JPH06323884A - 流量センサー - Google Patents
流量センサーInfo
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- JPH06323884A JPH06323884A JP13649893A JP13649893A JPH06323884A JP H06323884 A JPH06323884 A JP H06323884A JP 13649893 A JP13649893 A JP 13649893A JP 13649893 A JP13649893 A JP 13649893A JP H06323884 A JPH06323884 A JP H06323884A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 超純水や薬液に最適に使用でき、しかも流量
を直接電気的信号として得ることができる流量センサー
を提供する。 【構成】 シャフト３６両端に一次側ダイヤフラム３０
と二次側ダイヤフラム３４とを対向配置し、前記両ダイ
ヤフラムの内面及びシャフトの外周面に沿って連通した
流路１７，１９，２０を形成して両ダイヤフラムの内面
に流体の圧力が加わるようにするとともに、前記シャフ
ト外周流路２０をオリフィスとし、前記一次側ダイヤフ
ラム３０の背面にロードセル３８を配置した。
を直接電気的信号として得ることができる流量センサー
を提供する。 【構成】 シャフト３６両端に一次側ダイヤフラム３０
と二次側ダイヤフラム３４とを対向配置し、前記両ダイ
ヤフラムの内面及びシャフトの外周面に沿って連通した
流路１７，１９，２０を形成して両ダイヤフラムの内面
に流体の圧力が加わるようにするとともに、前記シャフ
ト外周流路２０をオリフィスとし、前記一次側ダイヤフ
ラム３０の背面にロードセル３８を配置した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は液体または気体の流量
センサーに関する。
センサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造等においては、超純水およ
び薬液の流量を知る必要がしばしばある。そこで従来で
は、流路に羽根車を設置してこの羽根車の回転数により
流量を感知するもの、あるいは流路にテーパ管を配置し
浮子を動かして流量を感知するもの等が用いられてい
る。
び薬液の流量を知る必要がしばしばある。そこで従来で
は、流路に羽根車を設置してこの羽根車の回転数により
流量を感知するもの、あるいは流路にテーパ管を配置し
浮子を動かして流量を感知するもの等が用いられてい
る。
【０００３】しかし、羽根車式のものは羽根車の摺動部
分が流体と直接接するために流体中に微細なゴミが混入
されるおそれがあり、超純水や薬液の測定には好ましく
なかった。一方、浮子式のものは、浮子がテーパ管の中
を浮遊するため現場での視覚による確認しかできず、浮
子の動作を電気的な信号に変換することがほとんど不可
能であった。また、浮子式のものは流量が大きくなると
バイパスが必要となりデッドボリュームが大きくなると
いう問題があった。
分が流体と直接接するために流体中に微細なゴミが混入
されるおそれがあり、超純水や薬液の測定には好ましく
なかった。一方、浮子式のものは、浮子がテーパ管の中
を浮遊するため現場での視覚による確認しかできず、浮
子の動作を電気的な信号に変換することがほとんど不可
能であった。また、浮子式のものは流量が大きくなると
バイパスが必要となりデッドボリュームが大きくなると
いう問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上記の点に
鑑み、可動部を有さずゴミの発生するおそれがなくて超
純水や薬液に最適に使用でき、しかも流量を直接電気的
信号として得ることができる流量センサーを提供するも
のである。
鑑み、可動部を有さずゴミの発生するおそれがなくて超
純水や薬液に最適に使用でき、しかも流量を直接電気的
信号として得ることができる流量センサーを提供するも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、シャフト両
端に一次側ダイヤフラムと二次側ダイヤフラムとを対向
配置し、前記両ダイヤフラムの内面及びシャフトの外周
面に沿って連通した流路を形成して両ダイヤフラムの内
面に流体の圧力が加わるようにするとともに、前記シャ
フト外周流路をオリフィスとし、前記一次側ダイヤフラ
ムの背面に一次側ダイヤフラムの背圧を検出するロード
セルを配置したことを特徴とする流量センサーに係る。
端に一次側ダイヤフラムと二次側ダイヤフラムとを対向
配置し、前記両ダイヤフラムの内面及びシャフトの外周
面に沿って連通した流路を形成して両ダイヤフラムの内
面に流体の圧力が加わるようにするとともに、前記シャ
フト外周流路をオリフィスとし、前記一次側ダイヤフラ
ムの背面に一次側ダイヤフラムの背圧を検出するロード
セルを配置したことを特徴とする流量センサーに係る。
【０００６】
【作用】この発明の流量センサーは、使用時に測定用の
流体が、一次側ダイヤフラムの側からシャフト外周を経
て二次側ダイヤフラムの側へ流路を流れる。その際シャ
フト外周流路にはオリフィスが形成されているため、オ
リフィスの前後で流量に応じた差圧が発生し、その差圧
が一次側ダイヤフラムに加わる。また、流量が変化する
とその差圧が変化して一次側ダイヤフラムに加わる圧力
も変化する。そのため一次側ダイヤフラムの背圧をロー
ドセルで検出して電圧信号を得、それにより流量を測定
するのである。
流体が、一次側ダイヤフラムの側からシャフト外周を経
て二次側ダイヤフラムの側へ流路を流れる。その際シャ
フト外周流路にはオリフィスが形成されているため、オ
リフィスの前後で流量に応じた差圧が発生し、その差圧
が一次側ダイヤフラムに加わる。また、流量が変化する
とその差圧が変化して一次側ダイヤフラムに加わる圧力
も変化する。そのため一次側ダイヤフラムの背圧をロー
ドセルで検出して電圧信号を得、それにより流量を測定
するのである。
【０００７】
【実施例】以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説
明する。図１はこの発明の一実施例に係る流量センサー
の断面図、図２は他の実施例の断面図である。図１に示
される流量センサー１０は、容器１２、一次側ダイヤフ
ラム３０、二次側ダイヤフラム３４、ロードセル３８か
らなる。
明する。図１はこの発明の一実施例に係る流量センサー
の断面図、図２は他の実施例の断面図である。図１に示
される流量センサー１０は、容器１２、一次側ダイヤフ
ラム３０、二次側ダイヤフラム３４、ロードセル３８か
らなる。
【０００８】容器１２は、中央のボディ１３と、その両
側に組み合わされるケース１４とベース１５からなる。
この容器１２は、樹脂または金属から形成されるが、耐
蝕性に優れるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ樹
脂）等のフッ素樹脂が好適である。
側に組み合わされるケース１４とベース１５からなる。
この容器１２は、樹脂または金属から形成されるが、耐
蝕性に優れるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ樹
脂）等のフッ素樹脂が好適である。
【０００９】前記ボディ１３には、ケース１４との組み
合わせ面１６に円形に窪んだ一次側流路１７が形成さ
れ、一方ベース１５との組み合わせ面１８には円形に窪
んだ二次側流路１９が形成され、それら一次側と二次側
の流路を連結する流路がシャフト外周流路２０として形
成されている。前記一次側及び二次側流路１７，１９は
一次側及び二次側ダイヤフラム３０，３４の収容部を兼
ね、シャフト外周流路２０は後記するシャフトの収容部
を兼ねる。またボディ１３には、一次側流路１７に連通
する流体流入口２１と、二次側流路１９と連通する流体
流出口２２が各々ボディ１３側面で開口して形成されて
いる。さらに、組み合わせ面１６，１８には流路外周に
ダイヤフラム挟着用凹部２３，２４が環状に形成されて
いる。
合わせ面１６に円形に窪んだ一次側流路１７が形成さ
れ、一方ベース１５との組み合わせ面１８には円形に窪
んだ二次側流路１９が形成され、それら一次側と二次側
の流路を連結する流路がシャフト外周流路２０として形
成されている。前記一次側及び二次側流路１７，１９は
一次側及び二次側ダイヤフラム３０，３４の収容部を兼
ね、シャフト外周流路２０は後記するシャフトの収容部
を兼ねる。またボディ１３には、一次側流路１７に連通
する流体流入口２１と、二次側流路１９と連通する流体
流出口２２が各々ボディ１３側面で開口して形成されて
いる。さらに、組み合わせ面１６，１８には流路外周に
ダイヤフラム挟着用凹部２３，２４が環状に形成されて
いる。
【００１０】ケース１４には、ボディとの組み合わせ面
２５にボディ１３のダイヤフラム挟着用凹部２３と対向
するダイヤフラム挟着用凹部２６と、ロードセル収容凹
部２７が形成されている。またベース１５には、ボディ
１３との組み合わせ面２８にボディ１３のダイヤフラム
挟着用凹部２４と対向するダイヤフラム挟着用凹部２９
が形成されている。
２５にボディ１３のダイヤフラム挟着用凹部２３と対向
するダイヤフラム挟着用凹部２６と、ロードセル収容凹
部２７が形成されている。またベース１５には、ボディ
１３との組み合わせ面２８にボディ１３のダイヤフラム
挟着用凹部２４と対向するダイヤフラム挟着用凹部２９
が形成されている。
【００１１】一次側ダイヤフラム３０および二次側ダイ
ヤフラム３４は、周縁３１，３５が厚肉とされ、また中
央内面が円形に突出した円板状からなる。一次側ダイヤ
フラム３０は、内面をボディ１３内側へ向けてボディ１
３とケース１４の組み合わせ面にあるダイヤフラム挟着
用凹部２３，２６間に周縁３１の厚肉部が挟着され、そ
れにより一次側流路１７に収容される。一方二次側ダイ
ヤフラム３４は、内面をボディ１３内側へ向けてボディ
１３とベース１５の組み合わせ面にあるダイヤフラム挟
着用凹部２４，２９間に周縁３５の厚肉部が挟着されて
二次側流路１９に収容される。
ヤフラム３４は、周縁３１，３５が厚肉とされ、また中
央内面が円形に突出した円板状からなる。一次側ダイヤ
フラム３０は、内面をボディ１３内側へ向けてボディ１
３とケース１４の組み合わせ面にあるダイヤフラム挟着
用凹部２３，２６間に周縁３１の厚肉部が挟着され、そ
れにより一次側流路１７に収容される。一方二次側ダイ
ヤフラム３４は、内面をボディ１３内側へ向けてボディ
１３とベース１５の組み合わせ面にあるダイヤフラム挟
着用凹部２４，２９間に周縁３５の厚肉部が挟着されて
二次側流路１９に収容される。
【００１２】また前記ダイヤフラムを容器１２に収容す
る際、両ダイヤフラム３０，３４は、シャフト外周流路
２０に挿入されたシャフト３６の端部に、螺合または接
着等により中央内面が連結される。このシャフト３６の
外径は、シャフト外周流路２０の内径より僅かに小とさ
れて、シャフト３６外周面とシャフト外周流路２０内壁
面間がオリフィスとなるようにされている。この実施例
にあっては、シャフトの外径が１８mm、シャフト外周流
路２０の内径が２０mmである。なお、前記ダイヤフラム
３０，３４及びシャフト３６も、耐蝕性に優れるポリテ
トラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ樹脂）等のフッ素樹脂
が好適である。
る際、両ダイヤフラム３０，３４は、シャフト外周流路
２０に挿入されたシャフト３６の端部に、螺合または接
着等により中央内面が連結される。このシャフト３６の
外径は、シャフト外周流路２０の内径より僅かに小とさ
れて、シャフト３６外周面とシャフト外周流路２０内壁
面間がオリフィスとなるようにされている。この実施例
にあっては、シャフトの外径が１８mm、シャフト外周流
路２０の内径が２０mmである。なお、前記ダイヤフラム
３０，３４及びシャフト３６も、耐蝕性に優れるポリテ
トラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ樹脂）等のフッ素樹脂
が好適である。
【００１３】ロードセル３８は、圧縮ひずみをひずみ計
で検出して電圧信号として取り出す公知のものが使用さ
れる。このロードセル３８は、前記ケース１４のロード
セル収容凹部２７に収容されて、その検出部が一次側ダ
イヤフラム３０の背面に接触するように配置される。３
９はロードセルのリード線である。
で検出して電圧信号として取り出す公知のものが使用さ
れる。このロードセル３８は、前記ケース１４のロード
セル収容凹部２７に収容されて、その検出部が一次側ダ
イヤフラム３０の背面に接触するように配置される。３
９はロードセルのリード線である。
【００１４】このようにしてなる流量センサー１０は、
測定流体が流れる配管の途中に流体流入口２１が上流
側、流体流出口２２が下流側として接続される。これに
より測定流体は、一次側流路１７からオリフィス部のシ
ャフト外周流路２０を通り、二次側流路１９を経て最終
的に流体流出口２２より流出する。なお、ロードセルの
リード線３９は、電圧計等の表示装置、コンピューター
等の演算処理装置あるいは各種制御装置等に接続され
る。
測定流体が流れる配管の途中に流体流入口２１が上流
側、流体流出口２２が下流側として接続される。これに
より測定流体は、一次側流路１７からオリフィス部のシ
ャフト外周流路２０を通り、二次側流路１９を経て最終
的に流体流出口２２より流出する。なお、ロードセルの
リード線３９は、電圧計等の表示装置、コンピューター
等の演算処理装置あるいは各種制御装置等に接続され
る。
【００１５】前記流体は、オリフィスを構成するシャフ
ト外周流路２０通過時にオリフィスの前後、すなわち一
次側流路１７と二次側流路１９間に流量に応じた差圧を
生じさせる。その差圧により一次側ダイヤフラム３０が
加圧されて、一次側ダイヤフラム３０に背圧が発生す
る。その背圧は、一次側ダイヤフラム３０の背面に設け
たロードセル３８により検出されて電圧信号として取り
出され、その検出信号がリード線３９と接続された電圧
計等に送られ、流量が測定される。また、測定流体の流
量が変化すると前記差圧が変化して一次側ダイヤフラム
３０の背圧が瞬時に変化する。その背圧変化もロードセ
ル３８により検出されて検出信号が電圧計等に送られ、
流量変化が瞬時に測定される。
ト外周流路２０通過時にオリフィスの前後、すなわち一
次側流路１７と二次側流路１９間に流量に応じた差圧を
生じさせる。その差圧により一次側ダイヤフラム３０が
加圧されて、一次側ダイヤフラム３０に背圧が発生す
る。その背圧は、一次側ダイヤフラム３０の背面に設け
たロードセル３８により検出されて電圧信号として取り
出され、その検出信号がリード線３９と接続された電圧
計等に送られ、流量が測定される。また、測定流体の流
量が変化すると前記差圧が変化して一次側ダイヤフラム
３０の背圧が瞬時に変化する。その背圧変化もロードセ
ル３８により検出されて検出信号が電圧計等に送られ、
流量変化が瞬時に測定される。
【００１６】図２に示す別の実施例に係る流量センサー
４０は、シャフト４２の外周にシャフト外周流路４３を
遮断する中間ダイヤフラム４４を形成し、その中間ダイ
ヤフラム４４に貫通孔４５をオリフィスとして設けたも
のである。オリフィスを構成する貫通孔４５は、適宜個
数設けられる。この実施例ではシャフト４２と中間ダイ
ヤフラム４４とは、ボディ４６の一部として形成されて
いる。他の構成は、前記図１に示した実施例と同じ構成
からなる。図中４７はケース、４８はベース、４９は一
次側流路、５０は二次側流路、５１は流体流入口、５２
は流体流出口である。また、５３は一次側ダイヤフラ
ム、５４は二次側ダイヤフラム、５５はロードセルであ
る。
４０は、シャフト４２の外周にシャフト外周流路４３を
遮断する中間ダイヤフラム４４を形成し、その中間ダイ
ヤフラム４４に貫通孔４５をオリフィスとして設けたも
のである。オリフィスを構成する貫通孔４５は、適宜個
数設けられる。この実施例ではシャフト４２と中間ダイ
ヤフラム４４とは、ボディ４６の一部として形成されて
いる。他の構成は、前記図１に示した実施例と同じ構成
からなる。図中４７はケース、４８はベース、４９は一
次側流路、５０は二次側流路、５１は流体流入口、５２
は流体流出口である。また、５３は一次側ダイヤフラ
ム、５４は二次側ダイヤフラム、５５はロードセルであ
る。
【００１７】この流量センサー４０にあっては、３枚の
ダイヤフラムを有するため、微小流量に対しても感度よ
く働く。しかも、オリフィスとして開ける貫通孔４５の
径および貫通孔４５の個数を増減させることにより、測
定流体の流量に応じた最適のものにできる利点がある。
なお、この実施例ではダイヤフラム４４にオリフィスを
設けたが、オリフィスはダイヤフラム４４部分に限られ
ない。たとえば、ダイヤフラム４４の外側に一次側流路
４９と二次側流路５０を連通する貫通孔を開けてオリフ
ィスとしてもよい。
ダイヤフラムを有するため、微小流量に対しても感度よ
く働く。しかも、オリフィスとして開ける貫通孔４５の
径および貫通孔４５の個数を増減させることにより、測
定流体の流量に応じた最適のものにできる利点がある。
なお、この実施例ではダイヤフラム４４にオリフィスを
設けたが、オリフィスはダイヤフラム４４部分に限られ
ない。たとえば、ダイヤフラム４４の外側に一次側流路
４９と二次側流路５０を連通する貫通孔を開けてオリフ
ィスとしてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明の
流量センサーは、流量変化をダイヤフラムの背圧として
ロードセルで検出するため、簡単な構成からなり、故障
が少ない利点がある。またダイヤフラムには変形を殆ど
生じないため、フッ素樹脂等のように耐蝕性には優れる
ものの変形ヒステリシスが大きい材質によってもダイヤ
フラムを構成することができ、その場合でも再現性ある
測定値が得られる。
流量センサーは、流量変化をダイヤフラムの背圧として
ロードセルで検出するため、簡単な構成からなり、故障
が少ない利点がある。またダイヤフラムには変形を殆ど
生じないため、フッ素樹脂等のように耐蝕性には優れる
ものの変形ヒステリシスが大きい材質によってもダイヤ
フラムを構成することができ、その場合でも再現性ある
測定値が得られる。
【００１９】また、可動部材が存在しないためゴミ等が
発生せず、不純物を嫌う薬液、超純水等に対しても最適
である。しかも、流量変化によるダイヤフラムの背圧変
化を直接ロードセルで検出するため、極めて応答が早い
利点もある。このようにこの発明の流量センサーは、薬
液、超純水等の流量センサーとして極めて有用なもので
ある。
発生せず、不純物を嫌う薬液、超純水等に対しても最適
である。しかも、流量変化によるダイヤフラムの背圧変
化を直接ロードセルで検出するため、極めて応答が早い
利点もある。このようにこの発明の流量センサーは、薬
液、超純水等の流量センサーとして極めて有用なもので
ある。
【図１】この発明の一実施例に係る流量センサーの断面
図である。
図である。
【図２】他の実施例に係る流量センサーの断面図であ
る。
る。
１７ 一次側流路 １９ 二次側流路 ２０ シャフト外周流路 ３０ 一次側ダイヤフラム ３４ 二次側ダイヤフラム ３６ シャフト ３８ ロードセル
Claims (1)
- 【請求項１】 シャフト両端に一次側ダイヤフラムと二
次側ダイヤフラムとを対向配置し、前記両ダイヤフラム
の内面及びシャフトの外周面に沿って連通した流路を形
成して両ダイヤフラムの内面に流体の圧力が加わるよう
にするとともに、前記シャフト外周流路をオリフィスと
し、前記一次側ダイヤフラムの背面に一次側ダイヤフラ
ムの背圧を検出するロードセルを配置したことを特徴と
