JP2013105889A - ハンダボール印刷機 - Google Patents

Abstract

【課題】最近半導体チップの電極部に形成するハンダバンプが微小化してきており、ハンダボールを用いて印刷する場合にハンダボールも微小化されている。このため印刷ハンダボールを精度良く印刷することが求められている。
【解決手段】ハンダボールの印刷するための充填ヘッドが回転軸に設けた８角形の固定部材の各面毎に、スキージホルダを固定し、該スキージホルダに複数の線材からなるスリットスキージを取り付け、所定の押付力でマスク面に押し付けながら回転軸を回転させながら充填ヘッドを移動させることでハンダボールを効率よくマスク開口部に充填する構成とした。
【選択図】図２

Description

本発明はハンダボールを基板面上に形成されている電極上に印刷するための装置に関する。

従来のハンダボール印刷機においては、ハンダボールを分散配置してマスク開口部に充填するために、スキージを備えた充填ヘッド等が用いられている。例えば、特許文献１には、ハンダボールを回転する供給ローラ面上に分散配置して、供給ローラを回転させながら水平方向に移動させることで、ローラ面に分散配置したハンダボールをマスク面上に落下させ、複数本の繊維状部材を密設するように両端を固定して、線材の腹部分でハンダボールを押し込む構造のスキージを備え、スキージをマスク面に押圧しながら水平に移動させてマスク開口部に充填する構造が開示されている。

また、特許文献２には、充填ヘッドの中心軸が空洞で形成されてそこからハンダボールをマスク面上に供給すると共に、中心軸を回転して円盤に設けられた複数のスキージが、マスク面上を水平方向に回転しながら水平移動することでハンダボールをマスク開口部に充填する構成の装置が開示されている。

特開２００５−１８３４２３号公報 特開２００７−１５７９９２号公報

特許文献１の構成では、供給ローラからハンダボールがスムーズに供給されずに、ハンダボールが充填されない開口が発生し易い。そのためハンダボールの供給装置と、供給されたハンダボールをマスク開口部に充填するためのスキージを設けた充填ヘッドとを、複数回往復移動させる必要がある。また、マスク面上に余剰ハンダボールが残留する可能性が大きく、基板からマスクを離間させる際に、余剰ハンダボールが、開口部に落ち込み２重ボール等の欠陥を発生する恐れがある。

また、特許文献２の構成では、充填ヘッドを大きくできず、大面積の基板を印刷するには、充填時間が多く必要であり、かつ、充填ヘッドからこぼれたハンダボールが残留する恐れがある。

本発明の目的は上記課題を解消し、ハンダボールを確実にマスク開口部に充填でき、且つ、マスク面上にハンダボールが残留しないハンダボール印刷機を提供することにある。

前記目的を達成するため、フラックスが塗布された基板面に形成された複数の電極部に、マスクを介してハンダボールを印刷するためハンダボール充填ヘッドを備え、前記ハンダボール充填ヘッドは外形が６角形〜１２角形以上の多角形の回転軸の各面に充填部取り付け部材をそれぞれ固定し、前記充填部取り付け部材にハンダボール充填ヘッドの進行方向に対して所定の角度を有するように、複数の線材で形成される充填部材を、充填部取り付け部材のマスク面側の面と前記線材との間に空間ができるように取り付け、ハンダボール充填時にマスク面に接触しながらハンダボール充填ヘッドの進行方向に対して充填部が下向きになるように所望の速度で回転させる駆動部を備えたことを特徴とする。

ハンダボール充填ヘッドを上記構成とすることで、マスク開口面にハンダボールを充填するときに小さな押し圧力で確実にハンダボールを充填することができる共に、余剰ハンダボールもマスク面に残留する量を少なくできると言う効果がある。

ハンダボール印刷機の概略全体構成図である。 充填ヘッドを左方向に移動中の充填ヘッドとスウィーパヘッドの概略構成を示す図である。 充填ヘッドを右方向に移動中の充填ヘッドとスウィーパヘッドの概略構成を示す図である。 スウィーパヘッドが移動中の状態を示す図である。 充填部の正面図を示す。 図５のＡ−Ａ断面図を示す。 スリットスキージの取り付け前の平面図を示す。 スリットスキージをスキージホルダに固定する状況を示す図である。 充填ヘッド及びスウィーパヘッドの動作を説明する図である。 充填ヘッド及びスウィーパヘッドの動作を説明する図の続きである。

最近ハンダボールを電極部に印刷する方法が提案されている。特に、印刷対象のピッチが４０μｍ〜１５０μｍと小さくなる傾向にあり、ハンダボールのサイズも、φ２０〜φ１００μｍと小さなサイズのものを使用するようになってきている。そこで、小さなハンダボールも確実に精度良く印刷できる装置を提供するものである。

以下、図面を参照して、本発明のハンダボール印刷装置の好適な実施の形態について説明する。

図１に、ハンダボールを印刷するためのハンダボール印刷機の概略全体構成を示す。図１（ａ）にはマスクと基板の位置合わせを行っている状態を、図１（ｂ）には基板上にハンダボールを印刷している状態を示している。

ハンダボール印刷機１には、上下に移動可能なように駆動部２２を備えた印刷テーブル２１が設けてある。なお、印刷テーブル２１は、ＸＹθ方向に移動できるように、ＸＹθテーブルで構成されている。この印刷テーブル２１に磁石３３を敷き、その上に基板２０を載置する。また、印刷機本体１側にマスク枠９を介して取り付けてあるマスク８の面と、基板２０の面とをカメラ１８（２視野カメラ）を用いてそれぞれに設けた位置合わせマークを撮像して、図示していない制御部にて、画像処理してマークの位置ずれを求める。制御部では求めたずれ量を用いて、マーク位置が合うように基板２０を載置した印刷テーブル２１を水平方向（ＸＹθ方向）に駆動制御して、位置合わせを行う。印刷テーブル２１とマスク８の裏面側との間には、カメラ１８を移動するためのカメラ移動フレーム２４が設けてある。このカメラ移動フレーム２４は、図１の前後方向に移動可能に設けてある。

カメラ１８を用いて位置合わせを行った後、位置合わせ用のカメラ１８を退避させ、図１（ｂ）に示すように、駆動部２２を動作させて、基板２０を載置した印刷テーブル２１を上昇させ、上部に設けあるマスク８を基板２０の面に接触させる。その後、ヘッド上下駆動機構５を駆動して、充填ヘッド２（又は振込ヘッド２と称する場合もある）をマスク面側に降下させ、充填部３の充填部材を構成する複数の線材からなる充填部材（以下スリットスキージと称する場合もある）１２(図２参照)をマスク面に所定の押し圧力で接触させる。なお、充填部材１２は印刷する基板の幅方向と等しいか大きく作られており、充填ヘッド２を水平方向（基板の長手方向）に１回移動することで、ハンダボールをマスク開口部に充填できる。実際には、充填ヘッドを、基板長手方向に１往復させて、確実にマスク開口部に充填させている。充填ヘッドを水平方向に移動時には、充填部３に設けてある駆動機構１３(図５参照)を動作させて、充填部３を回転させる。充填部３は毎秒１〜５回転と比較的低速で回転させている。あまり高速で回転させるとスリットスキージ１２を構成している線材が、充填するハンダボールを切断して体積不良の原因となり、またマスクに余計な振動を与えダブルボールの原因となる恐れがある。次に、ヘッド駆動部（モータ）２ｇを駆動することでボールネジ２ｂを回転させ、充填ヘッド２を水平方向に移動させる。なお、図１に示すように、充填ヘッド２が移動しているときに、充填部３は、マスク面との接触部で充填ヘッド２の進行方向と同一方向に（ボール１１を掃き出すように）、所定の回転数で回転している。これにより、ハンダボールをマスク開口部に充填すると共に、周囲にハンダボール１１がマスク面上に残留しないように、掻き集める。このように充填部材の回転軸がマスク面に対し平行の位置に配置して回転させることにより、スリットスキージ１２のマスク面への押し圧力を小さくすることができ且つ回転軸に沿って広範囲に均一にボールの充填が可能である。

また、充填部３の回転速度も低速で良く、回転に伴うハンダボール１１の飛散も少なくできる。なお、充填部３の回転速度はハンダボール１１のサイズ、量などにより変えられるように、可変速のモータにしておいた方が望ましい。さらに、本装置にはマスク裏面を清掃するための清掃機構２５がカメラ移動フレーム２４に設けてあり、カメラ１８と同様、水平方向に移動できるように構成してある。また、充填ヘッド２の横にはスウィーパヘッド２６が設けてある。このスウィーパヘッド２６は充填ヘッド２が動作してハンダボール１１の充填が終了した後に、マスク面上に僅かに残留するハンダボールを印刷領域外に清掃するためのものである。スウィーパヘッド２６の詳細に関しては後述する。

図２及び図３に、充填ヘッドとスウィーパヘッドの全体構成の概略図を示す。図２は充填ヘッドが左側に移動する状態を示している。また、図３には充填ヘッドが右側に移動する状態を示している。

図２に示すように、充填ヘッド２は、充填部３がカバー４内に収納され、シリンダ５ａに設けられたピストン棒６ａがカバー支持部材１０に結合されており、シリンダ５ａを駆動することでカバー４と一緒に上下に移動できるように構成されている。カバー支持部材１０の端部側には、シリンダ５ｂに設けたピストン棒６ａより短いピストン棒６ｂの受けが設けてあり、シリンダ５ｂを駆動してピストン棒６ｂの停止位置を規定することで、ハンダボール充填部３を上側に持ち上げた場合に、充填ヘッド２の上昇高さを規定している。なお、カバー４は充填部３が回転することにより、充填されないハンダボール１１がカバー４の外側に飛散することを防ぐためのものである。また、印刷状態のとき（充填部３がマスク面に接触しているとき）は、このカバー４とマスク８面間には隙間が開くように形成してある。また、カバー４の前後にはカバー下部からカバー内に空気を吹き込みカバーの外のマスク面上にハンダボールが残留しないようにカバーの下端部に空気吹き付ける空気供給口を備えた空気供給部４ａが設けてある。空気供給部からカバー４内に吹き込まれた空気はカバー支持部材１０に設けた排気口４ｎから排出される。この排気口４ｎにはメッシュ状のフィルタ４ｆが設けてあり、ハンダボール１１がカバー４内から外部に飛散しないように構成してある。

なお、図２に示すように、充填ヘッド２を図の左側方向に移動するとき、充填部３は図に示すように時計回り方向に回転させる。また、図３に示すように充填ヘッド２が図の右側方向に移動するときは、充填部３は反時計回りに回転するように構成してある。このように、移動方向に応じて充填部３の回転方向を、ハンダボール１１が充填ヘッド２の進行側に掃き出されるように回転させること、及びカバー４ａより空気を吹き込むことで、ハンダボール１１の飛散の防止と、マスク開口部への充填量を確実に行い、且つ、マスク面への余剰ハンダボールの残留を極力低減することができる。また、カバー４内に空気の代わりに窒素などハンダボール１１の酸化を遅らせる気体を吹き込むようにしても良い。

充填部３はカバー４の長手方向の両端部に支持されている。カバー４はカバー支持部材１０を介してヘッド取り付け枠７の上部に設けたシリンダ５ａを構成するピストン棒６ａに支持されている。このヘッド取り付け枠７は図１で示したように印刷機本体に設けた、ボールネジ２ｂをモータ２ｇにより回転駆動することで図示していないリニアレール上を水平方向に往復移動する構成としてある。なお、ハンダボール印刷機１本体側には複数の開口を設けたマスク８を取り付けたマスク枠９を保持するマスク保持部が設けてある。印刷対象物である基板２０はハンダボール印刷機本体側に設けてあるＸＹθ及びＺ方向に移動可能な印刷テーブル２１の上に載置されている磁石３３の面上に保持されている。なお、この印刷テーブル上に設けた磁石３３は基板２０とマスク８を密着させるためのもので、マスク８はニッケル等の磁性体で形成されており、印刷テーブルを上昇させてマスク面に接触させたときに、磁力により基板２０とマスク８との密着性が更に向上するものである。

さらに、充填ヘッド２と並列に設けてあるスウィーパヘッド２６が、図示されていないボールネジまたはタイミングベルトに取り付けられている。このスウィーパヘッド２６は充填ヘッドと同様スウィーパ取り付け枠２９に取り付けられている。スウィーパ取り付け枠２９の上部にはスウィーパヘッド２６のスウィーパ部２７を上下に移動させる駆動源であるシリンダ５ｃが設けてある。スウィーパ部２７はスウィーパ支持部材１０ｓにスウィーパホルダ４ｓが取り付けられ、スウィーパホルダ４ｓの先端部にスウィーパ部材１２ｓが取り付けてある。このスウィーパ部材１２ｓは基本的に先に説明したハンダボール充填ヘッドに用いている充填部材と略同じ構成のものであり、詳細は後述する。また、スウィーパヘッド２６の駆動部には、充填ヘッド２と同様に、スウィーパヘッド２６の上昇高さを規定するシリンダ５ｄとピストン軸６ｄを備えている。

図４にスウィーパヘッドの動作中の状態を示す。スウィーパヘッド２６は充填ヘッド２でマスク面の開口部にハンダボール１１を充填し終わると、充填ヘッド２をマスク８の端部まで移動させる。次に、待機位置でマスク面上に待機しているスウィーパヘッド２６を矢印方向（図４の右方向）に移動させてマスク面上に残留するハンダボール１１をマスク面の充填ヘッド２が待機している側に収集する。その後、スウィーパヘッドを下降させた状態で、かつ、印刷テーブルを降下させて、基板面からマスクを離間させるものである。詳細な印刷動作に関しては後述する。

次に、充填部３の概略構造を説明する。図５に充填部の正面図を、図６に図５のＡ−Ａ断面図を示す。図７に充填部材であるスリットスキージの取り付け前の平面図を、図８にスリットスキージをスキージホルダに固定する状況を示す。

図５及び図６に示すように充填部３は、回転軸１６に設けた８角形の固定部材１５のそれぞれの辺に、充填部取り付け部材１４（以下、スキージホルダと称する場合もある）がボルト１７締めで固定してある。また固定部材１５は８角形に限定せず６角形〜１２角形の多角形でもよい。回転軸１６の両端側はベアリングを介してカバー４に支持してある。この回転軸１６の一方の端部には駆動機構１３が設けてあり、駆動機構１３を構成するモータを駆動することで所定の回転数で回転することができる。図５に示すように、充填部３は充填ヘッド２の進行方向に対して直角方向(基板の幅方向)が長く形成されている。この長さはハンダボールを印刷する基板２０の幅より長めに形成されている。これにより、基本的には、ハンダボール充填ヘッド２を水平方向にマスク面上を１回移動させるだけで基板２０の電極部の略全てにハンダボール１１を充填できる。充填部材１２の長さは図のようにＬｊの長さとしてあり、マスクの幅ＬｍはこのＬｊより大きく作られており、基板の幅Ｌｔはマスク幅Lｍ、充填部材の幅Ｌｊより小さく作られている。すなわち、Ｌｍ≧Ｌｊ≧Ｌｔの関係に有る。

図６に示すように、このスキージホルダ１４には、図７に示す複数の線材から構成されるスリットスキージ１２が取り付けてある。スキージホルダ１４の断面は図のように台形とし、長辺側を四角形とした形状としてある。そして台形の短辺側が中心軸を向くように取り付けて有る。断面形状を台形とすることでスリットスキージを円形上に効率よく取付けることができる。また、図８に示すようにスキージホルダ１４の四角形部分には長手方向に、所定の間隔を空けて磁石３１が埋め込まれている。この磁石３１は、スリットスキージ１２をスキージホルダに固定するために用いられる。なお、磁石と磁石の間には、位置決め用のピン３２が設けてあり、このピンがスリットスキージ１２の幅方向の両端部に設けてある固定部１２Ｐに設けた挿入孔１２Ｈに合致するようになっている。スリットスキージ１２は図７に示すように、厚さ０．０５〜０．１ｍｍの鋼板を用いて、スリット１２Ｓにより０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ間隔を設けて、線幅０．１ｍｍでθ＝５度〜３５度の傾斜で固定部１２Ｐを除いてエッチング加工することで複数の線材１２Ｌを一括形成してある。この幅方向の両端部に設けた固定部１２をスキージホルダ１４の両側に固定する。

次に、図８を用いてスリットスキージをこのスキージホルダに取り付け方を説明する。図８（ａ）には斜視図を、図８（ｂ）には断面図を示してある。

スキージホルダ１４には所定の間隔をあけて複数の位置決めピン３２が設けてあり、位置決めピン３２と位置決めピン３２の間には磁石３１が埋め込まれている。スリットスキージ１２を各スキージホルダ１４に取り付けるときは、スキージホルダ１４の両側に設けた位置決めピン３２にスリットスキージ１２の挿入孔１２Ｈにそれぞれ挿入する。その後、磁性材料で形成されたスキージ押え板３０に設けた挿入孔３０Ｈに位置決めピン３２を挿入することで、押さえ板３０に磁力が働き固定することができる。このように簡単に位置決めができ、簡単にスリットスキージ１２の取り付け、取り外しができるように構成してある。またこのような構造にすることで固定スペースを小さくすることができるので、スキージホルダ１４同士の間隔を小さくすることが可能である。スリットスキージ１２を構成する線材が、長手方向に対して所定方向に傾斜を有するように且つスキージホルダ１４に対して空間を形成するように取り付けられている。すなわち、スリットスキージが、長手方向に半螺旋状の線材で構成されたようになる。さらに、図５に示すように、スリットスキージ１２を構成する線材の傾斜方向は、隣り合うスキージホルダ１４毎に反対方向になるように取り付けてある。このように交互にスリットスキージ１２の傾斜方向を変えることで、マスク開口部に充填されずにマスク面上に残留する余剰ハンダボールを効率よく充填部側に回収することができる。

