JP2015135932A - ペルチェ冷却型icパッケージ - Google Patents
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Description
ペルチェ素子は熱を電気の力で移動させるものであるため、ペルチェ素子を用いて受光素子を冷却するためには、ペルチェ素子の下面において移動された熱に加えてペルチェ素子を駆動するための電力により発生する熱の放熱が必要になる。そのため、冷却効率を向上するためには、ペルチェモジュールの放熱側セラミック板4側における熱抵抗を極力小さくし、下部に発生する熱を有効にヒートシンク22に排熱することが求められる。また、外気を遮断するなど、パッケージ表面の冷却に伴う結露対策を講じる必要がある。
この問題を解決するために、図6に示すようにセラミックICパッケージ14のキャビティ底面上にペルチェ素子接続用電極5を形成し、ペルチェ素子1,2を直接ICパッケージ14に実装することにより、パッケージ底面における熱抵抗を低減し、冷却効率を向上する。更に従来のペルチェ素子用下部セラミック板4および電線6を省略する。
図6に示したセラミックパッケージは、上端に、気密シール用のコバールリング27がロウ付けされているが、同様な構造を底面にも設けることにより、パッケージの底面を金属に置き換えることが可能となり、更に放熱特性を向上することができる。この場合、放熱側セラミック板4をフレキシブル基板に置換し、ペルチェ結晶を予めフレキシブル基板に固定したペルチェ素子を底面の金属上に接着する。
厚さは0.4mm(セラミック0.385mm、銅配線厚さ0.015mm)、寸法は14mm角である。組立方法は、図6のCLCC52型パッケージにガイドを挿入し、図8のペルチェ素子配列板の両端にクリーム半田を塗布しキャビティ内に挿入した。更に図9に示す冷却側セラミック板3を乗せ、加重を加えながら200℃にて半田融着した。
本実施例で使用したペルチェ素子の基本性能は、100ヶのペルチェ素子が縦列接合されており、最大吸熱量3.8W、最大温度差70℃、内部抵抗5.2Ω、最大電圧6.5V、最大電流1Aである。
その後、removerPG液、メタノールによる洗浄を行い、更に150℃にて乾燥させた。これらの比較的簡単な工程により、プラスティック製支持板を伴わない、真空ハーメティックシール用ペルチェ冷却型ICパッケーが実現した。
2 N型ペルチェ素子
3 冷却側セラミック板
4 放熱側セラミック板
5 金属電極
6 電線
7 サーミスタ
8 ボンディングスタブ
9 金属パッケージ
10 PDアレイ
11 電流アンプアレイ
12 ボンディングワイヤー
13 窓付き蓋
14 セラミックパッケージ
20 撮像モジュール
21 ペルチェモジュール
22 ヒートシンク
23 支持板
24 キャビティ深さ
25 パッケージの外側電極
26 パッケージ側ボンディングパッド
27 外周リング
Claims (6)
- IC用パッケージ等のキャビティ底面にペルチェ素子用の放熱側電極がアレイ状に形成されており、該アレイ電極の少なくとも2箇所がパッケージ外部端子と電気的に結線されており、ペルチェ素子を該アレイ状電極に直接実装することにより、ペルチェモジュールにワイヤー配線する事無しに給電可能なペルチェモジュールが組み込まれた、ペルチェ冷却型ICパッケージ。
- 請求項1において、パッケージ内部に撮像素子、上部に光学窓が装着され、気密封止されたペルチェ冷却型撮像モジュール。
- 請求項1におけるパッケージのパッケージ側ボンディングパッドが、メタライズされたセラミック製であり、ペルチェ素子の上に搭載されたICのボンディングパッドと高さ、および端子配列が整合され、該ICとボンディングワイヤーによる配線可能なペルチェ冷却型ICパッケージ。
- 請求項1におけるパッケージが、セラミック製であり、パッケージの接続端子が、既存セラミックパッケージのセラミックリードレスチップキャリア(CLCC)型あるいは、セラミックピングリッドアレイ(CPGA)型あるいは、ジェーリードハイブリットパッケージであるペルチェ冷却型ICパッケージ。
- 請求項1において、該ペルチェモジュールが、特許35188845により製造されたペルチェ素子配列板からなるペルチェ冷却型ICパッケージ。
- 請求項5により形成されたペルチェ素子配列板の支持板がペルチェ素子実装後に除去されたことを特徴とするペルチェ冷却型ICパッケージ。
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