JP2014115098A - 差圧センサ - Google Patents

Abstract

【課題】センサチップの接合部の剥離を防止する。
【解決手段】センサ室１２ａの内壁面１２−１ｂとセンサチップ１１の一方の面（台座１１−４の外面）との間にＯリング１３−１を挾圧保持させた状態で介在させる。センサ室１２ａの内壁面１２−２ｂとセンサチップ１１の他方の面（台座１１−５の外面）との間にＯリング１３−２を挾圧保持させた状態で介在させる。センサチップ１１の台座１１−４の導圧孔（連通孔）１１−４ａに導圧管１４−１の一端を挿入固定し、他端を上側ハウジング１２−１の導圧路１２−１ｃに遊挿する。センサチップ１１の台座１１−５の導圧孔（連通孔）１１−５ａに導圧管１４−１の一端を挿入固定し、他端を下側ハウジング１２−２の導圧路１２−２ｃに遊挿する。
【選択図】 図１

Description

この発明は、圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを用いた差圧センサに関するものである。

従来より、工業用の差圧センサとして、圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを用いた差圧センサが用いられている。この差圧センサは、高圧側および低圧側の受圧ダイアフラムに加えられる各測定圧を、圧力伝達媒体としての封入液によってセンサダイアフラムの一方の面および他方の面に導き、そのセンサダイアフラムの歪みを例えば歪抵抗ゲージの抵抗値変化として検出し、この抵抗値変化を電気信号に変換して取り出すように構成されている。

このような差圧センサは、例えば石油精製プラントにおける高温反応塔等の被測定流体を貯蔵する密閉タンク内の上下２位置の差圧を検出することにより、液面高さを測定するときなどに用いられる。

図３に従来の差圧センサの概略構成を示す。この差圧センサ１００は、センサダイアフラム（図示せず）を有するセンサチップ１をメータボディ２に組み込んで構成される。センサチップ１におけるセンサダイアフラムは、シリコンやガラス等からなり、薄板状に形成されたダイアフラムの表面に歪抵抗ゲージが形成されている。メータボディ２は、金属製の本体部３とセンサ部４とからなり、本体部３の側面に一対の受圧部をなすバリアダイアフラム（受圧ダイアフラム）５ａ，５ｂが設けられ、センサ部４のセンサ室４ａ内にセンサチップ１が設けられている。

メータボディ２において、センサ室４ａ内に設けられたセンサチップ１と本体部３に設けられたバリアダイアフラム５ａ，５ｂとの間は、大径のセンタダイアフラム６により隔離された圧力緩衝室７ａ，７ｂを介してそれぞれ連通され、センサチップ１とバリアダイアフラム５ａ，５ｂとを結ぶ連通路８ａ，８ｂにシリコーンオイル等の圧力伝達媒体９ａ，９ｂが封入されている。

なお、シリコーンオイル等の圧力媒体が必要となるのは、センサダイアフラムに対する計測媒体中の異物付着を防ぐこと、センサダイアフラムを腐食させないため、耐食性を持つ受圧ダイアフラムと応力（圧力）感度を持つセンサダイアフラムとを分離する必要があるためである。

この差圧センサ１００では、図４(ａ)に定常状態時の動作態様を模式的に示すように、プロセスからの測定圧Ｐ１がバリアダイアフラム５ａに印加され、プロセスからの測定圧Ｐ２がバリアダイアフラム５ｂに印加される。これにより、バリアダイアフラム５ａ，５ｂが変位し、その加えられた圧力Ｐ１，Ｐ２がセンタダイアフラム６により隔離された圧力緩衝室７ａ，７ｂを介し、圧力伝達媒体９ａ，９ｂを通して、センサチップ１のセンサダイアフラムの一方の面および他方の面にそれぞれ導かれる。この結果、センサチップ１のセンサダイアフラムは、その導かれた圧力Ｐ１，Ｐ２の差圧ΔＰに相当する変位を呈することになる。

