JP2589593B2 - 電磁誘導式導電率計 - Google Patents
電磁誘導式導電率計Info
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- JP2589593B2 JP2589593B2 JP2285098A JP28509890A JP2589593B2 JP 2589593 B2 JP2589593 B2 JP 2589593B2 JP 2285098 A JP2285098 A JP 2285098A JP 28509890 A JP28509890 A JP 28509890A JP 2589593 B2 JP2589593 B2 JP 2589593B2
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- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/023—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance where the material is placed in the field of a coil
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/22—Measuring resistance of fluids
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体試料に励磁変圧器からの電磁誘導によ
って電流を流し、この電流を検出変圧器によって検出し
て前記試料中の導電率を測定する電磁誘導式導電率計に
関する。
って電流を流し、この電流を検出変圧器によって検出し
て前記試料中の導電率を測定する電磁誘導式導電率計に
関する。
上記電磁誘導式導電率計として、液体タンクや反応槽
中の液体試料に検出器部を浸漬する浸漬形導電率計と液
体試料が流れるパイプラインなどの途中に検出器部を設
けて、試料が検出器部を流通するようにした流通形導電
率計が知られている。
中の液体試料に検出器部を浸漬する浸漬形導電率計と液
体試料が流れるパイプラインなどの途中に検出器部を設
けて、試料が検出器部を流通するようにした流通形導電
率計が知られている。
そして浸漬形導電率計は、検出器部を大型の液体タン
クなどに浸漬するとこもあって一般にその構成が非常に
大型になり、タンク内の液面高さによって全長を加減す
る必要があるなど取扱いが非常に面倒である。
クなどに浸漬するとこもあって一般にその構成が非常に
大型になり、タンク内の液面高さによって全長を加減す
る必要があるなど取扱いが非常に面倒である。
また、流通形導電率計では、実開平２−16067号公報
により第６図に示すような構成のものが知られている
が、励磁変圧器ａと検出変圧器ｂの中心孔に挿入された
管状体ｃが可撓性チューブで、管体ｄがプラスチック成
型で薄肉状に形成されているため、液体試料の温度変化
による膨張・収縮、試料流路中に設けたフィルターの目
詰りやポンプに起因する圧力変動、あるいは試料流路中
に設けた弁の閉止時のウォーターハンマーやポンプによ
る振動の影響を受けて、これら管状体（可撓性チュー
ブ）ｃ、プラスチック管体ｄが変形しやすく、セル定数
を正確に一定に保つことが困難であり、精度の高い測定
を行うことができなかった。
により第６図に示すような構成のものが知られている
が、励磁変圧器ａと検出変圧器ｂの中心孔に挿入された
管状体ｃが可撓性チューブで、管体ｄがプラスチック成
型で薄肉状に形成されているため、液体試料の温度変化
による膨張・収縮、試料流路中に設けたフィルターの目
詰りやポンプに起因する圧力変動、あるいは試料流路中
に設けた弁の閉止時のウォーターハンマーやポンプによ
る振動の影響を受けて、これら管状体（可撓性チュー
ブ）ｃ、プラスチック管体ｄが変形しやすく、セル定数
を正確に一定に保つことが困難であり、精度の高い測定
を行うことができなかった。
さらに、その構造上、堅牢性、シール性に欠け、特に
液体試料がフッ酸など腐蝕性が高い成分を含む場合、腐
蝕に起因して液体試料（たとえば洗浄液）中に有害成分
が混入し、たとえば洗浄対象品を損耗するなどの害があ
り、このシール性に劣ることは致命的な欠点となってい
た。
液体試料がフッ酸など腐蝕性が高い成分を含む場合、腐
蝕に起因して液体試料（たとえば洗浄液）中に有害成分
が混入し、たとえば洗浄対象品を損耗するなどの害があ
り、このシール性に劣ることは致命的な欠点となってい
た。
又、励磁変圧器ａと検出変圧器ｂを装着した管状体ｃ
を接続部e,fに精度よく組み付けるには相当の手数を要
する欠点もあった。
を接続部e,fに精度よく組み付けるには相当の手数を要
する欠点もあった。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、そ
の目的とするところは、セル定数を一定に保つことがで
きて精度の高い測定を行うことができ、且つ堅牢性、シ
ール性に優れ、さらに組立てが容易な電磁誘導式導電率
計を提供することにある。
