JP2013190325A - 差圧発信器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】小型のパッケージ用ボディ20にセンサチップ11を組み込む。センサチップ11は、ストッパ部材11−2および11−3の凹部11−2aおよび11−3aをセンサダイアフラム11−1の一方の面および他方の面に対峙させた過大圧保護機能を有するものとする。パッケージ用ボディ20の側面にバリアダイアフラム(受圧ダイアフラム)21a,21bを設け、センサチップ11、バリアダイアフラム21a,21b、パッケージ用ボディ20の全てを半導体材料(例えば、SiN,サファイア,Si,SiC,石英,硼珪酸ガラスなど)で構成する。
【選択図】 図1
Description
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (3)
- 圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムと、このセンサダイアフラムの一方の面にその凹部を対峙させて設けられ当該センサダイアフラムの他方の面に過大圧が印加された時の過度な変位を阻止する第1のストッパ部材と、前記センサダイアフラムの他方の面にその凹部を対峙させて設けられ当該センサダイアフラムの一方の面に過大圧が印加された時の過度な変位を阻止する第2のストッパ部材とを備えたセンサチップと、
前記センサチップを収容したボディと、
前記ボディの側面に設けられプロセスからの第1の測定圧を受ける第1の受圧ダイアフラムと、
前記ボディの側面に設けられプロセスからの第2の測定圧を受ける第2の受圧ダイアフラムと、
前記ボディの内部に形成された第1の連通路に封入され、前記第1の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの一方の面に伝達する第1の圧力伝達媒体と、
前記ボディの内部に形成された第2の連通路に封入され、前記第2の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの他方の面に伝達する第2の圧力伝達媒体とを備え、
前記センサチップ、前記第1および第2の受圧ダイアフラム、前記ボディの全てが半導体材料で構成されている
ことを特徴とする差圧発信器。 - 請求項1に記載された差圧発信器において、
前記センサチップ、前記第1および第2の受圧ダイアフラム、前記ボディの熱膨張係数が近似している
ことを特徴とする差圧発信器。 - 請求項1又は2に記載された差圧発信器において、
前記ボディは、前記第1の圧力伝達媒体を前記第1の連通路に封入するための第1の封入孔および前記第2の圧力伝達媒体を前記第2の連通路に封入するための第2の封入孔を側面に有し、
前記第1の封入孔は、その縁面およびこの縁面につながる内壁面にメタルが成膜され、前記第1の連通路への前記第1の圧力伝達媒体の封入後、前記メタルが成膜された面に溶融金属を加熱溶解させることによって封止され、
前記第2の封入孔は、その縁面およびこの縁面につながる内壁面にメタルが成膜され、前記第2の連通路への前記第2の圧力伝達媒体の封入後、前記メタルが成膜された面に溶融金属を加熱溶解させることによって封止されている
ことを特徴とする差圧発信器。
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