JP4956445B2 - 単一構造及び導電性ポリマ電極を有する電磁流量計 - Google Patents
単一構造及び導電性ポリマ電極を有する電磁流量計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4956445B2 JP4956445B2 JP2007554213A JP2007554213A JP4956445B2 JP 4956445 B2 JP4956445 B2 JP 4956445B2 JP 2007554213 A JP2007554213 A JP 2007554213A JP 2007554213 A JP2007554213 A JP 2007554213A JP 4956445 B2 JP4956445 B2 JP 4956445B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive material
- conduit
- housing
- inverting input
- tubular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 title claims description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 48
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 23
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 12
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 12
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 claims description 7
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 7
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 7
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 5
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 4
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 claims description 4
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 claims description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 2
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 2
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims 1
- 230000000747 cardiac effect Effects 0.000 claims 1
- 235000003642 hunger Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 claims 1
- 230000037351 starvation Effects 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 3
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910000619 316 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000002939 deleterious effect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 230000005520 electrodynamics Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000009972 noncorrosive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/56—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
- G01F1/58—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/56—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
- G01F1/58—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
- G01F1/60—Circuits therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/56—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/56—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
- G01F1/58—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
- G01F1/588—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters combined constructions of electrodes, coils or magnetic circuits, accessories therefor
Description
本発明は、導管中の流量の監視及び測定に関連し、特に半導体産業において用いられる電磁流量計に関連する。
電磁流量計(「マグフローメータ(magflow meter)」)の作動理論は生じる電圧のファラデーの法則に基づいており、起電力(EMF)は磁場を通って流れる導電媒体の速度に比例して生じる。一般にマグフローメータの場合、流動媒体は、横向きの磁束を受けている導管の一部を通過した導電性媒体である。導電性流体が導管を通過することで、結果的に生じるEMFが導管の壁部に設置されており媒体と物理的に接触している電極によって検出される。EMFの不足を防止するために、導管の壁部は非導電性材料によって構成されている。
電磁流量計の技術的な利点にもかかわらず、一般にそれらは半導体産業において用いられていないか、適用されていない。これは、産業界で共通して用いられている液体(HCl及びNH4OH等の酸及び塩基)及び気体の超純性と高腐食性が原因であると考えられる。純度は10億分の1(「PPB」)未満のレベルに維持されなければならない。純度をこのレベルに維持するために、腐食性の流体に接触する材料は腐食してはならないし、イオン性の汚染物を生じてもいけない。それ故に、PTFE若しくはPFA(又は同属の他のポリマ)を例とする非金属性で非腐食性の湿潤材料から全てを作られた流量計が非常に好まれる。この要望が電磁流量計の使用を排除してきた。それは、液体と接触する電極はEMF信号を伝えることができなければならず、従って316ステンレス鋼、ハステロイ、又はプラチナ等の金属から通常は作られるからである。
発明は一般に、半導体製造施設において腐食性化学流体の流速を測定するための装置及びシステムを対象とする。発明はそのような用途に限定される必要はなく、発明は特定の文中のような実施形態の考察を用いることでより適切になるであろう。
emf∝B・L・U
によって表され、emfは起電力(ボルト)であり、Bは磁束密度(ガウス)であり、Lはemfが生じるのを横切る導電性液体を通るスパンの(spanwise)長さ又は厚み(例えばcm)であり、Uは測定される導電性液体の局所的な速度(例えばcm/sec)である。
Claims (8)
- ハウジングと、
一組の磁極と、
一組の電気的にシールドされた電極と、
を有する電磁流量計であって、前記ハウジングはその中を通るよう形成されている導管を有し、前記導管は流れ軸を有し、
前記一組の磁極は前記導管の両側に直径方向に対向するように配置されており、かつ前記流れ軸と交差する第一の横軸上に一列に並んでおり、
前記一組の電極は前記導管の両側に直径方向に対向するように配置されており、かつ前記導管と連通するとともに前記第一の横軸及び前記流れ軸の両方と交差する第二の横軸を規定し、
前記シールドされた電極のそれぞれは長手軸を有するとともに、中心導電材、管状導電材及びシールド材を含み、この管状導電材及びシールド材は少なくとも一つの導電性材料から作られているとともに前記長手軸上に配置された前記中心導電材と同心上に配置され、かつ前記管状導電材が前記中心導電材及びシールド材の間に配置されており、
前記中心導電材及び前記管状導電材が第一の間質絶縁材によって分離されており、
前記中心導電材及び前記管状導電材がシグナル増幅器に接続されるようになっており、前記シールド材が電気的に接地されており、
前記シグナル増幅器は反転入力、非反転入力及び出力を有する演算増幅器から成り、
前記中心導電材及び前記管状導電材はそれぞれ前記演算増幅器の非反転入力及び反転入力に電気的に接続され、かつ前記演算増幅器の反転入力と出力とが電気的に接続されている電磁流量計。 - 前記中心導電材及び管状導電材が導電性プラスチックから成る請求項1に記載の電磁流量計。
- 前記導電性プラスチックが炭素粒子又は炭素繊維で充填されている請求項2に記載の電磁流量計。
- ハウジングと、
一組の磁極と、
一組の電極と
を有する電磁流量計であって、前記ハウジングは絶縁性で非汚染性の化学的に不活性な材料から作られており、前記ハウジングが内側部と、少なくとも一つの外側部と、そこを通る流体フロー用の導管とを有し、前記導管が流れ軸を有しており、
前記ハウジングは、該ハウジングの中であって前記導管近くに形成された直径方向に対向する一組の底部ポートを有し、前記底部ポートは前記流れ軸に交差する第一の横軸上に一列に並んでおり、前記底部ポートのそれぞれが磁極を固定するように形成されており、
前記ハウジングは、該ハウジングを通って形成されるとともに前記導管と流体連通する直径方向に対向する一組のスルーポートを有し、前記スルーポートは前記第一の横軸と前記流れ軸との両方に交差する第二の横軸上に一列に並んでおり、前記スルーポートのそれぞれが電極を固定するように形成されており、
前記一組の磁極は、前記一組の底部ポートそれぞれへと個別に挿入されるようになっており、
前記一組の電極は一組のスルーポートそれぞれへと個別に挿入されるようになっており、
前記外側部が前記一組の電極と前記一組の磁極とを囲むようになっており、
前記電極のそれぞれは長手軸を有するとともに、中心導電材、管状導電材及びシールド材を含み、この管状導電材及びシールド材は少なくとも一つの導電性材料から作られているとともに前記長手軸上に配置された前記中心導電材と同心上に配置され、かつ前記管状導電材が前記中心導電材及びシールド材の間に配置されており、
前記中心導電材及び前記管状導電材が第一の間質絶縁材によって分離されており、
前記中心導電材及び前記管状導電材がシグナル増幅器に接続されるようになっており、前記シールド材が電気的に接地されており、
前記シグナル増幅器は反転入力、非反転入力及び出力を有する演算増幅器から成り、
前記中心導電材及び前記管状導電材はそれぞれ前記演算増幅器の非反転入力及び反転入力に電気的に接続され、かつ前記演算増幅器の反転入力と出力とが電気的に接続されている電磁流量計。 - 前記磁極が帰還磁路によって接続されている電磁石を有し、前記ハウジングが前記帰還磁路を囲むようになっており、前記電極の中心導電材及び管状導電材が導電性ポリマ材から成る請求項4に記載の電磁流量計。
- 前記電極の導電性ポリマ材が炭素含浸ポリマ材料から成る請求項5に記載の電磁流量計。
- 前記絶縁材が非汚染性ポリマで作られている請求項4に記載の電磁流量計。
- 前記非汚染性ポリマが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ペルフルオロアルコキシ(PFA)、及び他のフルオロカーボンポリマからなるグループから選択される請求項7の電磁流量計。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/052,005 | 2005-02-04 | ||
US11/052,005 US7155983B2 (en) | 2005-02-04 | 2005-02-04 | Magnetic flow meter with unibody construction and conductive polymer electrodes |
PCT/US2006/003724 WO2006084061A2 (en) | 2005-02-04 | 2006-02-02 | Magnetic flow meter with unibody construction and conductive polymer electrodes |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008530529A JP2008530529A (ja) | 2008-08-07 |
JP4956445B2 true JP4956445B2 (ja) | 2012-06-20 |
Family
ID=36777923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007554213A Active JP4956445B2 (ja) | 2005-02-04 | 2006-02-02 | 単一構造及び導電性ポリマ電極を有する電磁流量計 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7155983B2 (ja) |
EP (1) | EP1846733A4 (ja) |
JP (1) | JP4956445B2 (ja) |
KR (1) | KR101232494B1 (ja) |
CN (1) | CN101189492A (ja) |
WO (1) | WO2006084061A2 (ja) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7155983B2 (en) | 2005-02-04 | 2007-01-02 | Entegris, Inc. | Magnetic flow meter with unibody construction and conductive polymer electrodes |
US7866337B2 (en) * | 2005-07-08 | 2011-01-11 | Entegris, Inc. | Chemically inert flow controller with non-contaminating body |
DE102006033112A1 (de) * | 2006-07-18 | 2008-01-31 | Abb Patent Gmbh | Verfahren und Einrichtung zum Betrieb eines Durchflussmessgerätes |
JP5086814B2 (ja) * | 2008-01-07 | 2012-11-28 | 株式会社キーエンス | 流量計 |
WO2009152434A2 (en) * | 2008-06-13 | 2009-12-17 | University Of Utah Research Foundation | Method and apparatus for measuring magnetic fields |
US8501009B2 (en) | 2010-06-07 | 2013-08-06 | State Of Oregon Acting By And Through The State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Fluid purification system |
RU2596863C2 (ru) | 2010-08-03 | 2016-09-10 | ГОУЭНС Ли | Электромагнитный расходомер |
CN102840887B (zh) * | 2012-08-23 | 2017-04-12 | 杭州云谷科技股份有限公司 | 电磁流量计的电极装置 |
US9021890B2 (en) | 2012-09-26 | 2015-05-05 | Rosemount Inc. | Magnetic flowmeter with multiple coils |
US8991264B2 (en) | 2012-09-26 | 2015-03-31 | Rosemount Inc. | Integrally molded magnetic flowmeter |
DE102012221616B4 (de) | 2012-11-27 | 2015-03-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Magnetisch induktiver Durchflussmesser |
CN103968901A (zh) * | 2013-02-01 | 2014-08-06 | 周化章 | 一种特氟隆多孔电极的电磁流量计 |
US9696188B2 (en) * | 2013-03-14 | 2017-07-04 | Rosemount Inc. | Magnetic flowmeter with automatic adjustment based on sensed complex impedance |
US9068869B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-06-30 | Rosemount Inc. | Magnetic flowmeter with bonded PTFE electrodes |
US20150314055A1 (en) | 2014-04-29 | 2015-11-05 | Michael Edward HOGARD | Dialysis system and methods |
EP3193963B1 (en) * | 2014-09-18 | 2019-07-31 | Outset Medical, Inc. | Dialysis machine having a conductivity sensor for determining fluid properties |
DK3245486T3 (da) * | 2015-01-16 | 2021-01-11 | Sanofi Aventis Deutschland | Lægemiddeladministrationsanordning med flowhastighedssensor |
EP3048431B1 (de) * | 2015-01-20 | 2020-07-29 | Krohne AG | Magnetisch-induktives durchflussmessgerät und verfahren zur herstellung einer messelektrode |
DE102015116676A1 (de) | 2015-01-20 | 2016-07-21 | Krohne Ag | Magnetisch-induktives Durchflussmessgerät und Verfahren zum Herstellen einer Messelektrode |
CN105841760B (zh) * | 2016-03-16 | 2019-05-24 | 浙江省计量科学研究院 | 一种插入式电磁流量计 |
US10502599B2 (en) * | 2016-03-31 | 2019-12-10 | Rosemount Inc. | Polymeric magnetic flowmeter flow body assembly |
ES2908601T3 (es) | 2016-08-19 | 2022-05-03 | Outset Medical Inc | Sistema y métodos de diálisis peritoneal |
US11371868B2 (en) * | 2017-08-31 | 2022-06-28 | Micro Motion, Inc. | Conductive polymer reference connection for magnetic flowmeter |
WO2019051531A1 (en) * | 2017-09-15 | 2019-03-21 | Fantastic Holdings Limited | FURNITURE ARTICLE AND ITS ASSEMBLY METHOD |
US10161667B1 (en) * | 2017-11-15 | 2018-12-25 | Haier Us Appliance Solutions, Inc. | Refrigerator appliance having a defrost chamber |
US11365995B2 (en) * | 2018-09-28 | 2022-06-21 | Georg Fischer Signet Llc | Magnetic flowmeter including auxiliary electrodes upstream and downstream of the pair of measuring electrodes and an adjustable brace |
GB201911971D0 (en) | 2019-08-21 | 2019-10-02 | Sentec Ltd | Improved electrode |
DE102021133553A1 (de) | 2021-12-16 | 2023-06-22 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Magnetisch-induktive Durchflussmesssonde |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52116269A (en) | 1976-03-26 | 1977-09-29 | Hitachi Ltd | Electromagnetic flowmeter transducer |
US4497212A (en) | 1977-02-23 | 1985-02-05 | Fischer & Porter Company | Flangeless electromagnetic flowmeter |
US4358963A (en) | 1979-09-12 | 1982-11-16 | Fischer & Porter Company | Unitary electromagnetic flowmeter with sealed coils |
US4098118A (en) | 1977-02-23 | 1978-07-04 | Fischer & Porter Co. | Unitary electromagnetic flowmeter |
US4181018A (en) | 1977-02-23 | 1980-01-01 | Fischer & Porter Co. | Unitary electromagnetic flowmeter |
US4420982A (en) | 1977-02-23 | 1983-12-20 | Fischer & Porter Company | Unitary electromagnetic flowmeter with sealed coils |
US4253340A (en) | 1979-09-12 | 1981-03-03 | Fischer & Porter Co. | Unitary electromagnetic flowmeter |
US4567775A (en) | 1977-02-23 | 1986-02-04 | Fischer & Porter Co. | Unitary electromagnetic flowmeter having molded electrodes |
US4125019A (en) | 1977-06-16 | 1978-11-14 | Monitek, Inc. | Probe type electromagnetic flow meter with debris shedding capability |
US4214477A (en) | 1978-12-07 | 1980-07-29 | Fischer & Porter Co. | Flangeless electromagnetic flowmeter |
US4357835A (en) * | 1980-06-20 | 1982-11-09 | Hokushin Electric Works, Ltd. | Electromagnetic flowmeter in shielded lines |
US4388834A (en) | 1981-03-31 | 1983-06-21 | Fischer & Porter Company | Electromagnetic flowmeter having a monolithic conduit |
JPS5817318A (ja) | 1981-07-23 | 1983-02-01 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 電磁流量計 |
DE3172074D1 (en) * | 1981-11-27 | 1985-10-03 | Rheometron Ag | Measuring head for an electro-magnetic flow meter |
US4565619A (en) | 1983-02-18 | 1986-01-21 | The Foxboro Company | Composite electrode structure |
JPS59168323A (ja) * | 1983-03-16 | 1984-09-22 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 電磁流量計 |
JPS6351225A (ja) * | 1986-08-21 | 1988-03-04 | Fujitsu Ltd | 媒体送り装置 |
US4774844A (en) | 1987-06-25 | 1988-10-04 | Fischer & Porter Co. | Encapsulated electromagnetic flowmeter |
JPS6453923A (en) * | 1987-08-21 | 1989-03-01 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Core hopper device |
US5280727A (en) * | 1987-09-11 | 1994-01-25 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Electromagnetic flow measuring tube and method of making same |
JP2851188B2 (ja) * | 1991-08-16 | 1999-01-27 | 株式会社東芝 | 電磁流量計 |
US5263374A (en) | 1992-01-24 | 1993-11-23 | Marsh-Mcbirney, Inc. | Flowmeter with concentrically arranged electromagnetic field |
US5316035A (en) | 1993-02-19 | 1994-05-31 | Fluoroware, Inc. | Capacitive proximity monitoring device for corrosive atmosphere environment |
US6539981B1 (en) | 1995-09-29 | 2003-04-01 | Rosemount Inc. | Flow tube having a bonding layer with a fluoropolymer lining |
US5670724A (en) * | 1996-05-01 | 1997-09-23 | Amj Equipment Corporation | Apparatus for sensing liquid flow and pressure in a conduit and associated methods |
JP3443007B2 (ja) | 1998-08-03 | 2003-09-02 | 株式会社山武 | 電磁流量計 |
US7127815B2 (en) | 2001-11-26 | 2006-10-31 | Emerson Electric Co. | Method of manufacturing a Coriolis flowmeter |
JP3756862B2 (ja) | 2002-09-19 | 2006-03-15 | 株式会社山武 | 電磁流量計 |
US7155983B2 (en) | 2005-02-04 | 2007-01-02 | Entegris, Inc. | Magnetic flow meter with unibody construction and conductive polymer electrodes |
-
2005
