JP2015131392A - 液体吐出ヘッド - Google Patents
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Abstract
Description
図1に、本発明に係る液体吐出ヘッドの第1の実施形態の概略斜視図を示す。なお、内部構造がわかるように、流路形成部材3の一部分を省略している。また、図2に、図1のA−A断面の概略図を示す。図3に、加熱素子の配置位置を説明するための記録素子基板の上面図を示す。なお、図3では、流路形成部材と中間層と第1の保護膜と第2の保護膜とを省略している。
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの第2の実施形態について説明する。図10に、本発明に係る液体吐出ヘッドの第2の実施形態であり、図1のA−A断面に対応する断面の概略図を示す。なお、上述の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
2 基板
3 流路形成部材
6 吐出口
7 液体供給口
8 液体流路
9 保護膜
11 加熱素子
20 液体吐出ヘッド
21 記録素子基板
Claims (8)
- 液体を吐出する吐出口が形成された流路形成部材と、前記吐出口に前記液体を供給する液体供給口が形成された基板と、前記液体を吐出させるエネルギーを発生させる複数のエネルギー発生素子と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記基板の一方の面に、前記液体供給口の開口が形成されており、かつ、該開口を挟むように各前記エネルギー発生素子が配置されており、
前記流路形成部材は、前記基板の前記一方の面に配置されており、
前記流路形成部材と前記基板とによって、前記液体供給口から前記開口を介して前記吐出口につながる液体流路が形成され、
前記液体流路の内部であり、前記基板から離れた位置には、前記液体を加熱する加熱素子が配置されている、液体吐出ヘッド。 - 前記流路形成部材から前記液体流路に向かって突出する突起部を有し、
前記加熱素子が前記突起部に固定されている、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記加熱素子は前記開口と前記吐出口との間に位置する、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記加熱素子の少なくとも一部が保護膜に覆われている、請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記加熱素子はヒータである、請求項1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドと、
記録媒体を搬送する搬送機構と、
を有する、記録装置。 - 液体を吐出する吐出口が形成された流路形成部材と、前記吐出口に前記液体を供給する液体供給口が形成された基板と、前記液体を吐出させるエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の一方の面に第1の保護膜を形成し、該第1の保護膜の上に、前記液体供給口が形成される位置と対向するように加熱素子を配置するとともに、前記基板の前記一方の面に、前記液体供給口が形成される位置を挟むようにエネルギー発生素子を列状に配置する工程と、
前記基板の前記一方の面を覆うように第2の保護膜を形成する工程と、
前記第2の保護膜の上に、型材と、前記流路形成部材となる膜とをこの順に形成する工程と、
前記膜の、前記エネルギー発生素子と対向する位置に前記吐出口を形成する工程と、
前記基板に前記液体供給口を形成してから前記型材を除去する工程と、
を含む、液体吐出ヘッドの製造方法。 - 液体を吐出する吐出口が形成された流路形成部材と、前記吐出口に前記液体を供給する液体供給口が形成された基板と、前記液体を吐出させるエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の一方の面に、前記液体供給口が形成される位置を挟むように前記エネルギー発生素子を列状に配置してから前記基板の前記一方の面を覆うように第1の保護膜を形成する工程と、
前記第1の保護膜の上の、前記液体供給口が形成される位置と対向する位置に加熱素子を配置する工程と、
前記基板の前記一方の面を覆うように第2の保護膜を形成する工程と、
前記第2の保護膜の上に、型材と、前記流路形成部材となる膜とをこの順に形成する工程と、
前記膜の、前記エネルギー発生素子と対向する位置に前記吐出口を形成する工程と、
前記基板に前記液体供給口を形成してから前記型材を除去する工程と、
を含む、液体吐出ヘッドの製造方法。
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