JP2015172674A - 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、硬化膜付き透明基板の製造方法及び硬化膜付き透明基板 - Google Patents

Abstract

【課題】 タッチパネル用基板上に、薄膜であってもフィルム性が良好で、屈折率が充分高い硬化膜を有する硬化膜付きタッチパネル用基板の製造方法、並びに、そのような硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物及び感光性エレメント、並びに硬化膜付きタッチパネル用基板を備えるタッチパネルを提供する。【解決手段】 （Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）金属酸化物ナノ粒子を含有し、前記（Ｂ）光重合性化合物がフルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との合計１００質量部に対して２０質量部を超えて含有する、感光性樹脂組成物。【選択図】 図１

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、感光性エレメント、硬化膜付き透明基板の製造方法及び硬化膜付き透明基板に関する。詳しくは、硬化膜付きタッチパネル用基板の製造方法と、それに用いられる感光性樹脂組成物及び感光性エレメントに関する。

パソコン、テレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器、ＯＡ・ＦＡ機器等の表示機器などには液晶表示素子又はタッチパネルが用いられている。これらの液晶表示素子又はタッチパネルには透明電極材からなる電極が設けられている。透明電極材としては、高い可視光透過率を示すことから、酸化インジウムスズ（Ｉｎｄｉｕｍ−Ｔｉｎ−Ｏｘｉｄｅ：ＩＴＯ）、酸化インジウム又は酸化スズが主流になっている。

タッチパネルはすでに各種の方式が実用化されている。近年、静電容量方式のタッチパネルの利用が進んでいる。静電容量方式タッチパネルでは、導電体である指先がタッチ入力面に接触すると、指先と導電膜との間で静電容量が結合し、コンデンサを形成する。このため、静電容量方式タッチパネルは、指先の接触位置における電荷の変化を捉えることによって、その座標を検出している。

特に、投影型静電容量方式のタッチパネルは、指先の多点検出が可能であるため、複雑な指示を行うことができるという良好な操作性を備えており、携帯電話、携帯型音楽プレーヤといった小型の表示装置を有する機器における表示面上の入力装置として利用が進んでいる。

ところで、タッチパネルの額縁領域はタッチ位置を検出できない領域であるから、その額縁領域の面積を狭くすることが製品価値を向上させるために重要である。額縁領域には、タッチ位置の検出信号を伝えるために、金属配線が必要となるが、額縁面積の狭小化を図るためには、金属配線の幅を狭くする必要がある。

しかしながら、上述のようなタッチパネルにおいては、指先に接触される際に水分、塩分等の腐食成分がセンシング領域から内部に侵入することがある。タッチパネルの内部に腐食成分が侵入すると、金属配線が腐食し、電極と駆動用回路との間の電気抵抗の増加、又は断線のおそれがあった。

金属配線の腐食を防ぐために、金属配線上に透明性の高い感光性樹脂組成物からなる感光層を設けて、露光、現像する方法が知られている（例えば、特許文献１〜３）。

国際公開第２０１３／０８４８７３号 国際公開第２０１３／０８４８８６号 国際公開第２０１３／０８４８８３号

ところで、タッチパネル用基板のような透明基板上に硬化膜を形成する場合、硬化膜の厚みが大きくなったり、硬化膜と透明電極材との屈折率の差が大きくなったりすると、透明電極パターンが視認されることがあるため、硬化膜はできるだけ薄くし、屈折率を透明電極材と同程度に高くする必要がある。
しかし、本発明者らは、感光性樹脂組成物から形成される硬化膜を高屈折率化しようとすると、感光性樹脂組成物のフィルム性が著しく低下するという課題に直面した。

具体的には、硬化膜の屈折率を大きくする為には、屈折率の高いバインダーポリマー又は光重合性化合物のいずれか、又は、両方を使用することが好ましいが、光重合性化合物の割合が増加するに従い、感光性樹脂組成物から形成される硬化膜のフィルム性は低下し、透明基板上に硬化膜を形成することが困難となる。ここで、「フィルム性」とは、フィルム状の形態を保持する特性以外に支持フィルムからの剥離性も含む。剥離性が悪いと、感光性樹脂組成物が感光性エレメントである場合、支持フィルムと感光性樹脂組成物を含む感光層の剥離性が弱く、ラミネート等の操作で感光層から支持フィルムが剥がれ、後の工程に支障をきたしたり、又は、剥離性が強く露光後に支持フィルムを剥がしにくく、感光層に剥離跡を付け商品価値を低下させたり、作業性を困難にするなどの影響が生じる。

本発明は、透明基板上に、薄膜であってもフィルム性が良好で、屈折率が充分高い硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを提供することを目的とする。

本発明の具体的態様を下記に示す。
＜１＞（Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）金属酸化物ナノ粒子を含有し、上記（Ｂ）光重合性化合物がフルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との合計１００質量部に対して２０質量部を超えて含有する、感光性樹脂組成物。
＜２＞（Ｅ１）トリアゾール化合物、チアジアゾール化合物及びテトラゾール化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物を更に含有する、＜１＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜３＞（Ｅ２）リン酸エステル化合物を更に含有する、＜１＞又は＜２＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜４＞上記（Ｃ）光重合開始剤がオキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物を含有する、＜１＞〜＜３＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜５＞支持フィルムと、上記支持フィルム上に設けられた＜１＞〜＜４＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を含む感光層と、を備える感光性エレメント。
＜６＞透明基板上に、＜１＞〜＜４＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を含む感光層を設け、前記感光層の所定部分を活性光線の照射により硬化させた後に前記感光層の上記所定部分以外を除去し、前記透明基板の一部又は全部を被覆する硬化膜を形成する、硬化膜付き透明基板の製造方法。
＜７＞＜６＞に記載の方法により得られる硬化膜付き透明基板を備える、電子部品。

本発明によれば、感光性樹脂組成物が薄膜であっても良好なフィルム性を有し、充分に高屈折率な硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを提供することができる。