これに対して、例えば、バリアダイアフラム５ｂに過大圧Ｐoverが加わると、図４(ｂ)に示すようにバリアダイアフラム５ｂが大きく変位し、これに伴ってセンタダイアフラム６が過大圧Ｐoverを吸収するように変位する。そして、バリアダイアフラム５ｂがメータボディ２の凹部１０ｂの底面（過大圧保護面）に着底し、その変位が規制されると、バリアダイアフラム５ｂを介するセンサダイアフラムへのそれ以上の差圧ΔＰの伝達が阻止される。バリアダイアフラム５ａに過大圧Ｐoverが加わった場合も、バリアダイアフラム５ｂに過大圧Ｐoverが加わった場合と同様にして、バリアダイアフラム５ａがメータボディ２の凹部１０ａの底面（過大圧保護面）に着底し、その変位が規制されると、バリアダイアフラム５ａを介するセンサダイアフラムへのそれ以上の差圧ΔＰの伝達が阻止される。この結果、過大圧Ｐoverの印加によるセンサチップ１の破損、すなわちセンサチップ１におけるセンサダイアフラムの破損が未然に防止される。

この差圧センサ１００では、メータボディ２にセンサチップ１を内包させているので、プロセス流体など外部腐食環境からセンサチップ１を保護することができる。しかしながら、センタダイアフラム６やバリアダイアフラム５ａ，５ｂの変位を規制するための凹部１０ａ，１０ｂを備え、これらによってセンサチップ１を過大圧Ｐoverから保護する構造をとっているので、その形状が大型化することが避けられない。

そこで、センサチップに第１のストッパ部材および第２のストッパ部材を設け、この第１のストッパ部材および第２のストッパ部材の凹部をセンサダイアフラムの一方の面および他方の面に対峙させることによって、過大圧が印加された時のセンサダイアフラムの過度な変位を阻止し、これによってセンサダイアフラムの破損・破壊を防止する構造が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

図５に特許文献１に示された構造を採用したセンサチップの概略を示す。同図において、１１−１はセンサダイアフラム、１１−２および１１−３はセンサダイアフラム１１−１を挟んで接合された第１および第２のストッパ部材、１１−４および１１−５はストッパ部材１１−２および１１−３に接合された台座である。ストッパ部材１１−２，１１−３や台座１１−４，１１−５はシリコンやガラスなどにより構成されている。

このセンサチップ１１において、ストッパ部材１１−２，１１−３には凹部１１−２ａ，１１−３ａが形成されており、ストッパ部材１１−２の凹部１１−２ａをセンサダイアフラム１１−１の一方の面に対峙させ、ストッパ部材１１−３の凹部１１−３ａをセンサダイアフラム１１−１の他方の面に対峙させている。凹部１１−２ａ，１１−３ａは、センサダイアフラム１１−１の変位に沿った曲面（非球面）とされており、その頂部に圧力導入孔（導圧孔）１１−２ｂ，１１−３ｂが形成されている。また、台座１１−４，１１−５にも、ストッパ部材１１−２，１１−３の導圧孔１１−２ｂ，１１−３ｂに対応する位置に、圧力導入孔（導圧孔）１１−４ａ，１１−５ａが形成されている。

このようなセンサチップ１１を用いると、センサダイアフラム１１−１の一方の面に過大圧が印加されてセンサダイアフラム１１−１が変位したとき、その変位面の全体がストッパ部材１１−３の凹部１１−３ａの曲面によって受け止められる。また、センサダイアフラム１１−１の他方の面に過大圧が印加されてセンサダイアフラム１１−１が変位したとき、その変位面の全体がストッパ部材１１−２の凹部１１−２ａの曲面によって受け止められる。

