JP2015128140A - 表示装置製造方法 - Google Patents
表示装置製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015128140A JP2015128140A JP2014191494A JP2014191494A JP2015128140A JP 2015128140 A JP2015128140 A JP 2015128140A JP 2014191494 A JP2014191494 A JP 2014191494A JP 2014191494 A JP2014191494 A JP 2014191494A JP 2015128140 A JP2015128140 A JP 2015128140A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- display device
- mother substrate
- substrate
- acid
- carrier substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 170
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 37
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 claims abstract description 35
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims abstract description 28
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 27
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 24
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims abstract description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 6
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 56
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 claims description 22
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 14
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 9
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 claims description 9
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 9
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- -1 Mg 2+ Chemical class 0.000 claims description 4
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hcl hcl Chemical compound Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 27
- 239000010408 film Substances 0.000 description 17
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 15
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000004819 silanols Chemical class 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 4
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 4
- SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N silanol Chemical compound [SiH3]O SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 4
- 101150022676 CSTB gene Proteins 0.000 description 3
- 241000252506 Characiformes Species 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 101150084890 cstA gene Proteins 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N Hydrogen atom Chemical compound [H] YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 206010047571 Visual impairment Diseases 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
- G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/7624—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology
- H01L21/76251—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology using bonding techniques
- H01L21/76254—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology using bonding techniques with separation/delamination along an ion implanted layer, e.g. Smart-cut, Unibond