本発明の感光性エレメントの一実施形態を示す模式断面図である。 本発明の硬化膜付き透明基板の製造方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。 静電容量式のタッチパネルの一例を示す模式上面図である。 静電容量式のタッチパネルの別の例を示す模式上面図である。 （ａ）は、図３に示されるＣ部分のＶ−Ｖ線に沿った部分断面図であり、（ｂ）は、別の態様を示す部分断面図である。 透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの一例を示す平面図である。 透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの一例を示す一部切欠き斜視図である。 図７中のＶＩ−ＶＩ線に沿った部分断面図である。 透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの製造方法の一例を説明するための図であり、（ａ）は透明電極を備える基板を示す一部切欠き斜視図であり、（ｂ）は得られる静電容量式タッチパネルを示す一部切欠き斜視図である。 透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの製造方法の一例を説明するための図であり、（ａ）は図９中のＶＩＩＩａ−ＶＩＩＩａ線に沿った部分断面図であり、（ｂ）は絶縁膜を設ける工程を示す部分断面図であり、（ｃ）は図７中のＶＩＩＩｃ−ＶＩＩＩｃ線に沿った部分断面図である。 透明電極配線の上に絶縁フィルムを設け、その上に引き出し配線が設けられ、開口部によって透明電極と引き出し配線が接続されているタッチパネルの一例を示す部分平面図である。

以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。

本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「（メタ）アクリレート」とは、アクリレート又はメタクリレートを意味する。
また、「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。更に、「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。
また、本明細書において組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。

本明細書において透明基板の硬化膜は、電極を有するセンシング領域、金属配線を有する額縁領域、又はその他の領域に設けることができる。透明基板の硬化膜は、いずれかの領域のみに設けてもよく、複数の領域に設けてもよい。更には、センシング領域に形成された電極の一部に設ける等、硬化膜を設ける位置及び範囲は、その使用の目的等に応じて適宜選択することが可能である。

図１は、本発明の感光性エレメントの一実施形態を示す模式断面図である。図１に示される感光性エレメント１は、支持フィルム１０と、支持フィルム上に設けられた本発明に係る感光性樹脂組成物を含む感光層２０と、感光層２０の支持フィルム１０とは反対側に設けられた保護フィルム３０を有する。

支持フィルム１０としては、重合体フィルムを用いることができる。重合体フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン等が挙げられる。

支持フィルム１０の厚さは、被覆性の確保と、支持フィルムを介して露光する際の解像度の低下を抑制する観点から、５〜１００μｍであることが好ましく、１０〜７０μｍであることがより好ましく、１５〜６０μｍであることが更に好ましい。

感光層２０を構成する本発明に係る感光性樹脂組成物は、バインダーポリマー（以下、（Ａ）成分ともいう）と、光重合性化合物（以下、（Ｂ）成分ともいう）として、フルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物と、光重合開始剤（以下、（Ｃ）成分ともいう）と、金属酸化物ナノ粒子(以下、（Ｄ）成分ともいう)と、を含有する。

本実施形態において、（Ａ）成分は、（ａ１）（メタ）アクリル酸に由来する構成単位、及び（ａ２）（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を含有する共重合体が好適である。

（ａ１）（メタ）アクリル酸としては、アクリル酸又はメタクリル酸が好ましい。
（ａ２）（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシルエチルエステル等が挙げられる。

上記共重合体は、更に、上記の（ａ１）成分又は（ａ２）成分と共重合しうるその他のモノマーを構成単位に含有していてもよい。

（Ａ）成分であるバインダーポリマーの分子量は、特に制限はないが、塗工性及び塗膜強度、現像性の見地から、重量平均分子量（ＧＰＣを用いて、標準ポリスチレン換算で測定した値）が１０，０００〜２００，０００であることが好ましく、４０，０００〜１８０，０００であることがより好ましく、６０，０００〜１５０，０００であることが更に好ましく、６０，０００〜１００，０００であることが特に好ましい。なお、重量平均分子量の測定は、本願明細書の実施例と同一の条件で測定することができる。

（Ａ）成分であるバインダーポリマーの酸価は、３０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、４０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、５０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが更に好ましい。（Ａ）成分の酸価が３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であると、現像工程により感光性樹脂組成物層を選択的に除去してパターンを形成する工程において、公知の各種現像液により容易に現像することが可能である。また、（Ａ）成分の酸価が１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であると、基板、電極等の硬化膜として機能させる際の水分、塩分等の腐食成分への耐性を充分向上させることができる。

バインダーポリマーの酸価は、次のようにして測定することができる。まず、酸価を測定すべきバインダーポリマー１ｇを精秤した後、このポリマーにアセトンを３０ｇ添加し、これを均一に溶解する。なお、バインダーポリマーに合成溶媒、希釈溶媒等の揮発分が含まれる場合は、予め、揮発分の沸点よりも１０℃程度高い温度で１〜４時間加熱し、揮発分を除去しておく。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、０．１Ｎの水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液を用いて滴定を行う。測定対象であるバインダーポリマーのアセトン溶液を中和するのに必要な水酸化カリウムのｍｇ数を算出することで、酸価を求める。バンインダーポリマーを合成溶媒、希釈溶媒等と混合した溶液を測定対象とする場合には、次式により酸価を算出する。
酸価＝０．１×Ｖ・ｆ×５６．１／（Ｗｐ×Ｉ／１００）
式中、ＶはＫＯＨの滴定量（ｍＬ）を示し、ｆは水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液のファクター、Ｗｐは測定したバインダーポリマーを含有する溶液の質量（ｇ）を示し、Ｉは測定したバインダーポリマーを含有する溶液中の不揮発分の割合（質量％）を示す。

（Ｂ）成分である光重合性化合物は、フルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を、バインダーポリマーと光重合性化合物との合計１００質量部に対して２０質量部を超えて含むことが高屈折率とフィルム性に優れるという観点から要求される。
フルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物は、７０質量部以上であることがより好ましく、８０質量部以上であることが更に好ましい。

フルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、下記一般式（１）で表される化合物が挙げられる。

［一般式（１）中、Ｒ^１及びＲ^２はそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、Ｒ^３及びＲ^４は、それぞれ独立にハロゲン原子、アミノ基、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基又は炭素数１〜６のアルキルアミノ基を示し、ｐ及びｒはそれぞれ独立に０〜４の整数を示す。ｐ又はｒが２以上の場合、複数存在するＲ^３又はＲ^４は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。−（Ａ−Ｏ）−及び−（Ｏ−Ｂ）−はそれぞれ独立に、（ポリ）オキシエチレン鎖、（ポリ）オキシプロピレン鎖、又はエチレンオキサイドとプロピレンオキサイドとのブロック共重合鎖若しくはランダム共重合鎖を示し、−（Ａ−Ｏ）−及び−（Ｏ−Ｂ）−に含まれるオキシエチレン基又はオキシプロピレン基の繰り返し総数；ｍ＋ｎは１〜２０である。］

上記一般式（１）で表される化合物の中でも、以下に示す構造を有する化合物が好ましい。これは、ＥＡ−０２００（大阪ガスケミカル株式会社製、商品名）として商業的に入手可能である。

本実施形態の感光性樹脂組成物における（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、（Ａ）成分が１０〜５０質量部、（Ｂ）成分が５０〜９０あることがより好ましく、（Ａ）成分が２０〜４０質量部、（Ｂ）成分が６０〜８０質量部であることが更に好ましい。但し、（Ｂ）成分のフルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物は、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との合計１００質量部に対して２０質量部を超えて含有するようにするため、（Ｂ）成分には、フルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物以外の光重合性化合物を必要により含有させる。

（Ａ）成分の含有量を上記範囲内とすることにより、塗布性あるいは感光性エレメントでのフィルム性を充分に確保しつつ、充分な感度が得られ、光硬化性を充分に確保することができる。

本実施形態の感光性樹脂組成物は、上記（Ｂ）成分として用いるフルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物以外の光重合性化合物を含有することができる。光重合性化合物として、例えば、単官能モノマー及び多官能モノマーのうちの一種以上とを組み合わせて用いることができる。単官能モノマーとしては、上記（Ａ）成分のバインダーポリマーの合成に用いられる好適なモノマーとして例示した（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸アルキルエステル及びそれらと共重合可能なモノマーが挙げられる。

多官能モノマーとしては、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−メタクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を用いることができる。

ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物としては、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物が挙げられる。これらのうち、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート及びアルキレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートが好ましい。

ジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、ジトリメチロールプロパン（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物が挙げられる。これらのうち、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート及びアルキレンオキサイド変性ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレートが好ましい。

（Ｂ）成分として、フルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物と、ジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物の組み合わせが、高屈折率とフィルム性に優れることから好ましい。

（Ｂ）成分である光重合性化合物のフルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物と、単官能モノマー又は（Ｂ）成分以外の多官能モノマーを組み合わせて用いる場合、これらのモノマーの配合割合に特に制限はないが、光硬化性及び充分なフィルム性を得る観点から、（Ｂ）成分である光重合性化合物の割合が、感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物の合計量１００質量部に対して、７０質量部以上であることが好ましく、７５質量部以上であることがより好ましく、８０質量部以上であることが更に好ましい。

（Ｃ）成分である光重合開始剤としては、従来公知のものを特に制限無く使用できるが、形成する硬化膜の透明性、及び膜厚を１０μｍ以下としたときのパターン形成能から、オキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物が好ましい。
オキシムエステル化合物としては、下記式（２）、（３）及び（４）で表される化合物がより好ましい。

式（２）中、Ｒ^５及びＲ^６は、それぞれ炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数４〜１０のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基を示し、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数４〜６のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数４〜６のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基であることがより好ましく、メチル基、シクロペンチル基、フェニル基又はトリル基であることがさらに好ましい。
Ｒ^７は、−Ｈ、−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−Ｏ（ＣＨ_２）ＯＨ、−Ｏ（ＣＨ_２）_２ＯＨ、−ＣＯＯ（ＣＨ_２）ＯＨ又は−ＣＯＯ（ＣＨ_２）_２ＯＨを示し、−Ｈ、−Ｏ（ＣＨ_２）ＯＨ、−Ｏ（ＣＨ_２）_２ＯＨ、−ＣＯＯ（ＣＨ_２）ＯＨ又は−ＣＯＯ（ＣＨ_２）_２ＯＨであることが好ましく、−Ｈ、−Ｏ（ＣＨ_２）_２ＯＨ又は−ＣＯＯ（ＣＨ_２）_２ＯＨであることがより好ましい。

式（３）中、Ｒ^８は、炭素数１〜６のアルキル基を示すが、プロピル基であることが好ましい。Ｒ^９は、−ＮＯ_２又は−ＡｒＣＯを示すが、Ａｒはアリール基を示し、Ａｒとしては、トリル基が好ましい。また、Ｒ^１０及びＲ^１１は、炭素数１〜１２のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示すが、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましい。

上記式（４）中、Ｒ^１２は、炭素数１〜６のアルキル基を示すが、エチル基であることが好ましい。また、Ｒ^１３はアセタール結合を有する有機基であるが、下記式（３−１）に示す化合物が有する置換基であることが好ましい。さらに、Ｒ^１４及びＲ^１５は、炭素数１〜１２のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示すが、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。
なお、Ｒ^１３は他にメチル基等のアルキル基を有していてもよい。

上記式（２）で表される化合物としては、例えば、下記式（２−１）で表される化合物が挙げられる。これは、アデカクルーズＮＣＩ−９３０（株式会社ＡＤＥＫＡ製、商品名）として入手可能である。

また、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）フェニル−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）］もＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ ０１（ＢＡＳＦ社製、商品名）として入手可能である。

上記式（３）で表される化合物としては、例えば、下記式（３−１）で表される化合物が挙げられる。この化合物は、ＤＦＩ−０９１（ダイトーケミックス株式会社製、商品名）として入手可能である。

上記式（４）で表される化合物としては、例えば、下記式（４−１）で表される化合物が挙げられる。アデカオプトマーＮ−１９１９（株式会社ＡＤＥＫＡ製、商品名）として入手可能である。

上記オキシムエステル化合物の中でも、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）フェニル−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）］が極めて好ましい。

上記ホスフィンオキサイド化合物としては、下記一般式（５）及び一般式（６）で表される化合物が挙げられる。速硬化性、透明性の観点から、下記一般式（５）で表される化合物が好ましい。

上記一般式（５）中、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８はそれぞれ独立に、炭素数１〜２０のアルキル基又はアリール基を示す。上記一般式（６）中、Ｒ^９、Ｒ^1０及びＲ^1１はそれぞれ独立に、炭素数１〜２０のアルキル基又はアリール基を示す。

上記一般式（５）におけるＲ^６、Ｒ^７又はＲ^８が、炭素数１〜２０のアルキル基の場合、該アルキル基は直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、また該アルキル基の炭素数は５〜１０であることがより好ましい。上記一般式（６）におけるＲ^９、Ｒ^1０又はＲ^1１が炭素数１〜２０のアルキル基の場合、該アルキル基は直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、また該アルキル基の炭素数は５〜１０であることがより好ましい。

上記一般式（５）におけるＲ^６、Ｒ^７又はＲ^８がアリール基の場合、該アリール基は置換基を有していてもよい。該置換基としては、例えば、炭素数１〜６のアルキル基及び炭素数１〜４のアルコキシ基を挙げることができる。上記一般式（６）におけるＲ^９、Ｒ1^０又はＲ^1１がアリール基の場合、該アリール基は置換基を有していてもよい。該置換基としては例えば、炭素数１〜６のアルキル基及び炭素数１〜４のアルコキシ基を挙げることができる。

これらの中でも、上記一般式（５）は、Ｒ^６、Ｒ^７、及びＲ^８がアリール基であることが好ましく、一般式（６）で表わされる化合物は、Ｒ^９、Ｒ^1０及びＲ^1１がアリール基であることが好ましい。

上記一般式（５）で表わされる化合物としては、形成する硬化膜の透明性、及び膜厚を１０μｍ以下としたときのパターン形成能から、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイドが好ましい。２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイドは、例えば、ＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（ＢＡＳＦ社製、商品名）として商業的に入手可能である。

（Ｃ）成分である光重合開始剤の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、０．１〜２０質量部であることが好ましく、０．５〜１０質量部であることがより好ましく、１〜３質量部であることが更に好ましい。

（Ｃ）成分の含有量を上記範囲内とすることにより、光感度が充分となるとともに、露光の際に組成物の表面での吸収が増大して内部の光硬化が不充分となること、可視光透過率が低下すること等の不具合を抑制することができる。

本発明における（Ｄ）成分である金属酸化物ナノ粒子は、粒子単体の直径が１０ｎｍ以下であることが好しい。直径を１０ｎｍ以下とすることで上記感光性エレメントのフィルム性を充分に高くすることができる。

また、本実施形態において（Ｄ）成分はＺｒＯ_２、ＴｉＯ_２等の金属酸化物ナノ粒子の分散液が好適である。Ｚｒ、Ｔｉ等の原子数の高い原子を用いることで硬化膜の単位体積における密度が高くなり、屈折率を高くすることが出来る。

上記金属酸化物ナノ粒子分散液中には、有機カルボン酸及び有機アミンを含有させ、有機溶媒中に分散しやすくしてもよい。

上記金属酸化物ナノ粒子分散液は、例えば、ナノユースＯＺ-Ｓ３０Ｋ（日産化学工業株式会社製、商品名）として商業的に入手可能である。

本実施形態の感光性樹脂組成物における（Ｄ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、２０〜３００質量部とすることが好ましく、１００〜２００質量部とすることがより好ましい。

本実施形態の感光性樹脂組成物は、防錆性と現像性を付与する点から、トリアゾール化合物、チアジアゾール化合物、テトラゾール化合物、及びリン酸エステル化合物、からなる群（以下、（Ｅ）成分ともいう）より選択される少なくとも１種の化合物を更に含有することが好ましい。

上記トリアゾール化合物としては、ベンゾトリアゾール、１Ｈ−ベンゾトリアゾール−１−アセトニトリル、ベンゾトリアゾール−５−カルボン酸、１Ｈ−ベンゾトリアゾール−１−メタノール、カルボキシベンゾトリアゾール、３−メルカプトトリアゾール等のメルカプト基を含むトリアゾール化合物、３−アミノ−５−メルカプトトリアゾール等のアミノ基を含むトリアゾール化合物などが挙げられる。

上記チアジアゾール化合物としては、２−アミノ−５−メルカプト−１，３，４−チアジアゾール、２，１，３−ベンゾチアジアゾール等が挙げられる。

上記テトラゾール化合物としては、１Ｈ−テトラゾール、５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール、５−メチル−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−エチル−テトラゾール、１−メチル−５−メルカプト−テトラゾール、５−（２−アミノフェニル）−１Ｈ−テトラゾール、１−シクロヘキシル−５−メルカプト−テトラゾール、１−フェニル−５−メルカプト−テトラゾール、１−カルボキシメチル−５−メルカプト−テトラゾール、５−フェニル−１Ｈ−テトラゾール、１−フェニル−テトラゾール等が挙げられる。

上記テトラゾール化合物は、その水溶性塩であっても好適である。具体例としては、１−カルボキシメチル−５−メルカプト−テトラゾールのナトリウム、カリウム、リチウム等のアルカリ金属塩等が挙げられる。

上記リン酸エステル化合物としては、分子中に二重結合を有するリン酸化合物であれば、特に限定せずに使用でき、具体例としては、例えば、２−メタクリロイロキシエチルアシッドホスフェート（商品名ライトエステルＰ−１Ｍ、ライトエステルＰ−２Ｍ 共栄社化学株式会社製）、エチレンオキサイド変性リン酸ジメタクリレート（商品名ＰＭ−２１日本化薬株式会社製）、アシッドホスホオキシエチルメタクリレート（商品名ホスマーＭ ユニケミカル株式会社製）、燐酸含有エポキシメタクリレート（商品名ニューフロンティアＳ−２３Ａ、第一工業製薬株式会社製）等のリン酸（メタ）アクリレート化合物；ビニルホスホン酸（商品名ＶＰＡ−９０、ＶＰＡ−１００、ＢＡＳＦ社製）等のリン酸ビニル化合物等の分子中に炭素−炭素二重結合を有するリン酸化合物が挙げられる。

これらのトリアゾール化合物、チアジアゾール化合物及びテトラゾール化合物及びその水溶性塩、並びにリン酸エステル化合物は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

これらの中でも、電極腐食の抑制力、金属電極との密着性、現像容易性、透明性の観点から、１Ｈ−テトラゾール、５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−メルカプト−１Ｈ−テトラゾール、エチレンオキサイド変性リン酸ジメタクリレート又はアシッドホスホオキシエチルメタクリレートを含有することが特に好ましい。

また、硬化膜を形成する電極表面が銅、銀、ニッケルなどの金属を有している場合の現像性を更に向上させる観点から、感光性樹脂組成物はアミノ基を有するテトラゾール化合物、及び分子中に二重結合を有するリン酸エステル化合物、を更に含有することが好ましい。この場合、現像残渣を低減することができ、良好なパターンで硬化膜を形成することが容易となる。この理由としては、アミノ基を有するテトラゾール化合物の配合によって、現像液に対する溶解性と金属との密着力のバランスが良好となることが考えられる。

アミノ基を有するテトラゾール化合物、及び分子中に二重結合を有するリン酸化合物、を含有する場合、上記の効果が得られることから、本実施形態に係る感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、銅などの金属層を形成して導電性を向上させたタッチパネルの額縁領域における電極を保護するための硬化膜の形成に好適である。

