JP2015125274A - 圧電ミラー素子、およびそれを用いた電子機器 - Google Patents
圧電ミラー素子、およびそれを用いた電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015125274A JP2015125274A JP2013269426A JP2013269426A JP2015125274A JP 2015125274 A JP2015125274 A JP 2015125274A JP 2013269426 A JP2013269426 A JP 2013269426A JP 2013269426 A JP2013269426 A JP 2013269426A JP 2015125274 A JP2015125274 A JP 2015125274A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- support
- mirror element
- support portion
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
Description
除いた厚さである。なお、上部電極2bにも同様な突起がある場合も、その突起の部分を除いた厚さである。
下にすれば、たわみ量を大きくできる。
量(振れ角)のばらつきを小さくできる。
部104との導通は、接着剤層を貫通する突起2c−1で行なってよいし、溝4dに導電部15bを充填して行ってもよい。導電部15bで導通をとる場合、上述した実施形態同様にA1−A2間およびB1−B2間には導電部15bを設けず、A2−A3間、B2−B3間に導電部15bを設けるのが好ましい。特に一番枠体10に近い溝4dのみに導電部15bを設ければ、撓み量(振れ角)を大きくできるとともに、製品間の撓み量(振れ角)のばらつきを小さくできる。
Z1・・・レーザプリンタ
2・・・圧電素子
2a・・・圧電体
2b・・・上部電極
2c・・・下部電極
2c−1・・・導電粒子の突起
4、104・・・支持部
4a・・・貫通孔(導電部有)
4b・・・貫通孔(導電部無)
4c・・・凹部
4d・・・凹部(凹部)
6・・・トーションバー(連結部)
8・・・反射部
10・・・枠体
13・・・接着剤層
15a、15b・・・導電部
Claims (10)
- 圧電素子と、
該圧電素子に接着剤層を介して接合されている支持部と、
光を反射させるための反射部と、
前記支持部と前記反射部とを連結している連結部とを備えた圧電ミラー素子であって、
前記反射部と前記支持部とは、前記連結部を介して搖動可能に接合されており、
前記支持部の前記圧電素子と接合されている部位に、前記接着剤層の接着剤を逃がす凹部または貫通孔が配置されていることを特徴とする圧電ミラー素子。 - 前記支持部が導電性を有しており、
前記圧電素子の、前記支持部と接合されている面に、導電粒子が焼結してなる電極が配置されており、
前記電極の一部が前記接着剤層を貫通することで、前記電極と前記支持部とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電ミラー素子。 - 前記支持部が導電性を有しており、
前記圧電素子の、前記支持部と接合されている面に、電極が配置されており、
前記凹部または前記貫通孔の内面と、前記凹部または前記貫通孔に面した前記電極とが、前記凹部または前記貫通孔内に配置された導通部で、電気的に接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電ミラー素子。 - 前記支持部が金属製であり、前記貫通孔が両側エッチィングで加工されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電ミラー素子。
- 前記支持部は一方方向に長い平板状であり、
前記支持部は、前記一方方向の両端部でそれぞれ枠体に接合されており、
前記連結部は、前記支持部の前記一方方向の中央部に接合されており、
前記支持部の前記一方方向における、中央部から一方の端部までの間の主面、および中央部から他方の端部までの間の主面に、それぞれ少なくとも1つの前記圧電素子が接合されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電ミラー素子。 - 前記導通部を有する前記凹部または前記貫通孔が、前記支持部の前記一方方向における中央部から一方の端部までの間をそれぞれ3等分した場合の一方の端部側1/3の領域、および前記支持部の前記一方方向における中央部から他方の端部までの間をそれぞれ3等分した場合の他方の端部側1/3の領域に配置されていることを特徴とする請求項5に記載の圧電ミラー素子。
- 前記導通部を有しない前記凹部または前記貫通孔が、前記支持部の前記一方方向における中央部から一方の端部までの間をそれぞれ3等分した場合の一方の中央の1/3の領域、および記支持部の前記一方方向における中央部から他方の端部までの間をそれぞれ3等分した場合の中央の1/3の領域に配置されていることを特徴とする請求項5または6に記載の圧電ミラー素子。
- 前記支持部の平面形状が前記一方方向に伸びる仮想直線に対して線対称であり、前記凹部または前記貫通孔は、前記仮想直線に対して線対称に配置さていることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の圧電ミラー素子。
- 光源と、請求項1〜8のいずれかに記載の圧電ミラー素子を含んでおり、前記光源からの光を、方向を変えながら外部に放射する光学系を備えていることを特徴とする電子機器
。 - 光源と、感光体と、請求項1〜8のいずれかに記載の圧電ミラー素子を含んでおり、前記光源から出る光で前記感光体を走査する光学系と、前記感光体に静電潜像を形成するように前記光源および前記光学系を制御する制御部と、前記静電潜像を記録媒体に転写する転写部とを備えていることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013269426A JP6231380B2 (ja) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | 圧電ミラー素子、およびそれを用いた電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013269426A JP6231380B2 (ja) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | 圧電ミラー素子、およびそれを用いた電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015125274A true JP2015125274A (ja) | 2015-07-06 |