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02656—Special treatments
- H01L21/02658—Pretreatments
- H01L21/02661—In-situ cleaning
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0331—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers for lift-off processes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/702—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof of thick-or thin-film circuits or parts thereof
- H01L21/707—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof of thick-or thin-film circuits or parts thereof of thin-film circuits or parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76841—Barrier, adhesion or liner layers
- H01L21/76853—Barrier, adhesion or liner layers characterized by particular after-treatment steps
- H01L21/76861—Post-treatment or after-treatment not introducing additional chemical elements into the layer
- H01L21/76864—Thermal treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1259—Multistep manufacturing methods
- H01L27/1262—Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or coating of the substrate
- H01L27/1266—Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or coating of the substrate the substrate on which the devices are formed not being the final device substrate, e.g. using a temporary substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68318—Auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/6835—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used as a support during build up manufacturing of active devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68381—Details of chemical or physical process used for separating the auxiliary support from a device or wafer
Abstract
Description
近年、厚さが薄くて軽い表示装置製造技術を確保するために、上述した電子部品などが形成される基板の厚さを減らそうとする努力が進められている。また、フレキシブル表示装置に対する研究が進められて、基板の材料として高い工程温度に制約があるプラスチックなどの代わりに、薄いガラス基板(thin glass)が使用されている。
しかし、薄膜形成工程の温度によって母基板とキャリア基板が接着して、これらを分離するのは容易ではない。
前記無機酸処理に使用する無機酸は、塩酸(HCl)、硫酸(H2SO4)、及び硝酸(HNO3)のうちの一つを含むことが好ましい。
前記塩酸(HCl)を含む無機酸は過酸化水素(H2O2)及び水(H2O)をさらに含み、前記塩酸(HCl)、前記過酸化水素(H2O2)、及び前記水(H2O)の重量比は1:1:6であることが好ましい。
前記硫酸(H2SO4)を含む無機酸は水(H2O)をさらに含み、前記硫酸(H2SO4)と前記水(H2O)との重量比は1:1であることが好ましい。
前記母基板及び前記キャリア基板は、Mg2+、Fe2+、Ca2+、Al3+、Sr2+、Na+、及びK+を含む陽イオンからなる群より選ばれるいずれか1種以上を含み、前記表面処理する段階で前記陽イオンからなる群より選ばれるいずれか1種以上が、前記表面処理された面から浸出(leach)されることが好ましい。
前記表面処理する段階以前に前記キャリア基板と前記母基板が接合する部分の周縁領域に接着剤を塗布する段階をさらに有することが好ましい。
前記周縁領域を除去する段階をさらに有することが好ましい。
前記表面処理する段階は、前記キャリア基板と前記母基板が接合する部分の周縁領域をマスクで覆って行うことが好ましい。
図において、層及び領域の厚さは明確性を期するために誇張されたものである。また、層が異なる層または基板の「上」にあると言及する場合に、それは他の層または基板上に直接形成されるか、またはそれらの間に第3の層が介されることもできる。明細書の全体にわたって同一の参照番号で表示する部分は同一の構成要素を意味する。
図1を参照すると、本発明の一実施形態による表示装置製造方法は、先ず、母基板及びキャリア基板を用意して、この両基板の互いに対向する面をそれぞれ洗浄する(段階S1)。
