JP2015142064A - 導電性ボールの配列装置 - Google Patents

Abstract

【課題】導電性ボールの配列装置でのボール交換時のボール排出や回収を確実に行い、基板への導電性ボールの搭載不良を防止する方法の提供。
【解決手段】導電性ボールの配列装置２に次の手段を採用する。第１に、配列治具５と、配列治具５の収容孔である保持孔５４に、導電性ボールＢのボール群を供給するボール供給ヘッドと、ボール供給ヘッドを相対移動させる移動手段とを備える。第２に、ボール群を移動させる落とし込み動作により、保持孔５４に導電性ボールＢを落とし込んで配列する。第３に、落とし込み動作の際にボール群が通過する領域から外れた位置に配列治具５を貫通する排出孔５３を設ける。第４に、ボール供給ヘッドからボール群を配列治具５上面外に排出する際は、ボール群を排出孔５３が設けられた位置に移動させる。
【選択図】図６

Description

本発明は、導電性ボールの配列装置の改良に関するもので、詳しくは、導電性ボールを基板に搭載する装置において、導電性ボールを所定のパターンで配列する装置の改良に関するものである。

従来より、特許文献１に示されるような導電性ボール搭載装置が存在した。この種の装置は、吸着ヘッドに所定パタ−ンで形成された多数の吸着孔に導電性ボールを吸着保持し、その導電性ボールを基板に搭載するものであった。
この種の導電性ボール搭載装置では、ランダムな状態で多数貯留されているボール供給部に吸着ヘッドが移動し、そこにある導電性ボールを吸着ヘッドの吸着孔に吸着保持するものであった。

このような導電性ボールの吸着手段では、吸着ヘッドの吸着孔の一部に導電性ボールが保持されない状態が生じることがあった。このような状態で基板への搭載動作が行われると導電性ボール搭載動作後のワークである基板には、ボールが搭載されていない箇所の発生、いわゆる歯抜け状態が生じてしまうという問題があった。

そこで、かかる問題を解決する手段として、導電性ボールの収容孔が所定の配列パターンで形成された配列治具を用い、その上面で、ボール供給ヘッドとなる多数の導電性ボールが収容された下面開口のボールカップを移動させ、配列治具の収容孔に導電性ボールを所定配列パターンで収容し、配列された導電性ボールを吸着ヘッドで保持し、基板に搭載する導電性ボール搭載装置が提案された。

更に、この装置を改良させたものとして、特許文献２に示される導電性ボール搭載装置が開示されている。この装置は、傾斜状態のテンプレート（配列治具）の上面に沿ってボールスウィーパ（ボールカップ）を移動させ、テンプレートのアパーチャ（収容孔）に導電性ボールを収容することによって所定のパターンで導電性ボールを配列する配列装置を用い、その配列装置によって配列された導電性ボールをピックヘッド（吸着ヘッド）で保持し、基板に搭載するものであった。

特許第４４８７１４２号特許公報 Ｐａｔｅｎｔ Ｎｏ．ＵＳ６７６６９３８Ｂ２ 米国特許公報

導電性ボールの収容孔が形成された配列治具とボールカップ等（特許文献２ではボールスウィーパ）とを用いた配列装置においては、先に搭載が行われていた導電性ボールと径の異なる導電性ボールを次に取り扱う場合、ボールカップに貯留されている導電性ボールを交換する必要があった。導電性ボールの交換のためには、先に使用されたボールカップ内の導電性ボールの排出又は回収をしなければならなかった。しかし、特許文献２記載の配列装置では、この導電性ボールの排出又は回収の手段が開示されていない。

通常、この種の配列装置における導電性ボールの排出又は回収は、品種替えの度にオペレータが吸引具により導電性ボールを吸引して行っていた。この作業は、非常に面倒な作業であると共に漏れがあると新旧の径の異なる導電性ボールが混在することになり、搭載不良を生じさせる原因ともなっていた。