する流量センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13649893A JP3220283B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 流量センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13649893A JP3220283B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 流量センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06323884A true JPH06323884A (ja) | 1994-11-25 |
| JP3220283B2 JP3220283B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=15176576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13649893A Expired - Lifetime JP3220283B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 流量センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3220283B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010044012A (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Advance Denki Kogyo Kk | 流量測定装置 |
| US8188222B2 (en) | 2006-11-08 | 2012-05-29 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | High molecular weight derivative of nucleic acid antimetabolite |
| US8323669B2 (en) | 2006-03-28 | 2012-12-04 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Polymer conjugate of taxane |
| US8334364B2 (en) | 2006-11-06 | 2012-12-18 | Nipon Kayaku Kabushiki Kaisha | High-molecular weight derivative of nucleic acid antimetabolite |
| USRE46190E1 (en) | 2007-09-28 | 2016-11-01 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | High-molecular weight conjugate of steroids |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP13649893A patent/JP3220283B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8323669B2 (en) | 2006-03-28 | 2012-12-04 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Polymer conjugate of taxane |
| US8334364B2 (en) | 2006-11-06 | 2012-12-18 | Nipon Kayaku Kabushiki Kaisha | High-molecular weight derivative of nucleic acid antimetabolite |
| US8188222B2 (en) | 2006-11-08 | 2012-05-29 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | High molecular weight derivative of nucleic acid antimetabolite |
| USRE46190E1 (en) | 2007-09-28 | 2016-11-01 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | High-molecular weight conjugate of steroids |
| JP2010044012A (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Advance Denki Kogyo Kk | 流量測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3220283B2 (ja) | 2001-10-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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