JP6002010B2 - 圧力センサチップ - Google Patents
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Description
図1はこの発明に係る圧力センサチップの第1の実施の形態(実施の形態1)の概略を示す図である。同図において、図12と同一符号は図12を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。なお、この実施の形態では、圧力センサチップを符号11Aで示し、図12に示された圧力センサチップ11と区別する。
図4にこの発明に係る圧力センサチップの第2の実施の形態(実施の形態2)の概略を示す。この実施の形態2の圧力センサチップ11Bでは、ストッパ部材11−2の内部に、非接合領域SAに連続するストッパ部材11−3の肉厚方向へ張り出した環状の溝11−2dを形成している。この環状の溝11−2dは、離散的に分断された溝ではなく、連続した溝であり、溝断面の径を大きくすることが望ましい。
図7にこの発明に係る圧力センサチップの第3の実施の形態(実施の形態3)の概略を示す。この実施の形態3の圧力センサチップ11Cは、実施の形態2の圧力センサチップ11Bと同様に、ストッパ部材11−2の内部に非接合領域SAと、この非接合領域SAに連続する環状の溝11−2dとを備えているが、以下の点で実施の形態2の圧力センサチップ11Bとは異なっている。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。また、各実施の形態については、矛盾しない範囲で任意に組み合わせて実施することができる。
Claims (5)
- 一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムと、このセンサダイアフラムの一方の面および他方の面にその周縁部を対面させて接合され、前記センサダイアフラムへ測定圧を導く導圧孔を有する第1および第2の保持部材とを備えた圧力センサチップにおいて、
前記第1の保持部材は、
前記導圧孔の周部に連通する非接合領域を内部に有し、
前記第1の保持部材の内部の非接合領域は、
前記センサダイアフラムの受圧面と平行な面の一部に設けられ、
前記第2の保持部材は、
前記センサダイアフラムに過大圧が印加された時の当該センサダイアフラムの過度な変位を阻止する凹部を備え、
前記第1の保持部材の内部には、
前記非接合領域に連続する前記第1の保持部材の肉厚方向へ張り出した環状の溝が形成されている
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項1に記載された圧力センサチップにおいて、
前記第1の保持部材は、
前記非接合領域が設けられた前記センサダイアフラムの受圧面と平行な面で2分割され、
前記2分割された一方の保持部材と他方の保持部材とは、
前記非接合領域が設けられた面の非接合領域を除く領域同士が接合されている
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項1に記載された圧力センサチップにおいて、
前記第1の保持部材の内部の非接合領域に連続する環状の溝は、
前記第1の保持部材の内部の非接合領域に直交する断面形状が円弧部分を含んでいる
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項1に記載された圧力センサチップにおいて、
前記センサダイアフラムは、
前記一方の面が高圧側の測定圧の受圧面とされ、
前記他方の面が低圧側の測定圧の受圧面とされている
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムと、このセンサダイアフラムの一方の面および他方の面にその周縁部を対面させて接合され、前記センサダイアフラムへ測定圧を導く導圧孔を有する第1および第2の保持部材とを備えた圧力センサチップにおいて、
前記第1の保持部材は、
前記導圧孔の周部に連通する非接合領域を内部に有し、
前記第1の保持部材の内部の非接合領域は、
前記センサダイアフラムの受圧面と平行な面の一部に設けられ、
前記第2の保持部材は、
前記センサダイアフラムに過大圧が印加された時の当該センサダイアフラムの過度な変位を阻止する凹部を備え、
前記第1の保持部材は、
前記センサダイアフラムに過大圧が印加された時の当該センサダイアフラムの過度な変位を阻止する凹部を備え、
前記第2の保持部材は、
前記導圧孔の周部に連通する非接合領域を内部に有し、
前記第2の保持部材の内部の非接合領域は、
前記センサダイアフラムの受圧面と平行な面の一部に設けられている
ことを特徴とする圧力センサチップ。
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