JP2015133420A - 冷却器とその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本明細書は、筐体の対向する一対の側板の夫々で衝突噴流による冷却を行うことができる冷却器の製造し易い構造術を提供する。【解決手段】冷却器１０は、筐体１２、仕切板１５を有する。筐体１２は、対向する一対の側板１２ａ、１２ｂを有しており、その一対の側板の間を冷媒が通る。仕切板１５は、一対の側板の間の空間を、側板に平行に３層に区画する。仕切板１５は、Ｕ字に折り曲げられた一枚の金属板であってＵ字の対向する２面によって一対の側板１２ａ、１２ｂの間の空間を３層に区画している。また、仕切板のＵ字の２面の夫々に、Ｕ字の外側に向かって突出する窪み１６が設けられているとともに、窪みの底に冷媒噴出孔１７が設けられている。窪み１６と冷媒噴出孔１７がノズルに相当し、冷媒噴出孔１７から側板１２ａ、１２ｂに向けて冷媒が噴出される。【選択図】図２

Description

本発明は、液体冷媒を使った冷却器とその製造方法に関する。特に、半導体チップやそれを封止したパワーカードなどの小型デバイスを冷却するのに好適な冷却器とその製造方法に関する。

液体冷媒を使って半導体チップなどの小型デバイスを冷却する冷却器が知られている。冷却能力を高めるため、小型デバイスなどの冷却対象を取り付ける冷却器側板の裏面に冷媒を衝突させる冷却器が提案されている。そのような冷却器は、衝突噴流型冷却器と称されることがある。特許文献１に、衝突噴流型冷却器の一例が開示されている。

特許文献１の冷却器は次の構造を有している。冷却器筐体の一つの側板の裏面に複数のフィンが設けられている。筐体内部の冷媒流路をその側板に沿って平行に２層に区画する仕切板が設けられている。仕切板には、上記側面に向かって突出するノズルが設けられており、そのノズルの先端がフィンに当接している。仕切板によって区画される２つの流路のうち、側板から遠い側の流路に冷媒が供給される。その冷媒は、ノズルを通じて側板の裏面に衝突する。側板の裏面に衝突した冷媒はフィンの間を通って排出される。冷媒を勢いよく側板の裏面に衝突させることで冷却効率が高まる。フィンの間に冷媒が勢いよく流れることも冷却効率の向上に寄与する。

特許文献１の冷却器は、冷却器筐体の一側面だけが、その裏面に冷媒を衝突させる構造である。すなわち、デバイスを効率よく冷却できるのは冷却器筐体の一側面である。これに対して、冷却器の対向する一対の側面の夫々の裏面に冷媒を衝突させる構造が特許文献２に開示されている。特許文献２の冷却器は、冷却器筐体の対向する一対の側板の間で冷媒流路を３層に区画する２枚の仕切板を備える。２枚の仕切板の夫々に冷媒噴出孔が設けられている。中央の層に供給された冷媒は、冷媒噴出孔を通じて夫々の側板の裏面に衝突する。

特開２０１１−１６６１１３号公報 特開２００６−３１０３６３号公報

特許文献２の冷却器は、その一対の側面が衝突噴流によって対象を冷却することができる。特許文献２の冷却器は、仕切板に冷媒噴出孔が設けてあるだけであり、特許文献１のようにノズルを有さない。冷媒を勢いよく噴出するためにノズルを有するのが好ましい。しかし、ノズルを有する２枚の仕切板を一対の側面の間に配置すると構造が複雑になり、製造コストが嵩む。本明細書は、筐体の対向する一対の側板の夫々で衝突噴流型の冷却を行うことができる冷却器の製造し易い構造と、そのような冷却器の好適な製造方法を提供する。

本明細書が開示する冷却器は、Ｕ字に折り曲げた１枚の金属板を、流路空間を３層に区画する仕切板として用いる。さらに、Ｕ字の対向する２面の夫々に、Ｕ字の外側に膨らむ窪みを設ける。窪みの底には孔（冷媒噴出孔）が設けられている。窪みと冷媒噴出孔が前述したノズルに相当する。上記したＵ字の金属板は、その形状を自らが保持することができるとともに、筐体内では対向する一対の側板に挟持され、その位置が保持される。従って、そのような冷却器は製造し易い。

