JP2015191743A - マイクロ波無電極ランプ及びこれを使用した光照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
石英ガラス製の管状の放電容器と、該放電容器内に封入された希ガス及び発光物質と、を有し、前記発光物質は、亜鉛、ヨウ化コバルト、及び、コバルト単体、を含み、前記亜鉛(Zn)の封入濃度は1.5〜4.2μmol/ccである。
前記無電極ランプは不活性ガスと発光物質が封入された放電容器を有し、前記発光物質は、亜鉛、ヨウ化コバルト、及び、コバルト単体、を含み、前記亜鉛(Zn)の封入濃度は1.5〜4.2μmol/ccである。
Claims (4)
- マイクロ波エネルギーを受けて発光するマイクロ波無電極ランプにおいて、
石英ガラス製の管状の放電容器と、
該放電容器内に封入された希ガス及び発光物質と、を有し、
前記発光物質は、亜鉛、ヨウ化コバルト、及び、コバルト単体、を含み、
前記亜鉛(Zn)の封入濃度は1.5〜4.2μmol/ccである、マイクロ波無電極ランプ。 - 請求項1記載のマイクロ波無電極ランプにおいて、
前記ヨウ化コバルトの封入濃度は4〜10μmol/ccである、マイクロ波無電極ランプ。 - マイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器に付属するアンテナと、該アンテナからのマイクロ波エネルギーを受けて発光する無電極ランプと、を有する光照射装置において、
前記無電極ランプは不活性ガスと発光物質が封入された放電容器を有し、
前記発光物質は、亜鉛、ヨウ化コバルト、及び、コバルト単体、を含み、
前記亜鉛(Zn)の封入濃度は3〜4μmol/ccである、光照射装置。 - 請求項3記載の光照射装置において、
前記ヨウ化コバルトの封入濃度は4〜10μmol/ccである、光照射装置。
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