の目的とするところは、セル定数を一定に保つことがで
きて精度の高い測定を行うことができ、且つ堅牢性、シ
ール性に優れ、さらに組立てが容易な電磁誘導式導電率
計を提供することにある。
上述の目的を達成するため、本発明に係る電磁誘導式
導電率計は、絶縁性樹脂よりなり、液体試料の流れ方向
に分割された複数の塊状ブロック体を一体化して検出器
ブロックを構成し、この検出器ブロックの中央には孔を
設けて中央流路を形成し、この中央流路の周囲に環状の
励磁変圧器及び検出変圧器を配置し、さらに、これら両
変圧器の外周に、両変圧器に非接触の状態で孔を設けて
外周流路を形成し、前記中央流路と前記各外周流路を流
入側及び流出側において連通させてなる点に特徴があ
る。
導電率計は、絶縁性樹脂よりなり、液体試料の流れ方向
に分割された複数の塊状ブロック体を一体化して検出器
ブロックを構成し、この検出器ブロックの中央には孔を
設けて中央流路を形成し、この中央流路の周囲に環状の
励磁変圧器及び検出変圧器を配置し、さらに、これら両
変圧器の外周に、両変圧器に非接触の状態で孔を設けて
外周流路を形成し、前記中央流路と前記各外周流路を流
入側及び流出側において連通させてなる点に特徴があ
る。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図乃至第３図は本発明に係る電磁誘導式導電率計
を示し、Ａは検出器ブロック、1,2はそれぞれ硬質塩化
ビニル、ポリプロピレン、ポリフッ化ビニリデンあるい
は四フッ化エチレン（商品名テフロン）などの絶縁性お
よび耐腐食性に優れた絶縁性樹脂よりなる塊状のブロッ
ク体であり、円形中心まわりの４個のビスａ及びブロッ
ク体１の凹部1bとブロック体２の凸部2bの嵌合によって
止着され、ブロック体1,2とが一体化されている。な
お、ブロック体1,2を溶接により一体化してもよい。
を示し、Ａは検出器ブロック、1,2はそれぞれ硬質塩化
ビニル、ポリプロピレン、ポリフッ化ビニリデンあるい
は四フッ化エチレン（商品名テフロン）などの絶縁性お
よび耐腐食性に優れた絶縁性樹脂よりなる塊状のブロッ
ク体であり、円形中心まわりの４個のビスａ及びブロッ
ク体１の凹部1bとブロック体２の凸部2bの嵌合によって
止着され、ブロック体1,2とが一体化されている。な
お、ブロック体1,2を溶接により一体化してもよい。
そして、前記ブロック体1,2の円形中央部には、貫通
孔ｃが形成されていて、上記一体化の状態で互いに直線
状に連通する試料流路Ｂが構成されている。なお、Ｂ′
は試料流入口、Ｂ″は試料流出口である。
孔ｃが形成されていて、上記一体化の状態で互いに直線
状に連通する試料流路Ｂが構成されている。なお、Ｂ′
は試料流入口、Ｂ″は試料流出口である。
また、ブロック体1,2の外周部には、上記一体化の状
態でコの字形に構成された試料流路としての外周流路Ｃ
が２本設けられており（第１図及び第２図参照）、これ
ら中央流路Ｂと外周流路Ｃとは、試料流入口Ｂ′及び試
料流出口Ｂ″近傍において連通するように構成されてい
る。
態でコの字形に構成された試料流路としての外周流路Ｃ
が２本設けられており（第１図及び第２図参照）、これ
ら中央流路Ｂと外周流路Ｃとは、試料流入口Ｂ′及び試
料流出口Ｂ″近傍において連通するように構成されてい
る。
なお、前記ブロック体1,2の間には、シール用Ｏリン
グ３を介装してある。また、ブロック体1,2には、継手
用突出部1c,2cが設けられており、例えば、継手用突出
部1c,2cを介して液体試料が流れるパイプラインの途中
に検出器ブロックＡを接続することができる。
グ３を介装してある。また、ブロック体1,2には、継手
用突出部1c,2cが設けられており、例えば、継手用突出
部1c,2cを介して液体試料が流れるパイプラインの途中
に検出器ブロックＡを接続することができる。
次に、４は中央流路Ｂと外周流路Ｃとの間に設けられ
た環状の検出器部であり、この検出器部４には、金属製
のケース5,6にそれぞれ収容された環状の鉄心にコイル
を巻き付けてなる励磁変圧器７及び検出変圧器８を設置
してある。さらに、本実施例では、２本の外周流路Ｃ
は、両変圧器7,8の外周に、両変圧器7,8に非接触の状態
で設けられている。
た環状の検出器部であり、この検出器部４には、金属製
のケース5,6にそれぞれ収容された環状の鉄心にコイル
を巻き付けてなる励磁変圧器７及び検出変圧器８を設置
してある。さらに、本実施例では、２本の外周流路Ｃ
は、両変圧器7,8の外周に、両変圧器7,8に非接触の状態
で設けられている。
また、励磁変圧器７及び検出変圧器８からのリード線
９は細孔10を通ってそれぞれ図外の電源及び分析部に接
続されている（第３図参照）。11は温度センサで、その
センサ部を流路Ｂに臨ませる状態でブロック体２に設け
てある。これにより、試料の温度を測定し、その温度変
化に対する補正演算を行うことによって高精度な導電率
測定が可能であるが、試料自体が恒温槽などによって一
定温度に保たれている場合などには特に設ける必要性は
ない。
９は細孔10を通ってそれぞれ図外の電源及び分析部に接
続されている（第３図参照）。11は温度センサで、その
センサ部を流路Ｂに臨ませる状態でブロック体２に設け
