JP2015154015A - 強誘電体セラミックス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[1](200)に配向したZrO2膜と、
前記ZrO2膜上に形成され、(200)に配向したPt膜と、
前記Pt膜上に形成された圧電体膜と、
を具備することを特徴とする強誘電体セラミックス。
請求項1において、
前記ZrO2膜と前記Pt膜との間には(200)に配向したPtO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記ZrO2膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記Pt膜上に形成された圧電体膜と、
を具備することを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記CeO2膜下にはCe7O12膜が形成され、
前記CeO2膜と前記Pt膜との間にはPtO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記CeO2膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記CeO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記Ce7O12膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記Ce7O12膜は(300)に配向しており、
前記CeO2膜は(200)に配向しており、
前記PtO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記CeO2膜下または前記CeO2膜と前記Pt膜との間にはHfO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記CeO2膜と前記PtO2膜との間にはHfO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記CeO2膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記CeO2膜は(200)に配向しており、
前記HfO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記Ce7O12膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記Ce7O12膜は(300)に配向しており、
前記CeO2膜は(200)に配向しており、
前記HfO2膜は(200)に配向しており、
前記PtO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記Pt膜上に形成された圧電体膜と、
を具備することを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記HfO2膜と前記Pt膜との間にはPtO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記HfO2膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記HfO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記HfO2膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記HfO2膜は(200)に配向しており、
前記PtO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。
前記ZrO2膜上に550℃以下の温度でスパッタリングによりPt膜を形成し、
前記Pt膜上に圧電体膜を形成する強誘電体セラミックスの製造方法であり、
前記ZrO2膜は(200)に配向し、
前記Pt膜は(200)に配向することを特徴とする強誘電体セラミックスの製造方法。
前記ZrO2膜と前記Pt膜との間には(200)に配向したPtO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックスの製造方法。
特許文献2(特開平11−312801)の段落0004には次のように記載されている。ZrO2(001)薄膜上にPt薄膜を直接形成すると、Ptは(111)配向または多結晶となり、Pt(100)単一配向膜を形成することができない。これは、ZrO2(001)面とPt(100)面の格子不整合が大きいために、Ptはエピタキシャル成長するよりも、すなわち(100)面を成長面として成長するよりも、エネルギー的に安定な(111)面を成長面として成長するからである。
PZT膜形成用ゾルゲル溶液としては、ブタノールを溶媒とする鉛が70%〜90%不足した量添加された、濃度10重量%濃度のE1溶液を用いた。
図3は、本実施形態の実施例1によるサンプルのXRD(X-Ray Diffraction)チャートである。図3において縦軸は強度であり、横軸は2θである。このサンプルは以下のように作製した。
図4は、本発明の一態様に係る強誘電体セラミックスの製造方法を説明する模式的な断面図であり、図1と同一部分には同一符号を付し、同一部分の説明は省略する。
図6は、本実施形態の実施例2によるサンプルのXRDチャートである。図6において縦軸は強度であり、横軸は2θである。このサンプルは以下のように作製した。
図7は、本発明の一態様に係る強誘電体セラミックスの製造方法を説明する模式的な断面図であり、図1、図4及び図5と同一部分には同一符号を付し、同一部分の説明は省略する。
0.01≦x≦0.4(好ましくは0.05≦x≦0.2) ・・・式1
図8は、実施例3のサンプルのXRD(X-Ray Diffraction)回折結果を示すチャートである。図8において縦軸は強度であり、横軸は2θである。このサンプルは以下のように作製した。
プロセス: RFスパッタリング
ターゲット: Sr(Ti0.8Ru0.2)O3
RFパワー: 400W/13.56MHz
プロセス圧力: 4Pa
ガス流量Ar/O2(sccm): 30/10
基板温度: 600℃
プロセス時間: 20sec
膜厚: 50nm
アニール温度:600℃
導入ガス :酸素ガス
圧力 :9kg/cm2
昇温レート :100℃/sec
アニール時間:5分
図9は、本発明の一態様に係る強誘電体セラミックスの製造方法を説明する模式的な断面図であり、図1と同一部分には同一符号を付し、同一部分の説明は省略する。
図11は、本実施形態の実施例4によるサンプルのXRDチャートである。図11において縦軸は強度であり、横軸は2θである。このサンプルは以下のように作製した。
図12は、本発明の一態様に係る強誘電体セラミックスの製造方法を説明する模式的な断面図であり、図1と同一部分には同一符号を付し、同一部分の説明は省略する。
図14は、本実施形態の実施例5によるサンプルのXRDチャートである。図14において縦軸は強度であり、横軸は2θである。このサンプルは以下のように作製した。
102 ZrO2膜
103 Pt膜
104 PtO2膜
105 CeO2膜
106 Ce7O12膜
107 HfO2膜
111 Sr(Ti1−xRux)O3膜(STRO)
Claims (17)
- (200)に配向したZrO2膜と、
前記ZrO2膜上に形成され、(200)に配向したPt膜と、
前記Pt膜上に形成された圧電体膜と、
を具備することを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項1において、
前記ZrO2膜と前記Pt膜との間には(200)に配向したPtO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項1または2において、
前記ZrO2膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - CeO2膜上に形成されたPt膜と、
前記Pt膜上に形成された圧電体膜と、
を具備することを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項4において、
前記CeO2膜下にはCe7O12膜が形成され、
前記CeO2膜と前記Pt膜との間にはPtO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項4または5において、
前記CeO2膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記CeO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項5において、
前記Ce7O12膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記Ce7O12膜は(300)に配向しており、
前記CeO2膜は(200)に配向しており、
前記PtO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項4において、
前記CeO2膜下または前記CeO2膜と前記Pt膜との間にはHfO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項5において、
前記CeO2膜と前記PtO2膜との間にはHfO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項8において、
前記CeO2膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記CeO2膜は(200)に配向しており、
前記HfO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項9において、
前記Ce7O12膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記Ce7O12膜は(300)に配向しており、
前記CeO2膜は(200)に配向しており、
前記HfO2膜は(200)に配向しており、
前記PtO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - HfO2膜上に形成されたPt膜と、
前記Pt膜上に形成された圧電体膜と、
を具備することを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項12において、
前記HfO2膜と前記Pt膜との間にはPtO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項12または13において、
前記HfO2膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記HfO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - 請求項13において、
前記HfO2膜はSi基板上に形成されており、
前記Si基板は(100)に配向しており、
前記HfO2膜は(200)に配向しており、
前記PtO2膜は(200)に配向しており、
前記Pt膜は(200)に配向していることを特徴とする強誘電体セラミックス。 - Si基板上に550℃以下の温度で蒸着法によりZrO2膜を形成し、
前記ZrO2膜上に550℃以下の温度でスパッタリングによりPt膜を形成し、
前記Pt膜上に圧電体膜を形成する強誘電体セラミックスの製造方法であり、
前記ZrO2膜は(200)に配向し、
前記Pt膜は(200)に配向することを特徴とする強誘電体セラミックスの製造方法。 - 請求項16において、
前記ZrO2膜と前記Pt膜との間には(200)に配向したPtO2膜が形成されていることを特徴とする強誘電体セラミックスの製造方法。
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