JP3220283B2 - 流量センサー - Google Patents
流量センサーInfo
- Publication number
- JP3220283B2 JP3220283B2 JP13649893A JP13649893A JP3220283B2 JP 3220283 B2 JP3220283 B2 JP 3220283B2 JP 13649893 A JP13649893 A JP 13649893A JP 13649893 A JP13649893 A JP 13649893A JP 3220283 B2 JP3220283 B2 JP 3220283B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- primary
- flow path
- shaft
- orifice
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は液体または気体の流量
センサーに関する。
センサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造等においては、超純水およ
び薬液の流量を知る必要がしばしばある。そこで従来で
は、流路に羽根車を設置してこの羽根車の回転数により
流量を感知するもの、あるいは流路にテーパ管を配置し
浮子を動かして流量を感知するもの等が用いられてい
る。
び薬液の流量を知る必要がしばしばある。そこで従来で
は、流路に羽根車を設置してこの羽根車の回転数により
流量を感知するもの、あるいは流路にテーパ管を配置し
浮子を動かして流量を感知するもの等が用いられてい
る。
【０００３】しかし、羽根車式のものは羽根車の摺動部
分が流体と直接接するために流体中に微細なゴミが混入
されるおそれがあり、超純水や薬液の測定には好ましく
なかった。一方、浮子式のものは、浮子がテーパ管の中
を浮遊するため現場での視覚による確認しかできず、浮
子の動作を電気的な信号に変換することがほとんど不可
能であった。また、浮子式のものは流量が大きくなると
バイパスが必要となりデッドボリュームが大きくなると
いう問題があった。
分が流体と直接接するために流体中に微細なゴミが混入
されるおそれがあり、超純水や薬液の測定には好ましく
なかった。一方、浮子式のものは、浮子がテーパ管の中
を浮遊するため現場での視覚による確認しかできず、浮
子の動作を電気的な信号に変換することがほとんど不可
能であった。また、浮子式のものは流量が大きくなると
バイパスが必要となりデッドボリュームが大きくなると
いう問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上記の点に
鑑み、可動部を有さずゴミの発生するおそれがなくて超
純水や薬液に最適に使用でき、しかも流量を直接電気的
信号として得ることができる流量センサーを提供するも
のである。
鑑み、可動部を有さずゴミの発生するおそれがなくて超
純水や薬液に最適に使用でき、しかも流量を直接電気的
信号として得ることができる流量センサーを提供するも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、シャフト両
端に一次側ダイヤフラムと二次側ダイヤフラムとを対向
配置し、前記両ダイヤフラム間のシャフトの外周には、
前記一次側ダイヤフラム内側の一次側流路と二次側ダイ
ヤフラム内側の二次側流路とを連通するシャフト外周流
路を遮断する中間ダイヤフラムとその外周の外側部分を
形成するとともに、該中間ダイヤフラム又はその外側部
分に設けられた貫通孔をオリフィスとし、該オリフィス
部で前記一次側通路と二次側通路を連通して前記一次及
び二次ダイヤフラムの内面に流体の圧力が加わるように
し、前記一次側ダイヤフラムの背面に一次側ダイヤフラ
ムの背圧を検出するひずみ計を配置したことを特徴とす
る流量センサーに係る。
端に一次側ダイヤフラムと二次側ダイヤフラムとを対向
配置し、前記両ダイヤフラム間のシャフトの外周には、
前記一次側ダイヤフラム内側の一次側流路と二次側ダイ
ヤフラム内側の二次側流路とを連通するシャフト外周流
路を遮断する中間ダイヤフラムとその外周の外側部分を
形成するとともに、該中間ダイヤフラム又はその外側部
分に設けられた貫通孔をオリフィスとし、該オリフィス
部で前記一次側通路と二次側通路を連通して前記一次及
び二次ダイヤフラムの内面に流体の圧力が加わるように
し、前記一次側ダイヤフラムの背面に一次側ダイヤフラ
ムの背圧を検出するひずみ計を配置したことを特徴とす
る流量センサーに係る。
【０００６】
【作用】この発明の流量センサーは、使用時に測定用の
流体が、一次側ダイヤフラムの側からシャフト外周を経
て二次側ダイヤフラムの側へ流路を流れる。その際シャ
フト外周流路を遮断する中間ダイヤフラム及びその外周
の外側部分が設けられていて該中間ダイヤフラム又はそ
の外側部分にはオリフィスが形成されているため、オリ
フィスの前後で流量に応じた差圧が発生し、その差圧が
一次側ダイヤフラムに加わる。また、流量が変化すると
その差圧が変化して一次側ダイヤフラムに加わる圧力も
変化する。そのため一次側ダイヤフラムの背圧をひずみ
計で検出して電圧信号を得、それにより流量を測定する
のである。しかも、３枚のダイヤフラムを有するため、
微少流量に対しても感度良く働く。
流体が、一次側ダイヤフラムの側からシャフト外周を経
て二次側ダイヤフラムの側へ流路を流れる。その際シャ
フト外周流路を遮断する中間ダイヤフラム及びその外周
の外側部分が設けられていて該中間ダイヤフラム又はそ
の外側部分にはオリフィスが形成されているため、オリ
フィスの前後で流量に応じた差圧が発生し、その差圧が
一次側ダイヤフラムに加わる。また、流量が変化すると
その差圧が変化して一次側ダイヤフラムに加わる圧力も
変化する。そのため一次側ダイヤフラムの背圧をひずみ
計で検出して電圧信号を得、それにより流量を測定する
のである。しかも、３枚のダイヤフラムを有するため、
微少流量に対しても感度良く働く。
【０００７】
【実施例】以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説
明する。図１はこの発明の一実施例に係る流量センサー
の断面図である。図１に示される流量センサー４０は、
容器１２、一次側ダイヤフラム５３、二次側ダイヤフラ
ム５４、ひずみ計５５からなる。
明する。図１はこの発明の一実施例に係る流量センサー
の断面図である。図１に示される流量センサー４０は、
容器１２、一次側ダイヤフラム５３、二次側ダイヤフラ
ム５４、ひずみ計５５からなる。
【０００８】容器１２は、中央のボディ４６と、その両
側に組み合わされるケース４７とベース４８からなる。
この容器１２は、樹脂または金属から形成されるが、耐
蝕性に優れるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ樹
脂）等のフッ素樹脂が好適である。
側に組み合わされるケース４７とベース４８からなる。
この容器１２は、樹脂または金属から形成されるが、耐
蝕性に優れるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ樹
脂）等のフッ素樹脂が好適である。
【０００９】前記ボディ４６には、ケース４７との組み
合わせ面１６に円形に窪んだ一次側流路４９が形成さ
れ、一方ベース４８との組み合わせ面１８には円形に窪
んだ二次側流路５０が形成されている。また、前記ボデ
ィ４６の一次側流路４９と二次側流路５０間には中間ダ
イヤフラム４４とその外周の外側部分４４ａとが形成さ
れ、該中間ダイヤフラム４４の中心位置にはシャフト４
２が立設され、さらに該シャフト４２の外周に一次側流
路４９と二次側流路５０を連結する流路がシャフト外周
流路４３として形成されている。このようにこの実施例
では、中間ダイヤフラム４４及びその外側部分４４ａ
が、シャフト４２と共にボディ４６の一部として一体形
成されている。前記シャフト４２の外径は、シャフト外
周流路４３の内径より僅かに小とされ、この実施例にあ
っては、シャフトの外径が１８mm、シャフト外周流路４
３の内径が２０mmである。
合わせ面１６に円形に窪んだ一次側流路４９が形成さ
れ、一方ベース４８との組み合わせ面１８には円形に窪
んだ二次側流路５０が形成されている。また、前記ボデ
ィ４６の一次側流路４９と二次側流路５０間には中間ダ
イヤフラム４４とその外周の外側部分４４ａとが形成さ
れ、該中間ダイヤフラム４４の中心位置にはシャフト４
２が立設され、さらに該シャフト４２の外周に一次側流
路４９と二次側流路５０を連結する流路がシャフト外周
流路４３として形成されている。このようにこの実施例
では、中間ダイヤフラム４４及びその外側部分４４ａ
が、シャフト４２と共にボディ４６の一部として一体形
成されている。前記シャフト４２の外径は、シャフト外
周流路４３の内径より僅かに小とされ、この実施例にあ
っては、シャフトの外径が１８mm、シャフト外周流路４
３の内径が２０mmである。
【００１０】前記シャフト外周流路４３は、前記シャフ
ト４２外周面の中間ダイヤフラム４４によって遮断さ
れ、該中間ダイヤフラム４４に形成された貫通孔４５を
オリフィスとし、該オリフィス部分で一次側流路４９と
二次側流路５０が連通されている。前記一次側及び二次
側流路４９，５０は一次側及び二次側ダイヤフラム５
３，５４の収容部を兼ねる。またボディ４６には、一次
側流路４９に連通する流体流入口５１と、二次側流路５
０と連通する流体流出口５２が各々ボディ４６側面で開
口して形成されている。さらに、組み合わせ面１６，１
８には流路外周にダイヤフラム挟着用凹部２３，２４が
環状に形成されている。
ト４２外周面の中間ダイヤフラム４４によって遮断さ
れ、該中間ダイヤフラム４４に形成された貫通孔４５を
オリフィスとし、該オリフィス部分で一次側流路４９と
二次側流路５０が連通されている。前記一次側及び二次
側流路４９，５０は一次側及び二次側ダイヤフラム５
３，５４の収容部を兼ねる。またボディ４６には、一次
側流路４９に連通する流体流入口５１と、二次側流路５
０と連通する流体流出口５２が各々ボディ４６側面で開
口して形成されている。さらに、組み合わせ面１６，１
８には流路外周にダイヤフラム挟着用凹部２３，２４が
環状に形成されている。
【００１１】ケース４７には、ボディとの組み合わせ面
２５にボディ４６のダイヤフラム挟着用凹部２３と対向
するダイヤフラム挟着用凹部２６と、ひずみ計収容凹部
２７が形成されている。またベース４８には、ボディ４
６との組み合わせ面２８にボディ４６のダイヤフラム挟
着用凹部２４と対向するダイヤフラム挟着用凹部２９が
形成されている。
２５にボディ４６のダイヤフラム挟着用凹部２３と対向
するダイヤフラム挟着用凹部２６と、ひずみ計収容凹部
２７が形成されている。またベース４８には、ボディ４
６との組み合わせ面２８にボディ４６のダイヤフラム挟
着用凹部２４と対向するダイヤフラム挟着用凹部２９が
形成されている。
【００１２】一次側ダイヤフラム５３および二次側ダイ
ヤフラム５４は、周縁３１，３５が厚肉とされ、また中
央内面が円形に突出した円板状からなる。一次側ダイヤ
フラム５３は、内面をボディ４６内側へ向けてボディ４
６とケース４７の組み合わせ面にあるダイヤフラム挟着
用凹部２３，２６間に周縁３１の厚肉部が挟着され、そ
れにより一次側流路４９に収容される。一方二次側ダイ
ヤフラム５４は、内面をボディ４６内側へ向けてボディ
４６とベース４８の組み合わせ面にあるダイヤフラム挟
着用凹部２４，２９間に周縁３５の厚肉部が挟着されて
二次側流路５０に収容される。
ヤフラム５４は、周縁３１，３５が厚肉とされ、また中
央内面が円形に突出した円板状からなる。一次側ダイヤ
フラム５３は、内面をボディ４６内側へ向けてボディ４
６とケース４７の組み合わせ面にあるダイヤフラム挟着
用凹部２３，２６間に周縁３１の厚肉部が挟着され、そ
れにより一次側流路４９に収容される。一方二次側ダイ
ヤフラム５４は、内面をボディ４６内側へ向けてボディ
４６とベース４８の組み合わせ面にあるダイヤフラム挟
着用凹部２４，２９間に周縁３５の厚肉部が挟着されて
二次側流路５０に収容される。
【００１３】また前記一次側及び二次側ダイヤフラムを
容器１２に収容する際、一次側及び二次側ダイヤフラム
５３，５４は、シャフト４２の端部に、螺合または接着
等により中央内面が連結される。なお、前記一次側及び
二次側ダイヤフラム５３，５４も、耐蝕性に優れるポリ
テトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ樹脂）等のフッ素樹
脂が好適である。
容器１２に収容する際、一次側及び二次側ダイヤフラム
５３，５４は、シャフト４２の端部に、螺合または接着
等により中央内面が連結される。なお、前記一次側及び
二次側ダイヤフラム５３，５４も、耐蝕性に優れるポリ
テトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ樹脂）等のフッ素樹
脂が好適である。
【００１４】ひずみ計５５は、圧縮ひずみを検出して電
圧信号として取り出す、例えばロードセル等の公知のも
のが使用される。このひずみ計５５は、前記ケース４７
のひずみ計収容凹部２７に収容されて、その検出部が一
次側ダイヤフラム５３の背面に接触するように配置され
る。３９はひずみ計のリード線である。
圧信号として取り出す、例えばロードセル等の公知のも
のが使用される。このひずみ計５５は、前記ケース４７
のひずみ計収容凹部２７に収容されて、その検出部が一
次側ダイヤフラム５３の背面に接触するように配置され
る。３９はひずみ計のリード線である。
【００１５】このようにしてなる流量センサー４０は、