本発明は、導電性ボールの排出や回収に伴う面倒な作業を不要とし、確実な導電性ボールの排出や回収を可能にして、基板への導電性ボールの搭載不良を防止することを目的とする。

上記課題を解決するため、第１の発明は、導電性ボールの配列装置に次の手段を採用する。
第１に、導電性ボールの収容孔が所定の配列パターンに形成された配列治具と、前記配列治具上面のうち所要の領域に形成された収容孔に、多数の導電性ボールからなるボール群を供給するボール供給ヘッドと、前記ボール供給ヘッドを配列治具の上面に沿って相対移動させる移動手段とを備える。
第２に、前記配列治具上面に沿って前記ボール群を移動させる落とし込み動作により、当該配列治具の収容孔に導電性ボールを落とし込んで配列する導電性ボールの配列装置とする。
第３に、前記配列治具上面のうち、前記落とし込み動作の際に前記ボール群が通過する領域から外れた位置に前記配列治具を貫通する排出孔を設ける。
第４に、前記ボール供給ヘッドから前記ボール群を前記配列治具上面外に排出する際は、前記ボール群を前記排出孔が設けられた位置に移動させる。

第２の発明は、第１の発明に、次の手段を採用した導電性ボールの配列装置とする。
第１に、上記配列治具に、当該配列治具を傾斜させる傾斜手段を設ける。
第２に、上記ボール供給ヘッドを、下面に開口部が形成され、前記配列治具との間で多数の導電性ボールを収容可能なボールカップとする。
第３に、上記落とし込み動作では、前記配列治具を傾斜させる傾斜手段により、前記配列治具の一端側が他端側よりも上方に位置した傾斜状態とし、多数の導電性ボールを収容した前記ボールカップを前記配列治具上面の一端側から他端側に向けて相対移動させることにより、当該配列治具の収容孔に導電性ボールを落とし込むようにする。
第４に、上記排出孔は、前記配列治具上面のうち、前記落とし込み動作の際に前記ボールカップの開口部が通過する領域から外れた位置に設けられる。
第５に、前記ボールカップに収容された多数の導電性ボールを排出する際は、前記配列治具を傾斜状態として、前記開口部が前記排出孔と連通する位置まで前記ボールカップを移動させる。

第３の発明は、第１又は第２の発明における配列治具に導電性ボール回収手段を設け、上記排出孔から排出される導電性ボールを収容することを付加した導電性ボールの配列装置とする。

第１の発明は、配列治具上面のうち、落とし込み動作の際にボール群が通過する領域から外れた位置に配列治具を貫通する排出孔を設け、ボール供給ヘッドからボール群を配列治具上面外に排出する際は、ボール群を排出孔が設けられた位置に移動させることにより、自重により自動的に排出するものであるので、品種替えの度にオペレータが吸引具により導電性ボールを吸引して排出するといった、導電性ボールの排出に伴う面倒な作業を不要とした。更に、排出の漏れがなくなり、新旧の径の異なる導電性ボールが混在するといったことがなくなったので、基板へ誤った導電性ボールを搭載してしまうと言う搭載不良を防止することができた。

第２の発明は第１の発明と同様の効果を発揮するほか、配列治具に、当該配列治具を傾斜させる傾斜手段を設け、ボールカップに収容された多数の導電性ボールを排出する際は、配列治具を傾斜状態として、ボールカップの開口部が排出孔と連通する位置までボールカップを移動させて排出するので、導電性ボールの排出がより確実で容易となった。

第３の発明の効果ではあるが、配列治具に導電性ボール回収手段を付設し、排出孔から排出される導電性ボールを回収手段に収容することにより、導電性ボールの回収が簡単で確実なものとなった。

第１実施例に係る半田ボール搭載装置の概要を示す説明図 同半田ボール搭載装置における配列装置の平面説明図 配列装置における整列領域での整列状態の説明図 往復整列方式における配列装置の往路動作を示す説明図で、（イ）は、整列動作を示し、（ロ）は、その直後の吸着ヘッドでの吸着動作を示す。 往復整列方式における配列装置の復路動作を示す説明図で、（イ）は、整列動作を示し、（ロ）は、その直後の吸着ヘッドでの吸着動作を示す。 排出回収時のボールカップ位置を示す配列装置の平面説明図 排出回収状態を示す説明図で、（イ）は、左下がり状態を示し、（ロ）は、右下がり状態を示す。 配列治具が傾斜手段を有さないマスクである第２実施例を示す説明図で、（イ）は、平面説明図で、（ロ）は、側面説明図で、（ハ）は、排出回収時の拡大説明図である。 ボールカップが、カップ内に設けられたボール吸着体でボールを吸着又は落下させることによりボールを供給するものである第３実施例を示す説明図で、（イ）は、平面説明図で、（ロ）は、側面説明図で、（ハ）は、排出回収時の拡大説明図である。

以下、図示の第１実施例と共に本発明の実施の形態について説明する。図１は半田ボール搭載装置の概要を示す説明図であり、半田ボール搭載装置は、導電性ボールである半田ボールＢを吸着保持し、基板Ａに搭載する吸着ヘッド１と、吸着ヘッド１の吸着孔に相当する位置に半田ボールＢを配列させる配列装置２と、吸着ヘッド１が基板Ａに半田ボールＢを搭載する基板ステージ３と、配列装置２のボールカップ７に半田ボールＢを供給するボール供給装置４とを有する。

吸着ヘッド１は、図示されていない移動装置により、図１中の配列装置２の上方の点線で示される吸着ヘッド１の待機位置と同図中配列装置２の上方の実線で示される吸着ヘッド１の取り出し位置と同図中基板ステージ３の上方の点線で示される吸着ヘッド１の搭載位置の間を移動可能とされている。

図２はボール搭載装置における配列装置２の平面説明図であり、配列装置２は、図２及び図１に示されるように、導電性ボールＢの収容孔が所定の配列パターンに形成された配列治具５と、配列治具５を傾斜させる傾斜手段６と、下面に開口部が形成されており配列治具５との間で多数の半田ボールＢを収容可能なボールカップ７と、ボールカップ７を配列治具５の上面に沿って移動させる移動装置８と、ボール回収ボックス９とを備えている。尚、本発明では、ボールカップ７と配列治具５とは相対移動であれば良いが、第１実施例では、ボールカップ７が配列治具５の上面を単独で移動するものである。

配列治具５は、整列プレート５１と揺動ステージ５２とよりなる。本来、配列治具５は、整列プレート５１のみで良いが、第１実施例では図１に示されるように、排出孔５３が揺動ステージ５２をも貫通する構造となっているため、揺動ステージ５２も配列治具５の一部となっている。

整列プレート５１は、一定の厚みのある硬質のプレートであり、中央部に整列領域５５が形成され、整列領域５５から外れた位置の左右両端部に多数の排出孔５３で形成される排出部が列として形成されている。

図２中整列プレート５１の中央部に示した点線で囲まれた矩形部分が整列領域５５となる。整列領域５５には、半田ボールＢの収容孔である保持孔５４が所定の配列パターンに形成されている。整列領域５５の配列パターンは、吸着ヘッド１の吸着孔（図示されていない）の配列と同じものである。

保持孔５４は、図３に示されるように、半田ボールＢが、１つ入る大きさの孔で、使用される半田ボールＢの大きさ、使用される吸着ヘッド１の吸着孔の配列に合致させて形成されている。尚、保持孔５４は、貫通孔ではなく、半田ボールＢを収容するための凹部とされている。

整列領域５５は、半田ボールＢを所定の配列パターンに整列させる領域であり、整列領域５５の保持孔５４は、図３中矢印で示されるように下面側から図示されない真空源により吸引されている。これにより、半田ボールＢの保持孔５４への落とし込みを容易とし、その保持を確実なものとしている。

排出孔５３は、整列プレート５１を貫通する貫通孔、正確には、整列プレート５１及び揺動ステージ５２をも貫通する貫通孔として穿設されている。第１実施例での排出孔５３は半田ボールＢが通過可能な小孔を間隔を空けて多数並べた列として形成され、半田ボールＢの排出部を構成している。排出孔５３は小孔とされているため、整列プレート５１及び揺動ステージ５２が硬質なプレートであっても、長孔の形成に比べ低コストで作成することが可能である。また、排出孔５３が小孔を間隔を空けて多数並べた列とされているため、連続するスリットと比較して強い強度を確保できるものである。排出孔５３の形成位置は、整列領域５５から外れた位置であるが、正確にはボールカップ７の下面の開口部が、整列領域５５の保持孔５４へのボール落とし込み動作のために通過する領域から外れた位置、表現を変えると、落とし込み動作の際にボール群が通過する領域から外れた位置である。

第１実施例での排出孔５３の列は、整列プレート５１の左右両端部に設けられているが、左右両端に設ける必要はなく、一方端部にのみ設けるようにしても良い。更に、整列プレート５１に設けられた排出孔５３の列は、第１実施例では図中左右に１列設けられているが、２列又は複数列設けても良い。更に、排出孔５３の列の長さは、ボールカップ７の開口部長尺方向の全域に対応する長さで形成されているが、全域に対応する長さ分設ける必要もない。

整列プレート５１は、使用される半田ボールＢの大きさの変更、使用される吸着ヘッド１の吸着孔の配列の変更により、交換される必要がある。そこで、整列プレート５１は、揺動ステージ５２上に整列プレート固定具５０により着脱自在に装着されている。尚、第１実施例における整列プレート５１と揺動ステージ５２とが本願発明における配列治具となる。整列プレート５１は揺動プレート５２と一体になって揺動する。

揺動ステージ５２は、整列プレート５１を揺動させるため硬質のプレートで形成され、整列プレート５１と同位置に、排出孔５３となる貫通孔が設けられている。揺動ステージ５２の下面側で排出孔５３のある位置には、半田ボールＢの回収手段となるボール回収ボックス９が設けられている。ボール回収ボックス９は、揺動プレート５１に直接着脱自在に装着されている。揺動ステージ５２が第１実施例より小さなもので、排出孔５３の列が整列プレート５１にのみ存在するときは、ボール回収ボックス９を整列プレート５１の下面側で排出孔５３の列の位置に着脱自在に装着する。

ボール回収ボックス９は第１実施例では、配列治具５に直接取り付けられているが、配列治具５が、図８や図９に示される配列マスク５６のように薄いものである場合、直接取り付けることができず僅かに離して保持される必要がある。かような場合、排出部を連続する切欠空部や長窓とすると、ボール回収ボックス９は、ボールの跳躍による外への飛び出しを防止するため、ボール回収の必要以上の深さのものとしなければならず、装置のスペースの増大に繋がる問題点があったが、ボール回収ボックス９の上方に存在する排出部である排出孔５３が小孔であるので、浅いボール回収ボックス９でも対応することが可能である。

整列プレート５１と揺動ステージ５２とを傾斜させる傾斜手段６は、固定ベース６０に回動軸６３を支点に揺動する揺動ベース６２と、該揺動ベース６２を揺動させる揺動モータ６１とよりなる。

揺動ステージ５２は、揺動ベース６２に固定されており、整列プレート５１も整列プレート固定具５０により揺動ステージ５２上に着脱自在ではあるが固定されている。従って、揺動モータ６１の駆動により、固定ベース６０の回転軸６３に回動自在に装着された揺動ベース６２を回動させ、左下がり状態及び右下がり状態に傾斜させることにより、揺動ベース６２上面に固定される揺動ステージ５２及び整列プレート５１を左下がり状態及び右下がり状態に傾斜させる。揺動角度である傾斜角度は、第１実施例では水平状態より上下に３０度ずつ計６０度である。

配列装置２は、上面及び下面が開口部とされたボールカップ７が配置されている。
本発明におけるボール供給ヘッドとなるボールカップ７は、整列プレート５との間で多数の半田ボールＢを収容可能とする。ボールカップ７は、移動装置８により、配列治具５の上側を構成する整列プレート５１の上面に沿って移動する。これにともないボールカップ７に収容された半田ボールＢは、ボール群として整列プレート５１上を移動する。尚、本発明ではボールカップ７と配列治具５との関係は、相対移動で良いが、第１実施例ではボールカップ７のみが移動する。

移動装置８は、カップ移動用モータ８０及び駆動プーリ８１及び従動プーリ８２及びタイミングベルト８３及びスライダ８４よりなる。即ち、ボールカップ７は、カップ移動用モータ８０の駆動により、駆動プーリ８１及び従動プーリ８２に巻かれたタイミングベルト８３に取り付けられるスライダ８４を介して図２中左右方向に移動可能とされている。

尚、ボールカップ７は、図示されていない残量検知センサによる監視が行われており、半田ボールＢの残量が所定量となると、ボール供給装置４によって、半田ボールＢがボールカップ７内に追加補充される。

以下、第１実施例における配列装置２の動作について説明する。先ず整列動作について説明する。配列装置２は、往復整列方式を採用しており、図４は往路動作を示す説明図で、（イ）は、整列動作を示し、（ロ）は、その直後の吸着ヘッドでの吸着動作を示している。

配列装置２の初期状態は図１のように水平状態であり、ボールカップ７は図１中左方の実線位置にある。ここから揺動モータ６１を駆動し、固定ベース６０に軸着された揺動ベース６２を揺動、即ち、回動させて右下がりに傾斜させる。これにより、揺動ベース６２に装着された揺動ステージ５２と、揺動ステージ５２に装着されている整列プレート５１を図４（イ）に示されるように右下がり状態とする。

この状態で、配列装置２は、一端側（図４（イ）中の左端）が、他端側（同図中右端）よりも上方に位置した傾斜状態となっている。この状態でカップ移動用モータ８０を駆動して、ボールカップ７を図４（イ）中の点線で示された左側のボールカップ７の位置から同図中実線で示された右側のボールカップ７の位置に移動させる。この移動の間、整列プレート５１の各保持孔５４を真空源と接続させておき、吸引しておく。

半田ボールＢの収容されたボールカップ７が、整列プレート５１の上面を移動する落とし込み動作を行うことにより、整列プレート５１の収容孔である保持孔５４に半田ボールＢが落とし込まれ収容され、半田ボールＢは、所定の配列に整列される。

その後、図４（ロ）に示されるように水平状態に復帰させ、図示されない検査カメラで半田ボールＢの収容を点検し、吸着ヘッド１を取り出し位置上方に移動させ、各保持孔５４と真空源の接続を切り、吸着ヘッド１を吸引状態として、吸着ヘッド１にて半田ボールＢを吸着保持して、整列プレート５１の各保持孔５４より取り出す。その後、吸着ヘッド１は、図１中で右方に示される基板ステージ３上方へ移動し、下降して基板Ａに半田ボールＢを搭載する。

次の搭載動作では、ボールカップ７は、図４（ロ）中右上方の実線ボールカップ７の位置にあるので、図５（イ）のように配列装置２を左下がりに傾斜させ、図５（イ）の右上方の点線ボールカップ７の位置より、左下の実線ボールカップ７の位置へ移動させ、整列プレート５１の各保持孔５４に半田ボールＢを収容させる。その後、最初の搭載動作と同様の手順で半田ボールＢは基板Ａに搭載される。

第１品種の半田ボールＢの搭載が終了し、径の異なる第２品種の半田ボールＢに変更する場合は、次のような排出動作を行い、ボールカップ７内の半田ボールＢを排出する。

先ず、直前の搭載動作の終了時点でのボールカップ７の位置が図４（ロ）に実線で示されたボールカップ７の位置である場合、整列プレート５１を図７（ロ）に示されるような右下がりの傾斜状態として、同図に示されるようにボールカップ７の開口部が下方側の排出孔５３と連通する位置までボールカップ７を移動させる。

尚、第１実施例のように排出孔５３の列が、整列プレート５１の左右両端部に形成されている場合には、整列プレート５１の傾斜は、右下がりだけでなく、図７（イ）に示されるように左下がりの傾斜状態としても良い。この場合も同様にボールカップ７の開口部が下方側の排出孔５３と連通する位置までボールカップ７を移動させる。

ボールカップ７の開口部と排出孔５３が連通する結果、排出孔５３から半田ボールＢが自重により排出され、排出された半田ボールＢは、ボール回収ボックス９で受け止められる。このボール回収ボックス９を取り外して処理することができる。

第１実施例では、図７（イ）（ロ）に示したように、傾斜させた配列装置２の下方に位置する側の排出孔５３より排出する例が示されているが、上方に位置する側の排出孔５３から排出させることも可能である。

また、第１実施例では、硬質で一定の厚みを有する整列プレート５１を用いているが、図８に示す第２実施例の配列治具５や図９に示す第３実施例の配列治具５にあっては、使用される半田ボールＢの径と同様の薄さの配列マスク５６を用いている。このような薄い配列マスク５６を配列治具５として利用するには、張力を与えて枠（図示されていない）に張らなければならない。このような状況で配列マスク５６に長孔や連続するスリットを形成することは強度上難しいものである。しかし、排出孔５３が小孔であり、間隔を空けて多数並べた列として形成されるのであれば、連続するスリットや長孔と比較して強い強度を確保できる。

尚、本発明におけるボール供給ヘッドは図示の各実施例では、ボールカップ７が用いられているが、ボールカップ７に限定されるものではなく、多数の半田ボールＢからなるボール群を収容又は保持し、配列治具５上を移動させることが可能なものであれば良い。

更に、ボールカップ７にあっても、第１実施例や第２実施例でのボールカップ７では、上面及び下面が開口部とされ、整列領域５５をカバーする長さを有する長尺の箱体で、整列プレート５１との間で多数の半田ボールＢを収容するものであるが、図９に示される第３実施例のように上面は非開口で、整列領域５５より小さいな下面開口面積の箱体で、内部に設けられた吸着プレート７０に半田ボールＢを吸着して移動し、整列領域５５及び排出孔５３が形成された排出部で吸着を一回又は複数回解除して、半田ボールＢを整列領域５５及び排出孔５３に落とし込み又は排出するものであっても良い。

尚、ボールカップ７の下面開口面積が第３実施例のように整列領域５５より小さい場合、排出孔５３は、長尺の列に形成されず、図９に示されるようにボールカップ７の下面開口部と同形に並べて形成することが好ましい。

第１実施例での配列治具５は、傾斜手段６を有するものであるが、図８及び図９に示される第２及び第３実施例のように、傾斜手段６を有さず、配列治具５を水平状態のまま、ボールカップ７を排出孔５３の位置に移動させ排出することも可能である。

図８に示す第２実施例の配列治具５では、整列領域５５に対する半田ボールＢの落とし込み動作や、排出孔５３への半田ボールＢの排出動作を、水平状態で行う。落とし込み動作では、配列治具５を水平状態としたまま図８中右方にあるボールカップ７を図中左方へ移動させ整列領域５５にて、半田ボールＢを整列のための保持孔（図８では図示されていない）に落とし込むという動作を往復して行い、排出動作では、配列治具５を水平状態としたまま排出孔５３の手前で停止していたボールカップ７を、図８（ハ）のように排出孔５３上を移動させ、ボールカップ７より半田ボールＢを自重により排出孔５３より排出させる。