次に、ハンダボール印刷の一連の動作を図９及び図１０を用いて説明する。

まず電極部にフラックスの印刷された基板２０がハンダボール印刷機に搬入され印刷テーブル２１上の磁石３３上に載置される。印刷テーブル２１及び磁石３３には負圧を供給する吸着口が複数設けてあり、ここに負圧を供給することで基板２０が磁石３３上を移動しないように保持している。

次に、基板２０面に設けた位置合わせマークと、マスク８に設けてある位置合わせマークを、位置合わせ用のカメラ１８を用いて撮像する。撮像したデータは図示していない制御部に送られ、そこで画像処理され、位置ずれ量が求められ、その結果に基づいて、印刷テーブル２１が図示していない水平方向移動機構により、ずれを補正する方向に移動される。

位置合わせが終了すると、印刷テーブル２１の上昇機構２２駆動して印刷テーブル２１を上昇させてマスク８の裏面に接触させる。このときテーブル２１上の磁石３３によりマスク８を基板２０に密着させることができる。

次に、図示していないハンダボール供給装置によりマスク８の面の充填ヘッド２の初期位置（印刷開始位置）の進行方向前側部分にハンダボール１１を供給する。その後、充填ヘッド２を印刷開始位置に水平移動し、マスク面まで降下させる。なおこの時、充填部３はマスク面に所定の押し付け力が作用する位置まで降下させている。

次に、図９の（１）に示すように充填部３を時計回りに回転させる。その後、ハンダボール充填ヘッド２を、マスク面上を図の矢印の左方向に水平移動させる。このとき、空気供給部４ａからスリットスキージのあるカバー４の内側へ向けて空気を吹き込みながら移動する。また、このように、充填部３を回転させることで、マスク開口部ではハンダボール１１を開口部に押し込み、基板２０上のフラックスに付着させ、開口部以外の部分では充填部３がハンダボール１１をマスク面上の進行方向に移動させる。充填部３が基板端部に至ると、充填部３の回転を停止すると共に、空気供給部４ａからの空気の供給を停止、充填部３を上昇させる。その後、図の（２）のように充填ヘッド２を左方向に移動させる。このように、充填ヘッドを移動することで、次に充填するハンダボール１１の位置に対して、充填ヘッド２が後ろ側に位置するようになる。移動が終了すると、再び充填部３をマスク面に所定の押し付け圧で接触する位置まで降下させる。そして、図９の（３）に示すように空気供給部からカバー内への空気の供給を再開すると共に、充填部３を反時計回りに回転させ、充填ヘッド２を図の右側に移動させる。そして基板端部に近い位置に至ると、空気供給部からの空気の供給を停止し、図９（４）に示すように充填ヘッド２の充填部３を上昇させて、充填ヘッド２をさらに右側に移動させ図９（５）に示すように充填部３を下降させ、残ったハンダボール１１の位置が充填部３の左側に位置するようにする。その後、充填部をマスク面上に降下させた状態で待機状態とする。このように、本実施例では、充填ヘッド２を１往復させて、ハンダボールをマスク開口部に充填することで、確実に充填できるようにしている。

図９の（１）〜（４）の工程ではスウィーパヘッド２６はマスク８面にスウィーパ部２７を下降させた状態で待機している。次に、図９（６）に示すように、スウィーパヘッド２６を図の右側（充填ヘッド２の待機している側）に移動させる。充填ヘッド２の待機位置近傍まで移動させる。図１０の（７）に示すように、スウィーパヘッド２６が充填ヘッド２近傍に至ると、スウィーパ部２７を上昇させマスク面から離間させる。そして、スウィーパヘッド２６を初期の待機位置まで戻す。図１０の（８）に示すように待機位置に戻ると、再びスウィープ部２７をマスク面上まで降下させ、所定の接触圧で接触させる。図１０の（９）に示すように再度マスク面上を充填ヘッド２の待機位置近傍まで移動させる。この移動により、マスク面上に残留するハンダボール１１を完全に基板面から外れた位置に収集することができる。この清掃が完了すると充填ヘッド２及びスウィーパヘッド２６がマスク面に接触している状態で、印刷テーブル２１を降下させて基板２０をマスク面から離間させる。

なお、今回の説明では、スウィーパヘッド２６を２回動作させることで説明したが、複数回動作させることで、確実にマスク面上の残留ハンダボールを基板位置から離れた部分に移動させることができる。

さらにまた、今回の実施例では、充填ヘッド２でハンダボール１１をマスク開口部に充填した後にスウィーパヘッド２６を動作させて、マスク面上の残留するハンダボールを基板から離れたマスク面まで清掃するようにすることで説明したが、実施例の充填ヘッドを用いれば、マスク面に残留するハンダボールはほとんど無くなり、清掃が不要となることも考えられ、スウィーパヘッドを設ける必要がない場合もある。あるいは充填ヘッド２とスウィーパヘッド２６を一体ヘッドにして用いることも可能である。
また、図（６）〜（９）の工程で、充填ヘッド２が待機しているとき、空気供給部４ａからカバー４の内側へ向けて空気または窒素を吹き付けてもよい。このようにすることで、ハンダボール１１がカバーの外に洩れることを防止することが可能であり、ハンダボール１１の酸化を遅らせることができる。

次に、印刷された基板２０の印刷状態をカメラにて撮像し欠陥の有無を調べる。欠陥の有無を調べ終わると、清掃機構２５を駆動してマスク裏面の清掃を行う。なお、欠陥があればリペア部に基板２０を搬送しそこで欠陥部を修復する。欠陥部修復後リフロー部に基板を搬送し、ハンダボールを溶融固着させる。

以上、大まかなハンダボールの印刷の工程を述べたが、リペア部やリフロー部に関しては前述の装置とは別装置となるので、詳細な説明はしていない。

この工程中で、本発明のハンダボール供給ヘッドを用いることで、微少径のハンダボールを確実にマスク開口部からフラックス上に供給することが出来る。

１・・・ハンダボール印刷機、２・・・充填ヘッド、３・・・充填部、４・・・カバー、５・・・ヘッド上下駆動機構、７・・・ヘッド取り付け枠、８・・・マスク、１０・・・充填部支持部材、１０ａ・・・スウィーパ支持部材、１１・・・固定部材、１２・・・スリットスキージ、１４・・・充填部取り付け部材（スキージホルダ）、１６・・・回転軸、１８・・・カメラ、２０・・・基板、２１・・・印刷テーブル、３１・・・磁石、３２・・・位置決めピン、３３・・・磁石。

Claims (5)

1. フラックスが塗布された基板面に形成された複数の電極部に、マスクを介してハンダボールを印刷するハンダボール印刷機において、
   ハンダボールをマスクに設けられた開口部に充填する充填ヘッドを備え、
   前記充填ヘッドを構成する充填部が、回転軸に設けた外形が６角形〜１２画の多角形の固定部材の各面にスキージホルダをそれぞれ固定し、前記スキージホルダに充填ヘッドの進行方向に対して所定の角度を有するように、複数の線材で形成されるスリットスキージを前記スキージホルダのマスク面側の面と前記線材との間に空間ができるように取り付けたことを特徴とするハンダボール印刷機。
2. 請求項１に記載のハンダボール印刷機において、前記スキージホルダに取り付けたスリットスキージの傾斜方向が隣のスキージホルダに取り付けたスリットスキージの傾斜方向と逆の方向になるように取り付けたことを特徴とするハンダボール印刷機。
3. 請求項１に記載のハンダボール印刷機において、
   充填ヘッドがマスク面上に水平方向に移動するとき、移動方向に対して前記充填部材の接触部が移動方向に対して同一方向に回転する軸を設けたことを特徴とするハンダボール印刷機。
4. 請求項１に記載のハンダボール印刷機において、
   前記充填ヘッドと並列にスウィーパヘッドを設け、前記スウィーパヘッドがスイープホルダに前記スリットスキージと同じ形状のスウィーパ部材を取り付けた構成であり、前記スウィープヘッドでマスク面上を清掃中は前記充填ヘッドをマスク面に接触させた状態で待機させることを特徴とするハンダボール印刷機。
5. 請求項１に記載のハンダボール印刷機において、充填ヘッドの外側から内側へ空気または酸化を遅らせる気体を吹き込み、ハンダボールが充填ヘッドの外側に洩れるのを防ぐことを特徴としたハンダボール印刷機。

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