本実施形態の感光性樹脂組成物における（Ｅ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、０．０５〜１０．０質量部とすることが好ましく、０．１〜８．０質量部とすることがより好ましい。

（Ｅ）成分の含有量を上記範囲内とすることにより、現像性又は解像度が低下するなどの不具合を抑制しつつ、電極腐食の抑制力及び金属電極との密着性を向上させる効果を充分に得ることができる。

本実施形態の感光性樹脂組成物は、可視光線透過率の最小値が８８％以上であることが好ましく、９２％以上であることがより好ましく、９５％以上であることが更に好ましい。

ここで、感光性樹脂組成物の可視光線透過率は以下のようにして求められる。まず、支持フィルム上に感光性樹脂組成物を乾燥後の厚みが１０μｍ以下となるように塗布し、これを乾燥することにより、感光性樹脂組成物層（感光層）を形成する。次に、ガラス基板上に、感光性樹脂組成物層が接するようにラミネータを用いてラミネートする。こうして、ガラス基板上に、感光性樹脂組成物層及び支持フィルムが積層された測定用試料を得る。次に、得られた測定用試料に紫外線を照射して感光性樹脂組成物層を光硬化した後、紫外可視分光光度計を用いて、測定波長域４００〜７００ｎｍにおける透過率を測定する。

一般的な可視光波長域の光線である４００〜７００ｎｍの波長域における透過率の最小値が８８％以上であれば、例えば、タッチパネル（タッチセンサー）の表示部分の透明電極も保護する場合、タッチパネル（タッチセンサー）の額縁領域の金属層（例えば、ＩＴＯ電極上に銅層を形成した層など）を保護したときに表示部分の端部から保護層が見える場合等において、表示部分での表示品質、色合い、又は、輝度が低下することを充分抑制することができる。

本実施形態の感光性樹脂組成物は、本実施形態の感光性エレメントのように、感光性フィルムに製膜して用いることが好ましい。感光性フィルムを、タッチパネル用基板上に積層することにより、ロールツーロールプロセスが容易に実現できる、溶剤乾燥工程が短縮できるなど、製造工程の短縮及びコスト低減に大きく貢献することができる。
感光性エレメントは、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた上記の感光性樹脂組成物を含む感光層と、を備え、感光層の支持フィルムと接する面の反対面に保護フィルムを設けることができる。

感光層２０は、本実施形態の感光性樹脂組成物を塗布液とし、これを支持フィルム上に塗布、乾燥することにより形成できる。塗布液は、上述した本実施形態の感光性樹脂組成物を構成する各成分を溶剤に均一に溶解又は分散することにより得ることができる。
溶剤、塗布方法、乾燥条件は従来公知の範囲で調整できる。

感光層の厚さは、硬化膜を形成する基板によって異なるが、例えばタッチパネル基板に硬化膜を形成する場合、表面の段差が極力小さくなるよう、乾燥後の厚さで１０μｍ以下であることが好ましく、２〜１０μｍであることがより好ましく、３〜８μｍであることが更に好ましい。

本実施形態においては、感光層２０が、可視光線透過率が８８％以上であることが好ましく、９２％以上であることがより好ましく、９５％以上であることが更に好ましい。また、感光層２０が、屈折率１．６０以上となるよう調整されることが好ましい。

保護フィルム３０（カバーフィルム）としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体、及びポリエチレン−酢酸ビニル共重合体とポリエチレンの積層フィルム等からなる厚さ５〜１００μｍ程度のフィルムが挙げられる。

本発明においては、上述した本実施形態の感光性樹脂組成物の塗布液を、透明基板上に塗布し、乾燥して、感光性樹脂組成物を含む感光層を設けてもよい。この用途の場合においても、感光層は上述した、膜厚、可視光線透過率、屈折率の条件を満たすことが好ましい。

次に、本発明に係る硬化膜付き透明基板の製造方法について説明する。図２は、本発明の硬化膜付き透明基板の製造方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。
透明電極１１０、１２０を有する透明基板１００上に、上記の本実施形態に係る感光性樹脂組成物を含む感光層２０を設ける第１工程と、感光層２０の所定部分を活性光線の照射により硬化させる第２工程と、露光後に所定部分以外の感光層を除去し、電極の一部又は全部を被覆する感光性樹脂組成物の硬化物からなる硬化膜２２を形成する第３工程とを備える。こうして、硬化膜付き透明基板が得られる。得られる硬化膜付き透明基板は、例えば、タッチパネル（タッチセンサー）２００等として用いることができる。

本実施形態で使用される透明基板は特に制限はなく、一般に用いられる、ガラス板、プラスチック板、セラミック板等の基板が挙げられる。この基板上には、透明電極が設けられる。電極としては、ＩＴＯ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｍｏ、Ａｇ等の電極、ＴＦＴ等が挙げられる。また、基板上には、絶縁層が設けられていてもよい。なお、基板の可視光線透過率は７０％以上が好ましく、８０％以上がより好ましく、９０％以上が更に好ましい。

図２に示される透明電極１１０、１２０を有する透明基板１００は、例えば、以下の手順で得ることができる。ＰＥＴフィルム等の基板上に、ＩＴＯ、Ｃｕの順にスパッタ法により金属膜を形成した後、金属膜上にエッチング用感光性フィルムを貼り付け、所望のレジストパターンを形成し、不要なＣｕを塩化鉄水溶液等のエッチング液で除去した後、レジストパターンを剥離除去する。

本実施形態の第１工程では、本実施形態の感光性エレメント１の保護フィルム３０を除去した後、感光性エレメントを加熱しながら、透明基板１００の透明電極１１０、１２０が設けられている表面に感光層２０を圧着することにより積層する（図２の（ａ）を参照）。
加熱、圧着条件は従来公知の範囲で調整できる。

本実施形態の第２工程では、感光層２０に、フォトマスク１３０を介して、活性光線Ｌをパターン状に露光する（図２の（ｂ）を参照）。露光条件は従来公知の範囲で調整できる。

本実施形態の第３工程では、露光後の感光層を現像液で現像して未露光部を除去し、透明基板の一部又は全部を被覆する硬化膜２２を形成する。形成される硬化膜２２は所定のパターンを有することができる。現像条件は従来公知の範囲で調整できる。

次に、図３〜図５を用いて、本発明に係る硬化膜の使用箇所の一例を説明する。図３は、静電容量式のタッチパネルの一例を示す模式上面図である。図３に示されるタッチパネルは、透明基板１０１の片面にタッチ位置座標を検出するためのタッチ画面１０２があり、この領域の静電容量変化を検出するための透明電極１０３及び透明電極１０４が基板１０１上に設けられている。透明電極１０３及び透明電極１０４はそれぞれタッチ位置の静電容量の変化を検出し、Ｘ位置座標及びＹ位置座標とする。

透明基板１０１上には、透明電極１０３及び透明電極１０４からタッチ位置の検出信号を外部回路に伝えるための引き出し配線１０５が設けられている。また、引き出し配線１０５と透明電極１０３及び透明電極１０４とは、透明電極１０３及び透明電極１０４上に設けられた接続電極１０６により接続されている。また、引き出し配線１０５の透明電極１０３及び透明電極１０４との接続部と反対側の端部には、外部回路との接続端子１０７が設けられている。本発明の感光性樹脂組成物は、引き出し配線１０５、接続電極１０６及び接続端子１０７の硬化膜１２２としての樹脂硬化膜パターンを形成するために好適に用いることができる。この際に、センシング領域にある電極を同時に保護することもできる。図３では、硬化膜１２２により、引き出し配線１０５、接続電極１０６、センシング領域の一部電極及び接続端子１０７の一部を保護しているが、硬化膜を設ける箇所は適宜変更してもよい。例えば、図４に示すように、タッチ画面１０２を全て保護するように硬化膜１２３を設けてもよい。

図５を用いて、図３に示したタッチパネルにおいて、透明電極と引き出し配線との接続部の断面構造を説明する。図５は、図３に示されるＣ部分のＶ−Ｖ線に沿った部分断面図であり、透明電極１０４と引き出し配線１０５の接続部を説明するための図である。図５の（ａ）に示すように、透明電極１０４と引き出し配線１０５とは、接続電極１０６を介して電気的に接続されている。図５の（ａ）に示すように、透明電極１０４の一部、並びに、引き出し配線１０５及び接続電極１０６の全部が、硬化膜１２２としての樹脂硬化膜パターンで覆われている。同様に、透明電極１０３と引き出し配線１０５とは、接続電極１０６を介して電気的に接続されている。なお、図５の（ｂ）に示すように、透明電極１０４と引き出し配線１０５とが直接、電気的に接続されていてもよい。本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、上記構造部分の硬化膜としての樹脂硬化膜パターンの形成のための使用に好適である。

本実施形態における硬化膜付き透明基板の製造方法について説明する。まず、透明基板１０１上に、透明電極（Ｘ位置座標）１０３を形成する。続いて、絶縁層（図示せず）を介して、透明電極（Ｙ位置座標）１０４を形成する。透明電極１０３及び透明電極１０４の形成は、透明基板１０１上に形成した透明電極層を、エッチングする方法などを用いることができる。

次に、透明基板１０１の表面に、外部回路と接続するための引き出し配線１０５と、この引き出し配線と透明電極１０３及び透明電極１０４を接続する接続電極１０６を形成する。引き出し配線１０５及び接続電極１０６は、透明電極１０３及び透明電極１０４の形成後に形成しても、各透明電極形成時に同時に形成してもよい。引き出し配線１０５及び接続電極１０６の形成は、金属スパッタリング後、エッチング法などを用いることができる。引き出し配線１０５は、例えば、フレーク状の銀を含有する導電ペースト材料を使って、スクリーン印刷法を用いて、接続電極１０６を形成するのと同時に形成することができる。次に、引き出し配線１０５と外部回路とを接続するための接続端子１０７を形成する。

上記工程により形成された透明電極１０３及び透明電極１０４、引き出し配線１０５、接続電極１０６、並びに、接続端子１０７を覆うように、本実施形態に係る感光性エレメント１を圧着し、上記電極上に感光層２０を設ける。次に、転写した感光層２０に対し、所望の形状にフォトマスクを介してパターン状に活性光線Ｌを照射する。活性光線Ｌを照射した後、現像を行い、感光層２０の所定部分以外を除去することで、感光層２０の所定部分の硬化物からなる硬化膜１２２を形成する。このようにして、硬化膜１２２を備える透明基板（透明基板１０１）を製造することができる。

次に、図６〜図１０を用いて、本発明に係る硬化膜の使用箇所を説明する。本発明の硬化膜は、例えば、図７〜図１０の硬化膜（絶縁膜）１２４としても好適に使用することができる。

図６は、透明電極（Ｘ位置座標）１０３及び透明電極（Ｙ位置座標）１０４が同一平面上に存在する静電容量式タッチパネルの一例を示す平面図であり、図７は、その一部切欠き斜視図である。図８は、図７中のＶＩ−ＶＩ線に沿った部分断面図である。上記静電容量式タッチパネルは、透明基板１０１上に、静電容量変化を検出して、Ｘ位置座標とする透明電極１０３と、Ｙ位置座標とする透明電極１０４とを有する。これらのＸ、Ｙ位置座標とするそれぞれの透明電極１０３、１０４には、タッチパネルとしての電気信号を制御するドライバ素子回路（図示せず）の制御回路に接続するための引き出し配線１０５ａ及び１０５ｂを有する。

透明電極（Ｘ位置座標）１０３と透明電極（Ｙ位置座標）１０４とが交差する部分には、絶縁膜１２４が設けられている。

透明電極（Ｘ位置座標）１０３及び透明電極（Ｙ位置座標）１０４が同一平面上に存在する静電容量式タッチパネルの製造方法について説明する。静電容量式タッチパネルの製造方法は、例えば、透明導電材料を用いた公知の方法により、透明電極（Ｘ位置座標）１０３と、後にＹ位置座標を検出する透明電極１０４となる透明電極の一部を透明基板１０１上に予め形成した基板を用いてもよい。図９は、透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの製造方法の一例を説明するための図であり、（ａ）は透明電極を備える基板を示す一部切欠き斜視図であり、（ｂ）は得られる静電容量式タッチパネルを示す一部切欠き斜視図である。図１０は、透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの製造方法の一例を説明するための図である。

まず、図９（ａ）及び図１０（ａ）に示されるような、透明電極（Ｘ位置座標）１０３と、透明電極の一部１０４ａとが予め形成された基板を用意し、透明電極１０３の一部（透明電極の一部１０４ａに挟まれる部分）に絶縁膜１２４を設ける（図１０の（ｂ））。その後、公知の方法により、導電パターンが形成される。この導電パターンにより透明電極のブリッジ部１０４ｂを形成することができる（図１０（ｃ））。この透明電極のブリッジ部１０４ｂにより、予め形成された透明電極の一部１０４ａ同士を導通することができ、透明電極（Ｙ位置座標）１０４が形成される。

予め形成された透明電極は、例えば、ＩＴＯなどを用いた公知の方法により形成されてもいてもよい。また、引き出し配線１０５ａ、１０５ｂは、透明導電材料の他、Ｃｕ、Ａｇ等の金属などを用いた公知の方法で形成することが可能である。また、引き出し配線１０５ａ、１０５ｂが予め形成された基板を用いてもよい。

図１１は、その他の静電容量式タッチパネルの一例を示す部分平面図である。図１１に記載の構成は、タッチパネルの狭額縁化を意図したものである。図１１では、透明基板１０１上の透明電極１０４から延びた透明電極配線１０４ｃ上に透明絶縁膜１２５が設けられており、更に透明絶縁膜１２５上に引き出し配線１０５が設けられている。透明絶縁膜１２５の必要箇所の上下には開口部１０８が設けられており、透明電極１０４と引き出し配線１０５とが接続、導通されている。本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、上記構造の部分絶縁膜としての樹脂硬化膜パターンの形成のための使用に好適である。

以下、実施例を挙げて本発明についてより具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

［バインダーポリマー溶液（Ａ１）の作製］
撹拌機、還流冷却器、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、表１に示す（１）を仕込み、窒素ガス雰囲気下で８０℃に昇温し、反応温度を８０℃±２℃に保ちながら、表１に示す（２）を４時間かけて均一に滴下した。（２）の滴下後、８０℃±２℃で６時間撹拌を続け、重量平均分子量が６５，０００、酸価が７８ｍｇＫＯＨ／ｇのバインダーポリマーの溶液（固形分４５質量％）（Ａ１）を得た。

なお、重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。ＧＰＣの条件を以下に示す。
ＧＰＣ条件
ポンプ：日立 Ｌ−６０００型（株式会社日立製作所製、製品名）
カラム：Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ｒ４２０、Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ｒ４３０、Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ｒ４４０（以上、日立化成株式会社製、製品名）
カラム仕様：直径１０．７ｍｍ × ３００ｍｍ
溶離液：テトラヒドロフラン
試料濃度：ＮＶ（不揮発分濃度）４５質量％の樹脂溶液を１２０ｍｇ採取、５ｍＬのＴＨＦに溶解
注入量：２００μＬ
圧力：４．９ＭＰａ
測定温度：４０℃
流量：２．０５ｍＬ／分
検出器：日立 Ｌ−３３００型ＲＩ（株式会社日立製作所製、製品名）

［酸価の測定方法］
酸価は、次のようにして測定した。まず、バインダーポリマーの溶液を、１３０℃で１時間加熱し、揮発分を除去して、固形分を得た。そして、酸価を測定すべきポリマー１．０ｇを精秤した後、このポリマーにアセトンを３０ｇ添加し、これを均一に溶解した。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、０．１ＮのＫＯＨ水溶液を用いて滴定を行った。そして、バインダーポリマーのアセトン溶液を中和するのに必要なＫＯＨのｍｇ数を次式により算出し、酸価を求めた。
酸価＝０．１×Ｖ・ｆ×５６．１／（Ｗｐ×Ｉ／１００）
式中、ＶはＫＯＨの滴定量（ｍＬ）、ｆはＫＯＨ水溶液のファクターを示し、Ｗｐは測定したポリマー溶液の質量（ｇ）を示し、Ｉは測定したポリマー溶液中の不揮発分の割合（質量％）を示す。

（実施例１）［硬化膜を形成するための感光性樹脂組成物溶液の調製］
表２に示す材料を、攪拌機を用いて１５分間混合し、硬化膜を形成するための感光性樹脂組成物溶液を調整した。溶剤はメチルエチルケトンを５０質量部用いた。

［硬化膜を形成するための感光性エレメントの作製］
支持フィルムとして厚さ１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを使用し、上記感光性樹脂組成物溶液を支持フィルム上にコンマコーターを用いて均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で３分間乾燥して溶剤を除去し、感光性樹脂組成物を含む感光層（感光性樹脂組成物層）を形成した。得られた感光層の厚さは８μｍであった。

次いで、得られた感光層の上に、更に、３０μｍの厚さのポリプロピレンフィルムを、カバーフィルムとして張り合わせて、硬化膜を形成するための感光性エレメントを作製した。

［硬化膜の透過率の測定］
得られた感光性エレメントのポリプロピレンフィルムをはがしながら、厚さ１ｍｍのガラス基板上に、感光層が接するようにラミネータ（日立化成株式会社製、商品名ＨＬＭ−３０００型）を用いて、ロール温度１２０℃、基板送り速度１ｍ／分、圧着圧力（シリンダ圧力）４×１０^５Ｐａ（厚さが１ｍｍ、縦１０ｃｍ×横１０ｃｍの基板を用いたため、このときの線圧は９．８×１０^３Ｎ／ｍ）の条件でラミネートして、ガラス基板上に、感光層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。

次いで、得られた積層体の感光層に、平行光線露光機（株式会社オーク製作所製、ＥＸＭ１２０１）を使用して、感光層側上方より露光量５×１０^２Ｊ／ｍ^２で（ｉ線（波長３６５ｎｍ）における測定値）、紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、厚さ８．０μｍの感光層の硬化物からなる硬化膜（光硬化した硬化膜）を有する透過率測定用試料を得た。

次いで、得られた試料をヘーズメーターＮＤＨ ７０００（日本電色工業株式会社製）を使用して、測定波長域４００〜７００ｎｍで可視光線透過率を測定した。透過率の最小値は８９．４％であり、良好な透過率を確保できていた。なお、実施例２〜６についても測定波長域４００〜７００ｎｍで可視光線透過率８８％以上を示した。

［屈折率の測定］
得られた感光性エレメントのポリプロピレンフィルムをはがしながら、厚さ０．７ｍｍのガラス基板上に、感光層が接するようにラミネータ（日立化成株式会社製、商品名：ＨＬＭ−３０００型）を用いて、ロール温度１００℃、基板送り速度１ｍ／分、圧着圧力（シリンダ圧力）４×１０^５Ｐａ（厚さが０．７ｍｍ、縦１０ｃｍ×横１０ｃｍの基板を用いたため、この時の線圧は９．８×１０^３Ｎ／ｍ）の条件でラミネートして、ガラス基板上に、感光層及び支持フィルムが積層された基板を作製した。

次いで、得られた感光層に、平行光線露光機（株式会社オーク製作所製、ＥＸＭ１２０１）を使用して、感光層側上方より露光量５×１０^２Ｊ／ｍ^２で（ｉ線（波長３６５ｎｍ）における測定値）、紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、更に感光層側上方より露光量１×１０^４Ｊ／ｍ^２で（ｉ線（波長３６５ｎｍ）における測定値）紫外線を照射し、厚さ８．０μｍの感光層の硬化物からなる硬化膜（光硬化した硬化膜）を有する屈折率測定用試料を得た。

次いで、得られた試料を光学特性評価／膜厚測定装置（ＡｕｄｉｏＤｅｖ ＧｍｂＨ社製 ）を使用して、屈折率を測定した。感光層の屈折率は１．６５であり、良好な屈折率を有していることが確認された。なお、実施例２〜６についても屈折率は１．６０以上の範囲を充分満たしていた。

［フィルム性の評価］
得られた感光性エレメントを２ｃｍ×１５ｃｍにカットし、ポリプロピレンフィルムをはがしながら、厚さ０．５ｍｍの銅基板上に、感光層が接するようにラミネータ（日立化成株式会社製、商品名：ＨＬＭ−３０００型）を用いて、ロール温度２５℃、基板送り速度１ｍ／分、圧着圧力（シリンダ圧力）４×１０^５Ｐａの条件でラミネートして、銅基板上に、感光層及び支持フィルムが積層された基板を作製した。

上記で得られた積層体を作製後、引っ張り試験機を使用して、感光層と支持フィルムとの接着力を測定し、以下の評点に従って接着力を評価した。
Ａ ： 接着力１．０〜１０．０Ｎ/ｍ、
Ｂ ： 接着力０．５〜１．０Ｎ/ｍ＜又は１０．０＜接着力＜２０．０Ｎ/ｍ、
Ｃ ： 接着力０．２〜０．５Ｎ/ｍ＜又は２０．０＜接着力＜４０．０Ｎ/ｍ、
Ｄ ： 接着力＜０．２Ｎ/ｍ又は４０．０Ｎ/ｍ＜接着力
実施例１においては、接着力が１．０〜１０．０Ｎ/ｍであったため、評価はＡであった。なお、実施例２〜６については接着力が１．０〜２０．０Ｎ/ｍの範囲を満たしていた。

表３（表中の数値の単位は質量部）に示す感光性樹脂組成物溶液を用いた以外は、実施例１と同様に感光性エレメントを作製し、屈折率の測定、フィルム性の評価を行った。表３に示すように、実施例１〜６においては、屈折率、フィルム性のいずれも良好な結果であった。

（Ａ）成分：バインダーポリマー（Ａ１）：メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル＝１２／５８／３０（質量比）、酸価７８（ｍｇＫＯＨ／ｇ）、
（Ａ２）：メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸ブチル＝２２／５７／２１（質量比）、酸価７８（ｍｇＫＯＨ／ｇ）
（Ｂ）成分：光重合性化合物ＥＡ−２００：フルオレン系アクリレート（大阪ガスケミカル株式会社製）
その他の光重合性化合物Ｔ−１４２０（Ｔ）：ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート（日本化薬株式会社製）
（Ｃ）成分：光重合開始剤ＯＸＥ０１：１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）フェニル−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）］（ＢＡＳＦ社製、商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ ０１）
（Ｄ）成分：金属酸化物分散液ＯＺ-Ｓ３０Ｋ：ジルコニア分散液（ナノユースＯＺ-Ｓ３０Ｋ、日産化学工業株式会社製）
その他成分：
ＰＭ−２１：リン酸エステル化合物（Ｅ２）；カプロラクトンエチレンオキサイド変性リン酸モノ、ジメタクリレート混合物（２−ヒドロキシエチルメタクリレートの６−ヘキサノリド付加重合物と無水リン酸との反応生成物、日本化薬株式会社製）
ＡＷ−５００：２，２´−メチレン−ビス（４−エチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）（アンテージＷ−５００、川口化学工業株式会社製）
Ｂ６０３０：テトラゾール化合物；５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール（千代田ケミカル株式会社製、商品名：チオエールＢ−６０３０）
ＡＤＤＩＴＩＶＥ８０３２：有機変性シリコーンオイル（東レ・ダウコーニング株式会社製）

実施例１〜６に示すように、本発明の（Ａ）成分のバインダーポリマーと、（Ｂ）成分のフルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を２０質量部を超えて含有し、更に（Ｄ）成分の金属酸化物ナノ粒子を含有することでフィルム性が良好となり、屈折率を１．６より高くすることができる。
比較例１、２、５のように（Ｂ）成分のフルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物が２０質量部未満では、フィルム性に劣り、更に、比較例４のように（Ｄ）成分を有さなくてもフィルム性に劣る。（Ａ）、（Ｂ）、（Ｄ）成分を含有することで、屈折率が高く、フィルム性を良好にすることができる。

１…感光性エレメント、１０…支持フィルム、２０…感光層、２２…硬化膜、３０…保護フィルム、１００…透明基板、１０１…透明基板、１０２…タッチ画面、１０３…透明電極（Ｘ位置座標）、１０４…透明電極（Ｙ位置座標）、１０４a…透明電極の一部、１０４ｂ…透明電極のブリッジ部、１０５，１０５ａ，１０５ｂ…引き出し配線、１０６…接続電極、１０７…接続端子、１０８…開口部、１１０，１２０…透明電極、１２２，１２３…保護膜（硬化膜）、１２４，１２５…絶縁膜、１３０…フォトマスク、２００…硬化膜付き透明基板。

Claims (7)

1. （Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）金属酸化物ナノ粒子を含有し、前記（Ｂ）光重合性化合物がフルオレン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との合計１００質量部に対して２０質量部を超えて含有する、感光性樹脂組成物。
2. トリアゾール化合物、チアジアゾール化合物及びテトラゾール化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物を更に含有する、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
3. リン酸エステル化合物を更に含有する、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
4. 前記（Ｃ）光重合開始剤がオキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物を含有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
5. 支持フィルムと、前記支持フィルム上に設けられた請求項１〜４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を含む感光層と、を備える感光性エレメント。
6. 透明基板上に、請求項１〜４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を含む感光層を設け、前記感光層の所定部分を活性光線の照射により硬化させた後に前記感光層の前記所定部分以外を除去し、前記透明基板の一部又は全部を被覆する硬化膜を形成する、硬化膜付き透明基板の製造方法。
7. 請求項６に記載の方法により得られる硬化膜付き透明基板を備える、電子部品。

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