これにより、センサダイアフラム１１−１に過大圧が印加された時の過度な変位が阻止され、過大圧の印加によるセンサダイアフラム１１−１の不本意な破壊を効果的に防ぎ、その過大圧保護動作圧力（耐圧）を高めることが可能となる。また、図３に示された構造において、センタダイアフラム６や圧力緩衝室７ａ，７ｂをなくし、バリアダイアフラム５ａ，５ｂからセンサダイアフラム１１−１に対して直接的に測定圧Ｐ１，Ｐ２を導くようにして、メータボディ２の小型化を図ることが可能となる。

このメータボディ２の小型化を図った構造において、センサチップ１１は、図６に示すように、センサ室４ａに収容され、そのセンサ室４ａの底面（壁面）４ｂに台座１１−５を接合することによって固定される。この場合、測定圧Ｐ１，Ｐ２を受けて、その測定圧Ｐ１，Ｐ２の差圧ΔＰに応じてセンサダイアフラム１１−１が低圧側に撓む。この撓みは、センサチップ１１のセンサ室４ａの壁面４ｂとの接合部に向かうことが望ましい。逆の方向に撓みが生じる場合には、センサ室４ａの壁面４ｂとの接合部からセンサチップ１１を剥離する場合が生じる。センサ室４ａの壁面４ｂとの接合部外周から形成される面積Ｓと測定圧Ｐ１との積（Ｓ・Ｐ１）に応じた力Ｆ１で接合部は押し付けられる。一方、センサ室４ａの壁面４ｂとの接合部に内包され、かつ、測定圧Ｐ２に連結された未接合面積Ｘと測定圧Ｐ２との積（Ｘ・Ｐ２）に応じた力Ｆ２で接合部は引き離される。接合部が単独で接合を維持する力Ｆ３とＦ１の合計が、Ｆ２により常に大きくなければ、接合は剥離される。面積Ｓは面積Ｘよりその定義上大きく、Ｐ１がＰ２より大きければ、接合部は剥離されることが無い。またセンサチップ１１内のセンサダイアフラム１１−１とストッパ部材１１−３との接合部等でも同様な関係となる。このため、通常、圧力Ｐ１を受ける側を高圧側、圧力Ｐ２を受ける側を低圧側として定めて使用される。

特開２００５−６９７３６号公報

しかしながら、このようなセンサチップ１１の構造において、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との高低関係が逆転しうるような場合や、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との高低関係は逆転しないが、差圧センサを現場に設置する際に作業者が誤って、圧力Ｐ１側を低圧側、圧力Ｐ２側を高圧側として選択してしまうこともあり、高圧側・低圧側を定めただけでは、センサチップ１１の接合部（センサチップ１１のセンサ室４ａの壁面４ｂとの接合部、センサチップ１１内の多層構造の接合部）の剥離を防止することができない。

また、このセンサチップ１１の取り付け構造では、センサチップ１１の底面をエポキシ系接着剤によりセンサ室４ａの内壁面４ｂに接合しているので、逆圧が加えられていない場合であっても、周囲温度が変化したような場合、線膨張係数の違いによるセンサチップ１１の接合部へのせん断方向や引っ張り方向の熱応力の発生により、センサチップ１１の接合部の剥離を引き起こすことがある。

本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、センサチップの接合部の剥離を防止することが可能な差圧センサを提供することにある。

このような目的を達成するために、本発明は、一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムと、センサダイアフラムの一方の面にその周縁部を対面させて接合され当該センサダイアフラムの一方の面へ第１の流体圧力を導く第１の導圧孔を有する第１の保持部材と、センサダイアフラムの他方の面にその周縁部を対面させて接合され当該センサダイアフラムの他方の面へ第２の流体圧力を導く第２の導圧孔を有する第２の保持部材とを少なくとも備えたセンサチップと、センサチップを収容するセンサ室と、センサ室の第１の内壁面まで第１の流体圧力を導く第１の導圧路と、センサ室の第１の内壁面と対向する第２の内壁面まで第２の流体圧力を導く第２の導圧路とを有するセンサハウジングとを備えた差圧センサにおいて、センサチップの一方の面とセンサ室の第１の内壁面との間に介在され挾圧保持された第１の弾性部材と、センサチップの他方の面とセンサ室の第２の内壁面との間に介在され挾圧保持された第２の弾性部材と、第１の弾性部材を貫通して設けられ、センサチップの第１の導圧孔もしくはこの第１の導圧孔に連通する孔にその一端が挿入固定され、センサハウジングの第１の導圧路にその他端が遊挿された第１の導圧管と、第２の弾性部材を貫通して設けられ、センサチップの第２の導圧孔もしくはこの第２の導圧孔に連通する孔にその一端が挿入固定され、センサハウジングの第２の導圧路にその他端が遊挿された第２の導圧管とを備えることを特徴とする。

本発明において、センサチップは、センサ室内の第１の内壁面と第２の内壁面との間に、第１および第２の弾性部材を挟んで支持されている。この場合、第１の弾性部材は第１の内壁面との間に挾圧保持され、第２の弾性部材は第２の内壁面との間に挾圧保持され、第１の導圧管および第２の導圧管の他端はセンサハウジングの第１および第２の導圧路に遊挿されているので、第１の流体圧力と第２の流体圧力との圧力の高低関係がどうであれ、大きな差圧が生じた場合でも、その差圧による押圧力により、センサチップは、第１の弾性部材を弾性変形させながら第１の内壁面側に、又は第２の弾性部材を圧縮変形させながら第２の内壁面側に押し付けられる。これにより、第１の流体圧力と第２の流体圧力との圧力の高低関係が逆転しても、センサチップがセンサ室の内壁面側に必ず押し付けられるものとなり、センサチップの接合部に加わる圧力が緩和され、センサチップの接合部の剥離が避けられる。

また、外部の熱がセンサハウジングを介してセンサ室内に伝導してきたような場合、第１および第２の弾性部材がせん断方向や引っ張り方向の熱応力を緩和する役割を果たし、熱膨張係数の違いによって生じるセンサチップの接合部へのせん断方向や引っ張り方向の熱応力を緩和する。これにより、高圧時だけではなく、周囲温度が変化したような場合でも、センサチップの接合部の剥離が避けられる。

なお、本発明において、センサチップはセンサダイアフラムと第１の保持部材と第２の保持部材とを少なくとも備えていればよい。この場合、センサチップとして、第１の保持部材のセンサダイアフラムと接合された面とは反対側の面に第１の台座を接合し、第２の保持部材のセンサダイアフラムと接合された面とは反対側の面に第２の台座を接合したような構成が考えられるが、このような構成では、第１の台座に設けられる第１の連通孔に第１の導圧管の一端を挿入固定するようにし、第２の台座に設けられる第２の連通孔に第２の導圧管の一端を挿入固定するようにする。また、第１の保持部材の厚みを増して第１の台座を兼ねさせ、第２の保持部材の厚みを増して第２の台座を兼ねさせるような構成とする場合には、第１の保持部材の第１の導圧孔に第１の導圧管の一端を挿入固定するようにし、第２の保持部材の第２の導圧孔に第２の導圧管の一端を挿入固定するようにする。

本発明によれば、センサチップの一方の面とセンサ室の第１の内壁面との間に第１の弾性部材を挾圧保持させた状態で介在させ、センサチップの他方の面とセンサ室の第２の内壁面との間に第２の弾性部材を挾圧保持させた状態で介在させ、センサチップの第１の導圧孔もしくはこの第１の導圧孔に連通する孔にその一端が挿入固定された第１の導圧管の他端をセンサハウジングの第１の導圧路に遊挿し、センサチップの第２の導圧孔もしくはこの第２の導圧孔に連通する孔にその一端が挿入固定された第２の導圧管の他端をセンサハウジングの第２の導圧路に遊挿し、第１の導圧管を第１の弾性部材を貫通して設け、第２の導圧管を第２の弾性部材を貫通して設けるようにしたので、第１の流体圧力と第２の流体圧力との圧力の高低関係に拘わらず、センサチップがセンサ室の内壁面側に必ず押しつけられるようにして、センサチップの接合部に加わる圧力を緩和し、センサチップの接合部の剥離を防止することが可能となる。

また、本発明によれば、外部の熱がセンサハウジングをセンサ室内に伝導してきたような場合、第１および第２の弾性部材がせん断方向や引っ張り方向の熱応力を緩和する役割を果たし、熱膨張係数の違いによって生じるセンサチップの接合部へのせん断方向や引っ張り方向の熱応力を緩和する。これにより、高圧時だけではなく、周囲温度が変化したような場合でも、センサチップの接合部の剥離を避けることが可能となる。

本発明に係る差圧センサの一実施の形態の要部を示す縦断面図である。 この差圧センサの縦断面斜視図である。 従来の差圧センサの概略構成を示す図である。 この差圧センサの動作態様を模式的に示す図である。 特許文献１に示された構造を採用したセンサチップの概略を示す図である。 このセンサチップをメータボディのセンサ室の壁面に接合した状態を示す図である。

以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。

図１はこの発明に係る差圧センサの一実施の形態の要部を示す縦断面図である。同図において、１２はセンサハウジングであり、有底円筒状の上側ハウジング１２−１と、有底円筒状の下側ハウジング１２−２との２分割構造とされている。上側ハウジング１２−１および下側ハウジング１２−２は例えばステンレス製とされている。なお、参考として、図２にこの差圧センサ２００の縦断面斜視図を示す。

この差圧センサ２００において、上側ハウジング１２−１の下端面１２−１ａと下側ハウジング１２−２の上端面１２−２ａとは溶接接合され、上側ハウジング１２−１と下側ハウジング１２−２とによって囲まれた空間がセンサ室１２ａとされている。そして、上側ハウジング１２−１の底面がセンサ室１２ａの第１の内壁面１２−１ｂとされ、下側ハウジング１２−２の底面がセンサ室１２ａの第２の内壁面１２−２ｂとされている。

センサ室１２ａにはセンサチップ１１が収容されている。センサ室１２ａにおいて、第１の内壁面１２−１ｂとセンサチップ１１の一方の面（台座１１−４の外面）との間にはＯリング１３−１を挾圧保持させた状態で介在させており、第２の内壁面１２−２ｂとセンサチップ１１の他方の面（台座１１−５の外面）との間にはＯリング１３−２を挾圧保持させた状態で介在させている。

Ｏリング１３−１および１３−２としては、超高圧対応、超寿命のＯリングを使用している。このＯリング１３−１および１３−２が本発明でいう第１および第２の弾性部材に相当する。

また、センサ室１２ａにおいて、センサチップ１１の台座１１−４の導圧孔（連通孔）１１−４ａに導圧管１４−１の一端が挿入固定され、この導圧管１４−１の他端がＯリング１３−１を貫通して、上側ハウジング１２−１に形成されている導圧路１２−１ｃに遊挿されている。また、センサチップ１１の台座１１−５の導圧孔（連通孔）１１−５ａに導圧管１４−２の一端が挿入固定され、この導圧管１４−２の他端がＯリング１３−２を貫通して、下側ハウジング１２−２に形成されている導圧路１２−２ｃに遊挿されている。導圧管１４−１，１４−２はステンレス鋼とされている。

この差圧センサ２００では、測定圧Ｐ１（第１の流体圧力）が圧力伝達媒体１５−１を介して、上側ハウジング１２−１の導圧路１２−１ｃ、導圧管１４−１の管路１４−１ａ、台座１１−４の導圧孔１１−４ａ、ストッパ部材１１−２の導圧孔１１−２ｂを通り、センサダイアフラム１１−１の一方の面に印加される。また、測定圧Ｐ２（第２の流体圧力）が圧力伝達媒体１５−２を介して、下側ハウジング１２−２の導圧路１２−２ｃ、導圧管１４−２の管路１４−２ａ、台座１１−４の導圧孔１１−５ａ、ストッパ部材１１−３の導圧孔１１−３ｂを通り、センサダイアフラム１１−１の他方の面に印加される。

この場合、センサダイアフラム１１−１の一方の面に過大圧が印加されてセンサダイアフラム１１−１が変位したとき、その変位面の全体がストッパ部材１１−３の凹部１１−３ａの曲面によって受け止められる。また、センサダイアフラム１１−１の他方の面に過大圧が印加されてセンサダイアフラム１１−１が変位したとき、その変位面の全体がストッパ部材１１−２の凹部１１−２ａの曲面によって受け止められる。

この差圧センサ２００において、センサチップ１１は、センサ室１２ａ内の第１の内壁面１２−１ｂと第２の内壁面１２−２ｂとの間に、Ｏリング１３−１および１３−２を挟んで支持されている。この場合、Ｏリング１３−１は第１の内壁面１２−１ｂとの間に挾圧保持され、Ｏリング１３−２は第２の内壁面１２−２ｂとの間に挾圧保持され、導圧管１４−１および導圧管１４−２の他端は上側ハウジング１２−１の導圧路１２−１ｃおよび下側ハウジング１２−２の導圧路１２−２ｃに遊挿されている。

このため、この差圧センサ２００では、第１の流体圧力Ｐ１と第２の流体圧力Ｐ２との圧力の高低関係がどうであれ、大きな差圧が生じた場合でも、その差圧による押圧力により、センサチップ１１は、Ｏリング１３−１を弾性変形させながら第１の内壁面１２−１ｂ側に、又はＯリング１３−２を圧縮変形させながら第２の内壁面１２−２ｂ側に押し付けられる。これにより、第１の流体圧力Ｐ１と第２の流体圧力Ｐ２との圧力の高低関係が逆転しても、センサチップ１１がセンサ室１２ａの内壁面側に必ず押し付けられるものとなり、センサチップ１１の接合部に加わる圧力が緩和され、センサチップ１１の接合部の剥離が避けられる。

なお、この差圧センサ２００において、導圧管１４−１の他端が上側ハウジング１２−１の導圧路１２−１ｃに遊挿され、導圧管１４−２の他端が下側ハウジング１２−２の導圧路１２−２ｃに遊挿されているので、この導圧管１４−１，１４−２の他端と導圧路１２−１ｃ，１２−２ｃとの間の隙間から圧力伝達媒体１５−１，１５−２がセンサ室１２ａ内に漏れ出ようとするが、この圧力伝達媒体１５−１，１５−２の漏出はＯリング１３−１，１３−２によって阻止される。

また、この差圧センサ２００では、外部の熱がセンサハウジング１２を介してセンサ室１２ａ内に伝導してきたような場合、Ｏリング１３−１および１３−２がせん断方向や引っ張り方向の熱応力を緩和する役割を果たし、熱膨張係数の違いによって生じるセンサチップ１１の接合部へのせん断方向や引っ張り方向の熱応力を緩和する。これにより、高圧時だけではなく、周囲温度が変化したような場合でも、センサチップ１１の接合部の剥離が避けられる。

また、この差圧センサ２００では、センサハウジング１２を上側ハウジング１２−１と下側ハウジング１２−２との２分割構造とし、かつ着脱可能としているので、センサハウジング１２の分解・組立が可能であり、センサチップ１１、Ｏリング１３−１，１３−２の部品単位での交換を簡単に行うことができる。

また、この差圧センサ２００では、センサハウジング１２のセンサ室１２ａがセンサチップ１１を天地方向を逆としても収納可能な構造とされている。すなわち、センサチップ１１をその装着方向を逆としても収納可能な構造とされている。このため、センサチップ１１をセンサハウジング１２に装着する際に、装着する向きを気にしなくてもよい。また、上側ハウジング１２−１と下側ハウジング１２−２を同一部品にでき、Ｏリング１３−１とＯリング１３−２も同一部品とすることができるので、部品の種類を削減することができる。

