JPH01223315A

JPH01223315A - ダイヤフラム型微少流量検知器

Info

Publication number: JPH01223315A
Application number: JP4917288A
Authority: JP
Inventors: Ryoichi Endo; 遠藤　良一; Takeharu Era; 恵良　武晴
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1988-03-02
Filing date: 1988-03-02
Publication date: 1989-09-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、潤滑油あるいはガス等の流体の通過状態を連
続的に確認するためのダイヤフラム型微少流量検知器に
関する。

（従来の技術）近年、例えば潤滑油等の流体を微少流量（１／１００ｃ
ｃ〜１／１ｏｏＯｃｃ単位）所定位置に注滴するための
沈漬装置が開発されつつあり、これに伴いこの沈漬装置
において、流体が所定の位置に確実に注滴されているか
否か等の通過状態を確認するための流量検知器の出現が
要望されている。

ところで、ダイヤフラム式の流量検知器として従来、第
２図及び第３図に示すものがそれぞれ知られている。

第２図に示すものは圧力計であって、圧力の出入口ｌを
有するボディ２内に、ダイヤフラム３が設けられ、該ダ
イヤフラム３の中立点にュートラルポイント）はバネ４
にて設定されている。該ダイヤフラム３にはこれと連動
する指示針５が連結されている。そして、圧力出入口ｌ
からボディ２内に印加される圧力により、ダイヤフラム
３がバネ４の付勢ノＪに抗して変位し、このダイヤフラ
ム３の変位に伴って指示針５が動くことにより、当該変
位量に対応する１］盛値６を、指示針５が指示するもの
である。

また、第３図に示すものは、圧力出入ロアを有するボデ
ィ８内にダイヤフラム９が設けられ、該ダイヤフラム９
の反圧力出入ロア側には液体’１０が封じ込められ、該
液体ｌＯが出入りする液体出入口１１にフロート或はこ
れと類似する指示器（図示省略）が接続されている。そ
して、圧力出入ロアからボディ８内に印加される圧力に
より、ダイヤフラム９が液体封入側（液体出入口１１側
）に向かって変位するのに伴い、その変位量に応じて封
入液体ｌＯがボディ８の液体出入口１１から出る。これ
により、当該変位量に対応した値を指示器が指示するも
のである。

上述したように、第２図及び第３図に示す従来のいずれ
のものも、ボディ２，８の圧力出入口１゜７からボディ
２，８内に印加される圧力と、ダイヤフラム３，９の変
位量とが比例関係にあるから、ある数位置を動作点とす
る流量検知が行なわれるもので、主に、ガス流量の測定
に広く利用されているものである。

（発明が解決しようとする課題）これら従来の流量検知器のいずれのものも、ダイヤフラ
ムの変位量が小さいので、１／ｌ００ｃｃ〜１／１００
０ｃｃの単位の！うな微少流量を検知することは困難で
あり、また、この種の流量検知器は高価であって、工作
機械、内燃機関等における潤滑油の注油監視、或は化学
、食品工業等における薬液、触媒液の混合撹拌時の液体
供給監視等のような、計測業務以外の業務には余り使わ
れておらず、従って、上述した従来の要望を満足するこ
とができないという問題点があった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、微少流量流
体の通過状態の連続的な確認を確実に行なえると共に、
スイッチとしても使用でき、且つ１１“Ｉ！成が簡単で
安価に製作できるダイヤフラム型微少流１１１検知器を
提供することを目的としている。

（課題を解決するための手段）上記目的を達成するため本発明のダイヤフラム型微少流
量検知器は、入口と、出口と、これら入口と出口との間
を連通ずる連通路とをそれぞれ有するボディと、該ボデ
ィに設けられた一対の？ｔｔ極と、曲記述通路を流れる
流体の圧力にて一方向に変位することにより前記一対の
［１を電気導通状態にすると共に前記一対の電極が非導
通状１′°となる他方向に付勢された波状型のダイヤフ
ラムとより成るものである。

（作用）ボディ内をその入口から出口に向かって流体が流れると
、該流体の圧ノＪによって、ダイヤフラムがその付勢力
に抗して一方向に変位し、これによって両電極が電気導
通状態となる。

また、前記流体の流れが停止すると、ダイヤフラムがそ
の付勢力にて初期位ｔＲ（中立位置）に復帰し、両電極
が非導通状態となる。

（実施例）以下、本発明の一実施例を第１図に基づき説明する。第
１図は本発明のダイヤフラム型微少流量検知器の断面図
であり、同図中２０は電気絶縁材料より成るボディで、
下部−側の入口２１と下部他側の出口２２との間にこれ
らを連通ずる連通路２３を有している。該連通路２３は
、上端が後述するタイヤフラム室２８に且つ下端が前記
入口２１に連通ずる第１通路２４と、上端が前記ダイヤ
フラム室２８に且つ下端が出口２２に連通する第２通路
２５とからなる。第１通路２４の上端開口部は、オリフ
ィス２６となっている。

前記ボディ２０の軸方向略中間部より上端側には、大径
孔２７が形成されている。

前記大径孔２７内には、その下端側から上端側に向かっ
て順次、ダイヤフラム２９、ガイド部材３０、電極部材
３１及び調整リング３２がそれぞれ嵌装されている。

前記ダイヤフラム２９は波状型をなす導電性及び弾性を
有する金属より成るものである。

このダイヤフラム２９の中央上面には導電性金属よりな
るロッド（アクチュエータ）３３が突設されている。そ
して、前記ダイヤフラム２９は、その外周側下面が前記
大径孔２７の内底部上面に密着載置されている。

