなる電波吸収粒子を造粒する方法が開示されている（例えば、特許文献２参照）。

特開平１１−２０９５０５号公報 国際公開第２００５／０３０８６８号

しかし、上記特許文献２に記載の方法においては、スプレードライヤー法により容易に電波吸収粒子を製造することはできるが、製造される電波吸収粒子は顆粒体であるため、圧壊強度に乏しく、衝撃等に弱いという問題があった。

そこで、本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、スプレードライヤー法により、容易に、圧壊強度に優れた電波吸収粒子を製造する方法およびその方法により製造された電波吸収粒子、電波吸収体を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の電波吸収粒子の製造方法は、無機粒子を含有する無機粒子スラリーと、導電性フィラーを含有する導電性フィラースラリーとを混合して混合スラリーを作製し、スプレードライヤー法を用いて、混合スラリーを噴霧し乾燥させて無機粒子と導電性フィラーとからなる顆粒体を形成した後、不活性雰囲気下において、未焼成時の圧壊強度よりも強い圧壊強度が発現する温度により、顆粒体を焼成することにより、無機粒子と導電性フィラーとからなる電波吸収粒子を造粒することを特徴とする。

同構成によれば、顆粒体を構成する粒子同士が強固に結合するため、スプレードライヤー法という簡易な方法で、圧壊強度に優れた電波吸収粒子を量産することが可能になる。

本発明の電波吸収粒子の製造方法においては、混合スラリーにおける導電性フィラーの配合量が、無機粒子１００質量部に対して、０．２５質量部以上３質量部以下であってもよい。

同構成によれば、電波吸収特性が低下してしまうという不都合を生じることなく、圧壊強度に優れた電波吸収粒子を量産することが可能になる。

本発明の電波吸収粒子の製造方法においては、無機粒子がアルミナ粒子であり、導電性フィラーがカーボン粒子であり、顆粒体の焼成温度が９００℃以上であってもよい。

同構成によれば、無機粒子としてアルミナ粒子を使用した場合に、圧壊強度を更に向上させることが可能になる。

また、アルミナ粒子は適度な重量があるため、電波吸収粒子を容器に充填して電波吸収体を形成する際に、電波吸収粒子の自重により、粒子同士の接触を維持することが可能になる。従って、安定した導電ネットワークを形成することができ、結果として、電波吸収特性を向上させることが可能になる。また、カーボン粒子を使用することにより、少量の導電性フィラーにより導電性を向上させて、電波吸収特性に優れた電波吸収体を得ることができる。

本発明の電波吸収粒子の製造方法においては、無機粒子がアルミナ粒子であり、導電性フィラーがカーボン粒子であり、顆粒体の焼成温度が１５００℃以上であってもよい。

同構成によれば、無機粒子としてアルミナ粒子を使用した場合に、圧壊強度をより一層向上させることが可能になる。

本発明の電波吸収粒子の製造方法においては、無機粒子がチタニア粒子であり、導電性フィラーがカーボン粒子であり、顆粒体の焼成温度が５００℃以上であってもよい。

同構成によれば、無機粒子としてチタニア粒子を使用した場合に、圧壊強度を更に向上させることが可能になる。

また、無機粒子としてアルミナ粒子を使用する場合に比し、カーボン粒子の添加量を減少させて（即ち、少量のカーボン粒子添加量で）、所望の周波数帯域（例えば、６ＧＨｚ付近）の電磁波を吸収する電波吸収体を得ることができる。また、カーボン粒子を使用することにより、少量の導電性フィラーにより導電性を向上させて、電波吸収特性に優れた電波吸収体を得ることができる。更に、チタニア粒子は、アルミナ粒子よりも融点が低いため、アルミナ粒子を使用する場合に比し、低い温度で焼成を行うことが可能になる。

本発明の電波吸収粒子の製造方法においては、無機粒子がチタニア粒子であり、導電性フィラーがカーボン粒子であり、顆粒体の焼成温度が８００℃以上であってもよい。

同構成によれば、無機粒子としてチタニア粒子を使用した場合に、圧壊強度をより一層向上させることが可能になる。

また、本発明の電波吸収粒子の製造方法は、スプレードライヤー法という簡易な方法で、圧壊強度に優れた電波吸収粒子を量産することができるという優れた特性を備えている。従って、本発明は、本発明の電波吸収粒子の製造方法に製造された電波吸収粒子、及びその電波吸収粒子を集積した電波吸収体に好適に使用される。

本発明によれば、スプレードライヤー法という簡易な方法で、圧壊強度に優れた電波吸収粒子を量産することができる。

本発明の実施形態に係る電波吸収粒子の構造を示す断面図である。 本発明の実施形態における無機粒子と導電性フィラーとからなる顆粒体を示す断面図である。 本発明の実施形態に係る電波吸収粒子の製造方法において使用するスプレードライヤー装置の全体構成を示す概略図である。 本発明の実施形態に係る電波吸収粒子の製造方法におけるスプレードライヤー工程において生成する液滴の構造を示す断面図である。 実施例１１で得られた電波吸収粒子、及び比較例７で得られた電波吸収粒子の電波吸収特性を示す図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。

図１は、本発明の実施形態に係る電波吸収粒子の構造を示す断面図である。

図１に示すように、本実施形態の電波吸収粒子１は、誘電体である複数の無機粒子（コア粒子）２と、複数の導電性フィラー４とが集合して形成された顆粒体である。

この電波吸収粒子１は、例えば、電子機器を構成する電子部品から発生するノイズ等の不要な電磁波を吸収するものであり、電波吸収粒子１は、電子機器を外部の電磁波やノイズから保護する作用や、電子機器から発生するノイズが外部へ漏洩することを防止する作用を有する。

また、この電波吸収粒子１を、容器等の収納部材に充填することにより、例えば、無線ＬＡＮやＥＴＣ（Electronic Toll Collection）、電波暗室等において使用される電波吸収体、耐熱性、不燃性が要求される電波吸収体として使用することができ、電波吸収粒子１は、電波吸収体を形成する材料として使用されるものである。

即ち、無機粒子２と導電性フィラー４とにより形成された顆粒体である電波吸収粒子１を容器に充填して集積させることにより、導電性の三次元ネットワークと、導電体と誘電体との複合構造からなる電波吸収体を容易に製造することができる。

また、この電波吸収体は、上述のごとく、様々な用途に使用できるが、上述の無線ＬＡＮやＥＴＣ等、次世代無線通信に使用される周波数帯域が２．４〜１０ＧＨｚであるため、特に好適に使用できる。

また、図１に示すように、電波吸収粒子１においては、電波吸収粒子１全体に導電性フィラー４が分布されており、特に、電波吸収粒子１の表面の導電性フィラー４の密度分布が高くなっている。

即ち、電波吸収粒子１の表面においては、多数の導電性フィラー４が分布しており、多数の導電性フィラー４からなる導電層３が形成されている。

一方、無機粒子２は、図１に示すように、電波吸収粒子１の全体において、均一に分布しており、電波吸収粒子１の内部においては、均一に分布された無機粒子２間に少数の導電性フィラー４が位置している。

また、図１に示すように、図２に示した焼成前の無機粒子２同士間に存在した接触点にネック（くびれ）が形成され、焼成が進むにつれてそのネックの部分が成長するため、電波吸収粒子１の強度が向上することになる。

なお、図示はしていないが、電波吸収粒子１の内部において、導電性フィラー４が１つの無機粒子２に集中した場合、導電性フィラー４により被覆された無機粒子２が形成されることになる。

無機粒子２としては、特に限定されないが、安定した導電ネットワークを形成して、電波吸収特性を向上させるとの観点から、セラミック粒子を使用することが好ましい。このセラミック粒子としては、アルミナ粒子やチタニア粒子、粘土、カオリン、ガラス粒子、ムライト粒子、ジルコニア粒子、ジルコン粒子、及びマグネシア粒子等の耐熱性のあるセラミック粒子や陶磁器質タイル素地が好適に使用され、これらのうちの少なくとも１種を用いることができる。

即ち、無機粒子２として、上述のセラミック粒子（アルミナ粒子やチタニア粒子等）を使用することにより、セラミック粒子は適度な重量があるため、電波吸収粒子１を容器に充填して電波吸収体を形成する際に、電波吸収粒子１の自重により、粒子同士の接触を維持することが可能になる。従って、安定した導電ネットワークを形成することができ、結果として、電波吸収特性を向上させることが可能になる。また、上述のセラミック粒子は、耐熱性及び不燃性に優れているため、このようなセラミック粒子を使用することにより、耐熱性及び不燃性が要求される電波吸収体を得ることが可能になる。

なお、ここで言う「導電ネットワーク」とは、電波吸収粒子１を容器に充填して集積することにより、複数の電波吸収粒子１が互いに接触したり、近接することにより形成される導電性の三次元ネットワークのことを言う。

また、無機粒子２として、アルミナ粒子より誘電率の高いチタニア粒子を使用することにより、アルミナ粒子を使用する場合に比し、導電性フィラー４（カーボン粒子）の添加量を減少させて（即ち、少量のカーボン粒子添加量で）、所望の周波数帯域（例えば、６ＧＨｚ付近）の電磁波を吸収する電波吸収体を得ることができる。

また、陶磁器質タイル素地は密度が小さく、安価であるため、無機粒子２として陶磁器質タイル素地を使用することにより、安価かつ軽量な電波吸収体を得ることができる。

なお、ここで言う「陶磁器質タイル素地」とは、ＪＩＳＡ５２０９に規定された陶磁器質タイル素地のことを言い、粘土質原料に、石英、長石、陶石、ロウ石を配合した坏土のことを言う。

また、陶磁器質タイル素地としては、スラリー状の市販品（例えば、ヤマセ（株）製、商品名：Ｎ−３００）を使用することができる。

また、無機粒子２の形状は、特に限定されず、球状、粒状、針状、フレーク状、板状等のいずれの形状であってもよいが、均質なネットワーク構造を形成するとの観点から、無機粒子２の形状は球状が好ましい。

また、無機粒子２としては、平均粒子径が、０．１μｍ以上１０μｍ以下のものを使用することが好ましい。

なお、ここで言う「平均粒子径」とは、５０％粒径（Ｄ５０）を指し、レーザードップラー法を応用した粒度分布測定装置（日機装（株）製、ナノトラック（登録商標）粒度分布測定装置ＵＰＡ−ＥＸ１５０）等により測定できる。

導電性フィラー４としては、特に限定はされないが、本実施形態においては、カーボンブラック、カーボンナノチューブ等のカーボン粒子や、金、銀、銅等の金属粒子、インジウム−スズ酸化物（ＩＴＯ）、スズ−アンチモン酸化物（ＡＴＯ）、インジウム−亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、ガリウム−亜鉛酸化物（ＧＺＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ）等の金属酸化物系の導電性セラミック粒子が好適に使用され、これらのうちの少なくとも１種を用いることができる。

このうち、安価かつ軽量であり、また、少量の導電性フィラー４により導電性を向上させて、電波吸収特性に優れた電波吸収体を得るとの観点から、導電性に優れたカーボン粒子を使用することが好ましい。

また、導電性フィラー４の形状やサイズは、無機粒子２の形状やサイズに依存し、導電性フィラー４は、無機粒子２に相似する粒子形態を有している。導電性フィラー４の形状は、特に限定されず、球状、粒状、針状、フレーク状、板状等のいずれの形状であってもよい。

次に、本発明の実施形態に係る電波吸収粒子の製造方法について説明する。

本実施形態においては、無機粒子２を含有する無機粒子スラリーと導電性フィラー４を含有する導電性フィラースラリーとを混合して混合スラリーを作製し、スプレードライヤー法を用いて、混合スラリーを噴霧し乾燥させて無機粒子２と導電性フィラー４とからなる顆粒体を形成した後、不活性雰囲気下において、未焼成時の圧壊強度よりも強い圧壊強度が発現する温度により、顆粒体を焼成することにより、無機粒子２と導電性フィラー４とからなる電波吸収粒子１を造粒する点に特徴がある。

そして、この様な構成により、不活性雰囲気下において、未焼成時の圧壊強度よりも強い圧壊強度が発現する温度により、顆粒体を焼成するため、顆粒体を構成する粒子（即ち、無機粒子２）同士が強固に結合し、結果として、スプレードライヤー法という簡易な方法で、圧壊強度に優れた電波吸収粒子１を量産することが可能になる。

本実施形態の製造方法は、無機粒子スラリー作製工程と、導電性フィラースラリー作製工程と、混合スラリー作製工程と、スプレードライヤー工程と、焼成工程とを備える。

＜無機粒子スラリー作製工程＞
まず、樹脂製の容器（例えば、樹脂製ポット）に、水（イオン交換水）、無機粒子２、分散剤、及び解砕材を投入し、ポットミル架台を使用して、所定時間、混合と解砕を行いスラリー化する。次いで、解砕材が混入したスラリーを篩に通して、スラリーと解砕材を分離することにより、無機粒子２を含有する無機粒子スラリーを得る。

なお、分散剤は、無機粒子２の分散を促進して無機粒子２の凝集を防止し、無機粒子の固形分濃度を向上するためのものであり、本実施形態においては、無機粒子スラリーにおける分散剤の配合量を、無機粒子１００質量部に対して、０．５質量部以上の割合となるように設定することが好ましい。

これは、分散剤の配合量が０．５質量部以上の場合、分散剤がバインダーとしての役割も果たして、電波吸収粒子１の強度が向上し、電波吸収粒子１が自重により破損してしまうという不都合を回避することが可能になるためである。

この分散剤としては、例えば、ポリカルボン酸の水系分散剤やリン酸ナトリウム、ポリリン酸ナトリウム、クエン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム等の無機分散剤、アミン類、ピリジン、ポリアクリル酸、ポリカルボン酸の金属塩又はアンモニウム塩等の有機分散剤等を使用することができる。

また、解砕材は、凝集した無機粒子２を破壊して、無機粒子２の分散を促進するためのものである。例えば、無機粒子２としてアルミナ粒子を使用する場合、アルミナ粒子には粗大粒子や凝集体が存在するため、この解砕材を用いて、混合と同時にアルミナ粒子の解砕を行い、粗大粒子や凝集体を破壊する。

この解砕材としては、アルミナボールや玉石等を使用することができる。

また、混合中に、無機粒子２の再凝集を防止するために、上述の分散剤を同時に添加して分散を促進する。

また、バインダー、可塑剤、滑剤、消泡剤等の添加剤を使用する構成としてもよい。

＜導電性フィラースラリー作製工程＞
導電性フィラー４（例えば、カーボン粒子を使用する場合は、カーボンブラックやカーボンナノチューブ）を水（イオン交換水）に分散することにより、導電性フィラー４を含有する導電性フィラースラリーを得る。

なお、市販の導電性フィラースラリーを使用しても良い。例えば、カーボンスラリー（ライオン（株）製、商品名：Ｗ−３５６Ａ、カーボン含有量：８質量％）を使用することができる。

＜混合スラリー作製工程＞
まず、作製した無機粒子スラリーに導電性フィラースラリーを添加し、攪拌機を使用して、所定時間、混合する。次いで、バインダー及び滑剤を添加し、所定時間、混合することにより、無機粒子スラリーと導電性フィラースラリーとが混合された混合スラリーを得る。なお、本工程においては、必要に応じて、上述の分散剤や解砕材を添加しても良い。

ここで、本実施形態においては、混合スラリーにおける導電性フィラー４の配合量を、無機粒子１００質量部に対して、０．２５質量部以上３質量部以下の割合となるように設定することが好ましい。

これは、導電性フィラー４の配合量が０．２５質量部未満の場合は、導電性フィラー４の含有量が少ないため、電波吸収粒子１の電波吸収特性が低下してしまうという不都合が生じる場合があるためである。また、導電性フィラー４の配合量が３質量部より大きい場合は、導電性フィラー４は柔らかく、導電性フィラー４と無機粒子２は結合しないため、導電性フィラー４の配合量が増加すると、電波吸収粒子１の圧壊強度が十分に向上しない場合があるためである。

即ち、導電性フィラーの配合量を０．２５質量部以上３質量部以下に設定することにより、電波吸収特性が低下してしまうという不都合を生じることなく、圧壊強度に優れた電波吸収粒子１を量産することが可能になる。

＜スプレードライヤー工程＞
次いで、無機粒子２を含有する無機粒子スラリーと導電性フィラー４を含有する導電性フィラースラリーとを混合し、スプレードライヤー法を用いて混合スラリーを処理することにより、無機粒子と導電性フィラーとからなる顆粒体を形成する。

図３は本発明の実施形態に係る電波吸収粒子の製造方法において使用するスプレードライヤー装置の全体構成を示す概略図である。

図３に示すように、スプレードライヤー装置１０は、顆粒体が造粒される造粒室１１と、混合スラリーを噴霧して液滴状にする回転ディスク（アトマイザ）１２と、回転ディスク１２を回転させるモータ１３と、回転ディスク１２に混合スラリーを供給するスラリー供給管１４とを備えている。

また、モータ１３は、回転駆動される軸１５を備えており、回転ディスク１２は軸１５に取り付けられている。そして、この回転ディスク１２は、軸１５と一体的に回転するように構成されている。

本工程においては、まず、上述の作製した混合ペーストを、スラリー供給管１４を介して、回転ディスク１２に供給する。そうすると、回転ディスク１２の遠心力により、混合スラリーは水平方向（図中の矢印Ａの方向）に噴霧され、細かい液滴（微粒化された液体）１６となる。

この液滴１６は、図４に示すように、自己の表面張力により真球状になっており、水滴６中に無機粒子２と導電性フィラー４とが分散した状態となっている。

噴霧された液滴１６は、図示しない熱風発生機により造粒室１１内へと吹き込まれた熱風１７により乾燥され、図２に示す顆粒体２０が製造される。

この際、液滴１６内の水分が蒸発しながら外部へ放出され、残存した無機粒子２と導電性フィラー４とが集合して顆粒体２０が形成されるが、無機粒子２に比し、比重の小さい導電性フィラー４が水分とともに電波吸収粒子１の表面側へと移動するため、図２に示すように、顆粒体２０の表面には導電性フィラー４が多く分布することになる。

また、水分の移動から取り残され、粒子内部に残存する導電性フィラー４も存在するが、その量は表面側に移動する導電性フィラー４の量より少ない。従って、顆粒体２０においては、顆粒体２０全体に導電性フィラー４が分布されており、顆粒体２０の中心から表面に向けて、導電性フィラー４の密度分布の勾配が大きくなる。その結果、顆粒体２０の表面に、多数の導電性フィラー４からなる導電層３が形成されることになる。

製造された顆粒体２０は、造粒室１１の下部に形成された回収口１８から回収される。

＜焼成工程＞
次いで、不活性雰囲気下において、顆粒体２０を焼成することにより、無機粒子２と導電性フィラー４とからなる電波吸収粒子１を造粒する。

より具体的には、例えば、カーボン製の容器に顆粒体２０を投入し、容器内を、例えば、アルゴン等の不活性ガスに置換して不活性雰囲気にした後、所定の流速（例えば、２リットル／分）で不活性ガスを容器内に流しながら、所定の温度（例えば、１０００℃）まで所定の昇温速度（例えば、１０℃／分）で昇温し、その状態を、所定時間（例えば、２時間）保持する。その後、容器内を室温まで徐々に降温し、容器内から電波吸収粒子１を取り出す構成となっている。

なお、図１に示すように、本焼成により、顆粒体２０内部の導電性フィラー４は無機粒子２の粒成長とともに無機粒子２の粒界へ運ばれる。また、顆粒体２０内部の粒内気孔７も無機粒子２の粒成長とともに粒界に運ばれ、粒界気孔８となるが、成長した無機粒子２内部にも取り残される。

また、導電性フィラー４は無機粒子２の粒成長を抑制する。従って、導電性フィラー４の添加量が多い場合は、無機粒子２の接触点が少なくなり、上述のネックの成長が抑制されるため、電波吸収粒子１の圧壊強度が十分に向上しない場合がある。

ここで、本実施形態においては、未焼成時の圧壊強度よりも強い圧壊強度が発現する温度で顆粒体を焼成する点に特徴がある。

これは、使用する無機粒子２に依存するが、例えば、無機粒子２として、アルミナ粒子を使用した場合、焼成によるアルミナ粒子の焼結が９００℃以上で生じるため、９００℃以上の温度で顆粒体２０を焼成することにより、圧壊強度に優れた電波吸収粒子１を製造することが可能になるためである。

即ち、９００℃以上の温度で焼成を行うことにより、顆粒体２０を構成する無機粒子２同士を強固に結合させることが可能になる。その結果、スプレードライヤー法という簡易な方法で、圧壊強度に優れた電波吸収粒子１を量産することが可能になる。

また、例えば、無機粒子２として、チタニア粒子を使用した場合、焼成によるチタニア粒子の焼結が４００℃以上で生じるため、４００℃以上の温度で顆粒体２０を焼成することにより、圧壊強度に優れた電波吸収粒子１を製造することが可能になるためである。

即ち、４００℃以上の温度で焼成を行うことにより、顆粒体２０を構成する無機粒子２同士を強固に結合させることが可能になる。その結果、スプレードライヤー法という簡易な方法で、圧壊強度に優れた電波吸収粒子１を量産することが可能になる。

なお、圧壊強度を更に向上させるとの観点から、焼成を行う際の温度は、５００℃以上が好ましく、８００℃以上がさらに好ましい。

なお、圧壊強度を更に向上させるとの観点から、焼成を行う際の温度は、１５００℃以上が好ましい。

また、焼成を行う際の温度の上限値は、例えば、無機粒子２として、アルミナ粒子を使用した場合、アルミナ粒子の還元防止の観点から、１８５０℃以下が好ましい。また、チタニア粒子を使用した場合、チタニア粒子の還元防止の観点から、１７５０℃以下が好ましい。

そして、このようにして形成された電波吸収粒子１を容器に充填して積層させることにより、導電性の三次元ネットワークと、導電体と誘電体との複合構造からなる電波吸収体を容易に製造することができる。

即ち、電波吸収粒子１を容器に充填して集積させるだけで、圧壊強度に優れるとともに、導電性の三次元ネットワークが形成された電波吸収特性に優れた電波吸収体を得ることができる。

以下に、本発明を実施例に基づいて説明する。なお、本発明は、これらの実施例に限定されるものではなく、これらの実施例を本発明の趣旨に基づいて変形、変更することが可能であり、それらを本発明の範囲から除外するものではない。

（実施例１）
（電波吸収粒子の作製）
３リットルの樹脂製容器に、解砕剤としてアルミナボール（ニッカトー（株）製、径：５ｍｍ）を３ｋｇ、イオン交換水を５００ｇ、主成分がポリカルボン酸の水系分散剤（中京油脂（株）製、商品名：Ｄ−３０５、ポリカルボン酸含有量：４０質量％）を２５ｇ投入し、ポットミル架台を使用して、１０分間、回転させて混合した。

次いで、この混合物に、平均粒子径が０．５５μｍであるアルミナ粒子（昭和電工（株）製、商品名：ＡＬ−１６０ＳＧ−４、純度９９．４８％）２０００ｇを数回に分けて添加し、混合及び解砕を行った。その後、ポットミル架台を使用して、１５時間、混合及び解砕を行い、スラリー化し、目開き２ｍｍの篩に通して、解砕材を分離することにより、アルミナスラリーを得た。

なお、アルミナスラリーにおける分散剤の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して、０．５質量部となるように分散剤を投入した。

次いで、カーボンブラック（一次粒子径：４０ｎｍ程度）が水に分散されたカーボンスラリー（ライオン（株）製、商品名：Ｗ−３５６Ａ、カーボン含有量：８質量％）を用意し、作製したアルミナスラリー１０００ｇに対して、２５ｇのカーボンスラリーを添加して、攪拌機を使用して３０分間、混合した。

なお、混合スラリーにおけるカーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して、０．２５質量部となるように、カーボンスラリーを添加した。

次いで、作製した混合スラリーを、スプレードライヤー装置（大川原化工機（株）製、商品名：ＦＯＣ−１６）に供給し、スプレードライヤー法を用いて、混合スラリーを噴霧し乾燥させることにより、顆粒体を作製した。

なお、スプレードライヤー工程においては、入口温度を１００〜１６０℃、回転ディスクの回転数を１２０００ｒｐｍ、混合スラリーの供給量を４０ｇ／ｍｉｎに設定して行った。また、得られた顆粒体の平均粒子径は、５０〜６０μｍであった。

次いで、アルゴンガス（名古屋日酸（株）製、商品名：高純度アルゴンガス）雰囲気下において、顆粒体を焼成することにより、無機粒子と導電性フィラーからなる電波吸収粒子を造粒した。

より具体的には、カーボン製の焼成炉（久野科学（株）製、商品名：雰囲気熱処理炉ＩＫ−３）に顆粒体を投入し、炉内を、上述のアルゴンガスに置換して不活性雰囲気にした。次いで、２リットル／分の流速でアルゴンガスを炉内に流しながら、１０℃／分の昇温速度で１０００℃（焼成温度）まで昇温し、その状態を、２時間、保持した。その後、炉内を室温まで徐々に降温し、炉内から電波吸収粒子を取り出した。

（粒子の圧壊強度評価）
次に、微小圧縮試験機（島津製作所（株）製、商品名：ＭＣＴＭ−５００）を用いて、ＪＩＳＲ１６３９−５（ファインセラミックス−か（顆）粒特性の測定方法−第５部：単一か粒圧壊強さ）に準拠して、作製した単一電波吸収粒子の圧壊強度（電波吸収粒子が破壊する際の圧縮荷重及び直径）〔ＭＰａ〕を測定した。以上の結果を表１に示す。

（実施例２）
焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例３）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して０．５０質量部となるように、カーボンスラリーを４９．５ｇ添加したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例４）
焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例３と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例５）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して１．００質量部となるように、カーボンスラリーを９９ｇ添加したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例６）
焼成温度を１２００℃に変更したこと以外は、上述の実施例５と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例７）
焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例５と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例８）
焼成温度を１７００℃に変更したこと以外は、上述の実施例５と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例９）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して２．００質量部となるように、カーボンスラリーを１９８ｇ添加したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例１０）
焼成温度を１２００℃に変更したこと以外は、上述の実施例９と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例１１）
焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例９と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例１２）
焼成温度を１５５０℃に変更したこと以外は、上述の実施例９と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例１３）
焼成温度を１７００℃に変更したこと以外は、上述の実施例９と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例１４）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して３．００質量部となるように、カーボンスラリーを２９７ｇ添加したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例１５）
焼成温度を１２００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１４と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例１６）
焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１４と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（実施例１７）
焼成温度を１７００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１４と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（比較例１）
顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表２に示す。

（比較例２）
焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表２に示す。

（比較例３）
顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例３と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表２に示す。

（比較例４）
焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例３と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表２に示す。

（比較例５）
顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例５と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表２に示す。

（比較例６）
焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例５と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表２に示す。

（比較例７）
顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例９と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表２に示す。

（比較例８）
焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例９と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表２に示す。

（比較例９）
顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例１４と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表２に示す。

（比較例１０）
焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１４と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表２に示す。

（比較例１１）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して５．００質量部となるように、カーボンスラリーを４９５ｇ添加し、顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表３に示す。

（比較例１２）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して５．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表３に示す。

（比較例１３）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して５．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（比較例１４）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して５．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表３に示す。

（比較例１５）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して７．５０質量部となるように、カーボンスラリーを７４３ｇ添加し、顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表３に示す。

（比較例１６）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して７．５０質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表３に示す。

（比較例１７）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して７．５０質量部となるように、カーボンスラリーを添加したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（比較例１８）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して７．５０質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表３に示す。

（比較例１９）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して１０．００質量部となるように、カーボンスラリーを９９０ｇ添加し、顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表３に示す。

（比較例２０）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して１０．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表３に示す。

（比較例２１）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して１０．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表１に示す。

（比較例２２）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して１０．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度を１２００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表３に示す。

（比較例２３）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して１０．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表３に示す。

（比較例２４）
カーボン粒子の配合量が、アルミナ粒子１００質量部に対して１０．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度を１７００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表３に示す。

表１に示すように、焼成温度が１０００℃以上である実施例１〜２においては、カーボンの配合量が同じ（０．２５質量部）ではあるが、焼成温度が６００℃以下である比較例１〜２に比し、圧壊強度が向上しており、特に、焼成温度が１５００℃である実施例２においては、圧壊強度が飛躍的向上していることが判る。

また、同様に、表１に示すように、焼成温度が１０００℃以上である実施例３〜４においては、カーボンの配合量が同じ（０．５０質量部）ではあるが、焼成温度が６００℃以下である比較例３〜４に比し、圧壊強度が向上しており、特に、焼成温度が１５００℃である実施例４においては、圧壊強度が飛躍的向上していることが判る。

また、同様に、表１に示すように、焼成温度が１０００℃以上である実施例５〜８においては、カーボンの配合量が同じ（１．００質量部）ではあるが、焼成温度が６００℃以下である比較例５〜６に比し、圧壊強度が向上しており、特に、焼成温度が１５００℃以上である実施例７〜８においては、圧壊強度が飛躍的向上していることが判る。

また、同様に、表１に示すように、焼成温度が１０００℃以上である実施例９〜１３においては、カーボンの配合量が同じ（２．００質量部）ではあるが、焼成温度が６００℃以下である比較例７〜８に比し、圧壊強度が向上しており、特に、焼成温度が１５００℃以上である実施例１１〜１３においては、圧壊強度が飛躍的向上していることが判る。

また、同様に、表１に示すように、焼成温度が１０００℃以上である実施例１４〜１７においては、カーボンの配合量が同じ（３．００質量部）ではあるが、焼成温度が６００℃以下である比較例９〜１０に比し、圧壊強度が向上しており、特に、焼成温度が１５００℃以上である実施例１６〜１７においては、圧壊強度が飛躍的向上していることが判る。

また、表１に示すように、カーボンの配合量が０．２５質量部以上３質量部以下である実施例１〜１７においては、電波吸収粒子の圧壊強度が向上していることが判る。

また、表３に示すように、カーボンの配合量が３質量部よりも大きい（即ち、５〜１０質量部である）比較例１１〜２４においては、焼成温度を１０００℃以上に設定した場合であっても、圧壊強度が十分に向上していないことが判る。

即ち、カーボンの配合量が５質量部である比較例１１〜１４においては、焼成温度が１０００℃以上である比較例１３，１４の圧壊強度が、未焼成である比較例１１の圧壊強度に比し、十分に向上していないことが判る。

また、同様に、カーボンの配合量が７．５質量部である比較例１５〜１８においては、焼成温度が１０００℃以上である比較例１７，１８の圧壊強度が、未焼成である比較例１５の圧壊強度に比し、十分に向上していないことが判る。

また、同様に、カーボンの配合量が１０質量部である比較例１９〜２４においては、焼成温度が１０００℃以上である比較例２１〜２４の圧壊強度が、未焼成である比較例１９の圧壊強度に比し、十分に向上していないことが判る。

（電波吸収特性評価）
次に、同軸プローブ法測定装置（アジレント・テクノロジー（株）製、商品名：８５０７０Ｅ誘電体プローブキット）およびベクトルネットワークアナライザ（アジレント・テクノロジー(株)製、商品名：Ｅ８３６１Ａ）を用いて上述の実施例１１、及び比較例７の電波吸収粒子の複素誘電率を測定した。

次に、これらの測定値から、伝送線路理論を用いて反射減衰量［ｄＢ］を算出することにより、電波吸収特性を評価した。即ち、厚さ３ｍｍのアクリル板（誘電率２．６）で構成された中空セル状のボード内に実施例１１、または比較例７の電波吸収粒子が厚さ６ｍｍで充填された状態を仮定し、周波数帯域２００〜２０，０００ＭＨｚの電波に対する反射減衰量を解析により求めた。以上の結果を、図５に示す。

図５に示すように、実施例１１、または比較例７のいずれの電波吸収粒子を集積した電波吸収体も、測定周波数帯域（２００〜２０，０００ＭＨｚ）において、反射減衰量が２０ｄＢ以上であり、電波吸収特性が極めて良好であることが判る。

即ち、アルミナスラリーとカーボンスラリーとを混合し、スプレードライヤー法を用いて、混合スラリーを処理し、不活性雰囲気下において、１０００℃以上の温度により焼成するという簡単な方法により、圧壊強度に優れた電波吸収粒子を製造することができるとともに、焼成を行わない電波吸収粒子に比べて電波吸収性能が損なわれていないことがわかる。

（実施例１８）
（電波吸収粒子の作製）
３リットルの樹脂製容器に、解砕剤としてアルミナボール（ニッカトー（株）製、径：５ｍｍ）を３ｋｇ、イオン交換水を７００ｇ、主成分がポリカルボン酸の水系分散剤（中京油脂（株）製、商品名：Ｄ−３０５、ポリカルボン酸含有量：４０質量％）を４．２ｇ投入し、ポットミル架台を使用して、１０分間、回転させて混合した。

次いで、この混合物に、平均粒子径が０．６２μｍであるチタニア粒子（富士チタン工業（株）製、商品名：高純度酸化チタンＴＭ−１、純度９９．４％）２１００ｇを数回に分けて添加し、混合及び解砕を行った。その後、ポットミル架台を使用して、１５時間、混合及び解砕を行い、スラリー化し、目開き２ｍｍの篩に通して、解砕材を分離することにより、チタニアスラリーを得た。

なお、チタニアスラリーにおける分散剤の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して、０．５質量部となるように分散剤を投入した。

次いで、カーボンブラック（一次粒子径：４０ｎｍ程度）が水に分散されたカーボンスラリー（ライオン（株）製、商品名：Ｗ−３５６Ａ、カーボン含有量：８質量％）を用意し、作製したチタニアスラリー１０００ｇに対して、２３．５ｇのカーボンスラリーを添加して、攪拌機を使用して３０分間、混合した。

なお、混合スラリーにおけるカーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して、０．２５質量部となるように、カーボンスラリーを添加した。

次いで、作製した混合スラリーを、スプレードライヤー装置（大川原化工機（株）製、商品名：ＦＯＣ−１６）に供給し、スプレードライヤー法を用いて、混合スラリーを噴霧し乾燥させることにより、顆粒体を作製した。

なお、スプレードライヤー工程においては、入口温度を１４０〜１６０℃、回転ディスクの回転数を１２０００ｒｐｍ、混合スラリーの供給量を４０ｇ／ｍｉｎに設定して行った。また、得られた顆粒体の平均粒子径は、５０〜６０μｍであった。

次いで、アルゴンガス（名古屋日酸（株）製、商品名：高純度アルゴンガス）雰囲気下において、顆粒体を焼成することにより、無機粒子と導電性フィラーからなる電波吸収粒子を造粒した。

より具体的には、カーボン製の焼成炉（久野科学（株）製、商品名：雰囲気熱処理炉ＩＫ−３）に顆粒体を投入し、炉内を、上述のアルゴンガスに置換して不活性雰囲気にした。次いで、２リットル／分の流速でアルゴンガスを炉内に流しながら、１０℃／分の昇温速度で４００℃（焼成温度）まで昇温し、その状態を、２時間、保持した。その後、炉内を室温まで徐々に降温し、炉内から電波吸収粒子を取り出した。

（粒子の圧壊強度評価）
次に、微小圧縮試験機（島津製作所（株）製、商品名：ＭＣＴＭ−５００）を用いて、ＪＩＳＲ１６３９−５（ファインセラミックス−か（顆）粒特性の測定方法−第５部：単一か粒圧壊強さ）に準拠して、作製した単一電波吸収粒子の圧壊強度（電波吸収粒子が破壊する際の圧縮荷重及び直径）〔ＭＰａ〕を測定した。以上の結果を表３に示す。

（実施例１９）
焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例２０）
焼成温度を８００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例２１）
焼成温度を１０００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例２２）
焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例２３）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して０．５０質量部となるように、カーボンスラリーを４７ｇ添加したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例２４）
焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例２３と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例２５）
焼成温度を８００℃に変更したこと以外は、上述の実施例２３と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例２６）
焼成温度を１０００℃に変更したこと以外は、上述の実施例２３と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例２７）
焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例２３と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例２８）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して１．００質量部となるように、カーボンスラリーを９４ｇ添加したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例２９）
焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例２８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例３０）
焼成温度を８００℃に変更したこと以外は、上述の実施例２８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例３１）
焼成温度を１０００℃に変更したこと以外は、上述の実施例２８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例３２）
焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例２８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例３３）
焼成温度を１７００℃に変更したこと以外は、上述の実施例２８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例３４）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して２．００質量部となるように、カーボンスラリーを１８７ｇ添加したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例３５）
焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例３４と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例３６）
焼成温度を８００℃に変更したこと以外は、上述の実施例３４と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例３７）
焼成温度を１０００℃に変更したこと以外は、上述の実施例３４と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例３８）
焼成温度を１２００℃に変更したこと以外は、上述の実施例３４と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例３９）
焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例３４と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例４０）
焼成温度を１５５０℃に変更したこと以外は、上述の実施例３４と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例４１）
焼成温度を１７００℃に変更したこと以外は、上述の実施例３４と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例４２）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して３．００質量部となるように、カーボンスラリーを２８０ｇ添加したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例４３）
焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例４２と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例４４）
焼成温度を８００℃に変更したこと以外は、上述の実施例４２と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例４５）
焼成温度を１０００℃に変更したこと以外は、上述の実施例４２と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例４６）
焼成温度を１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例４２と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（実施例４７）
焼成温度を１７００℃に変更したこと以外は、上述の実施例４２と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表４に示す。

（比較例２５）
顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表５に示す。

（比較例２６）
顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例２３と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表５に示す。

（比較例２７）
顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例２８と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表５に示す。

（比較例２８）
顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例３４と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表５に示す。

（比較例２９）
顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例４２と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表５に示す。

（比較例３０）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して５．００質量部となるように、カーボンスラリーを４６８ｇ添加し、顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表６に示す。

（比較例３１）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して５．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表６に示す。

（比較例３２）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して７．５０質量部となるように、カーボンスラリーを７０２ｇ添加し、顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表６に示す。

（比較例３３）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して７．５０質量部となるように、カーボンスラリーを添加したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表６に示す。

（比較例３４）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して７．５０質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表６に示す。

（比較例３５）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して７．５０質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表６に示す。

（比較例３６）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して１０．００質量部となるように、カーボンスラリーを９３６ｇ添加し、顆粒体の焼成を行わなかったこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子（即ち、顆粒体）を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表６に示す。

（比較例３７）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して１０．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表６に示す。

（比較例３８）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して１０．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度を６００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１８と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表６に示す。

（比較例３９）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して１０．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度を１０００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表６に示す。

（比較例４０）
カーボン粒子の配合量が、チタニア粒子１００質量部に対して１０．００質量部となるように、カーボンスラリーを添加し、焼成温度１５００℃に変更したこと以外は、上述の実施例１８と同様にして、電波吸収粒子を作製した。その後、上述の実施例１と同様にして、圧壊強度の評価を行った。以上の結果を表６に示す。

表４に示すように、焼成温度が４００℃以上である実施例１８〜２２においては、カーボンの配合量が同じ（０．２５質量部）ではあるが、焼成していない比較例２５に比し、圧壊強度が向上しており、焼成温度が６００℃以上である実施例１９〜２２においては、さらに圧壊強度が向上し、特に、焼成温度が８００℃以上である実施例２０〜２２においては、圧壊強度が飛躍的に向上していることが判る。

また、同様に、表４に示すように、焼成温度が４００℃以上である実施例２３〜２７においては、カーボンの配合量が同じ（０．５０質量部）ではあるが、焼成していない比較例２６に比し、圧壊強度が向上しており、焼成温度が６００℃以上である実施例２４〜２７においては、さらに圧壊強度が向上し、特に、焼成温度が８００℃である実施例２５〜２７においては、圧壊強度が飛躍的に向上していることが判る。

また、同様に、表４に示すように、焼成温度が４００℃以上である実施例２８〜３３においては、カーボンの配合量が同じ（１．００質量部）ではあるが、焼成していない比較例２７に比し、圧壊強度が向上しており、焼成温度が６００℃以上である実施例２９〜３３においては、さらに圧壊強度が向上し、特に、焼成温度が８００℃以上である実施例３０〜３３においては、圧壊強度が飛躍的に向上していることが判る。

また、同様に、表４に示すように、焼成温度が４００℃以上である実施例３４〜４１においては、カーボンの配合量が同じ（２．００質量部）ではあるが、焼成していない比較例２８に比し、圧壊強度が向上しており、焼成温度が６００℃以上である３５〜４１においては、さらに圧壊強度が向上し、特に、焼成温度が８００℃以上である実施例３６〜４１においては、圧壊強度が飛躍的に向上していることが判る。

また、同様に、表４に示すように、焼成温度が４００℃以上である実施例４２〜４７においては、カーボンの配合量が同じ（３．００質量部）ではあるが、焼成していない比較例２９に比し、圧壊強度が向上しており、焼成温度が６００℃以上である実施例４３〜４７においては、さらに圧壊強度が向上し、特に、焼成温度が８００℃以上である実施例４４〜４７においては、圧壊強度が飛躍的に向上していることが判る。

また、表４に示すように、カーボンの配合量が０．２５質量部以上３質量部以下である実施例１８〜４７においては、電波吸収粒子の圧壊強度が向上していることが判る。

また、表６に示すように、カーボンの配合量が３質量部よりも大きい（即ち、５〜１０質量部である）比較例３０〜４０においては、焼成温度を６００℃以上に設定した場合であっても、圧壊強度が十分に向上していないことが判る。

即ち、カーボンの配合量が５質量部である比較例３０〜３１においては、焼成温度が４００℃である比較例３１の圧壊強度が、未焼成である比較例３０の圧壊強度に比し、十分に向上していない（即ち、低下している）ことが判る。

また、同様に、カーボンの配合量が７．５質量部である比較例３２〜３５においては、焼成温度が４００℃以上である比較例３３〜３５の圧壊強度が、未焼成である比較例３２の圧壊強度に比し、十分に向上していない（即ち、低下している）ことが判る。

また、同様に、カーボンの配合量が１０質量部である比較例３６〜４０においては、焼成温度が４００℃以上である比較例３７〜４０の圧壊強度が、未焼成である比較例３６の圧壊強度に比し、十分に向上していない（即ち、低下している）ことが判る。

以上説明したように、本発明は、電波吸収粒子の製造方法およびその方法により製造された電波吸収粒子、電波吸収体に適している。

１ 電波吸収粒子
２ 無機粒子
３ 導電層
４ 導電性フィラー
６ 水滴
１０ スプレードライヤー装置
１１ 造粒室
１２ 回転ディスク
１３ モータ
１４ スラリー供給管
１７ 熱風
２０ 顆粒体

Claims (8)

1. 無機粒子を含有する無機粒子スラリーと、導電性フィラーを含有する導電性フィラースラリーとを混合して混合スラリーを作製し、スプレードライヤー法を用いて、前記混合スラリーを噴霧し乾燥させて前記無機粒子と前記導電性フィラーとからなる顆粒体を形成した後、不活性雰囲気下において、未焼成時の圧壊強度よりも強い圧壊強度が発現する温度により、前記顆粒体を焼成することにより、前記無機粒子と前記導電性フィラーとからなる電波吸収粒子を造粒することを特徴とする電波吸収粒子の製造方法。
2. 前記混合スラリーにおける前記導電性フィラーの配合量が、前記無機粒子１００質量部に対して、０．２５質量部以上３質量部以下であることを特徴とする請求項１に記載の電波吸収粒子の製造方法。
3. 前記無機粒子がアルミナ粒子であり、前記導電性フィラーがカーボン粒子であり、前記温度が９００℃以上であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電波吸収粒子の製造方法。
4. 前記無機粒子がアルミナ粒子であり、前記導電性フィラーがカーボン粒子であり、前記温度が１５００℃以上であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電波吸収粒子の製造方法。
5. 前記無機粒子がチタニア粒子であり、前記導電性フィラーがカーボン粒子であり、前記温度が５００℃以上であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電波吸収粒子の製造方法。
6. 前記無機粒子がチタニア粒子であり、前記導電性フィラーがカーボン粒子であり、前記温度が８００℃以上であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電波吸収粒子の製造方法。
7. 請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の製造方法により製造された電波吸収粒子。
8. 請求項７に記載の電波吸収粒子を集積した電波吸収体。

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