測定流体が流れる配管の途中に流体流入口５１が上流
側、流体流出口５２が下流側として接続される。これに
より測定流体は、一次側流路４９から、シャフト外周流
路４３を遮断する中間ダイヤフラム４４に設けられた貫
通孔４５のオリフィス部を通り、二次側流路５０を経て
最終的に流体流出口５２より流出する。なお、ひずみ計
のリード線３９は、電圧計等の表示装置、コンピュータ
ー等の演算処理装置あるいは各種制御装置等に接続され
る。
測定流体が流れる配管の途中に流体流入口５１が上流
側、流体流出口５２が下流側として接続される。これに
より測定流体は、一次側流路４９から、シャフト外周流
路４３を遮断する中間ダイヤフラム４４に設けられた貫
通孔４５のオリフィス部を通り、二次側流路５０を経て
最終的に流体流出口５２より流出する。なお、ひずみ計
のリード線３９は、電圧計等の表示装置、コンピュータ
ー等の演算処理装置あるいは各種制御装置等に接続され
る。
【００１６】前記流体は、オリフィスを構成する中間ダ
イヤフラム４４の貫通孔４５を通るシャフト外周流路４
３通過時に、オリフィスの前後、すなわち一次側流路４
９と二次側流路５０間に流量に応じた差圧を生じさせ
る。その差圧により一次側ダイヤフラム５３が加圧され
て、一次側ダイヤフラム５３に背圧が発生する。その背
圧は、一次側ダイヤフラム５３の背面に設けたひずみ計
５５により検出されて電圧信号として取り出され、その
検出信号がリード線３９と接続された電圧計等に送ら
れ、流量が測定される。また、測定流体の流量が変化す
ると前記差圧が変化して一次側ダイヤフラム５３の背圧
が瞬時に変化する。その背圧変化もひずみ計５５により
検出されて検出信号が電圧計等に送られ、流量変化が瞬
時に測定される。
イヤフラム４４の貫通孔４５を通るシャフト外周流路４
３通過時に、オリフィスの前後、すなわち一次側流路４
９と二次側流路５０間に流量に応じた差圧を生じさせ
る。その差圧により一次側ダイヤフラム５３が加圧され
て、一次側ダイヤフラム５３に背圧が発生する。その背
圧は、一次側ダイヤフラム５３の背面に設けたひずみ計
５５により検出されて電圧信号として取り出され、その
検出信号がリード線３９と接続された電圧計等に送ら
れ、流量が測定される。また、測定流体の流量が変化す
ると前記差圧が変化して一次側ダイヤフラム５３の背圧
が瞬時に変化する。その背圧変化もひずみ計５５により
検出されて検出信号が電圧計等に送られ、流量変化が瞬
時に測定される。
【００１７】さらに、前記流量センサー４０にあって
は、一次側ダイヤフラム５３及び二次側ダイヤフラム５
４とその間の中間ダイヤフラム４４とよりなる３枚のダ
イヤフラムを有するため、微小流量に対しても感度よく
働く。しかも、オリフィスとして開ける貫通孔４５の径
および貫通孔４５の個数を増減させることにより、測定
流体の流量に応じた最適のものにできる利点がある。な
お、この実施例では中間ダイヤフラム４４にオリフィス
を設けたが、オリフィスはダイヤフラム４４部分に限ら
れない。たとえば、ダイヤフラム４４の外側部分４４ａ
に一次側流路４９と二次側流路５０を連通する貫通孔を
開けてオリフィスとしてもよい。
は、一次側ダイヤフラム５３及び二次側ダイヤフラム５
４とその間の中間ダイヤフラム４４とよりなる３枚のダ
イヤフラムを有するため、微小流量に対しても感度よく
働く。しかも、オリフィスとして開ける貫通孔４５の径
および貫通孔４５の個数を増減させることにより、測定
流体の流量に応じた最適のものにできる利点がある。な
お、この実施例では中間ダイヤフラム４４にオリフィス
を設けたが、オリフィスはダイヤフラム４４部分に限ら
れない。たとえば、ダイヤフラム４４の外側部分４４ａ
に一次側流路４９と二次側流路５０を連通する貫通孔を
開けてオリフィスとしてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明の
流量センサーは、流量変化をダイヤフラムの背圧として
ひずみ計で検出するため、簡単な構成からなり、故障が
少ない利点がある。またダイヤフラムには変形を殆ど生
じないため、フッ素樹脂等のように耐蝕性には優れるも
のの変形ヒステリシスが大きい材質によってもダイヤフ
ラムを構成することができ、その場合でも再現性ある測
定値が得られる。
流量センサーは、流量変化をダイヤフラムの背圧として
ひずみ計で検出するため、簡単な構成からなり、故障が
少ない利点がある。またダイヤフラムには変形を殆ど生
じないため、フッ素樹脂等のように耐蝕性には優れるも
のの変形ヒステリシスが大きい材質によってもダイヤフ
ラムを構成することができ、その場合でも再現性ある測
定値が得られる。
【００１９】さらにこの発明では、一次側ダイヤフラム
と二次側ダイヤフラムの間に中間ダイヤフラムを設け、
合計３枚のダイヤフラムを有するため、微小流量に対し
ても感度よく働く。しかも、オリフィスとして開ける貫
通孔の径および貫通孔の個数を増減させることにより、
測定流体の流量に応じた最適のものにできる。
と二次側ダイヤフラムの間に中間ダイヤフラムを設け、
合計３枚のダイヤフラムを有するため、微小流量に対し
ても感度よく働く。しかも、オリフィスとして開ける貫
通孔の径および貫通孔の個数を増減させることにより、
測定流体の流量に応じた最適のものにできる。
【００２０】また、可動部材が存在しないためゴミ等が
発生せず、不純物を嫌う薬液、超純水等に対しても最適
である。しかも、流量変化によるダイヤフラムの背圧変
化を直接ひずみ計で検出するため、極めて応答が早い利
点もある。このようにこの発明の流量センサーは、薬
液、超純水等の流量センサーとして極めて有用なもので
ある。
発生せず、不純物を嫌う薬液、超純水等に対しても最適
である。しかも、流量変化によるダイヤフラムの背圧変
化を直接ひずみ計で検出するため、極めて応答が早い利
点もある。このようにこの発明の流量センサーは、薬
液、超純水等の流量センサーとして極めて有用なもので
ある。
【図１】この発明の一実施例に係る流量センサーの断面
図である。
図である。
４２ シャフト ４３ シャフト外周流路 ４４ 中間ダイヤフラム ４４ａ 中間ダイヤフラムの外側部分 ４５ 貫通孔 ４９ 一次側流路 ５０ 二次側流路 ５３ 一次側ダイヤフラム ５４ 二次側ダイヤフラム ５５ ひずみ計
Claims (1)
- 【請求項１】 シャフト（４２）両端に一次側ダイヤフ
ラム（５３）と二次側ダイヤフラム（５４）とを対向配
置し、前記両ダイヤフラム間のシャフトの外周には、前
記一次側ダイヤフラム内側の一次側流路（４９）と二次
側ダイヤフラム内側の二次側流路（５０）とを連通する
シャフト外周流路（４３）を遮断する中間ダイヤフラム
（４４）とその外周の外側部分（４４ａ）を形成すると
ともに、該中間ダイヤフラム又はその外側部分に設けら
れた貫通孔（４５）をオリフィスとし、該オリフィス部
で前記一次側通路と二次側通路を連通して前記一次及び
二次ダイヤフラムの内面に流体の圧力が加わるように
し、前記一次側ダイヤフラムの背面に一次側ダイヤフラ
ムの背圧を検出するひずみ計（５５）を配置したことを
特徴とする流量センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13649893A JP3220283B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 流量センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13649893A JP3220283B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 流量センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06323884A JPH06323884A (ja) | 1994-11-25 |
| JP3220283B2 true JP3220283B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=15176576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13649893A Expired - Lifetime JP3220283B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 流量センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3220283B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5249016B2 (ja) | 2006-03-28 | 2013-07-31 | 日本化薬株式会社 | タキサン類の高分子結合体 |
| JP5503872B2 (ja) | 2006-11-06 | 2014-05-28 | 日本化薬株式会社 | 核酸系代謝拮抗剤の高分子誘導体 |
| US8188222B2 (en) | 2006-11-08 | 2012-05-29 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | High molecular weight derivative of nucleic acid antimetabolite |
| US8703878B2 (en) | 2007-09-28 | 2014-04-22 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | High-molecular weight conjugate of steroids |
| JP5213583B2 (ja) * | 2008-08-18 | 2013-06-19 | アドバンス電気工業株式会社 | 流量測定装置 |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP13649893A patent/JP3220283B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06323884A (ja) | 1994-11-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6640650B2 (en) | Flow rate sensor | |
| JP4253125B2 (ja) | 可変オリフィス流量センサ | |
| US6920795B2 (en) | Adapter for coupling a sensor to a fluid line | |
| US4221134A (en) | Differential pressure transducer with strain gauge | |
| JPH06201421A (ja) | 流量計 | |
| US5780748A (en) | Flow device having parallel flow surfaces which move toward and away from one another to adjust the flow channel in proportion to applied force | |
| JP3220283B2 (ja) | 流量センサー | |
| CN101498594A (zh) | 测量装置 | |
| EP0051961A1 (en) | Apparatus for monitoring a valve | |
| JPS6331041B2 (ja) | ||
| JP3184126B2 (ja) | 流量センサー | |
| KR101016495B1 (ko) | 격막식 압력 센서 | |
| JPH08313379A (ja) | 圧力センサ | |
| US4453418A (en) | Flow-meter for fluids, with constant pressure loss | |
| JPH08500666A (ja) | 流量変換装置 | |
| WO1990011503A1 (en) | Differential pressure gauge | |
| JP2000170934A (ja) | リリーフ弁 | |
| US3544745A (en) | Sensor | |
| JPH0684315U (ja) | 液面レベルセンサー | |
| US4489613A (en) | Transmitting device for measuring the operating pressure in a system | |
| US4061034A (en) | Fluid pressure sensing device | |
| US3545276A (en) | Indicator and a pressure indicating system | |
| JP4298077B2 (ja) | 気体流量計 | |
| JPH01223315A (ja) | ダイヤフラム型微少流量検知器 | |
| KR910003192B1 (ko) | 유량변환 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100810 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100810 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130810 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |