JP2015191038A - 表示装置、電子機器および基板 - Google Patents
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Abstract
Description
1.第1の実施の形態(有機EL表示装置、ダブルゲート型酸化物TFT;第1容量素子を表示素子側、第2容量素子を基材側に配置する例)
2.第2の実施の形態(有機EL表示装置、ダブルゲート型酸化物TFT;第1容量素子を基材側、第2容量素子を表示素子側に配置する例)
3.変形例1(有機EL表示装置、ボトムゲート型酸化物TFT;第1の実施の形態において、酸化物半導体を容量素子の電極として用いる例)
4.変形例2(有機EL表示装置、ボトムゲート型酸化物TFT;第2の実施の形態において、酸化物半導体を容量素子の電極として用いる例)
5.変形例3(有機EL表示装置、トップゲート型酸化物TFT;第1の実施の形態において、酸化物半導体を容量素子の電極として用いる例)
6.変形例4(有機EL表示装置、トップゲート型酸化物TFT;第2の実施の形態において、酸化物半導体を容量素子の電極として用いる例)
7.変形例5(有機EL表示装置、ボトムゲート型酸化物TFT;上層容量素子の上部電極をトランジスタのシールド電極に接続する例)
8.変形例6(液晶表示装置の例)
9.変形例7(電気泳動型表示装置の例)
10.適用例(電子機器)
図1は、本開示の第1の実施の形態に係る表示装置の全体構成を表したものである。この表示装置100は、例えば、画素アレイ部102と、これを駆動する駆動部(信号セレクタ103,主スキャナ104,および電源スキャナ105)とを有している。
図3は、図2に示した保持容量3Cおよび補助容量3Iの平面配置構成の一例を表したものである。図4は、図3のIVA−IVA´線における断面構成を表している。この基板210Aは、例えば、基材211上に、駆動用トランジスタ3Bと、保持容量3Cと、補助容量3Iとが平面的に並べて配置された構成を有している。
図5は、図2に示した保持容量3Cおよび補助容量3Iの平面配置構成の他の例を表したものである。図6は、図5のVIA−VIA´線における断面構成を表している。この基板210Bは、駆動用トランジスタ3Bがダブルゲート型であること、保持容量3Cが二重に積層されていること、および補助容量3Iが二重に積層されていることを除いては、上述した基板210Aと同一の構成を有している。つまり、基板210Bは、上述した基板210Aと同様に、基材211上に、駆動用トランジスタ3Bと、保持容量3Cと、補助容量3Iとが平面的に並べて配置された構成を有している。
このように保持容量3Cおよび補助容量3Iを平面的に並べて配置した場合には、保持容量3Cの下部電極241と補助容量3Iの下部電極251との間に分離溝G1を設けることは、回避困難である。本実施の形態の基板10は、基材11上に複数の容量素子Cnを縦方向(基材11の厚み方向)に積層することによって、分離溝G1を不要とし、レイアウト効率を高めることを可能としたものである。以下、このような本実施の形態の基板10について説明する。
図13ないし図26は、基板10の製造方法を工程順に表したものである。まず、図13に示したように、上述した材料よりなる基材11を用意し、この基材11上に、例えばスパッタリングにより、導電材料膜31Aを形成する。導電材料膜31Aとしては、例えば、ITO,IZO(登録商標),IGZO等の酸化物半導体層と、モリブデン(Mo),チタン(Ti),アルミニウム(Al)あるいは銅(Cu)等の低抵抗金属層と、チタン(Ti)等のバリアメタル層とからなる積層膜を、300nm程度の厚みで形成する。
基板10を形成したのち、図26に示したように、この基板10に平坦化層37を形成する。平坦化層37としては、例えば、厚さ2μm程度のポリイミドあるいはアクリルあるいはシロキサン等の有機材料による有機膜、あるいは有機膜とシリコン酸化膜あるいはシリコン酸窒化膜あるいはシリコン窒化膜あるいは酸化アルミニウム膜、またはそれらの積層膜を形成する。その際、シリコン酸化膜やシリコン酸窒化膜やシリコン窒化膜はプラズマCVD法により形成することが可能である。酸化アルミニウム膜は、アルミニウムをターゲットとしたDCまたはAC電源による反応性スパッタリング法あるいは原子層成膜法等により形成することが可能である。
図34は、本開示の第2の実施の形態に係る基板10Aを、図2に示した保持容量3Cおよび補助容量3Iの平面配置構成に適用した例を表したものである。図35は、図34のXXXVA−XXXVA´線における断面構成を表している。この基板10Aは、下層容量素子C1を保持容量3Cとし、上層容量素子C2を補助容量3Iとしたことを除いては、上記第1の実施の形態に係る基板10と同様の構成を有している。よって、対応する構成要素には同一の符号を付して説明する。
図36ないし図44は、基板10Aの製造方法を工程順に表したものである。なお、第1の実施の形態と同一の工程については、図13ないし図26を参照して説明する。
基板10を形成したのち、図44に示したように、この基板10に平坦化層37を形成する。平坦化層37の材料および形成方法は、第1の実施の形態と同様である。
図45は、本開示の変形例1に係る基板10Bを、図2に示した保持容量3Cおよび補助容量3Iの平面配置構成に適用した例を表したものである。図46は、図45のXLVIA−XLVIA´線における断面構成を表している。この基板10Bは、下層容量素子C1の上部電極TE1および上層容量素子C2の下部電極BE1が、半導体層33よりも抵抗値の低い酸化物半導体により構成されていることを除いては、上記第1の実施の形態に係る基板10と同様の構成を有している。
図47ないし図56は、基板10Bの製造方法を工程順に表したものである。なお、第1の実施の形態と同一の工程については、図13ないし図26を参照して説明する。
基板10を形成したのち、図55に示したように、この基板10に平坦化層37を形成する。平坦化層37の材料および形成方法は、第1の実施の形態と同様である。
図57は、本開示の変形例2に係る基板10Cを、図2に示した保持容量3Cおよび補助容量3Iの平面配置構成に適用した例を表したものである。図58は、図57のLVIIA−LVIIA´線における断面構成を表している。本変形例は、上記変形例1において、下層容量素子C1を保持容量3Cとし、上層容量素子C2を補助容量3Iとしたものである。このことを除いては、基板10Cは、上記変形例1に係る基板10Bと同様の構成を有している。
図59は、本実施の形態に係る基板10Dを、図2に示した保持容量3Cおよび補助容量3Iの平面配置構成に適用した例を表したものである。図60は、図34のLXA−LXA´線における断面構成を表している。この基板10Dは、薄膜トランジスタ30がトップゲート型であり、下層容量素子C1の下部電極BE1が、半導体層33よりも抵抗値の低い酸化物半導体により構成されていることを除いては、上記変形例1に係る基板10Bと同様の構成を有している。
図61ないし図70は、基板10Dの製造方法を工程順に表したものである。なお、第1の実施の形態と同一の工程については、図13ないし図26を参照して説明する。
基板10を形成したのち、図70に示したように、この基板10に平坦化層37を形成する。平坦化層37の材料および形成方法は、第1の実施の形態と同様である。
図71は、本開示の変形例4に係る基板10Eを、図2に示した保持容量3Cおよび補助容量3Iの平面配置構成に適用した例を表したものである。図72は、図71のLXXIIA−LXXIIA´線における断面構成を表している。本変形例は、上記変形例3の基板10Dにおいて、下層容量素子C1を保持容量3Cとし、上層容量素子C2を補助容量3Iとしたものである。このことを除いては、基板10Eは、上記変形例3の基板10Dと同様の構成を有している。
図73は、本開示の変形例5に係る基板10Fを、図2に示した保持容量3Cおよび補助容量3Iの平面配置構成に適用した例を表したものである。この基板10Fは、上層容量素子C2の上部電極TE2を書込み用トランジスタ3Aおよび/または駆動用トランジスタ3Bのシールド電極SEと接続したことを除いては、上記第2の実施の形態に係る基板10Aと同様の構成を有している。よって、対応する構成要素には同一の符号を付して説明する。
以上、有機ELを用いた表示装置100について説明してきたが、本開示は、液晶または電気泳動型などの他の表示装置においても、動作や機能の異なる複数の容量素子Cnを用いる場合に適用可能である。
図74は、本開示の変形例6に係る表示装置100Fの断面構成を表したものである。本実施の形態は、液晶表示素子よりなる表示素子80を備えたことを除いては、上記実施の形態の表示装置100と同様の構成、作用および効果を有し、上記実施の形態と同様にして製造することができる。よって、対応する構成要素には同一の符号を付して説明する。
図75は、本開示の変形例6に係る表示装置の表示素子を構成する電気泳動素子91の平面構成、図76は電気泳動素子91の断面構成をそれぞれ表している。この電気泳動素子91は、電気泳動現象を利用してコントラストを生じさせるものであり、例えば表示装置などの多様な電子機器に適用される。電気泳動素子91は、絶縁性液体92中に、泳動粒子93(第1粒子)と細孔94Aを有する多孔質層94とを含んでいる。なお、図75および図76は電気泳動素子91の構成を模式的に表したものであり、実際の寸法、形状とは異なる場合がある。
続いて、図79ないし図82を参照して、上記実施の形態に係る表示装置の適用例について説明する。上記実施の形態の表示装置は、テレビジョン装置のほか、デスクトップ型、ノート型、タブレット型などのコンピュータやゲーム機のモニター装置、デジタルサイネージ、携帯電話、スマートフォン、電子書籍リーダー、携帯音楽プレーヤ等の携帯端末装置など、広い分野の電子機器に適用することが可能である。
上記実施の形態の表示装置は、例えば、図79に示したようなモジュールとして、後述する適用例1〜3などの種々の電子機器に組み込まれる。このモジュールは、例えば、中央部の画素アレイ部102(図1参照。)と、この画素アレイ部102の外側の周辺領域106とを有している。周辺領域106には、図1に示した駆動部(信号セレクタ103,主スキャナ104,および電源スキャナ105)が設けられると共に、画素アレイ部102の配線が延長されて外部接続端子(図示せず)が設けられている。外部接続端子には、信号の入出力のためのフレキシブルプリント配線基板(FPC;Flexible Printed Circuit)107が接続されていてもよい。
図80は、上記実施の形態の表示装置により構成されたテレビジョン装置110の外観を表したものである。このテレビジョン装置110は、例えば、フロントパネル111およびフィルターガラス112を含む映像表示画面部113を有している。映像表示画面部113が上記実施の形態の表示装置により構成されている。
図81は、上記実施の形態の表示装置により構成されたスマートフォン120の外観を表したものである。スマートフォン120は、上記実施の形態の表示装置により構成され、画素アレイ部102がタッチパネル部121、周辺領域106が額縁領域122となっている。額縁領域122には、下方に操作ボタン123、上方に受話口124および近接センサ、照度センサ等のセンサ類125が設けられている。側面には電源ボタン126が設けられている。裏面にはカメラ(図示せず)が設けられている。
図82は、上記実施の形態の表示装置により構成されたタブレット型コンピュータ130の外観を表したものである。タブレット型コンピュータ130は、上記実施の形態の表示装置により構成され、表示アレイ部102がタッチパネル部131、周辺領域106が額縁領域132となっている。額縁領域132には、照度センサ133およびフロントカメラ134が設けられている。側面にはスピーカ135、電源キー、マイク、各種の操作ボタン(いずれも図示せず)が配置されている。裏面にはメインカメラ(図示せず)が設けられている。
(1)
基板に表示素子を有し、
前記基板は、
基材と、
前記基材上に積層され、各々下部電極および上部電極を有する複数の容量素子と
を備え、
前記複数の容量素子は、積層方向の位置が互いに異なる下層容量素子および上層容量素子を含み、
前記下層容量素子の下部電極と、前記上層容量素子の上部電極とが、電気的に独立している
表示装置。
(2)
前記下層容量素子の前記下部電極と、前記上層容量素子の前記上部電極とが、互いに異なる配線に接続されている
前記(1)記載の表示装置。
(3)
前記複数の容量素子のうち少なくとも二つの容量素子が、互いに異なる電位を保持可能である
前記(1)または(2)記載の表示装置。
(4)
前記複数の容量素子のうち少なくとも二つの容量素子の充放電期間が、互いに異なる
前記(1)ないし(3)のいずれかに記載の表示装置。
(5)
前記基板は、薄膜トランジスタを更に備え、
前記薄膜トランジスタのソース電極は、前記表示素子のアノード電極に接続され、
前記複数の容量素子は、第1容量素子および第2容量素子を含み、
前記第1容量素子は、前記薄膜トランジスタのゲート電極と前記ソース電極との間に接続され、
前記第2容量素子は、前記ソース電極と前記表示素子のカソード電極との間に接続されている
前記(1)ないし(4)のいずれかに記載の表示装置。
(6)
前記第1容量素子は前記上層容量素子、前記第2容量素子は前記下層容量素子であり、
前記下層容量素子の前記下部電極は、前記表示素子の前記カソード電極に接続され、
前記上層容量素子の前記上部電極は、前記薄膜トランジスタの前記ゲート電極に接続されている
前記(5)記載の表示装置。
(7)
前記複数の容量素子は、最上層容量素子を更に含み、
前記第1容量素子は前記上層容量素子および前記最上層容量素子であり、
前記最上層容量素子の下部電極は、前記上層容量素子の上部電極であり、
前記最上層容量素子の上部電極は、前記表示素子の前記アノード電極である
前記(6)記載の表示装置。
(8)
前記第1容量素子は前記下層容量素子、前記第2容量素子は前記上層容量素子であり、
前記下層容量素子の前記下部電極は、前記薄膜トランジスタの前記ゲート電極に接続され、
前記上部容量素子の前記上部電極は、前記表示素子の前記カソード電極に接続されている
前記(5)記載の表示装置。
(9)
前記複数の容量素子は、最上層容量素子を更に含み、
前記第2容量素子は前記上層容量素子および前記最上層容量素子であり、
前記最上層容量素子の下部電極は、前記上層容量素子の上部電極であり、
前記最上層容量素子の上部電極は、前記表示素子の前記アノード電極である
前記(8)記載の表示装置。
(10)
前記薄膜トランジスタは、酸化物半導体よりなる半導体層を有し、
前記複数の容量素子の少なくとも一つの前記下部電極または前記上部電極は、前記半導体層よりも抵抗値の低い酸化物半導体により構成されている
前記(5)ないし(9)のいずれかに記載の表示装置。
(11)
基板に表示素子を有する表示装置を備え、
前記基板は、
基材と、
前記基材上に積層され、各々下部電極および上部電極を有する複数の容量素子と
を備え、
前記複数の容量素子は、積層方向の位置が互いに異なる下層容量素子および上層容量素子を含み、
前記下層容量素子の下部電極と、前記上層容量素子の上部電極とが、電気的に独立している
電子機器。
(12)
基材と、
前記基材上に積層され、各々下部電極および上部電極を有する複数の容量素子と
を備え、
前記複数の容量素子は、積層方向の位置が互いに異なる下層容量素子および上層容量素子を含み、
前記下層容量素子の下部電極と、前記上層容量素子の上部電極とが、電気的に独立している
基板。
Claims (12)
- 基板に表示素子を有し、
前記基板は、
基材と、
前記基材上に積層され、各々下部電極および上部電極を有する複数の容量素子と
を備え、
前記複数の容量素子は、積層方向の位置が互いに異なる下層容量素子および上層容量素子を含み、
前記下層容量素子の下部電極と、前記上層容量素子の上部電極とが、電気的に独立している
表示装置。 - 前記下層容量素子の前記下部電極と、前記上層容量素子の前記上部電極とが、互いに異なる配線に接続されている
請求項1記載の表示装置。 - 前記複数の容量素子のうち少なくとも二つの容量素子が、互いに異なる電位を保持可能である
請求項1記載の表示装置。 - 前記複数の容量素子のうち少なくとも二つの容量素子の充放電期間が、互いに異なる
請求項1記載の表示装置。 - 前記基板は、薄膜トランジスタを更に備え、
前記薄膜トランジスタのソース電極は、前記表示素子のアノード電極に接続され、
前記複数の容量素子は、第1容量素子および第2容量素子を含み、
前記第1容量素子は、前記薄膜トランジスタのゲート電極と前記ソース電極との間に接続され、
前記第2容量素子は、前記ソース電極と前記表示素子のカソード電極との間に接続されている
請求項1記載の表示装置。 - 前記第1容量素子は前記上層容量素子、前記第2容量素子は前記下層容量素子であり、
前記下層容量素子の前記下部電極は、前記表示素子の前記カソード電極に接続され、
前記上層容量素子の前記上部電極は、前記薄膜トランジスタの前記ゲート電極に接続されている
請求項5記載の表示装置。 - 前記複数の容量素子は、最上層容量素子を更に含み、
前記第1容量素子は前記上層容量素子および前記最上層容量素子であり、
前記最上層容量素子の下部電極は、前記上層容量素子の上部電極であり、
前記最上層容量素子の上部電極は、前記表示素子の前記アノード電極である
請求項6記載の表示装置。 - 前記第1容量素子は前記下層容量素子、前記第2容量素子は前記上層容量素子であり、
前記下層容量素子の前記下部電極は、前記薄膜トランジスタの前記ゲート電極に接続され、
前記上部容量素子の前記上部電極は、前記表示素子の前記カソード電極に接続されている
請求項5記載の表示装置。 - 前記複数の容量素子は、最上層容量素子を更に含み、
前記第2容量素子は前記上層容量素子および前記最上層容量素子であり、
前記最上層容量素子の下部電極は、前記上層容量素子の上部電極であり、
前記最上層容量素子の上部電極は、前記表示素子の前記アノード電極である
請求項8記載の表示装置。 - 前記薄膜トランジスタは、酸化物半導体よりなる半導体層を有し、
前記複数の容量素子の少なくとも一つの前記下部電極または前記上部電極は、前記半導体層よりも抵抗値の低い酸化物半導体により構成されている
請求項5記載の表示装置。 - 基板に表示素子を有する表示装置を備え、
前記基板は、
基材と、
前記基材上に積層され、各々下部電極および上部電極を有する複数の容量素子と
を備え、
前記複数の容量素子は、積層方向の位置が互いに異なる下層容量素子および上層容量素子を含み、
前記下層容量素子の下部電極と、前記上層容量素子の上部電極とが、電気的に独立している
電子機器。 - 基材と、
前記基材上に積層され、各々下部電極および上部電極を有する複数の容量素子と
を備え、
前記複数の容量素子は、積層方向の位置が互いに異なる下層容量素子および上層容量素子を含み、
前記下層容量素子の下部電極と、前記上層容量素子の上部電極とが、電気的に独立している
基板。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017199669A (ja) * | 2016-04-22 | 2017-11-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光素子、表示装置、電子機器、及び照明装置 |
JP2017227746A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、表示モジュール、および電子機器 |
WO2018186281A1 (ja) * | 2017-04-06 | 2018-10-11 | シャープ株式会社 | Tft基板およびtft基板を備えた走査アンテナ |
JP2019020677A (ja) * | 2017-07-21 | 2019-02-07 | Tianma Japan株式会社 | Oled表示装置、その回路、及びその製造方法 |
US10249761B2 (en) | 2016-11-10 | 2019-04-02 | Joled Inc. | Thin-film transistor substrate |
JPWO2018047492A1 (ja) * | 2016-09-07 | 2019-06-27 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 表示装置及び電子機器 |
JP2019120844A (ja) * | 2018-01-10 | 2019-07-22 | キヤノン株式会社 | 表示装置及び撮像装置 |
WO2019187139A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | シャープ株式会社 | 表示デバイス |
WO2019202838A1 (ja) * | 2018-04-19 | 2019-10-24 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
JP2020528155A (ja) * | 2017-07-27 | 2020-09-17 | 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Boe Technology Group Co.,Ltd. | 画素回路、表示基板及び表示装置 |
JP2022095690A (ja) * | 2016-06-22 | 2022-06-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP7430763B2 (ja) | 2017-05-19 | 2024-02-13 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102279884B1 (ko) * | 2014-12-05 | 2021-07-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
US10020354B2 (en) * | 2015-04-17 | 2018-07-10 | Apple Inc. | Organic light-emitting diode displays with silicon and semiconducting oxide thin-film transistors |
US11574573B2 (en) * | 2017-09-05 | 2023-02-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display system |
KR20200090313A (ko) * | 2019-01-18 | 2020-07-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
CN111952323B (zh) * | 2020-08-19 | 2022-07-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板的制备方法、显示基板及显示装置 |
CN111933681A (zh) * | 2020-09-07 | 2020-11-13 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 顶发光amoled显示面板、制作方法以及显示装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090179831A1 (en) * | 2008-01-16 | 2009-07-16 | Sony Corporation | Display Device |
JP2009200336A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Sony Corp | 自発光型表示装置 |
JP2011076079A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-04-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置、および電子機器 |
JP2012104566A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Toshiba Mobile Display Co Ltd | 薄膜トランジスタ回路基板及びその製造方法 |
WO2013021419A1 (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-14 | パナソニック株式会社 | 画像表示装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2367428B (en) * | 2001-12-19 | 2002-10-09 | Zarlink Semiconductor Ltd | Integrated circuit |
KR100600878B1 (ko) * | 2004-06-29 | 2006-07-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막트랜지스터 및 그 제조방법 |
JP2008257086A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Sony Corp | 表示装置、表示装置の製造方法および電子機器 |
JP4844617B2 (ja) * | 2008-11-05 | 2011-12-28 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタ基板および表示装置 |
JP5386994B2 (ja) * | 2009-01-09 | 2014-01-15 | ソニー株式会社 | 表示装置および電子機器 |
JP5304257B2 (ja) * | 2009-01-16 | 2013-10-02 | ソニー株式会社 | 表示装置および電子機器 |
KR102137392B1 (ko) * | 2013-10-08 | 2020-07-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
-
2014
- 2014-03-27 JP JP2014066718A patent/JP6330220B2/ja active Active
-
2015
- 2015-03-12 US US14/645,979 patent/US20150279872A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090179831A1 (en) * | 2008-01-16 | 2009-07-16 | Sony Corporation | Display Device |
JP2009169071A (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-30 | Sony Corp | 表示装置 |
JP2009200336A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Sony Corp | 自発光型表示装置 |
JP2011076079A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-04-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置、および電子機器 |
JP2012104566A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Toshiba Mobile Display Co Ltd | 薄膜トランジスタ回路基板及びその製造方法 |
WO2013021419A1 (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-14 | パナソニック株式会社 | 画像表示装置 |
US20130187554A1 (en) * | 2011-08-09 | 2013-07-25 | Panasonic Corporation | Image display device |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017199669A (ja) * | 2016-04-22 | 2017-11-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光素子、表示装置、電子機器、及び照明装置 |
JP2017227746A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、表示モジュール、および電子機器 |
JP7200418B2 (ja) | 2016-06-22 | 2023-01-06 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2022095690A (ja) * | 2016-06-22 | 2022-06-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US11778862B2 (en) | 2016-09-07 | 2023-10-03 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Display device and electronic device including capacitors connected to anode electrode of light emitting unit |
JPWO2018047492A1 (ja) * | 2016-09-07 | 2019-06-27 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 表示装置及び電子機器 |
US10249761B2 (en) | 2016-11-10 | 2019-04-02 | Joled Inc. | Thin-film transistor substrate |
CN110462843A (zh) * | 2017-04-06 | 2019-11-15 | 夏普株式会社 | Tft基板和具备tft基板的扫描天线 |
WO2018186281A1 (ja) * | 2017-04-06 | 2018-10-11 | シャープ株式会社 | Tft基板およびtft基板を備えた走査アンテナ |
CN110462843B (zh) * | 2017-04-06 | 2023-07-07 | 夏普株式会社 | Tft基板和具备tft基板的扫描天线 |
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JP2019020677A (ja) * | 2017-07-21 | 2019-02-07 | Tianma Japan株式会社 | Oled表示装置、その回路、及びその製造方法 |
JP2020528155A (ja) * | 2017-07-27 | 2020-09-17 | 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Boe Technology Group Co.,Ltd. | 画素回路、表示基板及び表示装置 |
JP7055748B2 (ja) | 2017-07-27 | 2022-04-18 | 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司 | 画素回路、表示基板及び表示装置 |
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