本明細書が開示する冷却器の一態様は次の通りである。その冷却器は、筐体と仕切板を有している。筐体は、対向する一対の側板を有しており、その一対の側板の間を冷媒が通る。夫々の側板の裏面（内側面）には複数のフィンが設けられている。仕切板は、一対の側板の間の空間を、側板に沿って平行に３層に区画する。なお、筐体には、中央の層に冷媒を供給する冷媒入口と、両側の層から冷媒を排出する冷媒出口が設けられている。本明細書が開示する冷却器は仕切板に特徴がある。その仕切板は、Ｕ字に折り曲げられた一枚の金属板である。仕切板は、Ｕ字の対向する２面によって筐体の一対の側板の間の空間を３層に区画する。仕切板のＵ字の対向する２面の夫々に、Ｕ字の外側に向かって突出する窪みが設けられている。なお、金属平板に設けられる窪みの外側（裏側）がＵ字の外側に向かって突出する。さらに、その窪みの底に冷媒噴出孔が設けられている。前述したように、窪みと冷媒噴出孔が、冷媒を側板裏面に向けて噴出するノズルに相当する。なお、以下では、Ｕ字の金属板をＵ字仕切板と称する。

Ｕ字の内側に流れ込んだ冷媒は、窪みの中へ集中することにより、冷媒噴出孔から噴出する冷媒の流速が高まる。側板裏面に衝突する冷媒の流速が高いほど冷却効果が高まる。上記の冷却器は、ノズルに相当する窪みと冷却噴出孔を有するので、特許文献２の冷却器よりも冷却効率がよい。

上記の冷却器は、さらに、各側板の裏面に複数のフィンが設けられており、窪みの底の外側が複数のフィンの先端に当接しているとよい。Ｕ字仕切板がその両側からフィンの先端で挟持されてその位置が安定する。

Ｕ字仕切板は、Ｕ字の底面が冷媒の流れに垂直となるように筐体内に配置されてもよいし、Ｕ字の底面が冷媒の流れに平行となるように筐体に配置されていてもよい。また、複数のＵ字仕切板が筐体内に配置されていてもよい。好適な一例では、Ｕ字仕切板は、Ｕ字の両先端が筐体の側板に接するように外側に折り曲げられている。そして、冷媒の流れの方向に沿って複数のＵ字仕切板が配置されている。各Ｕ字仕切板は、折り曲げられた先端が冷媒の流れの上流側に位置するとともにＵ字の底面が下流側に位置するように配置されている。Ｕ字仕切板の先端が筐体の側板に接することで、Ｕ字仕切板に向かって流れてくる冷媒をＵ字の内側に誘導することができる。そのような配置によれば、次の利点が得られる。

冷媒入口から供給された冷媒は、直近のＵ字仕切板のＵ字の内側に導かれる。冷媒は、Ｕ字仕切板の窪みへ集中し、窪みの底板に設けられた冷媒噴出孔から噴出する。噴出した冷媒は、筐体両側の側板の裏面に衝突する。冷媒は下流へと流れ、次のＵ字仕切板に達する。次のＵ字仕切板の先端も外側に折り曲げられているので、最初のＵ字仕切板を通過した冷媒は次のＵ字仕切板のＵ字の内側に導かれる。そして、最初のＵ字仕切板のときと同様に、冷媒は冷媒噴出孔から噴出し、筐体両側の側板の裏面に衝突する。このように、複数のＵ字仕切板によって、冷媒は繰り返し側板裏面に衝突するので冷却効率が良い。

折り曲げ前のＵ字仕切板は、プレス加工あるいは絞り加工で容易に製造することができる。即ち、上記したＵ字仕切板を有する冷却器は、ノズルから冷媒を噴出する衝突噴流型であって複雑な冷媒流路を有するにも関わらず、低コストで製造することができる。製造工程の一態様は次の通りである。まず、プレス加工又は絞り加工によって金属板に複数の窪みを形成する。次に、窪みの底に孔（冷媒噴出孔）を設ける。なお、冷媒噴出孔は、プレス加工で窪み成形と同時に成形することも好適である。次に、金属板をＵ字に折り曲げる。この工程では、Ｕ字の対向する２面の夫々の外側に窪みの外側（裏側）が突出するように金属板をＵ字に折り曲げる。次に、折り曲げられた金属板（Ｕ字仕切板）を冷却器筐体に設置する。この工程では、対向する一対の側板の夫々の内面に複数のフィンが形成された筐体に、Ｕ字仕切板を配置する。この工程ではさらに、窪みの底の外側を複数のフィンの先端に当接させるとともに、Ｕ字仕切板の対向する２面によって一対の側板の間の空間を３層に区画する。

本明細書が開示する技術は、筐体の対向する一対の側板の夫々で衝突噴流型の冷却を行うことができる冷却器の製造し易い構造を提供する。本明細書が開示する技術の詳細とさらなる改良は以下の「発明を実施するための形態」にて説明する。

実施例の冷却器を用いた積層ユニットの斜視図である。 図１のII−II線に沿った冷却器の断面図である。 図２のIII−III線に沿った冷却器の断面図である。 仕切板の斜視図である。 折り曲げ前の仕切板の斜視図である。 仕切板の製造工程を説明する図である（プレス前）。 仕切板の製造工程を説明する図である（プレス後）。 第１変形例の仕切板の斜視図である（折り曲げ前）。 第１変形例の仕切板の斜視図である。 第２変形例の仕切板の斜視図である（折り曲げ前）。 第２変形例の仕切板の斜視図である。

最初に、本明細書が開示する冷却器を使った積層ユニットを説明する。図１に積層ユニット２の斜視図を示す。積層ユニット２は、複数のパワーカード２０と複数の冷却器１０を交互に積層したデバイスである。図１では、一つのパワーカード２０（２０ａ）を積層ユニットから抜き出して示してある。また、複数のパワーカード２０と冷却器１０の幾つかに対する符号を省略している。

この積層ユニット２は、電気自動車（あるいはハイブリッド車）に搭載され、バッテリの電力を交流に変換して走行用モータに供給するインバータの主要な部品である。各パワーカード２０は、２個のスイッチング素子（図１では不図示）を樹脂でモールドしたパッケージである。パワーカード２０の筐体のモールドを以下では樹脂モールド２２と称する。

スイッチング素子は、典型的にはトランジスタである。より具体的には、スイッチング素子は、例えばインバータ回路の上下アームのトランジスタである。図では、パワーカード２０から延設されているはずの端子は省略している。

パワーカード２０の表面には、放熱板２４が露出している。図１で隠れている反対側の表面にも放熱板が露出していることに留意されたい。放熱板２４は、スイッチング素子の電極の一部であり、樹脂モールド２２の内部でスイッチング素子と導通している。放熱板２４は、スイッチング素子の熱を樹脂モールド２２の表面に伝える。

冷却器１０はアルミニウムで作られている。前述したようにパワーカード２０の放熱板２４がスイッチング素子と導通しているため、パワーカード２０（放熱板２４）と冷却器１０の間には、絶縁板５が挟まれている。絶縁板５は、例えば伝熱性の高いセラミックス製である。

複数のパワーカード２０と複数の冷却器１０は交互に積層されるとともに、その積層方向に荷重を受けて密着する。密着させることによって放熱板２４から冷却器１０への伝熱効率を高めている。冷却器１０の内部を液体の冷媒が通り、スイッチング素子の熱が、放熱板２４と絶縁板５を介して冷媒に吸収される。なお、液体の冷媒は、例えば、水、あるいは、ＬＬＣ（Long Life Coolant）である。

パワーカード２０（及び絶縁板５）を挟んで隣接している冷却器１０は、２個の接続管３ａ、４ａで接続されている。積層ユニット２の積層方向の端の冷却器１０（１０ａ）には、全ての冷却器１０に冷媒を供給する冷媒供給管３と、全ての冷却器１０から冷媒を排出する冷媒排出管４が接続されている。なお、以下では、積層ユニット２の積層方向を単純に「積層方向」と称する。図の座標系におけるＹ軸の方向が積層方向に相当する。

冷媒供給管３と冷媒排出管４は、不図示の冷媒循環装置に接続されている。冷媒供給管３から供給された冷媒は、積層方向に一列に並んでいる複数の接続管３ａを通じて全ての冷却器１０に分配される。また、各冷却器１０を通る間に放熱板２４と絶縁板５を介してスイッチング素子から熱を吸収した冷媒は、積層方向に一列に並んでいる別の複数の接続管４ａを通じて冷媒排出管４へと排出される。