母基板及びキャリア基板のうちの少なくとも一つを熱処理する段階は、約1時間摂氏350度〜摂氏450度で行ってもよい。この段階において、熱処理は母基板またはキャリア基板に含まれるMg2+、Fe2+、Ca2+、Al3+、Sr2+、Na+、及びK+を含む陽イオンが基板内部のバルク部分から表面に拡散するのを促進して、表面処理時に大部分の陽イオンが浸出(leach)されるようにする。また、母基板とキャリア基板を脱着する工程で表面損傷を防止することができる。
その後、母基板及びキャリア基板の互いに接触する面のうちの少なくとも一面を酸(acid)処理する(段階S3)。
キャリア基板CRSと母基板110の互いに対向する面(A、B)を含んで酸(acid)処理してもよい。キャリア基板CRSと母基板110の互いに対向する面(A、B)は、その後接合されるときにキャリア基板CRSと母基板110が接着する面である。
図3に示したものとは異なり、マスクMは母基板110とキャリア基板CRSのいずれか一つの基板の周縁領域Eのみを覆ってもよい。本実施形態とは異なり、マスクを用いる方法の代わりに、周縁領域Eに接着剤を塗布してもよい。ここで使用する接着剤は熱抵抗性があり、伸縮性のある物質を含んでもよい。本実施形態で接着剤はポリイミド、ポリシリコン樹脂などであってもよい。
上述したマスクMで覆われて酸(acid)処理が施されない周縁領域E、または接着剤が塗布される周縁領域Eは、最終工程段階でカッティングして除去してもよい。
本発明の一実施形態によれば、無機酸は、塩酸(HCl)、硫酸(H2SO4)及び硝酸(HNO3)のいずれか一つを含む。
塩酸(HCl)を含む無機酸は過酸化水素(H2O2)及び水(H2O)をさらに含み、塩酸(HCl)、過酸化水素(H2O2)及び水(H2O)の重量比は1:1:6であってもよい。
硫酸(H2SO4)及び水(H2O)を含む溶液を用意して、上述した塩酸(HCl)を含む無機酸で表面処理する工程と同様の方法で工程を進行してもよい。
硝酸(HNO3)は70%〜80%の濃度であってもよい。このような硝酸(HNO3)を上述した塩酸(HCl)を含む無機酸で表面処理する工程と同様の方法で工程を進行してもよい。
本発明の一実施形態によれば、有機酸はクエン酸(citric acid)を含む。クエン酸(citric acid)は下記化学式1で表される。
以下、図4乃至図9を参照して、本発明の一実施形態によって無機酸または有機酸処理して−OH、−OH2 +、及び−O−基(group)の含有量を調節することについて説明する。
図4を参照すると、三つのタイプのシラノール(silanol)は、孤立(Isolated)のシラノール(Silanol)、ビシナル(Vicinal)のシラノール(Silanol)、及びジェミナル(Geminal)のシラノール(Silanol)を含む。孤立(Isolated)のシラノール(Silanol)は、一つのケイ素にヒドロキシル基が一つ結合している状態であり、ビシナル(Vicinal)のシラノール(Silanol)は、互いに隣接するケイ素原子にヒドロキシル基がそれぞれ一つずつ結合している状態であり、ジェミナル(Geminal)のシラノール(Silanol)は、一つのケイ素原子にヒドロキシル基が2つ結合している状態である。
図5を参照すると、中性のヒドロキシル基が水素(H+)が添加または脱水素化される過程を通して−OH2 +または−O−基(group)に変換され得る。
本発明の一実施形態によれば、無機酸または有機酸で表面処理を行ってキャリア基板及び母基板の互いに対向する面のうちの少なくとも一面の−OH、−OH2 +、−O−基(group)の含有量を調節することができる。
図6を参照すると、塩酸(HCl)を含む無機酸、硫酸(H2SO4)及び塩酸(HCl)を含む無機酸、並びに硝酸(HNO3)を含む無機酸でそれぞれ表面処理した。表面処理しない比較例に比べて、塩酸(HCl)を含む無機酸で表面処理した場合にはジェミナル(Geminal)のシラノール(Silanol)タイプを増加させ、硝酸(HNO3)を含む無機酸で表面処理した場合には孤立(Isolated)のシラノール(Silanol)タイプを増加させる。
図7を参照すると、塩酸(HCl)を含む無機酸及び硫酸(H2SO4)と塩酸(HCl)を含む無機酸で表面処理した場合には、表面処理しない比較例に比べて中性の−OH基が約3倍に増加する。硝酸(HNO3)を含む無機酸で表面処理した場合にも、表面処理しない比較例に比べて中性の−OH基が約2倍に増加する。表面処理した実施形態の場合、−O−基(group)は全て減少し、−OH2 +基は全て増加する。
図8を参照すると、本発明の一実施形態による母基板とキャリア基板はガラスで形成されてもよく、ガラス基板のバルク(bulk)領域及び表面(surface)は、Mg2+、Fe2+、Ca2+、Al3+、Sr2+、Na+、及びK+を含む陽イオン集団のうちの少なくとも一つを含む。本発明の一実施形態によって無機酸または有機酸で表面処理を行えば、ガラス基板表面に含まれている陽イオンが浸出(leaching)され得る。
図9を参照すると、キャリア基板CRSのみを表面処理した場合に、−OH2 +基が一側基板だけに生成されて、両基板の間の反発力は大きくない。
図10を参照すると、−OH2 +基が母基板110とキャリア基板CRS両側に形成されるため、両基板の間のクーロン反発力(Coulomb repulsion force)が大きくなる。したがって、母基板110とキャリア基板CRSを簡単に分離することができる。
塩酸(HCl)、硫酸(H2SO4)、及び硝酸(HNO3)のうちの一つを含む無機酸、またはクエン酸(citric acid)を含む有機酸で表面処理した後に、母基板110とキャリア基板CRSとを接合する(段階S4)。
後述する薄膜工程を行うとき、母基板110とキャリア基板CRSが一時的に接合を維持するようにするために、両基板(110、CRS)をラミネーションすることができる。言い換えると、接着剤を用いて両基板(110、CRS)を臨時で接着することができる。このような接着剤による両基板(110、CRS)の接着は、薄膜工程以降に両基板(110、CRS)を分離するとき、両基板(110、CRS)が容易に分離される程度の結合力だけを有する必要がある。
以降、母基板110の上に表示装置を形成するための薄膜工程が進められる。以下、薄膜形成工程について説明する。
図11乃至図13は、本発明の一実施形態による表示装置製造方法によって形成された液晶表示装置を示す回路図、平面図及び断面図である。
