JP2015127783A - 光導波路および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光導波路1は、コア部14が形成されているコア層13と、コア層13の一方の面に積層されている第1クラッド層11と、コア層13の他方の面に積層されている第2クラッド層12と、第2クラッド層12およびコア層13をそれぞれ貫通し第1クラッド層11に至る凹部(空洞部)170と、を有し、凹部170の内壁面の一部は、コア層13と第1クラッド層11との界面を含む平面に対して傾斜しつつ交差する傾斜面171、172で構成されており、平面において、傾斜面171、172とそれに連続する内壁面の他部(直立面173、174)との接続部の最小曲率半径が1〜500μmである。
【選択図】図1
Description
(1) コア部が形成されているコア層と、前記コア層の一方の面に積層されている第1クラッド層と、前記コア層の他方の面に積層されている第2クラッド層と、前記第2クラッド層および前記コア層をそれぞれ貫通し前記第1クラッド層に至る空洞部と、を有する光導波路であって、
前記空洞部の内壁面の一部は、前記コア層と前記第1クラッド層との界面を含む平面に対して傾斜しつつ交差する傾斜面で構成されており、
前記平面において、前記傾斜面とそれに連続する前記内壁面の他部との接続部の最小曲率半径が1〜500μmであることを特徴とする光導波路。
前記傾斜面が前記コア部の光軸またはその延長線を横切るよう構成されている上記(1)に記載の光導波路。
前記空洞部は、その内壁面が前記平面によって切断されたときの断面において、前記傾斜面同士および前記直立面同士がそれぞれ対向しているよう構成されている上記(6)または(7)に記載の光導波路。
また、本発明によれば、かかる光導波路を備える信頼性の高い電子機器が得られる。
≪第1実施形態≫
まず、本発明の光導波路の第1実施形態について説明する。
次に、本発明の光導波路の第2実施形態について説明する。
図5は、第2実施形態に係る光導波路の平面図である。
このような第2実施形態においても、第1実施形態と同様の作用、効果が得られる。
次に、本発明の光導波路の第3実施形態について説明する。
図6は、第3実施形態に係る光導波路の平面図である。
このような第3実施形態においても、第1実施形態と同様の作用、効果が得られる。
次に、本発明の光導波路の第4実施形態について説明する。
図7は、第4実施形態に係る光導波路の断面図である。
このような第4実施形態においても、第1実施形態と同様の作用、効果が得られる。
次に、本発明の光導波路の製造方法について説明する。
[1]まず、(a)クラッド層11を形成するための組成物、コア層13を形成するための組成物、およびクラッド層12を形成するための組成物を、順次成膜して製造する方法、(b)各組成物を用いてクラッド層11、コア層13およびクラッド層12をそれぞれ形成した後、積層する方法、(c)3種の組成物を同時に押出成形して積層体を製造する方法等により、コア層形成層またはコア層形成層を含む多層構造を得る。
上述したような本発明に係る光導波路は、伝送効率が高く、かつ他の光学部品との光結合効率に優れたものである。このため、本発明の光導波路を備えることにより、高品質の光通信を行い得る信頼性の高い電子機器(本発明の電子機器)が得られる。
1.凹部付き光導波路の製造
(実施例1−1)
(1)クラッド層形成用樹脂組成物の製造
ダイセル化学工業(株)製の脂環式エポキシ樹脂、セロキサイド2081 20g、(株)ADEKA製のカチオン重合開始剤、アデカオプトマーSP−170 0.6g、およびメチルイソブチルケトン80gを撹拌混合して溶液を調製した。
エポキシ系ポリマーとして新日鐵化学(株)製のフェノキシ樹脂、YP−50S 20g、光重合性モノマーとしてダイセル化学工業(株)製のセロキサイド2021P 5g、および重合開始剤として(株)ADEKA製のアデカオプトマーSP−170 0.2gを、メチルイソブチルケトン80g中に投入し、撹拌溶解して溶液を調製した。
クラッド層形成用樹脂組成物をドクターブレードにより厚さ25μmのポリイミドフィルム上に均一に塗布した後、50℃の乾燥機に10分間投入した。溶媒を完全に除去した後、UV露光機で全面に紫外線を照射し、塗布した樹脂組成物を硬化させた。これにより、厚さ10μmの無色透明な下側クラッド層を得た。なお、紫外線の積算光量は500mJ/cm2とした。
作製した下側クラッド層上に感光性樹脂組成物をドクターブレードにより均一に塗布した後、40℃の乾燥機に5分間投入した。溶媒を完全に除去して被膜とした後、得られた被膜上に、ライン、スペースを繰り返す直線パターンを描くように、マスクレス露光装置により紫外線を照射した。コア部の幅Wは50μm、コア部間の距離Pは250μmとした。なお、コア部間の距離Pとは、コア部の中心線間の距離のことをいう。コア部の中心線とは、コア部の中心を通りコア部の長手方向に平行である直線のことをいう。なお、紫外線の積算光量は1000mJ/cm2とした。
作製したコア層上に、(3)と同様にしてクラッド層形成用樹脂組成物を塗布し、厚さ10μmの無色透明な上側クラッド層を得た。
次に、レーザー加工によりコア部に2つの凹部を10cmの間隔をあけて形成し、これらをそれぞれ光入射側ミラー、光出射側ミラーとした。凹部は全てのコア部に対して同様に作成した。形成した凹部の形状は、下記に示す通りである。また、凹部は、その開放端である開口部175の形状と、コア層13とクラッド層11との界面を含む平面で切断されたときの開口部177の形状と、が類似関係になるよう構成した。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :5μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径125μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :105μm
・凹部170の最大深さ :65μm
なお、接続部とは、傾斜面171に対応する直線線分と直立面173に対応する弧との間に位置する部分である。
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :20μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径66.25μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :115μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :40μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径48.33μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :125μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :1μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径6.33μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :105μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :100μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径120μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :200μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更したこと、及びコア部間の距離Pを500μmとしたこと以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :300μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径340μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :640μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更したこと、及びコア部間の距離Pを500μmとしたこと以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :450μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径580μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :900μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :100μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径120μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :900μm
・凹部170のX方向の最大長さ :200μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(a)
・接続部178の最小曲率半径r2 :5μm
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :125μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(a)
・接続部178の最小曲率半径r2 :20μm
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :125μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(a)
・接続部178の最小曲率半径r2 :40μm
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :125μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(a)
・接続部178の最小曲率半径r2 :100μm
・凹部170のY方向の最大長さ :900μm
・凹部170のX方向の最大長さ :200μm
・凹部170の最大深さ :65μm
凹部を形成する工程において、切削加工及び研削加工により以下の形状の凹部を形成した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :40μm
・接続部176の最小曲率半径r1 :80μm
・クラッド層12とコア層13との界面における凹部170の開口部の接続部の最小曲率半径: 80μm
・凹部170の底部の接続部最小曲率半径: 40μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径45μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :160μm
・凹部170の最大深さ :65μm
凹部を形成する工程において、切削加工及び研削加工により以下の形状の凹部を形成したこと、及びコア部間の距離Pを500μmとしたこと以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :300μm
・接続部176の最小曲率半径r1 :475μm
・クラッド層12とコア層13との界面における凹部170の開口部の接続部の最小曲率半径: 475μm
・凹部170の底部の接続部最小曲率半径: 300μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径300μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :950μm
・凹部170の最大深さ :65μm
本実施例では、コア部の延長線上の側面クラッド部に凹部を形成したこと、及びレーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更したこと以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :20μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径20μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :115μm
・凹部170の最大深さ :65μm
本実施例では、クラッド層12の上面に直交するとともにコア部14の長手方向に平行な平面で切断されたとき、凹部の断面形状が底を頂点とする三角形となる形状としたこと、及びレーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更したこと以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :20μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径40μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :115μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更したこと以外は、実施例5−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :100μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径150μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :200μm
・凹部170の最大深さ :65μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(b)
・鋭角を形成する接続部178の最小曲率半径r2’ :0.5μm
・鈍角を形成する接続部178の最小曲率半径r2” :15.4μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径14.2μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :80μm
・凹部170のX方向の最大長さ :105μm
・凹部170の最大深さ :60μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(b)
・鋭角を形成する接続部178の最小曲率半径r2’ :1.5μm
・鈍角を形成する接続部178の最小曲率半径r2” :45.3μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径50.46μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :80μm
・凹部170のX方向の最大長さ :135μm
・凹部170の最大深さ :60μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(b)
・鋭角を形成する接続部178の最小曲率半径r2’ :3.3μm
・鈍角を形成する接続部178の最小曲率半径r2” :8.5μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径4.3μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :140μm
・凹部170のX方向の最大長さ :160μm
・凹部170の最大深さ :60μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(b)
・鋭角を形成する接続部178の最小曲率半径r2’ :4.2μm
・鈍角を形成する接続部178の最小曲率半径r2” :10.3μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径4.3μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :140μm
・凹部170のX方向の最大長さ :160μm
・凹部170の最大深さ :60μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(b)
・鋭角を形成する接続部178の最小曲率半径r2’ :6.2μm
・鈍角を形成する接続部178の最小曲率半径r2” :19.1μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径4.3μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :140μm
・凹部170のX方向の最大長さ :160μm
・凹部170の最大深さ :60μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(b)
・鋭角を形成する接続部178の最小曲率半径r2’ :16.0μm
・鈍角を形成する接続部178の最小曲率半径r2” :35.0μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径4.3μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :140μm
・凹部170のX方向の最大長さ :160μm
・凹部170の最大深さ :60μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(b)
・鋭角を形成する接続部178の最小曲率半径r2’ :18.9μm
・鈍角を形成する接続部178の最小曲率半径r2” :40.6μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径4.3μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :140μm
・凹部170のX方向の最大長さ :160μm
・凹部170の最大深さ :60μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略図 :図10(b)
・鋭角を形成する接続部178の最小曲率半径r2’ :43.0μm
・鈍角を形成する接続部178の最小曲率半径r2” :147.0μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径4.3μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :140μm
・凹部170のX方向の最大長さ :160μm
・凹部170の最大深さ :60μm
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略形状 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :0.5μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径3.13μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :510μm
・凹部170の最大深さ :65μm
コア部間の距離Pを500μmとしたこと以外は、比較例1と同様にして光導波路を得た。
レーザー加工用マスクの形状を変更し、形成する凹部の形状を以下の形状に変更した以外は、実施例1−1と同様にして光導波路を得た。
・開口部175の概略形状 :図4
・接続部178の最小曲率半径r2 :510μm
・開口部175の縁部の輪郭形状 :弧状(弧の曲率半径510μm)
・凹部170のY方向の最大長さ :210μm
・凹部170のX方向の最大長さ :520μm
・凹部170の最大深さ :65μm
コア部間の距離Pを500μmとしたこと以外は、比較例3と同様にして光導波路を得た。
各実施例および各比較例で得られた光導波路について、温度サイクル試験に供し、試験前と試験後の伝送特性を比較することにより耐久性を評価した。なお、温度サイクル試験の試験条件は以下に示す通りである。
・温度 :−40〜125℃
・サイクル数 :500サイクル(高温、低温各30分間)
・評価特性 :挿入損失
したがって、本発明は光導波路および電子機器に好適に利用でき、産業上極めて重要である。
2 支持フィルム
3 カバーフィルム
10 積層体
11 クラッド層
12 クラッド層
13 コア層
14 コア部
15 側面クラッド部
170 凹部
171 傾斜面
171a 傾斜面上端
171a’ 左側の終端
171a” 右側の終端
171b 直線線分
171b’ 左側の終端
171b” 右側の終端
172 傾斜面
172a 傾斜面上端
172a’ 左側の終端
172a” 右側の終端
172b 直線線分
172b’ 左側の終端
172b” 右側の終端
173 直立面
173’ 傾斜面
173a 直立面上端
173b 弧
174 直立面
174’ 傾斜面
174a 直立面上端
174b 弧
175 開口部
176 接続部
177 開口部
178 接続部
900 レーザー加工機
910 レーザー加工用マスク
911 遮蔽部
912 透過部
L レーザー
r1、r2 曲率半径
Claims (11)
- コア部が形成されているコア層と、前記コア層の一方の面に積層されている第1クラッド層と、前記コア層の他方の面に積層されている第2クラッド層と、前記第2クラッド層および前記コア層をそれぞれ貫通し前記第1クラッド層に至る空洞部と、を有する光導波路であって、
前記空洞部の内壁面の一部は、前記コア層と前記第1クラッド層との界面を含む平面に対して傾斜しつつ交差する傾斜面で構成されており、
前記平面において、前記傾斜面とそれに連続する前記内壁面の他部との接続部の最小曲率半径が1〜500μmであることを特徴とする光導波路。 - 前記空洞部は、前記コア部または前記コア部の長手方向の延長線上に設けられており、
前記傾斜面が前記コア部の光軸またはその延長線を横切るよう構成されている請求項1に記載の光導波路。 - 前記第2クラッド層のうちの前記コア層とは反対側の面における前記空洞部において、前記傾斜面とそれに連続する前記内壁面の他部との接続部の最小曲率半径が1〜500μmである請求項1または2に記載の光導波路。
- 前記第2クラッド層と前記コア層との界面における前記空洞部において、前記傾斜面とそれに連続する前記内壁面の他部との接続部の最小曲率半径が1〜500μmである請求項1〜3のいずれか1項に記載の光導波路。
- 前記第2クラッド層の前記コア層とは反対側の面に積層されているカバー層を有する請求項1〜4のいずれか1項に記載の光導波路。
- 前記空洞部の内壁面は、前記平面に対して鋭角側の角度が60〜90°で交差する直立面を含んでいる請求項1〜5のいずれか1項に記載の光導波路。
- 前記傾斜面は、前記平面に対して20〜90°の角度で交差する請求項1〜6のいずれか1項に記載の光導波路。
- 前記空洞部の内壁面は、2つの前記傾斜面と、2つの前記直立面と、を含んでおり、
前記空洞部は、その内壁面が前記平面によって切断されたときの断面において、前記傾斜面同士および前記直立面同士がそれぞれ対向しているよう構成されている請求項6または7に記載の光導波路。 - 前記直立面は、光導波路の長手方向に湾曲している請求項6〜8のいずれか1項に記載の光導波路。
- 前記空洞部の内壁面は、前記平面との間の角度であって前記空洞部側とは反対側における角度が鋭角になるよう構成されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の光導波路。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の光導波路を備えることを特徴とする電子機器。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019008269A (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 京セラ株式会社 | 光導波路および光回路基板 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016156865A (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | 京セラ株式会社 | 光回路基板の製造方法 |
CN106707411B (zh) * | 2017-02-13 | 2019-08-06 | 上海大学 | 一种基于激光环形刻蚀在光波导上制备球形凹面镜的方法 |
JP7027276B2 (ja) * | 2018-07-26 | 2022-03-01 | 京セラ株式会社 | 光導波路および光回路基板 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001154044A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Kyocera Corp | 光導波路基板 |
JP2003240997A (ja) * | 2002-02-21 | 2003-08-27 | Fujitsu Ltd | 空間反射型構造を有する光集積回路の製造方法 |
JP2004133103A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Sony Corp | 高分子光導波路及びその作製方法 |
US20080175531A1 (en) * | 2007-01-18 | 2008-07-24 | Stmicroelectronics S.R.L. | Optical integrated device manufacturing process and device manufactured by the process thereof |
JP2010156868A (ja) * | 2008-12-27 | 2010-07-15 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路および光導波路形成用部材 |
JP2011081142A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-21 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | ミラー付き光導波路の製造方法 |
JP2012198488A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-18 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路および電子機器 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5953477A (en) * | 1995-11-20 | 1999-09-14 | Visionex, Inc. | Method and apparatus for improved fiber optic light management |
CN100392458C (zh) * | 1998-11-26 | 2008-06-04 | Smk株式会社 | 光纤接续器及其使用的套圈和套圈的制造方法 |
US6542658B2 (en) * | 2000-12-22 | 2003-04-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical switch |
US6842550B2 (en) * | 2000-12-22 | 2005-01-11 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical switch |
US6944377B2 (en) * | 2002-03-15 | 2005-09-13 | Hitachi Maxell, Ltd. | Optical communication device and laminated optical communication module |
US7324723B2 (en) * | 2003-10-06 | 2008-01-29 | Mitsui Chemicals, Inc. | Optical waveguide having specular surface formed by laser beam machining |
JP2005294407A (ja) | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Seiko Epson Corp | プリント基板およびその製造方法 |
US7471866B2 (en) * | 2004-06-29 | 2008-12-30 | Her Majesty The Queen In Right Of Canada As Represented By The Minister Of Industry, Through The Communications Research Centre Canada | Waveguiding structures with embedded microchannels and method for fabrication thereof |
JP2006267154A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Ngk Insulators Ltd | 光デバイス及び光監視用デバイス |
JPWO2007119560A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2009-08-27 | 日本ゼオン株式会社 | 偏光板,液晶表示装置,および,保護フィルム |
CN101535852B (zh) * | 2006-11-16 | 2011-01-26 | 住友电木株式会社 | 光导波路及光导波路结构体 |
JP2009092940A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Hitachi Metals Ltd | 光パワーモニターおよびその製造方法 |
US7704897B2 (en) * | 2008-02-22 | 2010-04-27 | Applied Materials, Inc. | HDP-CVD SiON films for gap-fill |
EP2290415A4 (en) * | 2008-06-10 | 2014-09-10 | Sumitomo Bakelite Co | ELECTRONIC DEVICE, MOBILE PHONE, FLEXIBLE CABLE AND METHOD FOR PRODUCING AN OPTICAL WAVE-LEADING BODY |
SG171464A1 (en) * | 2008-12-04 | 2011-07-28 | Sumitomo Bakelite Co | Optical waveguide and optical waveguide manufacturing member |
JP2011085647A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Hitachi Chem Co Ltd | 光導波路基板及びその製造方法 |
JP5471397B2 (ja) * | 2009-12-15 | 2014-04-16 | 住友ベークライト株式会社 | 光電気混載基板および電子機器 |
WO2012026135A1 (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-01 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路および電子機器 |
JP5854395B2 (ja) * | 2010-09-14 | 2016-02-09 | セイコーインスツル株式会社 | 近接場光発生素子の製造方法、及び近接場光ヘッドの製造方法 |
JP5943503B2 (ja) * | 2010-09-14 | 2016-07-05 | セイコーインスツル株式会社 | 近接場光発生素子、及び近接場光発生素子の製造方法、近接場光ヘッド、近接場光ヘッドの製造方法並びに情報記録再生装置 |
WO2012039393A1 (ja) * | 2010-09-22 | 2012-03-29 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路および電子機器 |
US9146348B2 (en) * | 2011-01-07 | 2015-09-29 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical-electrical composite flexible circuit substrate including optical circuit and electrical circuit |
JP2012208306A (ja) | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Nitto Denko Corp | 光電気混載基板およびその製法 |
WO2013128691A1 (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-06 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路、光配線部品、光導波路モジュールおよび電子機器 |
US9720171B2 (en) * | 2012-06-19 | 2017-08-01 | Sumitomo Bakelite Co., Ltd. | Optical waveguide, optical interconnection component, optical module, opto-electric hybrid board, and electronic device |
-
2014
- 2014-03-20 JP JP2014057783A patent/JP6394018B2/ja active Active
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001154044A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Kyocera Corp | 光導波路基板 |
JP2003240997A (ja) * | 2002-02-21 | 2003-08-27 | Fujitsu Ltd | 空間反射型構造を有する光集積回路の製造方法 |
JP2004133103A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Sony Corp | 高分子光導波路及びその作製方法 |
US20080175531A1 (en) * | 2007-01-18 | 2008-07-24 | Stmicroelectronics S.R.L. | Optical integrated device manufacturing process and device manufactured by the process thereof |
JP2010156868A (ja) * | 2008-12-27 | 2010-07-15 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路および光導波路形成用部材 |
JP2011081142A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-21 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | ミラー付き光導波路の製造方法 |
JP2012198488A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-18 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路および電子機器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019008269A (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 京セラ株式会社 | 光導波路および光回路基板 |
JP7032942B2 (ja) | 2017-06-28 | 2022-03-09 | 京セラ株式会社 | 光導波路および光回路基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201445203A (zh) | 2014-12-01 |
CN105051581B (zh) | 2018-09-04 |
WO2014157039A1 (ja) | 2014-10-02 |
US20160047978A1 (en) | 2016-02-18 |
US9557481B2 (en) | 2017-01-31 |
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CN105051581A (zh) | 2015-11-11 |
TWI619977B (zh) | 2018-04-01 |
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