図２に、図１のII−II線に沿った積層ユニット２の断面を示す。但し、図２は、積層ユニット２の一部、一つの冷却器１０とその両側のパワーカード２０だけの断面を示している。また、図３に、図２のIII−III線に沿った断面図を示す。図２、図３では、複数の同じ部品の幾つかには符号を付すことを省略している。

まず、パワーカード２０の内部構造を概説する。パワーカード２０は、２個のスイッチング素子２１ａ、２１ｂを樹脂でモールドしたデバイスである。パワーカード２０の筐体が樹脂モールド２２に相当する。図２において、上側のパワーカード２０のスイッチング素子２１ａの周囲にだけに符号を付しており、他のスイッチング素子には符号を省略していることに留意されたい。スイッチング素子２１ａ、２１ｂは、その両面に電極が露出しており、その電極が導電体のスペーサ２３を挟んで放熱板２４に接続している。放熱板２４は、樹脂モールド２２の表面に露出している。放熱板２４は絶縁板５を挟んで冷却器１０と対向している。絶縁板５は例えばセラミックス製であるが、導電率が高いセラミックスが使われる。

冷却器１０を説明する。冷却器１０の内部（筐体１２の内部）は冷媒が通る空洞であり、その内部空間に、２個の仕切板１５が配置されている。仕切板１５は、その全体的な形状がＵ字型であり、筐体１２の側板１２ａ、１２ｂに沿って、筐体１２の内部空間を積層方向に３層に区画する。なお、側板１２ａ、１２ｂは、筐体１２の対向する一対の側板であり、積層方向に並んでいる。側板１２ａ、１２ｂの夫々の裏面には複数のフィン１３が設けられている。仕切板１５のＵ字の対向する２面の夫々がフィン１３に接している。仕切板１５は、筐体１２の内部空間を、Ｕ字の外側の空間（図中の符号Ｓ２が示す空間）と、Ｕ字の内側の空間（図中の符号Ｓ１が示す空間）の３層に区画する。

ここで、図４、図５を参照して仕切板１５の構造を説明する。図４は、仕切板１５の斜視図であり、図５は、折れ曲げ前の仕切板１５Ｂの斜視図である。仕切板１５は、プレス加工（あるいは絞り加工）で起伏を付けた一枚の金属板（アルミニウム板）を折り曲げた部品である。図５によく示されているように、仕切板１５は、複数の窪み１６を有する。各窪み１６は、細長である。窪み１６の底には、窪み１６の長手方向に沿った細長孔が設けられている。その細長孔を、冷媒噴出孔１７と称する。折り曲げ前の仕切板１５Ｂを図５に示す２本の直線Ｌ１に沿って折り曲げると、図４に示すように全体がＵ字の仕切板１５が出来上がる。窪み１６が形成された平板の金属板（仕切板１５Ｂ）は、Ｕ字の２面の夫々の外側に窪み１６の外側（裏面）が突出するように折り曲げられる。このとき、Ｕ字の２面の夫々の窪み１６が対向する。また、Ｕ字の先端１５ａは、Ｕ字の外側に折れ曲がっている。図５の直線Ｌ２は、先端１５ａの屈曲箇所を示している。先端１５ａの直線Ｌ２における屈曲は、一枚の金属板から窪み１６と冷媒噴出孔１７を形成するプレス加工にて行われる（後述）。

図２と図３に戻り、冷却器１０の筐体１２の内部における仕切板１５のレイアウトを説明する。なお、図２は、冷媒噴出孔１７を長手方向に横切る断面を示している。図３は、冷媒噴出孔１７を短手方向に横切る断面を示している。

筐体１２の内部には、流れ方向に沿って２個の仕切板１５が配置されている。なお、図２において、筐体１２の内部空間の左側が冷媒が流入する冷媒入口Ｐｉｎに相当し、右側が冷媒が流出する冷媒出口Ｐｏｕｔに相当する。別言すれば、細長の筐体１２は、その長手方向の一方の端に冷媒入口Ｐｉｎを有し、他方の端に冷媒出口Ｐｏｕｔを有する。図２の左側が冷媒の流れの上流側に相当し、右側が下流側に相当する。夫々の仕切板１５は、Ｕ字の先端が冷媒流れの上流側に位置するように、そして、Ｕ字の底が流れの下流側に位置するように配置されている。２個の仕切板１５は同じ構造であり、同じ部位には符号を付すことを省略している。

Ｕ字の仕切板１５は、窪み１６の底面の外側が複数のフィン１３の先端に接している。別言すれば、Ｕ字の仕切板１５は、Ｕ字の外側面が一対の側板１２ａ、１２ｂによって挟まれている。そして、窪み１６の底に、冷媒噴出孔１７が設けられている。冷媒噴出孔１７は、側板１２ａ、１２ｂの裏面に向けて開口している。また、Ｕ字の先端１５ａが、側板１２ａ（１２ｂ）の裏面に伸びるリブ１４と当接している。Ｕ字の先端１５ａとリブ１４とは、図２の奥行き方向にわたって一方の端から他方の端まで接しており、接続管３ａ側の空間とフィン１３の空間とを区画している。

図３に示すように、仕切板１５は、積層方向（Ｙ軸方向）と交差する筐体の短手方向（図中のＺ軸方向）で筐体内部の一方の端から他方の端まで繋がっている。図３に、仕切板１５が筐体内部空間を３層（Ｕ字の内側の空間Ｓ１と、Ｕ字の外側の２つの空間Ｓ２）に区画していることがよく表れている。特に、窪み１６の外側（裏側）が複数のフィン１３の先端に当接することで、筐体内で仕切板１５を固定せずとも、Ｕ字の外側の空間Ｓ２が確保される。このことは、仕切板１５を筐体に組み込む際に、仕切板１５の位置を保持する特別な構造が不要という利点を与える。

上記の構造とレイアウトを有する仕切板１５の機能を説明する。冷媒は、図２の左側の接続管３ａを通り、冷媒入口Ｐｉｎから筐体１２の内部へ流れ込む。上流側に位置するＵ字の先端１５ａが筐体側板１２ａ（１２ｂ）から伸びるリブ１４と当接しているので、冷媒はＵ字の内側（空間Ｓ１）に導かれる。空間Ｓ１の下流側はＵ字の底面に相当し、閉塞している。従って冷媒は、窪み１６へと導かれ、冷媒噴出孔１７から側板１２ａ（１２ｂ）の裏面に向かって噴出する。Ｕ字の内側に流れ込んだ冷媒は窪み１６へ集中することで冷媒噴出孔１７から噴出する際の流速が高められる。図２の矢印線Ａ１が、冷媒入口Ｐｉｎから入って冷媒噴出孔１７から噴出する冷媒の流れを表している。冷媒が側板１２ａ（１２ｂ）の裏面に勢いよく衝突することで、絶縁板５を介して側板１２ａ（１２ｂ）と接しているパワーカード２０のスイッチング素子２１ａが効率よく冷却される。

側板１２ａ（１２ｂ）の裏面に衝突した冷媒は、複数のフィン１３の間を通る。側板１２ａ（１２ｂ）から伸びている複数のフィン１３も、冷却効果を高めることに寄与する。

フィン１３の間を通った冷媒は、空間Ｓ２を下流へと流れる。図２の左側の仕切板１５を通過した冷媒は、図２の右側の仕切板１５へと向かう。右側の仕切板１５も、左側の仕切板１５と同様に、上流側に位置する先端１５ａが側板１２ａ（１２ｂ）から伸びるリブ１４と当接している。従って冷媒は、リブ１４と仕切板１５の先端１５ａによって、Ｕ字の内部空間Ｓ１に導かれる。図２の矢印線Ａ２が、下流側の仕切板１５のＵ字内側空間Ｓ１へ向かう冷媒の流れを表している。なお、矢印線Ａ２の破線部分は、図２の紙面の面外方向、即ち、窪み１６の外側を冷媒が通ることを表している。

図中右側の仕切板１５においても左側の仕切板１５と同様に、冷媒は冷媒噴出孔１７を通じて側板１２ａ（１２ｂ）の裏面に勢いよく衝突し、スイッチング素子２１ｂを冷却する。最後に冷媒は、冷媒出口Ｐｏｕｔを通って筐体１２から排出される。冷媒はさらに接続管４ａを通り、積層ユニット２の外側へと排出される。矢印線Ａ３が、排出される冷媒の流れを表している。矢印線Ａ３の破線部分も、矢印線Ａ２と同様に、窪み１６の外側を冷媒が通ることを表している。

上記のように、冷却器１０は、パワーカード２０と接している側板１２ａ（側板１２ｂ）の裏面に冷媒を勢いよく噴き付けることにより、冷却能力を高めている。特に、パワーカード２０の内部に２個のスイッチング素子２１ａ、２１ｂが封止されており、冷却器１０は、各スイッチング素子に対向するように複数の仕切板１５を配置している。仕切板１５の冷媒噴出孔１７から冷媒が噴出される。図１−図５の冷却器１０は、パワカード内の各スイッチング素子に対応して冷媒を噴出し、２個のスイッチング素子の間では冷媒を噴出しない。冷却器１０は、側板裏面に向けて冷媒を噴出する範囲をスイッチング素子の範囲に限ることで、多くの冷媒をスイッチング素子に向けて噴出することができる。

図２−図５に示したように、仕切板１５は複雑な形状をしているが一枚の金属板で作られている。次に、仕切板１５の製造方法の一例を説明する。図６Ａは、仕切板を製造するプレス機の金型４０と、プレス前の仕切板（金属板３５）の断面を示している。図６Ｂは、プレス後の仕切板（折り曲げ前の仕切板１５Ｂ）の断面を示している。図６Ｂの断面は、図５のVI−VI線に沿った断面に相当する。

金型４０は、上型４１と下型４２で構成される。金型表面には、図５に示した折り曲げ前の仕切板１５Ｂの形状と同じ起伏が形成されている。平板の金属板３５を上型４１と下型４２で挟み込み、金型表面の形状を金属板３５に複製する。なお、下型４２には、冷媒噴出孔１７（図５参照）を形成するためのパンチ４２ａが設けられているとともに、上型４１には、パンチ４２ａが嵌合するパンチ溝４１ａが設けられている。金型４０は、金属板３５を仕切板１５Ｂの形に成形すると同時に冷媒噴出孔１７も形成することができる（図６Ｂ参照）。このように複数の窪み１６と各窪み１６の冷媒噴出孔１７は、プレス加工で瞬時に形成される。即ち、仕切板１５は低コストで製造することができる。

こうして作られた折り曲げ前の仕切板１５Ｂを図５に示した２本の直線Ｌ１で折り曲げると、図４に示したＵ字の仕切板１５が得られる。最後に、筐体１２の内部に仕切板１５を取り付けて冷却器１０が完成する。なお、具体的には、次の通りである。仕切板設置前の筐体１２には、対向する一対の側板１２ａ、１２ｂの夫々の内面に複数のフィン１３が形成されている。複数のフィン１３が形成された筐体１２に仕切板１５を設置する。このとき、窪み１６の底の外側を複数のフィン１３の先端に当接させるとともに仕切板１５のＵ字の対向する２面によって一対の側板１２ａ、１２ｂの間の空間を３層に区画する。なお、図示を省略しているが、筐体１２は複数に分割することができ、仕切板１５は、分解された筐体１２に組み込まれ、その後に筐体が組み立てられる。

以上説明したように、冷却器１０は、その両面で、冷媒の衝突噴流によって高い冷却効果が得られる。また、両面で衝突噴流を起こさせるノズル付き仕切板１５は、プレス加工と折り曲げ加工で得ることができる。即ち、冷却器１０は低コストで製造することができる。なお、仕切板１５は、プレス加工の代わりに絞り加工でも低コストで製造することができる。

仕切板１５の変形例を説明する。図７、図８に第１変形例の仕切板１１５の斜視図を示す。図７は、折り曲げ前の仕切板１１５Ｂの斜視図である。図７の仕切板１１５Ｂを２本の直線Ｌ１０１で折り曲げると、図８のＵ字の仕切板１１５が得られる。図のＸ軸方向が、仕切板１１５を筐体に設置し後の冷媒流れ方向に相当する。即ち、仕切板１１５は、筐体内に設置したときに冷媒の流れ方向に２列の窪み１６を有する。窪み１６は、前述の仕切板１５と同様に流れ方向に細長である。また、各窪み１６の底には、窪みの長手方向に沿って一列に並ぶ冷媒噴出孔群１１７が形成されている。一列に並んだ冷媒噴出孔群１１７は、前述の仕切板１５の細長い冷媒噴出孔１７と本質的に同じ効果を奏する。図７では複数の窪みの一部と複数の冷媒噴出孔の一部だけに符号１６と１１７を付していることに留意されたい。

次に、図９、図１０を参照して第２変形例の仕切板２１５を説明する。図９の仕切板２１５Ｂを、図中の２本の直線Ｌ２０１で折り曲げると、図１０のＵ字の仕切板２１５が得られる。仕切板２１５は、前述の仕切板１１５とは折り曲げる方向が異なる。即ち、仕切板１１５は、流れ方向（図中Ｘ軸方向）と直交する直線Ｌ１０１に沿って折り曲げられ、仕切板２１５は、流れ方向と平行な直線Ｌ２０１に沿って折り曲げられる。別言すると、仕切板１１５は、Ｕ字の先端が流れの上流側に位置するとともに、Ｕ字の底面が下流側に位置するように筐体に設置される。他方、仕切板２１５は、Ｕ字の底面が冷媒の流れの方向と平行になるように筐体内に設置される。このように、冷却器筐体内における仕切板のＵ字の方向（底面の方向）は、冷媒の流れに平行な態様と流れに垂直な態様があってよい。

実施例の技術に関する留意点を述べる。図２以降は、一つの冷却器だけを示したが、図１の積層ユニット２に含まれる複数の冷却器の全て、あるいは、幾つかが、冷却器１０と同じ構造を有している。仕切板１５、１１５、２１５は、典型的には、アルミニウム板で作られることが好ましいが、銅など、他の金属板で作られてもよい。実施例の冷却器では、複数のフィン１３は筐体の側板１２ａ、１２ｂに固定されている。複数のフィン１３は、複数の波を有する波板であってもよい。実施例の冷却器では、仕切板１５のＵ字の２面の夫々の窪み１６が対向する。Ｕ字の２面の夫々の窪み１６は対向していなくともよい。

以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

２：積層ユニット
３：冷媒供給管
３ａ、４ａ：接続管
４：冷媒排出管
５：絶縁板
１０：冷却器
１２：筐体
１２ａ、１２ｂ：側板
１３：フィン
１５、１１５、２１５：仕切板
１５Ｂ、１１５Ｂ、２１５Ｂ：仕切板（折れ曲げ前）
１６：窪み
１７：冷媒噴出孔
２０：パワーカード
２１ａ、２１ｂ：スイッチング素子
２２：樹脂モールド
２３：スペーサ
２４：放熱板
３５；金属板
４０：金型
１１７：冷媒噴出孔群

Claims (6)

1. 対向する一対の側板を有しており、前記一対の側板の間を冷媒が通る筐体と、
   前記一対の側板の間の空間を、前記側板に平行に３層に区画する仕切板と、
   を備えており、前記仕切板は、
   Ｕ字に折り曲げられた一枚の金属板であってＵ字の対向する２面によって前記一対の側板の間の空間を３層に区画しており、
   前記２面の夫々に、Ｕ字の外側に向かって突出する窪みが設けられているとともに前記窪みの底に冷媒噴出孔が設けられている、
   ことを特徴とする冷却器。
2. 各側板の内面に複数のフィンが設けられており、
   前記仕切板は、Ｕ字の２面の各々に設けられた窪みの底の外側が前記フィンの先端に当接している、
   ことを特徴とする請求項１に記載の冷却器。
3. 前記窪みは、冷媒の流れ方向に沿って細長であることを特徴とする請求項１又は２に記載の冷却器。
4. 前記窪みの底に窪みの長手方向に沿って細長い冷媒噴出孔が設けられている、あるいは、前記窪みの底に窪みの長手方向に沿って複数の冷媒噴出孔が設けられている、
   ことを特徴とする請求項３に記載の冷却器。
5. 前記仕切板のＵ字の両先端が前記側板に接するように外側に折り曲げられており、
   冷媒の流れの方向に沿って複数の仕切板が、折り曲げられた前記先端が流れの上流側に位置するとともにＵ字の底面が下流側に位置するように配置されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の冷却器。
6. プレス加工又は絞り加工によって金属板に複数の窪みを形成する工程と、
   窪みの底に孔を設ける工程と、
   前記金属板をＵ字に折り曲げる工程であって、前記窪みがＵ字の対向する２面の夫々の外側に突出するように前記金属板をＵ字に折り曲げる工程と、
   対向する一対の側板を有する筐体の内部に折り曲げられた前記金属板を設置し、前記金属板のＵ字の対向する２面によって前記一対の側板の間の空間を３層に区画する工程と、
   を備えることを特徴とする冷却器の製造方法。

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