図11を参照すると、本発明の一実施形態による液晶表示装置は、互いに対向する薄膜トランジスタ表示板(以下下部表示板という)100、共通電極表示板(以下上部表示板という)200、及びその間に介在される液晶層3を含む。
各画素PXは一対の副画素(PXa、PXb)を含み、副画素(PXa、PXb)はスイッチング素子(Qa、Qb)、液晶キャパシタ(Clca、Clcb)、及びストレージキャパシタ(storage capacitor)(Csta、Cstb)を含む。
スイッチング素子(Qa、Qb)は、下部表示板100に備えられる薄膜トランジスタなどの三端子素子であって、その制御端子はゲート線GLと接続され、入力端子はデータ線(DLa、DLb)と接続され、出力端子は液晶キャパシタ(Clca、Clcb)及びストレージキャパシタ(Csta、Cstb)と接続される。
液晶キャパシタ(Clca、Clcb)の補助的な役割を果たすストレージキャパシタ(Csta、Cstb)は、下部表示板100に具備された維持電極線SLと副画素電極(191a、191b)が絶縁体を介して重なって形成され、維持電極線SLには共通電圧Vcomなどの定められた電圧が印加される。
二つの液晶キャパシタ(Clca、Clcb)に充電される電圧は、互いに若干の差が生じるように設定される。例えば、液晶キャパシタClcaに印加されるデータ電圧が、隣接した他の液晶キャパシタClcbに印加されるデータ電圧に比べて常に低いか、または高いように設定する。このように二つの液晶キャパシタ(Clca、Clcb)の電圧を適切に調節すれば、側面から見た映像が正面から見た映像に近接するようにすることができ、液晶表示装置の側面視認性が向上する。
図12及び図13を参照すると、本発明の一実施形態による液晶表示装置は、互いに対向する下部表示板100と上部表示板200、及びこれら二つの表示板(100、200)の間に挿入される液晶層3を含む。
母基板110の上に複数のゲート線121及び複数の維持電極線(131、135)が形成される。母基板110の下にキャリア基板(図示せず)が接着した状態で薄膜工程が行われる。
ゲート線121は、ゲート信号を伝達し、図12に示すように主に横方向に延在している。各ゲート線121は、同一面で上方向に突出した複数の第1ゲート電極124a及び第2ゲート電極124bを含む。
維持電極線は、ゲート線121と実質的に平行に延在した幹線131、及びこれから延在した複数の維持電極135を含む。
維持電極線(131、135)の形状及び配置は色々な形態に変更できる。
半導体(154a、154b)の上にはそれぞれ複数対のオーミックコンタクト部材(163a、165a、163b、165b)が形成され、オーミックコンタクト部材(163a、165a、163b、165b)は、シリサイド(silicide)またはn型不純物が高濃度にドーピングされたn+水素化非晶質シリコンなどの物質で形成されてもよい。
オーミックコンタクト部材(163a、165a、163b、165b)及びゲート絶縁膜140の上層には、複数対のデータ線(171a、171b)と、複数対の第1ドレイン電極175a及び第2ドレイン電極175bが形成される。
第1ドレイン電極175a及び第2ドレイン電極175bは、それぞれ第1ソース電極173a及び第2ソース電極173bによって一部が取り囲まれた一端から上方向に延在し、反対側の他端は他の層との接続のために面積が広くてもよい。
しかし、第1ドレイン電極175a及び第2ドレイン電極175bをはじめとするデータ線(171a、171b)の形状及び配置は色々な形態に変更できる。
オーミックコンタクト部材(163a、165a、163b、165b)は、その下層の半導体(154a、154b)とその上層のソース電極(173a、173b)、ドレイン電極(175a、175b)との間にだけ存在し、これらの間の接触抵抗を低くする。半導体(154a、154b)において、ソース電極(173a、173b)とドレイン電極(175a、175b)との間にはソース電極(173a、173b)及びドレイン電極(175a、175b)によって覆われずに、露出した部分がある。
下部保護膜180pの上層には所定間隔で分離される遮光部材220が形成される。遮光部材220は、データ線と平行方向に長く形成された直線部と、薄膜トランジスタに対応する四角形部分を含むことができ、光漏れを防止する。
ここで、下部保護膜180pは、カラーフィルタ230の顔料が露出した半導体(154a、154b)部分に流入するのを防止することができる。
しかし、遮光部材220は上部表示板200に設けてもよい。
上部保護膜180q及び下部保護膜180pには第1ドレイン電極175a及び第2ドレイン電極175bを露出する複数のコンタクトホール(185a、185b)が形成される。
画素電極191はITOまたはIZOなどの透明な導電物質やアルミニウム、銀、クロムまたはその合金などの反射性金属で形成されてもよく、各画素電極191は互いに分離された第1副画素電極191a及び第2副画素電極191bを含んでもよい。
第1副画素電極191a及び第2副画素電極191bは、コンタクトホール(185a、185b)を通じて第1ドレイン電極175a及び第2ドレイン電極175bと物理的、電気的に接続され、第1ドレイン電極175a及び第2ドレイン電極175bからデータ電圧の印加を受ける。
画素電極191の上層には配向膜11が形成される。
上部表示板200には透明な絶縁基板210の上層に共通電極270が形成され、その上には配向膜21が形成される。
各配向膜(11、21)は垂直配向膜であってもよい。
下部表示板100及び上部表示板200の外側面には偏光子(polarization)(図示せず)が備えられてもよい。
下部表示板100と上部表示板200との間には液晶層3が介される。液晶層3は負の誘電率異方性を有してもよい。
その後、母基板からキャリア基板を分離する(段階S6)。
上述した通り、キャリア基板CRS上に配置した母基板110の上に薄膜形成工程を行った後、両基板(CRS、110)の表面に存在するヒドロキシル基の間に形成される正極接合(anodic bonding)または溶融接合(fusion bonding)などによって、キャリア基板CRSと母基板110との間に強い結合が発生し得る。このような現象は、薄膜形成工程が摂氏約350度以上の高温の熱処理工程を含むことがあるため発生する。
また、母基板とキャリア基板を分離する段階は、図3で説明した周縁領域Eをカッティングして除去する段階を含む。マスクMによって酸(acid)処理されない部分または接着剤が塗布された領域は永久結合を起す領域であるので、この部分を除去する必要があるためである。
100 薄膜トランジスタ表示板(下部表示板)
110 母基板
CRS キャリア基板
121 ゲート線
131、135 維持電極線
140 ゲート絶縁膜
154a、154b 半導体
171a、171b データ線
180p 下部保護膜
180q 上部保護膜
191 画素電極
200 共通電極表示板(上部表示板)
210 絶縁基板
230 カラーフィルタ
270 共通電極
Claims (10)
- キャリア基板及び母基板の互いに対向する面のうちの少なくとも一面に表面処理する段階と、
前記キャリア基板と前記母基板とを接合する段階と、
前記母基板の上に薄膜形成工程を行う段階と、
前記キャリア基板と前記母基板とを分離する段階と、を有し、
前記薄膜形成工程は熱処理する段階を含み、前記表面処理する段階は無機酸または有機酸処理する段階を含み、前記無機酸または有機酸処理する段階は、前記キャリア基板及び前記母基板の互いに対向する面のうちの少なくとも一面の−OH、−OH2 +、及び−O−基(group)の含有量を調節する段階を含むことを特徴とする表示装置製造方法。 - 前記表面処理する段階以前に前記キャリア基板及び前記母基板のうちの少なくとも一つを熱処理する段階をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の表示装置製造方法。
- 前記無機酸処理に使用する無機酸は、塩酸(HCl)、硫酸(H2SO4)、及び硝酸(HNO3)のうちの一つを含むことを特徴とする請求項2に記載の表示装置製造方法。
- 前記塩酸(HCl)を含む無機酸は過酸化水素(H2O2)及び水(H2O)をさらに含み、前記塩酸(HCl)、前記過酸化水素(H2O2)、及び前記水(H2O)の重量比は1:1:6であることを特徴とする請求項3に記載の表示装置製造方法。
- 前記硫酸(H2SO4)を含む無機酸は水(H2O)をさらに含み、前記硫酸(H2SO4)と前記水(H2O)との重量比は1:1であることを特徴とする請求項3に記載の表示装置製造方法。
- 前記有機酸処理に使用する有機酸はクエン酸(citric acid)を含むことを特徴とする請求項2に記載の表示装置製造方法。
- 前記母基板及び前記キャリア基板は、Mg2+、Fe2+、Ca2+、Al3+、Sr2+、Na+、及びK+を含む陽イオンからなる群より選ばれるいずれか1種以上を含み、
前記表面処理する段階で前記陽イオンからなる群より選ばれるいずれか1種以上が、前記表面処理された面から浸出(leach)されることを特徴とする請求項1に記載の表示装置製造方法。 - 前記表面処理する段階以前に前記キャリア基板と前記母基板が接合する部分の周縁領域に接着剤を塗布する段階をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の表示装置製造方法。
- 前記周縁領域を除去する段階をさらに有することを特徴とする請求項8に記載の表示装置製造方法。
- 前記表面処理する段階は、前記キャリア基板と前記母基板が接合する部分の周縁領域をマスクで覆って行うことを特徴とする請求項1に記載の表示装置製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2013-0167491 | 2013-12-30 | ||
KR1020130167491A KR102195254B1 (ko) | 2013-12-30 | 2013-12-30 | 표시 장치 제조 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015128140A true JP2015128140A (ja) | 2015-07-09 |
JP6475452B2 JP6475452B2 (ja) | 2019-02-27 |
Family
ID=53482661
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014191494A Active JP6475452B2 (ja) | 2013-12-30 | 2014-09-19 | 表示装置製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9362159B2 (ja) |
JP (1) | JP6475452B2 (ja) |
KR (1) | KR102195254B1 (ja) |
CN (1) | CN104749802B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9599852B1 (en) * | 2013-08-05 | 2017-03-21 | Lensvector, Inc. | Manufacturing of liquid crystal lenses using carrier substrate |
CN106784406B (zh) | 2016-12-28 | 2018-09-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种oled器件的制备方法 |
US10971472B2 (en) * | 2019-07-09 | 2021-04-06 | Mikro Mesa Technology Co., Ltd. | Method of liquid assisted bonding |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09255991A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-09-30 | Hitachi Ltd | 表面処理液および基板表面処理方法 |
JP2002540599A (ja) * | 1999-03-22 | 2002-11-26 | スペシャル マテリアルズ リサーチ アンド テクノロジー, インコーポレイテッド | シリコン上のSiOベースの酸化物の室温湿式化学的成長 |
KR20050052830A (ko) * | 2003-12-01 | 2005-06-07 | 삼성전자주식회사 | 플라스틱 기판의 적층 방법 및 이를 이용한 유연성을 갖는기판의 제조방법 |
JP2009267427A (ja) * | 2001-04-13 | 2009-11-12 | Commiss Energ Atom | 制御された機械的保持力を有する剥離可能な基板、およびその製造方法 |
JP2012199546A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Eternal Chemical Co Ltd | フレキシブルデバイスを製造する方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1063385B (it) | 1976-02-16 | 1985-02-11 | Ind Zignago S Mapcherita S P A | Procedimento per il trattamento di vetro |
JPH0597478A (ja) | 1991-10-04 | 1993-04-20 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 撥水性ガラス物品およびその製造方法 |
US5736245A (en) | 1994-06-17 | 1998-04-07 | Lucent Technologies Inc. | Chemical treatment for silica-containing glass surfaces |
KR100429440B1 (ko) * | 1995-07-27 | 2004-07-15 | 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 | 기체의표면처리방법및그에사용되는표면처리조성물 |
JP3575644B2 (ja) * | 1995-08-28 | 2004-10-13 | 三菱住友シリコン株式会社 | シリコンウェーハの製造方法 |
US6245387B1 (en) | 1998-11-03 | 2001-06-12 | Diamon-Fusion International, Inc. | Capped silicone film and method of manufacture thereof |
US6743516B2 (en) | 2000-09-29 | 2004-06-01 | Guardian Industries Corporation | Highly durable hydrophobic coatings and methods |
US7351300B2 (en) * | 2001-08-22 | 2008-04-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Peeling method and method of manufacturing semiconductor device |
KR20080028162A (ko) | 2006-09-26 | 2008-03-31 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자의 게이트 패턴 형성방법 |
JP4670957B2 (ja) * | 2006-11-22 | 2011-04-13 | コニカミノルタオプト株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法及び情報記録媒体 |
KR100931884B1 (ko) | 2008-03-27 | 2009-12-15 | 주식회사 이 월드 | 불산을 이용한 디스플레이용 소형 유리판재의 표면처리방법 및 장치 |
KR20100009772A (ko) | 2008-07-21 | 2010-01-29 | 박진홍 | 영상 표시 기능을 갖는 시계 장치 |
JP5326941B2 (ja) * | 2008-12-19 | 2013-10-30 | 旭硝子株式会社 | ガラス表面の微細加工方法 |
KR20120098640A (ko) | 2009-10-20 | 2012-09-05 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 유리 적층체 및 그의 제조 방법, 및 표시 패널의 제조 방법 및 그 제조 방법에 의해 얻어지는 표시 패널 |
KR101150173B1 (ko) | 2010-02-03 | 2012-05-25 | 단국대학교 산학협력단 | 초소수성 표면을 갖는 적층체 및 이의 제조방법 |
US20110193103A1 (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | Fujifilm Corporation | Semiconductor device, method for producing the semiconductor device, substrate for semiconductor element and method for producing the substrate |
JP5682471B2 (ja) * | 2011-06-20 | 2015-03-11 | 信越半導体株式会社 | シリコンウェーハの製造方法 |
-
2013
- 2013-12-30 KR KR1020130167491A patent/KR102195254B1/ko active IP Right Grant
-
2014
- 2014-06-13 US US14/304,350 patent/US9362159B2/en active Active
- 2014-09-15 CN CN201410468938.6A patent/CN104749802B/zh active Active
- 2014-09-19 JP JP2014191494A patent/JP6475452B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09255991A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-09-30 | Hitachi Ltd | 表面処理液および基板表面処理方法 |
JP2002540599A (ja) * | 1999-03-22 | 2002-11-26 | スペシャル マテリアルズ リサーチ アンド テクノロジー, インコーポレイテッド | シリコン上のSiOベースの酸化物の室温湿式化学的成長 |
JP2009267427A (ja) * | 2001-04-13 | 2009-11-12 | Commiss Energ Atom | 制御された機械的保持力を有する剥離可能な基板、およびその製造方法 |
KR20050052830A (ko) * | 2003-12-01 | 2005-06-07 | 삼성전자주식회사 | 플라스틱 기판의 적층 방법 및 이를 이용한 유연성을 갖는기판의 제조방법 |
JP2012199546A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Eternal Chemical Co Ltd | フレキシブルデバイスを製造する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9362159B2 (en) | 2016-06-07 |
CN104749802B (zh) | 2019-11-01 |
KR20150078259A (ko) | 2015-07-08 |
KR102195254B1 (ko) | 2020-12-28 |
US20150187637A1 (en) | 2015-07-02 |
CN104749802A (zh) | 2015-07-01 |
JP6475452B2 (ja) | 2019-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100409091C (zh) | 液晶显示器件及其制造方法 | |
US6897909B2 (en) | Liquid crystal display device | |
US7304708B2 (en) | Liquid crystal display device and image display device | |
KR100511817B1 (ko) | 액정 표시 장치 | |
US10101624B2 (en) | Display device | |
JP5329169B2 (ja) | 薄膜トランジスタ基板及びこれを含む液晶表示装置 | |
US9099357B2 (en) | Display device and method of manufacturing display device | |
KR20040082796A (ko) | 횡전계형 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
JP6537812B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
KR101973753B1 (ko) | 금속 산화물 반도체를 포함하는 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 | |
US9741748B2 (en) | Thin film transistor array panel and manufacturing method thereof | |
US9746721B2 (en) | Display panel comprising first and second sub-pixels on a first substrate corresponding respectively to first and second electrode patterns on a second substrate | |
CN100592176C (zh) | 面内切换模式液晶显示器件及其制造方法 | |
JP6475452B2 (ja) | 表示装置製造方法 | |
TW200919055A (en) | Liquid crystal display device and electronic apparatus | |
WO2023070726A1 (zh) | 一种阵列基板及显示面板 | |
US8054396B2 (en) | Display substrate with dual transistor and connection transistor, method of manufacturing the display substrate and display device having the display substrate | |
CN104656322A (zh) | 液晶显示装置和三维显示装置 | |
US9276172B2 (en) | Method of manufacturing a display device | |
WO2014036752A1 (zh) | 液晶显示面板 | |
JP4871507B2 (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
KR101682223B1 (ko) | 표시기판, 이의 제조방법 및 이를 갖는 표시장치 | |
JP2002270847A (ja) | 液晶画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法 | |
KR20130034247A (ko) | 평판 표시장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 | |
JP2004094221A (ja) | 液晶表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170802 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180514 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180605 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20180905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180920 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6475452 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |