JP2015153804A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板に溝を形成するエッチング工程において、エッチング開始直後にエッチングレートの高い条件でエッチングを行う第1工程と、その後、エッチングレートが低い条件でエッチングを行う第2工程とを行う。また、上記のようにエッチング条件を切り替えるタイミングは、溝の深さをモニタリングすることで測る。
【選択図】図1
Description
本実施の形態の半導体装置の製造方法は、マスクパターンを形成した基板等に対し、プラズマエッチング装置を用いてエッチングを施すものである。以下では、図1を用いて、本実施の形態の半導体装置の製造方法に用いるプラズマエッチング装置について説明する。図1は、本実施の形態のエッチング工程に用いるプラズマエッチング装置の一例として、プラズマ生成手段にマイクロ波と磁場を利用するECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマエッチング装置の概略図である。
本実施の形態では、SF6とNF3の2ステップで処理を行う際の切り替えについて説明する。つまり、本実施の形態は、図3の表の条件1と条件2との切り替えの際に排気工程を設けるものである。
本実施の形態では、エッチング工程において、磁場コイルの電流値の条件を変更することについて説明する。
ここでは、プロセスガスにSF6を用いたステップ1のエッチング工程においてパルス放電を用いることについて以下に説明する。
102 マスク
201 チャンバ
202 ウェハ
203 試料台
204 マイクロ波透過窓
205 シャワープレート
206 導波管
207 膜圧測定モニタ
208 マグネトロン
209 ソレノイドコイル
210 静電吸着電源
211 高周波バイアス電源
212 ウェハ搬入口
213 ガス導入口
214 プラズマ
215 パルス発生装置
500 チャンバ
501 堆積物
502 プラズマ
Claims (7)
- 溝または孔パターンが開口された第1パターンと、前記第1パターンよりもアスペクト比が小さい溝または孔パターンが開口された第2パターンとを有するマスクを用いたプラズマエッチングにより、半導体基板に溝または孔を形成する半導体装置の製造方法であって、
(a)前記第1パターンにおけるエッチング速度に対する前記第2パターンにおけるエッチング速度の比である第1疎密エッチング速度比の特性と、第1エッチング速度の特性とを有するエッチングを行う工程、
(b)前記(a)工程の後、前記第1パターンにおけるエッチング速度に対する前記第2パターンにおけるエッチング速度の比である第2疎密エッチング速度比の特性と、第2エッチング速度の特性とを有するエッチングを行う工程、
を有し、
前記(a)工程から前記(b)工程への切り替えは、モニタされている前記半導体基板の溝または孔の深さが所定の深さに到達した時点で行い、
前記第2エッチング速度は、前記第1エッチング速度より小さく、
前記第2疎密エッチング速度比の値は、前記第1疎密エッチング速度比の値より大きい、半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(a)工程および前記(b)工程では、N2ガス、CHF3ガスおよびNF3ガスの混合ガスを用い、
前記(a)工程の窒素原子のプラズマ密度は、前記(b)工程の窒素原子のプラズマ密度より小さい、半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(a)工程は、N2ガス、CHF3ガスおよびSF6ガスの混合ガスを用い、
前記(b)工程は、N2ガス、CHF3ガスおよびNF3ガスの混合ガスを用いる、半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記所定の深さは、前記第1疎密エッチング速度比の値が1より小さく、かつ前記第2疎密エッチング速度比の値が1より大きいエッチング深さである、半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(a)工程では、パルス変調されたプラズマを発生させてエッチングを行う、半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(a)工程の後であって前記(b)工程の前に、前記プラズマエッチングが行われる処理室内を排気することで、前記処理室内の圧力を10−2Pa以下とする工程をさらに有する、半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(a)工程および前記(b)工程は、マイクロ波および磁場を利用したECR型プラズマ源を備えるプラズマエッチング装置を用いて行われ、
前記半導体基板を載置する試料台からの高さにおいて、前記(a)工程のプラズマ密度が最大となる高さは、前記(b)工程のプラズマ密度が最大となる高さより高い、半導体装置の製造方法。
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