JPH06249735A - 流体用センサ - Google Patents
流体用センサInfo
- Publication number
- JPH06249735A JPH06249735A JP5637193A JP5637193A JPH06249735A JP H06249735 A JPH06249735 A JP H06249735A JP 5637193 A JP5637193 A JP 5637193A JP 5637193 A JP5637193 A JP 5637193A JP H06249735 A JPH06249735 A JP H06249735A
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- JP
- Japan
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- fluid
- chamber
- sensor
- fluid inlet
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- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 流体の滞留部を形成することなくしかも構造
単純にして圧力や流量や温度等を検出できる流体用セン
サを提供する。 【構成】 第１の流体出入り口１５と第２の流体出入り
口１６との間にチャンバ１２を形成したボディ１０内
に、第１の流体出入り口１５と連続する流路１９を形成
しながらチャンバ１２の中央部に隆起する環状の隔壁１
８を設けることにより、チャンバ１２内の途中に開口す
る内部導入口２０と第２の流体出入り口１６に連通する
環状流路２１とを同心円状に形成し、その上部に感応検
出部２３を設ける。
単純にして圧力や流量や温度等を検出できる流体用セン
サを提供する。 【構成】 第１の流体出入り口１５と第２の流体出入り
口１６との間にチャンバ１２を形成したボディ１０内
に、第１の流体出入り口１５と連続する流路１９を形成
しながらチャンバ１２の中央部に隆起する環状の隔壁１
８を設けることにより、チャンバ１２内の途中に開口す
る内部導入口２０と第２の流体出入り口１６に連通する
環状流路２１とを同心円状に形成し、その上部に感応検
出部２３を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置や医薬
品製造装置や食品機械等の高い清浄性を必要とする分
野、又は塗装機械等の複数の流体の切替えを要する分野
で、流体の圧力や流量や温度等を検出する流体用センサ
に関する。
品製造装置や食品機械等の高い清浄性を必要とする分
野、又は塗装機械等の複数の流体の切替えを要する分野
で、流体の圧力や流量や温度等を検出する流体用センサ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、上記のような分野で流体配管中の
圧力や流量や温度や導電率等の物理量を検出する場合、
図３に示すように、直線配管１の途中にＴ字形の分岐管
継手２を設け、該分岐管継手２の分岐部３の下端に圧力
センサや流量センサや温度センサ等のセンサ４を取り付
け、直線配管１中を流れる流体を分岐部３を通じてセン
サ４に作用させるのが一般的であった。
圧力や流量や温度や導電率等の物理量を検出する場合、
図３に示すように、直線配管１の途中にＴ字形の分岐管
継手２を設け、該分岐管継手２の分岐部３の下端に圧力
センサや流量センサや温度センサ等のセンサ４を取り付
け、直線配管１中を流れる流体を分岐部３を通じてセン
サ４に作用させるのが一般的であった。
【０００３】しかし、これによると、分岐管継手２の分
岐部３内が流速を無くす滞留部５となり、配管内部が汚
染された場合、この滞留部５に汚染物が滞留してしま
い、洗浄用流体をいかに流してもセンサ４の周辺を洗浄
することができず、配管清浄性の完全な復旧が困難とな
ることがあった。また、複数流体の切替えの場合には、
初めに流した流体が滞留部５に残り、別の流体に切り替
えた後も初めの流体が長時間に渡り混入することがあっ
た。
岐部３内が流速を無くす滞留部５となり、配管内部が汚
染された場合、この滞留部５に汚染物が滞留してしま
い、洗浄用流体をいかに流してもセンサ４の周辺を洗浄
することができず、配管清浄性の完全な復旧が困難とな
ることがあった。また、複数流体の切替えの場合には、
初めに流した流体が滞留部５に残り、別の流体に切り替
えた後も初めの流体が長時間に渡り混入することがあっ
た。
【０００４】これを解決するため、図４に示すように直
線連通部６を有するセンサ７を直線配管１の途中に直結
して滞留部を無くしたものが従来提案されているが、こ
れによると、センサ７の感応面を直線連通部６に沿った
円筒状にしなければならないため、その製造が極めて困
難であった。
線連通部６を有するセンサ７を直線配管１の途中に直結
して滞留部を無くしたものが従来提案されているが、こ
れによると、センサ７の感応面を直線連通部６に沿った
円筒状にしなければならないため、その製造が極めて困
難であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明の目的
は、流体の滞留部を形成することなくしかも構造単純に
して圧力や流量や温度等を検出できる流体用センサを提
供することにある。
は、流体の滞留部を形成することなくしかも構造単純に
して圧力や流量や温度等を検出できる流体用センサを提
供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による流体用セン
サは、図１の例示のように、第１の流体出入り口１５と
第２の流体出入り口１６との間にチャンバ１２を形成し
たボディ１０内に、第１の流体出入り口１５と連続する
流路１９を形成しながらチャンバ１２の中央部に隆起す
る環状の隔壁１８を設けることにより、チャンバ１２内
の途中に開口する内部導入口２０と第２の流体出入り口
１６に連通する環状流路２１とを同心円状に形成し、そ
の上部に感応検出部２３を設けたものである。
サは、図１の例示のように、第１の流体出入り口１５と
第２の流体出入り口１６との間にチャンバ１２を形成し
たボディ１０内に、第１の流体出入り口１５と連続する
流路１９を形成しながらチャンバ１２の中央部に隆起す
る環状の隔壁１８を設けることにより、チャンバ１２内
の途中に開口する内部導入口２０と第２の流体出入り口
１６に連通する環状流路２１とを同心円状に形成し、そ
の上部に感応検出部２３を設けたものである。
【０００７】
【作用】今、第１の流体出入り口１５から第２の流体出
入り口１６へと流体を流すと、第１の流体出入り口１５
からの流体は隔壁１８中の流路１９を上向きに流れて内
部導入口２０からチャンバ１２内に入り、感応検出部２
３の検出作用を受けてから環状流路２１を通って第２の
流体出入り口１６から流出する。流入圧が無くなると、
チャンバ１２内の流体は第２の流体出入り口１６又は第
１の流体出入り口１５へと自然に流下し、チャンバ１２
内に残らない。
入り口１６へと流体を流すと、第１の流体出入り口１５
からの流体は隔壁１８中の流路１９を上向きに流れて内
部導入口２０からチャンバ１２内に入り、感応検出部２
３の検出作用を受けてから環状流路２１を通って第２の
流体出入り口１６から流出する。流入圧が無くなると、
チャンバ１２内の流体は第２の流体出入り口１６又は第
１の流体出入り口１５へと自然に流下し、チャンバ１２
内に残らない。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について説明する。図
１及び図２は本発明を圧力センサに適用した具体例で、
そのボディ１０は、円形の周壁１１で囲繞されたチャン
バ１２を有するとともに、該周壁１１の下部両側より円
筒形の接続口部１３・１４を互いに反対向きに一体に突
設し、これら接続口部１３・１４をもって第１の流体出
入り口１５と第２の流体出入り口１６とを対称に形成し
ている。
１及び図２は本発明を圧力センサに適用した具体例で、
そのボディ１０は、円形の周壁１１で囲繞されたチャン
バ１２を有するとともに、該周壁１１の下部両側より円
筒形の接続口部１３・１４を互いに反対向きに一体に突
設し、これら接続口部１３・１４をもって第１の流体出
入り口１５と第２の流体出入り口１６とを対称に形成し
ている。
【０００９】また、ボディ１０内には、その底部１７及
び接続口部１３から一体に連続してチャンバ１２の中央
部の途中まで隆起する環状の隔壁１８が設けられ、該隆
起部１８中は第１の流体出入り口１５と連通するＬ字状
の流路１９、その上端はチャンバ１２内の中央部で開口
する内部導入口２０となり、また隔壁１８と周壁１１と
の間は、該内部導入口２０と同心円をなして第２の流体
出入り口１６と連通する環状流路２１となっている。
び接続口部１３から一体に連続してチャンバ１２の中央
部の途中まで隆起する環状の隔壁１８が設けられ、該隆
起部１８中は第１の流体出入り口１５と連通するＬ字状
の流路１９、その上端はチャンバ１２内の中央部で開口
する内部導入口２０となり、また隔壁１８と周壁１１と
の間は、該内部導入口２０と同心円をなして第２の流体
出入り口１６と連通する環状流路２１となっている。
【００１０】チャンバ１２の上面開口は、周壁１１の上
端に張設されたダイヤフラム２２によって閉塞され、該
ダイヤフラム２２の上側に圧力トランスジューサ（感応
検出部）２３が設置されている。
端に張設されたダイヤフラム２２によって閉塞され、該
ダイヤフラム２２の上側に圧力トランスジューサ（感応
検出部）２３が設置されている。
【００１１】このように構成されたセンサを使用するに
は、両側の接続口部１３・１４に配管２４を接続し、流
体が第１の流体出入り口１５から第２の流体出入り口１
６へと流れるようにする。第１の流体出入り口１５から
流入した流体は、隔壁１８中の流路１９を上向きに流れ
て内部導入口２０からチャンバ１２内に入り、ダイヤフ
ラム２２に下側から作用して圧力トランスジューサ２３
によって圧力に応じた電気信号に変換される。チャンバ
１２に入った流体は環状通路２１を通って第２の流体出
入り口１６から流出する。そしてこのような流れが連続
し、流体は、ボディ１０内のどの部分でも滞留すること
なく流速をもって流れる。
は、両側の接続口部１３・１４に配管２４を接続し、流
体が第１の流体出入り口１５から第２の流体出入り口１
６へと流れるようにする。第１の流体出入り口１５から
流入した流体は、隔壁１８中の流路１９を上向きに流れ
て内部導入口２０からチャンバ１２内に入り、ダイヤフ
ラム２２に下側から作用して圧力トランスジューサ２３
によって圧力に応じた電気信号に変換される。チャンバ
１２に入った流体は環状通路２１を通って第２の流体出
入り口１６から流出する。そしてこのような流れが連続
し、流体は、ボディ１０内のどの部分でも滞留すること
なく流速をもって流れる。
【００１２】第１の流体出入り口１５から流入圧が無く
なると、チャンバ１２内の流体は、環状流路２１より低
位の第２の流体出入り口１６又は第１の流体出入り口１
５へと自然に流下し、チャンバ１２には残らない。
なると、チャンバ１２内の流体は、環状流路２１より低
位の第２の流体出入り口１６又は第１の流体出入り口１
５へと自然に流下し、チャンバ１２には残らない。
【００１３】上記構造のセンサの効果を確認するため、
次のような比較試験を行った。図５は、上流側から三方
切換弁２５、両側の接続口部１３・１４の口径を１／２
インチとした本発明によるセンサ、インライン型導電率
計２６の順で接続した試験例。図６は、三方切換弁２
５、口径１／２インチのステンレス直管２７、導電率計
２６の順で接続した試験例。図７は、三方切換弁２５、
口径１／２インチの二方切換弁２８、導電率計２６の順
で接続した試験例。図８は、三方切換弁２５、分岐部下
端を閉じた口径１／２インチのＴ字形分岐管継手２９、
導電率計２６の順で接続した試験例。
次のような比較試験を行った。図５は、上流側から三方
切換弁２５、両側の接続口部１３・１４の口径を１／２
インチとした本発明によるセンサ、インライン型導電率
計２６の順で接続した試験例。図６は、三方切換弁２
５、口径１／２インチのステンレス直管２７、導電率計
２６の順で接続した試験例。図７は、三方切換弁２５、
口径１／２インチの二方切換弁２８、導電率計２６の順
で接続した試験例。図８は、三方切換弁２５、分岐部下
端を閉じた口径１／２インチのＴ字形分岐管継手２９、
導電率計２６の順で接続した試験例。
【００１４】そして、これら試験例のそれぞれについ
て、三方切換弁２５から先ず２０ｍＳ／ｃｍの導電率を
有する水酸化ナトリウム溶液を１０秒間流した後、０．
０６μＳ／ｃｍの導電率を有する超純水を毎分１リット
ルの流量で置換した際の導電率が０．２μＳ／ｃｍに達
するまでの所要時間を調べた。その結果は、図５の場合
が２５秒、図６の場合が１５秒、図７の場合が２０秒
で、本発明によるセンサを使用した図５の場合は図６及
び図７の場合と大差はなかったが、図３の従来例と同等
に見なせる図８の場合は７８６秒も要した。
て、三方切換弁２５から先ず２０ｍＳ／ｃｍの導電率を
有する水酸化ナトリウム溶液を１０秒間流した後、０．
０６μＳ／ｃｍの導電率を有する超純水を毎分１リット
ルの流量で置換した際の導電率が０．２μＳ／ｃｍに達
するまでの所要時間を調べた。その結果は、図５の場合
が２５秒、図６の場合が１５秒、図７の場合が２０秒
で、本発明によるセンサを使用した図５の場合は図６及
び図７の場合と大差はなかったが、図３の従来例と同等
に見なせる図８の場合は７８６秒も要した。
【００１５】なお、感応検出部として圧力トランスジュ
ーサ２３を用いた圧力センサについて説明したが、本発
明は、流量センサや温度センサや導電率センサなど、流
体の物理量を電気信号に変換して検出する各種の流体用
センサに広範に適用できる。また、図１では流体出入り
口１５・１６を同軸上に配置した例を示したが、これら
の軸線位置をずらしても構わない。
ーサ２３を用いた圧力センサについて説明したが、本発
明は、流量センサや温度センサや導電率センサなど、流
体の物理量を電気信号に変換して検出する各種の流体用
センサに広範に適用できる。また、図１では流体出入り
口１５・１６を同軸上に配置した例を示したが、これら
の軸線位置をずらしても構わない。
【００１６】
【発明の効果】本発明によるセンサは、その内面のほと
んど全部に流体が流速をもって接触し、流体の滞留部が
無いので、従来のセンサのように滞留した汚染物で感応
検出部の機能が損なわれるとか、流体を切り換えたとき
その前後の流体が長時間に渡り混入するとかの問題が生
じない。しかも、それを、ボディ内に環状の隔壁を隆起
させた単純な構造で達成しているため、安価に提供でき
る。
んど全部に流体が流速をもって接触し、流体の滞留部が
無いので、従来のセンサのように滞留した汚染物で感応
検出部の機能が損なわれるとか、流体を切り換えたとき
その前後の流体が長時間に渡り混入するとかの問題が生
じない。しかも、それを、ボディ内に環状の隔壁を隆起
させた単純な構造で達成しているため、安価に提供でき
る。
【００１７】請求項２によれば、感応検出部によってチ
ャンバの上面開口を閉塞したので、小型化でき、請求項
３によれば、ボディから突出した接続口部によって配管
との接続を容易に行える。
ャンバの上面開口を閉塞したので、小型化でき、請求項
３によれば、ボディから突出した接続口部によって配管
との接続を容易に行える。
【図１】本発明を圧力センサとして具体化した例を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】同上におけるボディのＡ−Ａ線位置の断面図で
ある。
ある。
【図３】Ｔ字形分岐管継手を使用した従来例の断面図で
ある。
ある。
【図４】直線連通部を有する従来例の断面図である。
【図５】本発明によるセンサの試験例を示す流体回路図
である。
である。
【図６】同上との比較のための試験例を示す流体回路図
である。
である。
【図７】同じく別の試験例を示す流体回路図である。
【図８】図３の従来例に対応した試験例を示す流体回路
図である。
図である。
１０ ボディ １１ 周壁 １２ チャンバ １３ 接続口部 １４ 接続口部 １５ 第１の流体出入り口 １６ 第２の流体出入り口 １７ 底部 １８ 隔壁 １９ 流路 ２０ 内部導入口 ２１ 環状流路 ２３ 圧力トランスジューサ（感応検出部）
Claims (3)
- 【請求項１】第１の流体出入り口と第２の流体出入り口
との間にチャンバを形成したボディ内に、前記第１の流
体出入り口と連続する流路を形成しながら前記チャンバ
の中央部に隆起する環状の隔壁を設けることにより、チ
ャンバ内の途中に開口する内部導入口と前記第２の流体
出入り口に連通する環状流路とを同心円状に形成し、そ
の上部に感応検出部を設けたことを特徴とする流体用セ
ンサ。 - 【請求項２】前記感応検出部で前記チャンバの上面開口
を閉塞したことを特徴とする請求項１に記載の流体用セ
ンサ。 - 【請求項３】前記ボディの周壁から互いに反対側に突出
する両接続口部をもって、前記第１の流体出入り口と第
２の流体出入り口を形成したことを特徴とする請求項１
に記載の流体用センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5637193A JPH06249735A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | 流体用センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5637193A JPH06249735A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | 流体用センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06249735A true JPH06249735A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=13025404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5637193A Pending JPH06249735A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | 流体用センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06249735A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008207121A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Nissan Motor Co Ltd | 取付部材 |
| WO2013125317A1 (ja) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | サーパス工業株式会社 | 圧力センサ |
| JP2016223953A (ja) * | 2015-06-01 | 2016-12-28 | 株式会社デンソー | 温度センサ装置 |
| JP2020003401A (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-09 | 株式会社デンソー | 圧力温度センサ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01223315A (ja) * | 1988-03-02 | 1989-09-06 | Takeharu Era | ダイヤフラム型微少流量検知器 |
-
1993
- 1993-02-23 JP JP5637193A patent/JPH06249735A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01223315A (ja) * | 1988-03-02 | 1989-09-06 | Takeharu Era | ダイヤフラム型微少流量検知器 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008207121A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Nissan Motor Co Ltd | 取付部材 |
| WO2013125317A1 (ja) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | サーパス工業株式会社 | 圧力センサ |
| JP2013174507A (ja) * | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Surpass Kogyo Kk | 圧力センサ |
| US9778128B2 (en) | 2012-02-24 | 2017-10-03 | Surpass Industry Co., Ltd. | Pressure sensor |
| JP2016223953A (ja) * | 2015-06-01 | 2016-12-28 | 株式会社デンソー | 温度センサ装置 |
| JP2020003401A (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-09 | 株式会社デンソー | 圧力温度センサ |
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