前記ガイド部材３０は、導電性金属より成るもので、環
状の主体３４の内周面略中央の壁３５の中央にガイド孔
３６を穿設してｌ戊る。そして、前記主体３４の下端面
が、前記ダイヤフラム２９の外周側上面に密着載置され
て、そのガイド孔゛３６内を前記ロッド３３が摺動自在
に貫通して該ロッド３３の１喘側が壁３５より上方に延
出している。

前記ダイヤフラム２９の上面と前記壁３５との間にはバ
ネ２９ａが介装され、該バネ２９ａによりダイヤフラム
２９が下方に付勢されている。

前記？ＩｔＩｆ４部材３１は、ディスク状の一力（グラ
ンド側）の電極３７の中央部に電気絶縁体３８を介して
、ビン状の他方の電極３９を固定して成る。

前記−力の１（を極３７の外周下面と、前記ガイド部材
３０の主体３４の上面との間には、０リング等のシール
部材４０が介装され、該シール部材４０は導電材より成
る。

前記一方の電極３７は、シール部材４０、ガイド部材３
０及びダイヤフラム２９を介してロッド３３と電気的に
接続されている。

従って、ダイヤフラム２９がバネ２９ａの付勢力に抗し
て上方に変位して、ロッド３３の上端が他力の電ｒｉＡ
３９の下端に接触すると、両？ｔｔ［ｇ３７゜３９が互
いに電気導通状態となる。

前記調整リング３２は、ダイヤフラム２９の中立点を調
整するもので、その外周ネジ部３２ａが前記大径孔２７
の上端部のネジ部２７ａに螺合されて、その下端面が前
記型（両部材３１の上端外周面に密着されている。

なお、前記電極部材３１の一力の電極３７の上面の突起
３７ａの上端面と、他力の電極３９の上端面とに、リー
ド線（図示省略）がそれぞれ接続される。

次に、上記構成のダイヤフラム型微少流量検知器の作動
を説明する。この流量検知器は、例えば潤滑油等の流体
を所定箇所に沈漬するための性情装置（図示省略）の端
末管路にボディ２０の入口２１と出口２２を接続して用
いられるものである。

入口２１から矢印方向に流入した流体は、ｆ５１通路２
４→オリフィス２６→第２通路２５を通って出口２２か
らボディ２０外方へ流出する。このように流体が入口２
１から出口２２に向かって流れている場合、オリフィス
２６を通過後の流体の圧力によりダイヤフラム２９がバ
ネ２９ａの付勢力に抗して上方に偏位する。該ダイヤフ
ラム２“９は波状型であるため微少圧力でも変位量が大
きく且つストローク量が大きい、そのため、ダイヤフラ
ム２９の上方への変位に伴い、これと一体のロッド３３
の上端が他方の電極３９の下端に接触する。

これにより、一方の電極３７がシール部材４０、ガイド
部材３０、ダイヤフラム２９及びロッド３３を介して他
力の電極３９と互いに電気導通状態となる。即ち、流体
が入口２１から出口２２に向かって流れていれば、両ｍ
極３７　、　３９が互いに電気導通状態、即ち、スイッ
チがオンした状儀となる。

また、流体が入口２１から出口２２に向かって流れなけ
れば、ダイヤフラム２９はバネ２９ａの付勢力にて図示
の如く下降して中立位置にあり、ロッド３３の上端が他
力の電極３９の下端と離間しているため、両′ｒｒ１極
３７，３９は非導通状態、即ち、スイッチがオフした状
態となる。

なお、上記実施例においては、調整リング３２と、ダイ
ヤフラム２９とガイド部材３０の壁３５との間に介装し
たバネ２９ａとを併用して、ダイヤフラム２９の中立点
を調整し得るようにしたが、バネ２９ａと調整リング３
２とを併用するか調！ｌサリング３２のみとするかは、
圧力のノｊ向性、即ち、静圧か動圧かにより選択するも
のである。即ち、動圧の場合はバネ２９ｎと調整リング
３２とを併用し、且つ静圧の場合は調整リング３２のみ
とするものであり、このように選択することにより圧力
の方向性、即ち動圧か静圧かを指定することができ、こ
れにより静圧及び動圧のいずれにも共用することができ
る。

（発明の効果）上述した如く本発明のダイヤフラム型微少流量検知器は
、入口と、出「コと、これら入口と出口との間を連通す
る連通路とをそれぞれ有するボディと、該ボディに設け
られた一対の電極と、前記連通路を流れる流体の圧力に
て一方向に変位することにより前記一対の電極を電気導
通状態にすると共に前記一対の電極が非導通状態となる
他方向に付勢された波状型のダイヤフラムとより成るも
のである。

従って、ダイヤフラムは波状型であって、微少圧力でも
変位置が大きく旦つストローク量が大きく、変位感度が
高いので、微少流体の通過状態の連続的な確認を確実に
行なえると共に、解放孔側の流体の漏れ、検知器通過流
体中の気泡或はゴミの有無等の検知が可能である。また
、スイッチとしても使用できると共に、構造が簡単で安
価に製作できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すダイヤフラム型微少流
量検知器の断面図、第２図及び第３図は互いに異なる従
来の流量検知器の断面図である。２０・・・ボディ、２１・・・入口、２２・・・出口、
２３・・・連通路、２７・・・オリフィス、２９・・・
ダイヤフラム、３７，３９・・・電極。８２図憾３０

Claims

【特許請求の範囲】

１、入口と、出口と、これら入口と出口との間を連通す
る連通路とをそれぞれ有するボディと、該ボディに設け
られた一対の電極と、前記連通路を流れる流体の圧力に
て一方向に変位することにより前記一対の電極を電気導
通状態にすると共に前記一対の電極が非導通状態となる
他方向に付勢された波状型のダイヤフラムとより成るダ
イヤフラム型微少流量検知器。