JP2015135241A - 導電率測定器、海洋観測システム、および導電率測定器の製造方法 - Google Patents
導電率測定器、海洋観測システム、および導電率測定器の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015135241A JP2015135241A JP2014005717A JP2014005717A JP2015135241A JP 2015135241 A JP2015135241 A JP 2015135241A JP 2014005717 A JP2014005717 A JP 2014005717A JP 2014005717 A JP2014005717 A JP 2014005717A JP 2015135241 A JP2015135241 A JP 2015135241A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductivity
- flow path
- sensor
- measuring device
- arrangement surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
【解決手段】導電率測定器7は、液体の導電率を検出する導電率センサ14と、基板12と、流路形成部材13と、を備える。基板13は、導電率センサ12が配置されたセンサ配置面12aを含む。流路形成部材13は、基板12に接合され、センサ配置面12aとで流路19を画定する。そして、導電率センサ14は、流路19内に位置している。導電率測定器7はセンサ配置面12aに配され流路19内に位置する温度センサ15をさらに含んでいてもよい。温度センサ15は、流路19内を流れる液体の流れ方向に関して、導電率センサ14の両側に配置されていてもよい。
【選択図】図3
Description
図2は、本発明の第1の実施形態に係る導電率測定器7の斜視図である。図3は、図2に示される導電率測定器7のA−A断面における断面図である。図4は、図2に示される基板の斜視図である。図5は、図2に示される流路形成部材を、基板の側から見た斜視図である。
続いて、本発明の第2の実施形態に係る導電率測定器7について、図13を用いて説明する。図13は、本実施形態に係る導電率測定器7の分解斜視図である。なお、第1の実施形態に係る導電率測定器7(図2ないし図5参照)の構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。
続いて、本発明の第3の実施形態に係る導電率測定器7について、図14ないし図16を用いて説明する。図14は本実施形態に係る導電率測定器7の斜視図である。図15は、図14に示される流路形成部材13を、基板12の側から見た斜視図である。図16は、図14に示される導電率測定器7のB−B断面における断面図である。
続いて、本発明の第3の実施形態に係る導電率測定器7について、図17を用いて説明する。図17は、本実施形態に係る導電率測定器7の分解斜視図である。なお、第1の実施形態に係る導電率測定器7(図2ないし図5参照)の構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。また、本実施形態に係る導電率測定器7の断面図は、図16に示される断面図と同じなので、ここでは省略する。
以下、実施例を用いて本発明をより具体的に説明する。なお、ここでは、図2ないし図5に示される導電率測定器7において、導電率センサ14を3極式導電率センサとして実施例を説明する。
12 基板
12a センサ配置面
13 流路形成部材
14 導電率センサ
15 温度センサ
16 圧力センサ
19 流路
20 流入口
21 流出口
Claims (16)
- 液体の導電率を検出する導電率センサと、
前記導電率センサが配されたセンサ配置面を含む基板と、
前記基板に接合され、前記センサ配置面とで流路を画定する流路形成部材と、を備え、
前記導電率センサが前記流路内に位置している、導電率測定器。 - 前記センサ配置面に配され前記流路内に位置する温度センサをさらに含む、請求項1に記載の導電率測定器。
- 前記温度センサは、前記流路内を流れる液体の流れ方向に関して、前記導電率センサの両側に配置されている、請求項2に記載の導電率測定器。
- 前記センサ配置面に配され前記流路内に位置する圧力センサをさらに含む、請求項1ないし3のいずれか1項に記載の導電率測定器。
- 前記導電率センサが複数の電極を含み、
前記電極が、前記センサ配置面上に形成されたTi膜と、該Ti膜上に形成されたPt膜と、を含む構造、または、前記センサ配置面上に形成されたAg膜と、該Ti膜上に形成されたPt膜と、を含む構造である、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の導電率測定器 - 前記流路の流入口および流出口の少なくとも一方に設けられたバルブをさらに備える、請求項1ないし5のいずれか1項に記載の導電率測定器。
- 前記流路に接続されたポンプをさらに備える、請求項1ないし6のいずれか1項に記載の導電率測定器。
- 前記流路の、液体の流れ方向と交わる断面は、該流れ方向に関して前記流路の中間部から前記流路の流入口および流出口の少なくとも一方へ向かうにつれて大きくなっている、請求項1ないし6のいずれか1項に記載の導電率測定器。
- 前記流路形成部材は、貫通穴が形成された第1の部材と、前記貫通穴の一方の開口を覆う第2の部材と、を含み、
前記貫通穴内に前記導電率センサが位置するように前記貫通穴の他方の開口が前記センサ配置面で覆われており、
前記流路が、前記貫通穴の内側面と前記第2の部材と前記センサ配置面とで画定されている、請求項1ないし8のいずれか1項に記載の導電率測定器。 - 前記流路形成部材は、前記センサ配置面上に間隔をおいて並べられた第1および第2の部材と、前記第1および第2の部材の、前記センサ配置面の側とは反対の側に前記間隔を跨いで接合された第3の部材と、を含み、
前記導電率センサが前記第1および第2の部材の間に位置しており、
前記流路が、前記センサ配置面と前記第1の部材と前記第2の部材と前記第3の部材とで画定されている、請求項1ないし8のいずれか1項に記載の導電率測定器。 - 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の導電率測定器を備え、前記導電率測定器で測定された海水の導電率に基づいて海水の塩分濃度を得ることを含む、海洋観測システム。
- センサ配置面を含む基板と、前記センサ配置面とで流路を画定する流路形成部材と、を用意する用意工程と、
前記センサ配置面に電極を配設して導電率センサを形成する工程と、
前記流路内に前記導電率センサが位置するように前記基板に対して前記流路形成部材の位置を合わせ、前記基板に前記流路形成部材を接合する接合工程と、を含む、導電率測定器の製造方法。 - 前記センサ配置面に温度センサを配設する工程を前記接合工程の前に含み、
前記接合工程において、前記流路内に前記温度センサが位置するように前記基板に対して前記流路形成部材の位置を合わせる、請求項12に記載の導電率測定器の製造方法。 - 前記センサ配置面に圧力センサを配設する工程を前記接合工程の前に含み、
前記接合工程において、前記流路内に前記圧力センサが位置するように前記基板に対して前記流路形成部材の位置を合わせる、請求項12または13に記載の導電率測定器の製造方法。 - 前記用意工程において用意される前記流路形成部材は、貫通穴が形成された第1の部材と、前記第1の部材から分離された第2の部材と、を含み、
前記接合工程は、
前記貫通穴の一方の開口が前記センサ配置面で覆われかつ前記導電率センサが前記貫通穴内に位置するように前記基板に対して前記第1の部材の位置を合わせ、前記基板に前記第1の部材を接合する第1の接合工程と、
前記第2の部材で前記貫通穴の他方の開口を覆うように前記第1の部材に対して前記第2の部材の位置を合わせ、前記第1の部材に前記第2の部材を接合する第2の接合工程と、
を含む、請求項12ないし14のいずれか1項に記載の導電率測定器の製造方法。 - 前記用意工程において用意される前記流路形成部材は、互いに分離された第1、第2および第3の部材を含み、
前記接合工程は、
前記導電率センサが前記第1および第2の部材の間に位置するように間隔をおいて前記第1および第2の部材を前記センサ配置面上に並べ、該第1および第2の部材を前記基板に接合する第1の接合工程と、
前記第3の部材が、前記第1および第2の部材の、前記センサ配置面の側とは反対の側で前記間隔を跨ぐように前記第1および第2の部材に対して前記第3の部材の位置を合わせ、前記第3の部材を前記第1および第2の部材に接合する第2の接合工程と、
を含む、請求項12ないし14のいずれか1項に記載の導電率測定器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014005717A JP2015135241A (ja) | 2014-01-16 | 2014-01-16 | 導電率測定器、海洋観測システム、および導電率測定器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014005717A JP2015135241A (ja) | 2014-01-16 | 2014-01-16 | 導電率測定器、海洋観測システム、および導電率測定器の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015135241A true JP2015135241A (ja) | 2015-07-27 |
Family
ID=53767171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014005717A Pending JP2015135241A (ja) | 2014-01-16 | 2014-01-16 | 導電率測定器、海洋観測システム、および導電率測定器の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015135241A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105548720A (zh) * | 2015-12-18 | 2016-05-04 | 北京佰纯润宇生物科技有限公司 | 电导率传感器及其制造方法 |
EP3499226A1 (en) | 2017-12-15 | 2019-06-19 | HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. | Electromagnetic sensor, method of calibrating electromagnetic sensor and electrochemical measurement method using electromagnetic sensor |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6415156U (ja) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | ||
JP2003042947A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Mitsubishi Chemicals Corp | 表面プラズモン共鳴セル及びそれを利用した試料流体の分析方法 |
JP2004053580A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Rion Co Ltd | 合成コランダムセル |
JP2004154898A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Aida Eng Ltd | マイクロチップの製造方法 |
JP2004538440A (ja) * | 2000-05-01 | 2004-12-24 | アレーテ・アソシエイツ | 液体の伝導度、温度および深度のためのセンサおよびセンサ・システム |
JP2006116479A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Nagano Keiki Co Ltd | マイクロチップ、センサ一体型マイクロチップ、およびマイクロチップシステム |
JP2009511886A (ja) * | 2005-10-14 | 2009-03-19 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | ポイント・オブ・ケア・オスモル濃度検査のための方法および装置 |
US20130209991A1 (en) * | 2012-01-10 | 2013-08-15 | Northeastern University | Wireless swnt sensor integrated with microfluidic system for various liquid sensing applications |
-
2014
- 2014-01-16 JP JP2014005717A patent/JP2015135241A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6415156U (ja) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | ||
JP2004538440A (ja) * | 2000-05-01 | 2004-12-24 | アレーテ・アソシエイツ | 液体の伝導度、温度および深度のためのセンサおよびセンサ・システム |
JP2003042947A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Mitsubishi Chemicals Corp | 表面プラズモン共鳴セル及びそれを利用した試料流体の分析方法 |
JP2004053580A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Rion Co Ltd | 合成コランダムセル |
JP2004154898A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Aida Eng Ltd | マイクロチップの製造方法 |
JP2006116479A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Nagano Keiki Co Ltd | マイクロチップ、センサ一体型マイクロチップ、およびマイクロチップシステム |
JP2009511886A (ja) * | 2005-10-14 | 2009-03-19 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | ポイント・オブ・ケア・オスモル濃度検査のための方法および装置 |
US20130209991A1 (en) * | 2012-01-10 | 2013-08-15 | Northeastern University | Wireless swnt sensor integrated with microfluidic system for various liquid sensing applications |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105548720A (zh) * | 2015-12-18 | 2016-05-04 | 北京佰纯润宇生物科技有限公司 | 电导率传感器及其制造方法 |
EP3499226A1 (en) | 2017-12-15 | 2019-06-19 | HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. | Electromagnetic sensor, method of calibrating electromagnetic sensor and electrochemical measurement method using electromagnetic sensor |
CN109932398A (zh) * | 2017-12-15 | 2019-06-25 | 株式会社堀场先进技术 | 电磁传感器 |
JP2019109097A (ja) * | 2017-12-15 | 2019-07-04 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 電磁気センサ |
US11119065B2 (en) | 2017-12-15 | 2021-09-14 | Horiba Advanced Techno, Co., Ltd. | Electromagnetic sensor |
JP7173731B2 (ja) | 2017-12-15 | 2022-11-16 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 電磁気センサ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4979788B2 (ja) | 流量センサーおよび流量検出装置 | |
US7905140B2 (en) | Device with flow sensor for handling fluids | |
US8910656B2 (en) | Fluid controller | |
JP5594541B2 (ja) | 圧力検出器 | |
EP2100131B1 (en) | Conductivity sensor | |
EP3332227B1 (en) | Mems flow sensor | |
JP2015135241A (ja) | 導電率測定器、海洋観測システム、および導電率測定器の製造方法 | |
CN106645306A (zh) | 电导率传感器的电极装置 | |
JP4994058B2 (ja) | 圧力測定装置および圧力測定方法 | |
CN103076500A (zh) | 共烧结构的电导率传感器及其制作方法 | |
JP2008111778A (ja) | ピラニ真空計および圧力測定方法 | |
CN104458871A (zh) | 电化学传感器 | |
JP2009074945A (ja) | フローセンサ | |
JP2589593B2 (ja) | 電磁誘導式導電率計 | |
US20190187084A1 (en) | Electrode assembly for conductivity meter or resistivity meter, conductivity meter and resistivity meter using the same electrode assembly | |
AU2018238375B2 (en) | Apparatus comprising device for determining an especially geometrical property of the apparatus | |
JP2009180621A (ja) | 差圧測定装置 | |
JP2019027881A (ja) | 測定装置 | |
JP4986504B2 (ja) | 電磁式流量計測装置 | |
JP2005207755A (ja) | 電磁流量計 | |
JP2015059848A (ja) | 磁気式酸素分析計及び磁気式酸素分析計用センサユニット | |
JP2005189207A (ja) | 基板処理装置およびそれに用いられる処理液濃度測定装置 | |
JP2019039855A (ja) | 測定装置 | |
CN109932129A (zh) | 一种表面接触式水压力传感器的快速标定方法 | |
RU2248529C2 (ru) | Массовый расходомер |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161027 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170828 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180327 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20181002 |