JPH0231459B2 - - Google Patents
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- JPH0231459B2 JPH0231459B2 JP56058152A JP5815281A JPH0231459B2 JP H0231459 B2 JPH0231459 B2 JP H0231459B2 JP 56058152 A JP56058152 A JP 56058152A JP 5815281 A JP5815281 A JP 5815281A JP H0231459 B2 JPH0231459 B2 JP H0231459B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は紫外線照射源としてのマイクロ波放
電光源装置に用いられる無電極放電ランプに関す
るもので、特に近紫外線近傍の領域における近紫
外線放射効率を向上させたものである。
電光源装置に用いられる無電極放電ランプに関す
るもので、特に近紫外線近傍の領域における近紫
外線放射効率を向上させたものである。
従来、写真製版用光源等の光化学反応用の近紫
外線光源には一般に発光管両端に一対の主放電々
極を有する高圧金属蒸気放電ランプが使用されて
おり、さらに近紫外線近傍の放射効率を向上させ
るために、その発光管の内部にガリウム等のハロ
ゲン化物を封入したものが主流を占めていた。こ
のようないわゆるメタルハライドランプは、ラン
プを点灯してから光出力が安定状態に達するまで
の時間（以下安定時間と呼ぶ）が約３分間要し、
また消灯してから次に点灯するまで７分間程度を
要するものであつた。そのため、たとえば写真製
版等の露光に使用する場合、露光時間が１分程度
また次の露光の準備に１分程度を必要とするの
で、ランプを点灯させておくとともに、このラン
プの前にシヤツタ等を設けて、露光時のみシヤツ
ターを開いて露光するという方法が採用されてい
た。したがつて従来のメタルハライドランプを使
用した光源装置は、非露光の時間もランプを点灯
しておかなければならず省電力の観点からも好ま
しくなかつた。また上記従来のメタルハライドラ
ンプは高負荷であり、電極の消耗による発光管内
壁の汚れ等により、寿命が約1000時間と短かいも
のであつた。
外線光源には一般に発光管両端に一対の主放電々
極を有する高圧金属蒸気放電ランプが使用されて
おり、さらに近紫外線近傍の放射効率を向上させ
るために、その発光管の内部にガリウム等のハロ
ゲン化物を封入したものが主流を占めていた。こ
のようないわゆるメタルハライドランプは、ラン
プを点灯してから光出力が安定状態に達するまで
の時間（以下安定時間と呼ぶ）が約３分間要し、
また消灯してから次に点灯するまで７分間程度を
要するものであつた。そのため、たとえば写真製
版等の露光に使用する場合、露光時間が１分程度
また次の露光の準備に１分程度を必要とするの
で、ランプを点灯させておくとともに、このラン
プの前にシヤツタ等を設けて、露光時のみシヤツ
ターを開いて露光するという方法が採用されてい
た。したがつて従来のメタルハライドランプを使
用した光源装置は、非露光の時間もランプを点灯
しておかなければならず省電力の観点からも好ま
しくなかつた。また上記従来のメタルハライドラ
ンプは高負荷であり、電極の消耗による発光管内
壁の汚れ等により、寿命が約1000時間と短かいも
のであつた。
そこで、このような従来のメタルハライドラン
プを用いた近紫外線光源装置の欠点を解消するも
のとして、本出願人は先に第１図に示す構成を有
するマイクロ波放電光源装置を提案した。このマ
イクロ波放電光源装置は、マイクロ波電磁界によ
つて無電極放電ランプを放電させるものであるた
め、上記のような電極を有する放電ランプの場
合、ランプの寿命が電極消耗等により決定されて
いたのに対し、ランプが無電極であるため、電極
にまつわる問題がなくなりランプ寿命を長くする
ことができるという特長があり、また電極による
熱損失がなく、放電のインピーダンスが点灯直後
と安定状態で差が小さいため点灯直後から電力注
入が容易であり、更に放電がランプ管壁の方に偏
つている等のために安定時間を短縮できるという
特長をもつている。次に上記マイクロ波放電光源
装置を第１図に基づいて説明する。即ち、第１図
において１はマグネトロン、２はマグネトロンア
ンテナ、３は導波管、４は光の反射面を兼ねた空
胴壁面５と空胴壁面５の前面に設けられた光は透
過するがマイクロ波は透過しないメツシユ板１１
で囲われた空胴であり、６は空胴壁面５に設けら
れたマイクロ波給電口、７は空胴４内に配設され
た無電極放電ランプ、８はマグネトロン１と無電
