JP2015139224A - 電圧電流供給回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アクティブ・シャントSMU回路400は、アクティブ・シャント回路を有するSMU回路であり、このアクティブ・シャント回路がSMU回路の電流測定サブ回路に組み込まれる。このアクティブ・シャント回路は、SMU回路が電圧供給モード時にはアクティブとなって、電流検出抵抗RSを見かけ上小さくする一方、電流供給モード時には非アクティブとなる。
【選択図】図4
Description
上記DUTと電気的に結合される出力端子と、
上記出力端子と電気的に結合される電力供給回路とを具え、
上記電力供給回路は、上記出力端子に印加する電圧を制御することで上記出力端子を通して供給される電流が変化する電圧制御機能と、上記出力端子を通して供給する上記電流を制御することで上記出力端子に印加される電圧が変化する電流制御機能とを有し、
上記電力供給処理回路は、上記出力端子と直列で、上記出力端子を通して供給される電流を測定するための、少なくとも1つの検出抵抗器を有し、
上記電力供給処理回路が上記出力端子に印加する上記電圧を制御する場合には、制御フィードバック利得を少なくとも1つの上記検出抵抗器に適用して、上記電圧制御機能における見かけ上の抵抗(apparent resistance)を小さくすることを特徴としている。
上記出力端子と電気的に結合される第1増幅器と、
上記出力端子と第1スイッチとの間に電気的に結合される第2増幅器と、
上記出力端子と第2スイッチとの間に電気的に結合される第1利得段増幅器と、
上記第2スイッチと上記第1利得段増幅器との間に電気的に結合される第2利得段増幅器と、
上記第2利得段増幅器と上記第1抵抗器R0との間に電気的に結合される第2抵抗器R1と、
上記第2抵抗器R1と電気的に並列に結合される第2コンデンサC1とを有している。
208 第2増幅器
210 バッファ
212 第1利得段増幅器
214 第2利得段増幅器
216 SMUの出力端子
C0 第1コンデンサ
C1 第2コンデンサ
DUT 被試験デバイス
S1 第1スイッチ
S2 第2スイッチ
S3 第3スイッチ
SW スイッチ
Claims (2)
- 被試験デバイス(DUT)に電圧及び電流を供給する回路であって、
上記DUTと電気的に結合される出力端子と、
上記出力端子と電気的に結合される電力供給回路とを具え、
上記電力供給回路は、上記出力端子に印加する電圧を制御することで上記出力端子を通して供給される電流が変化する電圧制御機能と、上記出力端子を通して供給する上記電流を制御することで上記出力端子に印加される電圧が変化する電流制御機能とを有し、
上記電力供給処理回路は、上記出力端子と直列で、上記出力端子を通して供給される電流を測定するための、少なくとも1つの検出抵抗器を有し、
上記電力供給処理回路が上記出力端子に印加する上記電圧を制御する場合には、制御フィードバック利得を少なくとも1つの上記検出抵抗器に適用して、上記電圧制御機能における見かけ上の抵抗を小さくすることを特徴とする電圧電流供給回路。 - 上記電力供給回路が上記出力端子を通して供給する上記電流を制御する場合には、上記制御フィードバック利得を少なくとも1つの上記検出抵抗器に適用しないことを特徴とする請求項1記載の電圧電流供給回路。
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