尚、図９に示す第３実施例の配列治具５にあっては、配列治具５を水平状態としたまま、ボールカップ７を整列領域５５をカバーするように、蛇行往復移動させ、整列領域５５の保持孔（図９では示されていない）に落とし込むという動作を行い、排出動作では、配列治具５を水平状態としたままボールカップ７を図９（ハ）のように排出孔５３上に移動させ、吸着プレート７０の吸着を１回又は数回解除して、半田ボールＢを排出孔５３より排出させるのである。

１・・・・・・・・吸着ヘッド
２・・・・・・・・配列装置
３・・・・・・・・基板ステージ
４・・・・・・・・ボール供給装置
５・・・・・・・・配列治具
６・・・・・・・・傾斜手段
７・・・・・・・・ボールカップ
８・・・・・・・・移動装置
９・・・・・・・・ボール回収ボックス
５０・・・・・・・整列プレート固定具
５１・・・・・・・整列プレート
５２・・・・・・・揺動ステージ
５３・・・・・・・排出孔
５４・・・・・・・保持孔
５５・・・・・・・整列領域
５６・・・・・・・配列マスク
６０・・・・・・・固定ベース
６１・・・・・・・揺動モータ
６２・・・・・・・揺動ベース
６３・・・・・・・回動軸
７０・・・・・・・吸着プレート
８０・・・・・・・カップ移動用モータ
８１・・・・・・・駆動プーリ
８２・・・・・・・従動プーリ
８３・・・・・・・タイミングベルト
８４・・・・・・・スライダ
Ａ・・・・・・・・基板
Ｂ・・・・・・・・半田ボール

Claims (3)

1. 導電性ボールの収容孔が所定の配列パターンに形成された配列治具と、
   前記配列治具上面のうち所要の領域に形成された収容孔に、多数の導電性ボールからなるボール群を供給するボール供給ヘッドと、
   前記ボール供給ヘッドを配列治具の上面に沿って相対移動させる移動手段とを備え、
   前記配列治具上面に沿って前記ボール群を移動させる落とし込み動作により、当該配列治具の収容孔に導電性ボールを落とし込んで配列する導電性ボールの配列装置において、
   前記配列治具上面のうち、前記落とし込み動作の際に前記ボール群が通過する領域から外れた位置に前記配列治具を貫通する排出孔を設け、
   前記ボール供給ヘッドから前記ボール群を前記配列治具上面外に排出する際は、前記ボール群を前記排出孔が設けられた位置に移動させる
   ことを特徴とする導電性ボールの配列装置。
   
2. 上記配列治具に、当該配列治具を傾斜させる傾斜手段を設け、
   上記ボール供給ヘッドを、下面に開口部が形成され、前記配列治具との間で多数の導電性ボールを収容可能なボールカップとし、
   上記落とし込み動作では、前記配列治具を傾斜させる傾斜手段により、前記配列治具の一端側が他端側よりも上方に位置した傾斜状態とし、多数の導電性ボールを収容した前記ボールカップを前記配列治具上面の一端側から他端側に向けて相対移動させることにより、当該配列治具の収容孔に導電性ボールを落とし込むようにし、
   上記排出孔は、前記配列治具上面のうち、前記落とし込み動作の際に前記ボールカップの開口部が通過する領域から外れた位置に設けられ、
   前記ボールカップに収容された多数の導電性ボールを排出する際は、前記配列治具を傾斜状態として、前記開口部が前記排出孔と連通する位置まで前記ボールカップを移動させる
   ことを特徴とする請求項１に記載の導電性ボールの配列装置。
   
3. 上記配列治具に導電性ボール回収手段を設け、上記排出孔から排出される導電性ボールを収容する
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の導電性ボールの配列装置。

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