てある。これにより、試料の温度を測定し、その温度変
化に対する補正演算を行うことによって高精度な導電率
測定が可能であるが、試料自体が恒温槽などによって一
定温度に保たれている場合などには特に設ける必要性は
ない。
而して、上記構成による検出器ブロックＡを用いて試
料の導電率の測定を行う場合、例えば、継手用突出部1
c,2cを介して図外のパイプラインの途中に検出器ブロッ
クＡを接続し、パイプラインを流れる液体試料が試料流
入口Ｂ′を介して矢印Ｄの方向から流入して、該試料は
中央流路Ｂ及び外周流路Ｃとに分流し（即ち、励磁変圧
器７及び検出変圧器８の中心部及び外周部を流れること
により）、試料中の電解質物質の導電率に応じた誘導電
流を励磁変圧器７から試料中に発生し、この電流を検出
変圧器８によって検出することにより、試料の導電率が
測定される。その後、中央流路Ｂ及び外周流路Ｃを流れ
た試料は、再び合流して試料流出口Ｂ″を介して矢印Ｅ
の方向へ流れていく。
料の導電率の測定を行う場合、例えば、継手用突出部1
c,2cを介して図外のパイプラインの途中に検出器ブロッ
クＡを接続し、パイプラインを流れる液体試料が試料流
入口Ｂ′を介して矢印Ｄの方向から流入して、該試料は
中央流路Ｂ及び外周流路Ｃとに分流し（即ち、励磁変圧
器７及び検出変圧器８の中心部及び外周部を流れること
により）、試料中の電解質物質の導電率に応じた誘導電
流を励磁変圧器７から試料中に発生し、この電流を検出
変圧器８によって検出することにより、試料の導電率が
測定される。その後、中央流路Ｂ及び外周流路Ｃを流れ
た試料は、再び合流して試料流出口Ｂ″を介して矢印Ｅ
の方向へ流れていく。
第４図及び第５図は本発明の別実施例であり、外周流
路Ｆを平面視半円状に設けたものである。なお、上記別
実施例において、第１図乃至第３図に示す符号と同一の
ものは同一物または相当物を示し、その説明は省略す
る。
路Ｆを平面視半円状に設けたものである。なお、上記別
実施例において、第１図乃至第３図に示す符号と同一の
ものは同一物または相当物を示し、その説明は省略す
る。
また本実施例では、液体試料の流れ方向（D,E）に分
割された２個の塊状ブロック体1,2による一体型のもの
を採用しており、各ブロック体1,2はそれぞれ精度よく
製作できるものである。このため、精度よく製作された
ブロック体同士1,2を、その後の組み立て時に、例え
ば、溶接により一体化するだけで検出器ブロックＡを組
み立てることができるものであって、励磁変圧器７及び
検出変圧器８が所望のセル定数を有する位置からスレる
こと無く、検出器ブロックを容易に組み立てることがで
きる。
割された２個の塊状ブロック体1,2による一体型のもの
を採用しており、各ブロック体1,2はそれぞれ精度よく
製作できるものである。このため、精度よく製作された
ブロック体同士1,2を、その後の組み立て時に、例え
ば、溶接により一体化するだけで検出器ブロックＡを組
み立てることができるものであって、励磁変圧器７及び
検出変圧器８が所望のセル定数を有する位置からスレる
こと無く、検出器ブロックを容易に組み立てることがで
きる。
更に、塊状の分割ブロック体1,2による一体型のもの
を採用しているので、堅牢性に優れ、液漏れなどに対す
るシール性を向上できる検出器ブロックＡを製作でき
る。例えば、本実施例の検出器ブロックＡを用いて、半
導体ウエハの洗浄剤として多用されるフッ酸を含む液体
試料の濃度をモニターする場合にも有効で安全性を確保
できる。
を採用しているので、堅牢性に優れ、液漏れなどに対す
るシール性を向上できる検出器ブロックＡを製作でき
る。例えば、本実施例の検出器ブロックＡを用いて、半
導体ウエハの洗浄剤として多用されるフッ酸を含む液体
試料の濃度をモニターする場合にも有効で安全性を確保
できる。
本発明によれば、以下に示す効果を奏する。
すなわち、本発明の電磁誘導式導電率計は、小型で取
り扱いやすいだけでなく、複数の塊状のブロック体を一
体化して検出器ブロックを構成しているので、極めて堅
牢性に富み、簡素で確実なシールを行える。従って、た
とえ液体試料がフッ酸など腐蝕性が高い成分を含む場合
であっても、液体試料（たとえば洗浄液）中に腐蝕によ
る有害成分が混入し、たとえば、洗浄対象品に悪影響を
及ぼすというようなことがない。
り扱いやすいだけでなく、複数の塊状のブロック体を一
体化して検出器ブロックを構成しているので、極めて堅
牢性に富み、簡素で確実なシールを行える。従って、た
とえ液体試料がフッ酸など腐蝕性が高い成分を含む場合
であっても、液体試料（たとえば洗浄液）中に腐蝕によ
る有害成分が混入し、たとえば、洗浄対象品に悪影響を
及ぼすというようなことがない。
また、塊状のブロック体を一体化してなる本発明の電
磁誘導式導電率計は、液体試料の温度変化、試料流路中
に設けたフィルターの目詰りやポンプに起因する圧力変
動、および、試料流路中に設けた弁の閉止時のウォータ
ーハンマーやポンプによる振動の影響を受けることな
く、セル定数を常時正確に一定に保つことができるの
で、この電磁誘導式導電率計を用いることにより精度の
高い測定を容易に行うことができる。
磁誘導式導電率計は、液体試料の温度変化、試料流路中
に設けたフィルターの目詰りやポンプに起因する圧力変
動、および、試料流路中に設けた弁の閉止時のウォータ
ーハンマーやポンプによる振動の影響を受けることな
く、セル定数を常時正確に一定に保つことができるの
で、この電磁誘導式導電率計を用いることにより精度の
高い測定を容易に行うことができる。
加えて、本発明の電磁誘導式導電率計は構造が簡潔で
あるから、その組み付けを極めて容易に、かつ高精度を
行える。
あるから、その組み付けを極めて容易に、かつ高精度を
行える。
第１図は本発明の一実施例である電磁誘導式導電率計の
上面図、第２図は第１図のＩ−Ｉ線視図における縦断面
図、第３図は第１図のII−II線視図における縦断面図で
ある。第４図は別実施例の電磁誘導式導電率計の上面
図、第５図は第４図のＩ−Ｉ線視図における縦断面図で
ある。第６図は従来例を示す縦断面図である。 ７……励磁変圧器、８……検出変圧器、Ａ……検出器ブ
ロック、Ｂ……中央流路、Ｃ……外周流路。
上面図、第２図は第１図のＩ−Ｉ線視図における縦断面
図、第３図は第１図のII−II線視図における縦断面図で
ある。第４図は別実施例の電磁誘導式導電率計の上面
図、第５図は第４図のＩ−Ｉ線視図における縦断面図で
ある。第６図は従来例を示す縦断面図である。 ７……励磁変圧器、８……検出変圧器、Ａ……検出器ブ
ロック、Ｂ……中央流路、Ｃ……外周流路。
Claims (1)
- 【請求項１】絶縁性樹脂よりなり、液体試料の流れ方向
に分割された複数の塊状ブロック体を一体化して検出器
ブロックを構成し、この検出器ブロックの中央には孔を
設けて中央流路を形成し、この中央流路の周囲に環状の
励磁変圧器及び検出変圧器を配置し、さらに、これら両
変圧器の外周に、両変圧器に非接触の状態で孔を設けて
外周流路を形成し、前記中央流路と前記各外周流路を流
入側及び流出側において連通させてなる電磁誘導式導電
率計。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2285098A JP2589593B2 (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 電磁誘導式導電率計 |
| US07/781,712 US5252925A (en) | 1990-10-22 | 1991-10-22 | Detector assembly for an electromagnetic induction-type conductivity meter |
| US07/928,987 US5361030A (en) | 1990-10-22 | 1992-08-12 | Leak detector for electro-magnetic induction-type conductivity meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2285098A JP2589593B2 (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 電磁誘導式導電率計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04158268A JPH04158268A (ja) | 1992-06-01 |
| JP2589593B2 true JP2589593B2 (ja) | 1997-03-12 |
Family
ID=17687104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2285098A Expired - Lifetime JP2589593B2 (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 電磁誘導式導電率計 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5252925A (ja) |
| JP (1) | JP2589593B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5503355A (en) * | 1994-11-01 | 1996-04-02 | Tan; Peter Y. | Bag support |
| JP3415697B2 (ja) * | 1994-12-29 | 2003-06-09 | アジレント・テクノロジー株式会社 | 電磁誘導式プローブ |
| US5959455A (en) * | 1997-10-06 | 1999-09-28 | Falmouth Scientific, Inc. | Fluid conductively sensor |
| US7279903B2 (en) | 2005-05-02 | 2007-10-09 | Invensys Systems, Inc. | Non-metallic flow-through electrodeless conductivity sensor with leak and temperature detection |
| US7405572B2 (en) * | 2005-05-02 | 2008-07-29 | Invensys Systems, Inc. | Non-metallic flow-through electrodeless conductivity sensor and leak detector |
| JP4956152B2 (ja) * | 2006-11-21 | 2012-06-20 | 株式会社スマート | センサ・タグの多面影像方式 |
| DE102007039015A1 (de) * | 2007-08-17 | 2009-02-19 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Induktive Leitfähigkeitsmesszelle |
| DE102011102698A1 (de) * | 2011-05-20 | 2012-11-22 | Continental Automotive Gmbh | Vorratsbehälter für eine Flüssigkeit und Verfahren zum Messen der elektrischen Leitfähigkeit einer Flüssigkeit |
| JP6423579B2 (ja) * | 2013-02-04 | 2018-11-14 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 導電率測定計及びその測定値補正方法 |
| US9410910B1 (en) | 2013-05-23 | 2016-08-09 | D-2 Inc. | Hybrid conductivity sensor |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1299349A (fr) * | 1960-09-06 | 1962-07-20 | Atomic Energy Authority Uk | Appareil pour mesurer la résistivité électrique des métaux liquides |
| US3292077A (en) * | 1963-01-02 | 1966-12-13 | Schlumberger Well Surv Corp | Conductivity measuring system |
| US3404336A (en) * | 1965-07-26 | 1968-10-01 | Beckman Instruments Inc | Apparatus for measuring electrical conductivity of a fluid |
| SU659944A1 (ru) * | 1977-06-27 | 1979-04-30 | Воронежский Политехнический Институт | Погружной кондуктометрический датчик |
| US4138639A (en) * | 1977-07-14 | 1979-02-06 | Hutchins Thomas B | Fluid conductivity measurement |
| JPS57157119A (en) * | 1981-03-25 | 1982-09-28 | Fujitsu Ltd | Device for measuring flow speed and quantity of flow |
| US4860574A (en) * | 1987-06-29 | 1989-08-29 | Yokogawa Electric Corporation | Paramagnetic oxygen analyzer |
| JPH0216067U (ja) * | 1988-07-18 | 1990-02-01 | ||
| US5077525A (en) * | 1990-01-24 | 1991-12-31 | Rosemount Inc. | Electrodeless conductivity sensor with inflatable surface |
| JPH03235067A (ja) * | 1990-02-13 | 1991-10-21 | Tosoh Corp | 電磁式導電率計及び導電率測定方法 |
-
1990
- 1990-10-22 JP JP2285098A patent/JP2589593B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-10-22 US US07/781,712 patent/US5252925A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04158268A (ja) | 1992-06-01 |
| US5252925A (en) | 1993-10-12 |
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