極放電ランプを冷却するための冷却フアン、９は
冷却フアン８の冷却風をマグネトロンを介して導
波管３内に導くための送風管で、１０は冷却風を
導波管３内に入れるための導波管３にあけられた
通風口で１４はマグネトロン１や導波管３等を覆
う箱体である。
プを用いた近紫外線光源装置の欠点を解消するも
のとして、本出願人は先に第１図に示す構成を有
するマイクロ波放電光源装置を提案した。このマ
イクロ波放電光源装置は、マイクロ波電磁界によ
つて無電極放電ランプを放電させるものであるた
め、上記のような電極を有する放電ランプの場
合、ランプの寿命が電極消耗等により決定されて
いたのに対し、ランプが無電極であるため、電極
にまつわる問題がなくなりランプ寿命を長くする
ことができるという特長があり、また電極による
熱損失がなく、放電のインピーダンスが点灯直後
と安定状態で差が小さいため点灯直後から電力注
入が容易であり、更に放電がランプ管壁の方に偏
つている等のために安定時間を短縮できるという
特長をもつている。次に上記マイクロ波放電光源
装置を第１図に基づいて説明する。即ち、第１図
において１はマグネトロン、２はマグネトロンア
ンテナ、３は導波管、４は光の反射面を兼ねた空
胴壁面５と空胴壁面５の前面に設けられた光は透
過するがマイクロ波は透過しないメツシユ板１１
で囲われた空胴であり、６は空胴壁面５に設けら
れたマイクロ波給電口、７は空胴４内に配設され
た無電極放電ランプ、８はマグネトロン１と無電
極放電ランプを冷却するための冷却フアン、９は
冷却フアン８の冷却風をマグネトロンを介して導
波管３内に導くための送風管で、１０は冷却風を
導波管３内に入れるための導波管３にあけられた
通風口で１４はマグネトロン１や導波管３等を覆
う箱体である。
次ぎにこのマイクロ波光源装置の動作について
説明する。マグネトロン１によつて発生されたマ
イクロ波はマグネトロンアンテナ２より導波管３
内に放射される。このマイクロ波は導波管内を伝
播し給電口６を通して空胴４中に放射され、空胴
４内でマイクロ波の電磁界を形成する。このマイ
クロ波電磁界により、先ず無電極放電ランプ７内
に封入された始動用希ガスが放電し、ランプ壁が
加熱され、それまでランプ内壁に付着していた他
の封入金属が蒸発して金属蒸気放電を主体とした
放電となり安定状態になる。この時封入金属の種
類に応じて、その金属特有の発光スペクトルをも
つた発光が生じる。この発光を光源として利用す
るものである。また無電極放電ランプ７からの光
を有効に利用するために、空胴壁５を光反射とし
て用い、前面は光を透過しマイクロ波は透過しな
い金属メツシユ板１１で構成し、ランプ７からの
光の全てを前方に放射させるようになつている。
一方マグネトロン１およびランプ７は冷却の必要
があるため、冷却フアン８によつてマグネトロン
１を冷却し、更にこの冷却風は送風管９、通風口
１０、導波管３内、給電口６を介して空胴４内に
導かれ、無電極ランプ７を冷却した後メツシユ板
１１から排出される。
説明する。マグネトロン１によつて発生されたマ
イクロ波はマグネトロンアンテナ２より導波管３
内に放射される。このマイクロ波は導波管内を伝
播し給電口６を通して空胴４中に放射され、空胴
４内でマイクロ波の電磁界を形成する。このマイ
クロ波電磁界により、先ず無電極放電ランプ７内
に封入された始動用希ガスが放電し、ランプ壁が
加熱され、それまでランプ内壁に付着していた他
の封入金属が蒸発して金属蒸気放電を主体とした
放電となり安定状態になる。この時封入金属の種
類に応じて、その金属特有の発光スペクトルをも
つた発光が生じる。この発光を光源として利用す
るものである。また無電極放電ランプ７からの光
を有効に利用するために、空胴壁５を光反射とし
て用い、前面は光を透過しマイクロ波は透過しな
い金属メツシユ板１１で構成し、ランプ７からの
光の全てを前方に放射させるようになつている。
一方マグネトロン１およびランプ７は冷却の必要
があるため、冷却フアン８によつてマグネトロン
１を冷却し、更にこの冷却風は送風管９、通風口
１０、導波管３内、給電口６を介して空胴４内に
導かれ、無電極ランプ７を冷却した後メツシユ板
１１から排出される。
しかるに、この装置に用いられるランプ７は、
内部に水銀、アルゴンに加えガリウムとハロゲン
を封入したものであつたため、近紫外線用光源装
置としては特に350〜450nｍ範囲の光出力は必ら
ずしも満足のゆくものではなかつた。
内部に水銀、アルゴンに加えガリウムとハロゲン
を封入したものであつたため、近紫外線用光源装
置としては特に350〜450nｍ範囲の光出力は必ら
ずしも満足のゆくものではなかつた。
この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、
マイクロ波光源装置に用いられる無電極放電ラン
プにおいて、特に350nｍないし450nｍ範囲の波
長域に強い光を放射するようにし、マイクロ波を
利用した近紫外線光源装置に好適な金属ハロゲン
化物入り無電極放電ランプを提供するものであ
る。
マイクロ波光源装置に用いられる無電極放電ラン
プにおいて、特に350nｍないし450nｍ範囲の波
長域に強い光を放射するようにし、マイクロ波を
利用した近紫外線光源装置に好適な金属ハロゲン
化物入り無電極放電ランプを提供するものであ
る。
前記マイクロ波放電光源装置の動作について述
べてあるように、無電極放電ランプにおいてもラ
ンプ内に封入した金属を蒸気化し、励起して発光
させることは電極を有する放電ランプの場合と変
わりはない。したがつて同じ波長域に強い発光を
得ようとする場合、ランプに封入すべき金属の種
類は電極を有する放電ランプとほぼ同じになる。
しかし、電極を有する従来放電ランプであるメタ
ルハライドランプは発光がランプ両端の電極を結
ぶ軸上に集中しているのに対しマイクロ波電磁界
によつて励起する無電極放電ランプはランプ内蒸
気圧が高圧であつても発光がランプ壁近傍まで広
がつている。このようなことから、従来の電極を
有するメタルハライドランプにおける発光機構は
主に熱励起と考えられ、封入金属ハロゲン化物の
金属の励起準位と遷移確率等に応じたスペクトル
を放射するのに対し、高周波、特にマイクロ波電
磁界内で点灯する無電極放電ランプにおいては、
放電内の非常に速い交番の電磁界によりエネルギ
ーを得て、放電内の種々原子を電離および励起す
るので発光機構が熱励起から外れていると考えら
れる。このため電極を有するメタルハライドラン
プの場合と比較して、同種類の封入物を用いた際
でも発光の振舞いが相異し、その適正量等の範囲
も異つてくると考えられる。
べてあるように、無電極放電ランプにおいてもラ
ンプ内に封入した金属を蒸気化し、励起して発光
させることは電極を有する放電ランプの場合と変
わりはない。したがつて同じ波長域に強い発光を
得ようとする場合、ランプに封入すべき金属の種
類は電極を有する放電ランプとほぼ同じになる。
しかし、電極を有する従来放電ランプであるメタ
ルハライドランプは発光がランプ両端の電極を結
ぶ軸上に集中しているのに対しマイクロ波電磁界
によつて励起する無電極放電ランプはランプ内蒸
気圧が高圧であつても発光がランプ壁近傍まで広
がつている。このようなことから、従来の電極を
有するメタルハライドランプにおける発光機構は
主に熱励起と考えられ、封入金属ハロゲン化物の
金属の励起準位と遷移確率等に応じたスペクトル
を放射するのに対し、高周波、特にマイクロ波電
磁界内で点灯する無電極放電ランプにおいては、
放電内の非常に速い交番の電磁界によりエネルギ
ーを得て、放電内の種々原子を電離および励起す
るので発光機構が熱励起から外れていると考えら
れる。このため電極を有するメタルハライドラン
プの場合と比較して、同種類の封入物を用いた際
でも発光の振舞いが相異し、その適正量等の範囲
も異つてくると考えられる。
この発明は紫外線光源として使用でき得る無電
極放電ランプについていろいろな検討の結果うま
れたもので、その発明の構成はマイクロ波電磁界
内で点灯する無電極放電ランプにおいて、ランプ
内容積に対し0.7×10-5グラム原子／cm3ないし5.5
×10-5グラム原子／cm3の水銀と0.2×10-6グラム
原子／cm3ないし6.2×10-3グラム原子／cm3のハロ
ゲンと鉄、ニツケル、コバルトおよびパラジウム
のうち１種以上を総量で0.1×10-6グラム原子／
cm3ないし1.7×10-6グラム原子／cm3と始動用希ガ
スとを封入したことを特徴とするものである。
極放電ランプについていろいろな検討の結果うま
れたもので、その発明の構成はマイクロ波電磁界
内で点灯する無電極放電ランプにおいて、ランプ
内容積に対し0.7×10-5グラム原子／cm3ないし5.5
×10-5グラム原子／cm3の水銀と0.2×10-6グラム
原子／cm3ないし6.2×10-3グラム原子／cm3のハロ
ゲンと鉄、ニツケル、コバルトおよびパラジウム
のうち１種以上を総量で0.1×10-6グラム原子／
cm3ないし1.7×10-6グラム原子／cm3と始動用希ガ
スとを封入したことを特徴とするものである。
以下、図面を用いてこの発明の詳細を説明する
第２図は無電極放電ランプの実施例の１つであ
り、断面図を示す。この無電極放電ランプ７は透
光性石英で形成された球形であり、両端に同材質
の棒状突出部１２，１３が設けてある。第１図の
空胴４内に適当なランプ支持部を設けて、この突