- 2005-02-04 US US11/052,005 patent/US7155983B2/en active Active
-
2006
- 2006-02-02 KR KR1020077020090A patent/KR101232494B1/ko active IP Right Grant
- 2006-02-02 EP EP06734235A patent/EP1846733A4/en not_active Withdrawn
- 2006-02-02 WO PCT/US2006/003724 patent/WO2006084061A2/en active Application Filing
- 2006-02-02 CN CNA200680011065XA patent/CN101189492A/zh active Pending
- 2006-02-02 JP JP2007554213A patent/JP4956445B2/ja active Active
- 2006-11-14 US US11/599,023 patent/US20070062304A1/en not_active Abandoned
-
2007
- 2007-05-31 US US11/807,996 patent/US7343817B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006084061A2 (en) | 2006-08-10 |
US20070234821A1 (en) | 2007-10-11 |
EP1846733A4 (en) | 2008-12-24 |
JP2008530529A (ja) | 2008-08-07 |
CN101189492A (zh) | 2008-05-28 |
KR20070100417A (ko) | 2007-10-10 |
KR101232494B1 (ko) | 2013-02-12 |
US7155983B2 (en) | 2007-01-02 |
EP1846733A2 (en) | 2007-10-24 |
US20070062304A1 (en) | 2007-03-22 |
US7343817B2 (en) | 2008-03-18 |
US20060174715A1 (en) | 2006-08-10 |
WO2006084061A3 (en) | 2007-07-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4956445B2 (ja) | 単一構造及び導電性ポリマ電極を有する電磁流量計 | |
JP5792188B2 (ja) | 導電率センサアセンブリ | |
US6995563B2 (en) | Nonmetallic process connection | |
JP6247428B2 (ja) | 取り換え可能なライナー/電極モジュールを有する磁気流量計流管アセンブリ | |
EP0274768A1 (en) | Electromagnetic flowmeter for conductive and dielectric fluids and its applications in particular in oilfield | |
EP1300658B1 (en) | Electromagnetic flowmeter for electrically conducting liquids | |
US6530285B1 (en) | Magnetic flow sensor probe | |
RU2398190C2 (ru) | Датчик расходомера и соединительный элемент | |
JP4739045B2 (ja) | 導電率検出器 | |
US20190063969A1 (en) | Conductive polymer reference connection for magnetic flowmeter | |
JP7393227B2 (ja) | 電磁流量計 | |
US11982553B2 (en) | Apparatus for monitoring fluid flow in a pipe using electromagnetic velocity tomography | |
US20240085228A1 (en) | Apparatus for Monitoring Fluid Flow in a Pipe Using Electromagnetic Velocity Tomography | |
Jaworski et al. | A portable capacitance probe for detection of interface levels in multi-phase flows—a case study | |
Maalouf | A validated model for the zero drift due to transformer signals in electromagnetic flowmeters operating with electrolytic conductors | |
JPH0862005A (ja) | 電磁流量計 | |
US7509877B2 (en) | Electrode with electrode surface for magnetically inductive flow meter | |
JPH0886674A (ja) | 容量式電磁流量計 | |
CN110967074A (zh) | 全孔径磁流量计组件 | |
JP2009058270A (ja) | 渦流量計用商用電源ノイズ減衰器及びそれが適用された渦流量計 | |
Maalouf | A Validated Model for the Zero Drift Due to Eddy Currents in Electromagnetic Flowmeters Operating With Electrolytic Conductors | |
JPH04289419A (ja) | 電磁流量計 | |
JP2006010315A (ja) | 電磁流量計 | |
JP2015036688A (ja) | 磁気誘導式流量計 | |
JPH05264307A (ja) | 電磁流量計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110830 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111130 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111220 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111228 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120221 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120316 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4956445 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150323 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |