JP2015194346A - 圧力センサチップ - Google Patents
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- G01L9/0073—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a semiconductive diaphragm
Abstract
Description
図1はこの発明に係る圧力センサチップの第1の実施の形態(実施の形態1)の概略を示す図である。同図において、11−1は基板、11−2および11−3は基板11−1を挟んで接合された第1および第2のストッパ部材、11−4および11−5はストッパ部材11−2および11−3に接合された第1および第2の台座である。ストッパ部材11−2,11−3や台座11−4,11−5はシリコンやガラスなどにより構成されている。
図6にこの発明に係る圧力センサチップの第2の実施の形態(実施の形態2)の概略を示す。この実施の形態2の圧力センサチップ11Bでは、ストッパ部材11−2,11−3の内部に、非接合領域SA1,SA2に連続するストッパ部材11−2,11−3の肉厚方向へ張り出した環状の溝11−2d,11−3dを形成している。この環状の溝11−2d,11−3dは、離散的に分断された溝ではなく、連続した溝であり、溝断面の径を大きくすることが望ましい。
図10にこの発明に係る圧力センサチップの第3の実施の形態(実施の形態3)の概略を示す。この実施の形態3の圧力センサチップ11Cでは、実施の形態2の圧力センサチップ11Bの変形例であり、測定圧力Pa,Pbを同方向から取り入れるようにしている。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。また、各実施の形態については、矛盾しない範囲で任意に組み合わせて実施することができる。
Claims (7)
- 基板と、
前記基板の中央部に形成され一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力する第1種のセンサダイアフラムと、
前記基板上に前記第1種のセンサダイアフラムから離間して形成され一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力する第2種のセンサダイアフラムと、
前記基板の一方の面および他方の面にその周縁部を前記第2種のセンサダイアフラムを挟んで対面させて接合された第1および第2の保持部材と、
前記第1の保持部材に設けられ前記第1種のセンサダイアフラムの一方の面に第1の測定圧力を導く第1の導圧孔と、
前記第2の保持部材に設けられ前記第1種のセンサダイアフラムの他方の面に第2の測定圧力を導く第2の導圧孔と、
前記第1の保持部材に設けられ前記第1種のセンサダイアフラムに過大圧が印加された時の当該第1種のセンサダイアフラムの過度な変位を阻止する第1の凹部と、
前記第2の保持部材に設けられ前記第1種のセンサダイアフラムに過大圧が印加された時の当該第1種のセンサダイアフラムの過度な変位を阻止する第2の凹部と、
前記第1の保持部材の周縁部に、前記第2種のセンサダイアフラムの一方の面に対向する空間として設けられ、前記第1種のセンサダイアフラムの一方の面への第1の測定圧力および他方の面への第2の測定圧力の何れか一方が導かれる第1の室と、
前記第2の保持部材の周縁部に、前記第2種のセンサダイアフラムの他方の面に対向する空間として設けられ、前記第1種のセンサダイアフラムの一方の面への第1の測定圧力および他方の面への第2の測定圧力の何れか他方が導かれる第2の室と
を備えることを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項1に記載された圧力センサチップにおいて、
前記第2種のセンサダイアフラムは、
前記第1種のセンサダイアフラムの周囲を囲むようにして連続して設けられた環状のダイアフラムとされている
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項1に記載された圧力センサチップにおいて、
前記第2種のセンサダイアフラムは、
前記第1種のセンサダイアフラムの周囲を囲むようにして分割して設けられた環状のダイアフラムとされている
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項1に記載された圧力センサチップにおいて、
前記第2種のセンサダイアフラムは、
前記第1種のセンサダイアフラムの周囲の一部に設けられたダイアフラムとされている
ことを特徴とするセンサ。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載された圧力センサチップにおいて、
前記第2種のセンサダイアフラムの受圧感度は、前記第1種のセンサダイアフラムの受圧感度よりも低い
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載された圧力センサチップにおいて、
前記第2種のセンサダイアフラムを複数備え、
前記複数の第2種のセンサダイアフラムの受圧感度は、前記第1種のセンサダイアフラムの受圧感度よりも低く、その受圧感度が段階的に低くされている
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項1〜6の何れか1項に記載された圧力センサチップにおいて、
前記第1の保持部材は、
前記第1の導圧孔の周部に連通する非接合領域を内部に有し、
前記第1の保持部材の内部の非接合領域は、
前記基板の一方の面と平行な面の一部を対向する第1の面と第2の面とに分けた領域として設けられ、
前記第1の保持部材の内部の非接合領域の対向する第1の面および第2の面の少なくとも一方の面上には、
複数の凸部が離散的に形成され、
この複数の凸部と凸部との間の通路が前記第1の導圧孔の周部と前記非接合領域の周端部との間の連通路とされ、
前記第2の保持部材は、
前記第2の導圧孔の周部に連通する非接合領域を内部に有し、
前記第2の保持部材の内部の非接合領域は、
前記基板の他方の面と平行な面の一部を対向する第1の面と第2の面とに分けた領域として設けられ、
前記第2の保持部材の内部の非接合領域の対向する第1の面および第2の面の少なくとも一方の面上には、
複数の凸部が離散的に形成され、
この複数の凸部と凸部との間の通路が前記第2の導圧孔の周部と前記非接合領域の周端部との間の連通路とされている
ことを特徴とする圧力センサチップ。
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