出部１２，１３を支持してランプを配置する。ラ
ンプ内には水銀、希ガスおよび鉄のハロゲン物が
封入される。適正封入量を決定するために種々の
検討を行つた結果を以下示す。この時に用いたマ
イクロ波光源装置はマグネトロン１、マイクロ波
の周波数が2450（ＭHz）、マイクロ波出力が700
（Ｗ）のもので、空胴壁５は略半球状をしたアル
ミニウム材で構成され、壁面は反射面をなしてい
る。また前面の金属メツシユ板は光透過率が約85
％のエツチツク方法によつて作られたステンレス
製のメツシユ板である。
第２図は無電極放電ランプの実施例の１つであ
り、断面図を示す。この無電極放電ランプ７は透
光性石英で形成された球形であり、両端に同材質
の棒状突出部１２，１３が設けてある。第１図の
空胴４内に適当なランプ支持部を設けて、この突
出部１２，１３を支持してランプを配置する。ラ
ンプ内には水銀、希ガスおよび鉄のハロゲン物が
封入される。適正封入量を決定するために種々の
検討を行つた結果を以下示す。この時に用いたマ
イクロ波光源装置はマグネトロン１、マイクロ波
の周波数が2450（ＭHz）、マイクロ波出力が700
（Ｗ）のもので、空胴壁５は略半球状をしたアル
ミニウム材で構成され、壁面は反射面をなしてい
る。また前面の金属メツシユ板は光透過率が約85
％のエツチツク方法によつて作られたステンレス
製のメツシユ板である。
第３図は内径30（mm）、肉厚が0.5（mm）で内容積
が約14.1（cm3）の球形ランプ内に始動用希ガスと
してアルゴンガス100（torr）とバツフアガスとし
て水銀120（mg）（4.2×10-5グラム原子／cm3）封入
し、更に鉄のヨウ化物FeI2を封入し（鉄とヨウ化
水銀の形で封入してもさしつかえない）、ヨウ化
鉄の封入量を変化させた時の355〜425nｍの波長
域の紫外線の光出力（相対値）を示すものであ
る。なお、本出願人が先に提案した金属としてガ
リウムを封入したランプの紫外線の相対出力は65
である。同図より明らかにヨウ化鉄（FeI2）の量
を増加してゆくと光出力（相対値）は最初は急激
に増大し0.5×10-6ないし１×10-6モル／cm3間に
最大値を得、その後徐々に減少してゆく。ヨウ化
鉄（FeI2）の封入量は0.1×10-6モル原子／cm3な
いし2.3×10-6モル／cm3の範囲が実用上有効であ
る。その理由はヨウ化鉄の封入量が0.1×10-6モ
ル／cm3未満では秤量の精度や製造中のバラツキの
ために精度良く封入することが難かしく光出力の
バラツキが大きく製造がむづかしい。また、2.3
×10-6モル／cm3を越えると放電が不安定となり、
発光が縞模様を呈し揺れを生じるので好ましくな
いためである。
が約14.1（cm3）の球形ランプ内に始動用希ガスと
してアルゴンガス100（torr）とバツフアガスとし
て水銀120（mg）（4.2×10-5グラム原子／cm3）封入
し、更に鉄のヨウ化物FeI2を封入し（鉄とヨウ化
水銀の形で封入してもさしつかえない）、ヨウ化
鉄の封入量を変化させた時の355〜425nｍの波長
域の紫外線の光出力（相対値）を示すものであ
る。なお、本出願人が先に提案した金属としてガ
リウムを封入したランプの紫外線の相対出力は65
である。同図より明らかにヨウ化鉄（FeI2）の量
を増加してゆくと光出力（相対値）は最初は急激
に増大し0.5×10-6ないし１×10-6モル／cm3間に
最大値を得、その後徐々に減少してゆく。ヨウ化
鉄（FeI2）の封入量は0.1×10-6モル原子／cm3な
いし2.3×10-6モル／cm3の範囲が実用上有効であ
る。その理由はヨウ化鉄の封入量が0.1×10-6モ
ル／cm3未満では秤量の精度や製造中のバラツキの
ために精度良く封入することが難かしく光出力の
バラツキが大きく製造がむづかしい。また、2.3
×10-6モル／cm3を越えると放電が不安定となり、
発光が縞模様を呈し揺れを生じるので好ましくな
いためである。
第４図は内径30（mm）、肉厚0.5mm、内容積が
14.1cm3の球形の石英製ランプ内に始動用希ガスと
してアルゴン100torr、発光金属として鉄を0.63
×10-6グラム原子／cm3と0.62×10-6モル／cm3のヨ
ウ化水銀を封入しこれらを一定とし、水銀の封入
量を変えた時の光出力（相対値）を示す図であ
り、水銀の封入量を増してゆくと最初は急激に光
出力が増大し、水銀封入量が2.5×10-5グラム原
子／cm3位で最大高出力を示し、それ以降光出力が
減少する。封入する水銀量は0.7×10-5グラム原
子／cm3ないし5.5×10-5グラム原子／cm3の範囲が
実用上適当である。その理由は封入水銀量が0.7
×10-5グラム原子／cm3未満では光出力の向上は小