なお、上述した実施の形態では、センサチップ１１を台座１１−４，１１−５を有する構成としたが、ストッパ部材１１−２，１１−３の厚みを増して台座を兼ねさせるような構成としてもよい。この場合、ストッパ部材１１−２，１１−３の導圧孔１１−２ｂ，１１−３ｂに導圧管１４−１，１４−２の他端を挿入固定するようにする。

また、上述した実施の形態では、センサダイアフラム１１−１を圧力変化に応じて抵抗値が変化する歪抵抗ゲージを形成したタイプとしているが、静電容量式のセンサチップとしてもよい。静電容量式のセンサチップは、所定の空間（容量室）を備えた基板と、その基板の空間上に配置されたダイアフラムと、基板に形成された固定電極と、ダイアフラムに形成された可動電極とを備えている。ダイアフラムが圧力を受けて変形することで、可動電極と固定電極との間隔が変化してその間の静電容量が変化する。

〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。

１１…センサチップ、１１−１…センサダイアフラム、１１−２，１１−３…ストッパ部材、１１−２ａ，１１−３ａ…凹部、１１−２ｂ，１−３ｂ…圧力導入孔（導圧孔）、１１−４，１１−５…台座、１１−４ａ，１１−５ａ…圧力導入孔（導圧孔）、１２…センサハウジング、１２ａ…センサ室、１２−１…上側ハウジング、１２−２…下側ハウジング、１２−１ａ，１２−２ａ…下端面、１２−１ｂ，１２−２ｂ…内壁面、１２−１ｃ，１２−２ｃ…導圧路、１３−１，１３−２…Ｏリング、１４−１，１４−２…導圧管、１４−１ａ，１４−２ａ…管路、１５−１，１５−２…圧力伝達媒体、２００…差圧センサ。

Claims (3)

1. 一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムと、前記センサダイアフラムの一方の面にその周縁部を対面させて接合され当該センサダイアフラムの一方の面へ第１の流体圧力を導く第１の導圧孔を有する第１の保持部材と、前記センサダイアフラムの他方の面にその周縁部を対面させて接合され当該センサダイアフラムの他方の面へ第２の流体圧力を導く第２の導圧孔を有する第２の保持部材とを少なくとも備えたセンサチップと、
   前記センサチップを収容するセンサ室と、前記センサ室の第１の内壁面まで前記第１の流体圧力を導く第１の導圧路と、前記センサ室の前記第１の内壁面と対向する第２の内壁面まで前記第２の流体圧力を導く第２の導圧路とを有するセンサハウジングとを備えた差圧センサにおいて、
   前記センサチップの一方の面と前記センサ室の第１の内壁面との間に介在され挾圧保持された第１の弾性部材と、
   前記センサチップの他方の面と前記センサ室の第２の内壁面との間に介在され挾圧保持された第２の弾性部材と、
   前記第１の弾性部材を貫通して設けられ、前記センサチップの第１の導圧孔もしくはこの第１の導圧孔に連通する孔にその一端が挿入固定され、前記センサハウジングの第１の導圧路にその他端が遊挿された第１の導圧管と、
   前記第２の弾性部材を貫通して設けられ、前記センサチップの第２の導圧孔もしくはこの第２の導圧孔に連通する孔にその一端が挿入固定され、前記センサハウジングの第２の導圧路にその他端が遊挿された第２の導圧管と
   を備えることを特徴とする差圧センサ。
2. 請求項１に記載された差圧センサにおいて、
   前記センサハウジングは、
   ２分割構造とされ、かつ着脱可能とされている
   ことを特徴とする差圧センサ。
3. 請求項１又は２に記載された差圧センサにおいて、
   前記センサハウジングのセンサ室は、
   前記センサチップをその装着方向を逆としても収納可能な構造とされている
   ことを特徴とする差圧センサ。