さく、また5.5×10-5グラム原子／cm3を越えると、
発光に縞状のムラを呈し、揺れて不安定になるか
らである。
14.1cm3の球形の石英製ランプ内に始動用希ガスと
してアルゴン100torr、発光金属として鉄を0.63
×10-6グラム原子／cm3と0.62×10-6モル／cm3のヨ
ウ化水銀を封入しこれらを一定とし、水銀の封入
量を変えた時の光出力（相対値）を示す図であ
り、水銀の封入量を増してゆくと最初は急激に光
出力が増大し、水銀封入量が2.5×10-5グラム原
子／cm3位で最大高出力を示し、それ以降光出力が
減少する。封入する水銀量は0.7×10-5グラム原
子／cm3ないし5.5×10-5グラム原子／cm3の範囲が
実用上適当である。その理由は封入水銀量が0.7
×10-5グラム原子／cm3未満では光出力の向上は小
さく、また5.5×10-5グラム原子／cm3を越えると、
発光に縞状のムラを呈し、揺れて不安定になるか
らである。
また、内径30mm、肉厚0.5mm、内容積が約14.1
cm3の石英製球形のランプ内鉄を0.63×10-6グラム
原子／cm3、ヨウ化水銀を0.62×10-6モル／cm3を封
入しアルゴン封入圧力を常温で１、５、10、40、
100、200、300torrと変化させた場合、アルゴン
封入圧力が1torrの場合ランプが点灯して安定状
態に到達する前に立消を生じ、300（torr）ではラ
ンプが点灯開始しなかつた。したがつて、アルゴ
ン封入圧は10ないし200（torr）の範囲が適当であ
る。
cm3の石英製球形のランプ内鉄を0.63×10-6グラム
原子／cm3、ヨウ化水銀を0.62×10-6モル／cm3を封
入しアルゴン封入圧力を常温で１、５、10、40、
100、200、300torrと変化させた場合、アルゴン
封入圧力が1torrの場合ランプが点灯して安定状
態に到達する前に立消を生じ、300（torr）ではラ
ンプが点灯開始しなかつた。したがつて、アルゴ
ン封入圧は10ないし200（torr）の範囲が適当であ
る。
更にヨウ素の封入量については実質的に有効な
量のヨウ化鉄を形成するために充分な量を必要と
し、最大封入量ではヨウ化水銀として封入した場
合1.4mg／cm3すなわち6.2×10-6グラム原子／cm3ま
で封入することができる。その理由はヨウ素の封
入量が6.2×10-6グラム原子／cm3を越えると点灯
中ランプの発光にムラを生じ、放電が揺れて不安
定になるからである。したがつて、ヨウ素封入量
は最低のヨウ化鉄0.1×10-6モル／cm3を形成する
のに必要な0.2×10-6グラム原子／cm3ないし6.2×
10-6グラム原子／cm3の範囲でなければならない。
量のヨウ化鉄を形成するために充分な量を必要と
し、最大封入量ではヨウ化水銀として封入した場
合1.4mg／cm3すなわち6.2×10-6グラム原子／cm3ま
で封入することができる。その理由はヨウ素の封
入量が6.2×10-6グラム原子／cm3を越えると点灯
中ランプの発光にムラを生じ、放電が揺れて不安
定になるからである。したがつて、ヨウ素封入量
は最低のヨウ化鉄0.1×10-6モル／cm3を形成する
のに必要な0.2×10-6グラム原子／cm3ないし6.2×
10-6グラム原子／cm3の範囲でなければならない。
実施例１として内径30mm、肉厚0.5mm、内容積
14.1cm3の透光性石英のランプで同材質の径３mm、
長サ10mmの突出部を両端に設けたランプ内に、
0.5mgの鉄、４mgのヨウ化水銀118mgの水銀と
100torrのアルゴンガスを封入したランプとした
場合、安定時の光出力（相対値）206任意単位を
得た。これは水銀のみを封入した場合の約4.1倍
である。また、光出力が安定時の80％に達するま
での時間を安定時間とし、この安定時間は17.0秒
であつた。
14.1cm3の透光性石英のランプで同材質の径３mm、
長サ10mmの突出部を両端に設けたランプ内に、
0.5mgの鉄、４mgのヨウ化水銀118mgの水銀と
100torrのアルゴンガスを封入したランプとした
場合、安定時の光出力（相対値）206任意単位を
得た。これは水銀のみを封入した場合の約4.1倍
である。また、光出力が安定時の80％に達するま
での時間を安定時間とし、この安定時間は17.0秒
であつた。
実施例２として実施例１に用いたランプを用
い、ランプ内に1.0mgのパラジウムと４mgのヨウ
化水銀と118mgの水銀と100torrのアルゴンガスを
封入した場合、光出力は103任意単位となり水銀
のみ2.1倍が得られ、また安定時間は19.0秒であ
つた。
い、ランプ内に1.0mgのパラジウムと４mgのヨウ
化水銀と118mgの水銀と100torrのアルゴンガスを
封入した場合、光出力は103任意単位となり水銀
のみ2.1倍が得られ、また安定時間は19.0秒であ
つた。
以上説明したようにこの発明によればマイクロ
波電磁界内で放電させられる無電極放電ランプの
波長350nｍないし450nｍ範囲に放射する光出力
を増大することができ、しかも安定時間が短かく
することができる。またランプが無電極であるた
め、働程中、光出力の減衰も少なく長寿命のラン
プを提供することができる。
波電磁界内で放電させられる無電極放電ランプの
波長350nｍないし450nｍ範囲に放射する光出力
を増大することができ、しかも安定時間が短かく
することができる。またランプが無電極であるた
め、働程中、光出力の減衰も少なく長寿命のラン
プを提供することができる。
なお以上の説明において、封入金属として鉄お
よびパラジウムについて説明したが、これ以外の
発光金属として鉄族のニツケル、コバルトも使用
できることを確認している。
よびパラジウムについて説明したが、これ以外の
発光金属として鉄族のニツケル、コバルトも使用
できることを確認している。
第１図は本出願人が先に提案したマイクロ波放
電光源装置の断面図、第２図はこの発明に係る無
電極放電ランプの断面図、第３図〜第４図は封入
金属を変化させた時の光出力（相対値）の変化を
示す特性図である。 図中、７は無電極放電ランプ、尚、各図中同一
符号は同一または相当部分を示す。
電光源装置の断面図、第２図はこの発明に係る無
電極放電ランプの断面図、第３図〜第４図は封入
金属を変化させた時の光出力（相対値）の変化を
示す特性図である。 図中、７は無電極放電ランプ、尚、各図中同一
符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- １ マイクロ波電磁界内で点灯される紫外線照射
用無電極放電ランプにおいて、内部に始動用希ガ
スに加えて、ランプ内容積１c.c.当り0.7×10-5グ
ラム原子ないし5.5×10-5グラム原子の水銀と、
0.2×10-6グラム原子ないし6.2×10-6グラム原子
のハロゲンと、鉄、ニツケル、コバルトおよびパ
ラジウムのうち１種以上を総量で0.1×10-6グラ
ム原子ないし1.7×10-6グラム原子封入し、かつ
ランプ形状が球形であることを特徴とする紫外線
照射用無電極放電ランプ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5815281A JPS57172650A (en) | 1981-04-17 | 1981-04-17 | Non-electrode electric-discharge lamp |
| CA000400168A CA1176688A (en) | 1981-04-17 | 1982-03-31 | Electrodeless discharge lamp |
| EP19820301771 EP0063441B1 (en) | 1981-04-17 | 1982-04-02 | Electrodeless discharge lamp |
| DE8282301771T DE3261676D1 (en) | 1981-04-17 | 1982-04-02 | Electrodeless discharge lamp |
| CA000450052A CA1179725A (en) | 1981-04-17 | 1984-03-20 | Electrodeless discharge lamp |
| HK76385A HK76385A (en) | 1981-04-17 | 1985-10-10 | Electrodeless discharge lamp |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5815281A JPS57172650A (en) | 1981-04-17 | 1981-04-17 | Non-electrode electric-discharge lamp |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57172650A JPS57172650A (en) | 1982-10-23 |
| JPH0231459B2 true JPH0231459B2 (ja) | 1990-07-13 |
Family
ID=13076011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5815281A Granted JPS57172650A (en) | 1981-04-17 | 1981-04-17 | Non-electrode electric-discharge lamp |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57172650A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015082369A (ja) * | 2013-10-22 | 2015-04-27 | 岩崎電気株式会社 | マイクロ波無電極ランプ及びこれを使用した光照射装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62147649A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-07-01 | Ushio Inc | 紫外線用無電極放電灯 |
| JPS62147648A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-07-01 | Ushio Inc | 無電極金属蒸気放電灯 |
| GB2472293A (en) * | 2009-07-30 | 2011-02-02 | Osram Gmbh | Electrodeless high pressure discharge lamp |
| JP6252217B2 (ja) * | 2014-02-10 | 2017-12-27 | 岩崎電気株式会社 | マイクロ波無電極ランプ及びこれを使用した光照射装置 |
| JP6319660B2 (ja) * | 2014-08-04 | 2018-05-09 | 岩崎電気株式会社 | マイクロ波無電極ランプ及びこれを使用した光照射装置 |
| JP6379962B2 (ja) * | 2014-10-08 | 2018-08-29 | 岩崎電気株式会社 | マイクロ波無電極ランプ及びこれを使用した光照射装置 |
| JP6460576B2 (ja) * | 2015-03-18 | 2019-01-30 | 岩崎電気株式会社 | マイクロ波無電極ランプ及びこれを使用した光照射装置 |
| JP6507465B2 (ja) * | 2015-07-06 | 2019-05-08 | 岩崎電気株式会社 | マイクロ波無電極ランプ及びこれを使用した光照射装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS499513A (ja) * | 1972-04-06 | 1974-01-28 | ||
| JPS4939289A (ja) * | 1972-08-22 | 1974-04-12 | ||
| JPS5214085A (en) * | 1975-07-22 | 1977-02-02 | Oak Seisakusho:Kk | High voltage discharge apparatus |
| JPS5499368A (en) * | 1978-01-23 | 1979-08-06 | Oku Seisakusho Co Ltd | Ultraviolet ray generator |
-
1981
- 1981-04-17 JP JP5815281A patent/JPS57172650A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS499513A (ja) * | 1972-04-06 | 1974-01-28 | ||
| JPS4939289A (ja) * | 1972-08-22 | 1974-04-12 | ||
| JPS5214085A (en) * | 1975-07-22 | 1977-02-02 | Oak Seisakusho:Kk | High voltage discharge apparatus |
| JPS5499368A (en) * | 1978-01-23 | 1979-08-06 | Oku Seisakusho Co Ltd | Ultraviolet ray generator |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015082369A (ja) * | 2013-10-22 | 2015-04-27 | 岩崎電気株式会社 | マイクロ波無電極ランプ及びこれを使用した光照射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57172650A (en) | 1982-10-23 |
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