JP6231380B2 JP6231380B2 (ja) | 2017-11-15 |
Family
ID=53536009
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013269426A Active JP6231380B2 (ja) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | 圧電ミラー素子、およびそれを用いた電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6231380B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017094461A (ja) * | 2015-11-26 | 2017-06-01 | 京セラ株式会社 | 構造体の製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7071052B2 (ja) | 2013-03-15 | 2022-05-18 | フィッシャー-ローズマウント システムズ,インコーポレイテッド | プロセス制御システムのための図形傾向記号を生成及び表示する方法、及びコンピュータ可読記憶媒体 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010091791A (ja) * | 2008-10-08 | 2010-04-22 | Brother Ind Ltd | 光走査装置、画像形成装置、及び光走査装置の製造方法 |
WO2010095587A1 (ja) * | 2009-02-18 | 2010-08-26 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光ビーム走査装置 |
JP2013251373A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Kyocera Corp | 圧電アクチュエータ、それを用いた圧電ミラー素子および電子機器 |
-
2013
- 2013-12-26 JP JP2013269426A patent/JP6231380B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010091791A (ja) * | 2008-10-08 | 2010-04-22 | Brother Ind Ltd | 光走査装置、画像形成装置、及び光走査装置の製造方法 |
WO2010095587A1 (ja) * | 2009-02-18 | 2010-08-26 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光ビーム走査装置 |
JP2013251373A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Kyocera Corp | 圧電アクチュエータ、それを用いた圧電ミラー素子および電子機器 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017094461A (ja) * | 2015-11-26 | 2017-06-01 | 京セラ株式会社 | 構造体の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6231380B2 (ja) | 2017-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3778736B2 (ja) | 圧電/電歪デバイス | |
CN107783280B (zh) | 扫描微机电反射器系统 | |
JP2008304553A (ja) | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 | |
US9778549B2 (en) | Optical element | |
JP2009093120A (ja) | 光学反射素子 | |
JP5848504B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP6743353B2 (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置及びヘッドアップディスプレイ | |
JP6231380B2 (ja) | 圧電ミラー素子、およびそれを用いた電子機器 | |
JP2013251373A (ja) | 圧電アクチュエータ、それを用いた圧電ミラー素子および電子機器 | |
JP2004341364A (ja) | 振動ミラーとその製造方法、光走査モジュール、光書込装置、画像形成装置 | |
JP5539628B2 (ja) | 光走査用マイクロミラーデバイス、光走査装置、画像形成装置、表示装置および入力装置 | |
JP2001250996A (ja) | 圧電/電歪デバイス | |
WO2011136312A1 (ja) | 振動発電デバイスおよびその製造方法 | |
JP2013160891A (ja) | 振動ミラー素子およびプロジェクタ機能を有する電子機器 | |
JP2008096750A (ja) | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 | |
JP2009210955A (ja) | 光スキャナ | |
JP2013003523A (ja) | 光走査装置およびミラー駆動装置 | |
JP5076526B2 (ja) | 光学反射素子 | |
JP2007287931A (ja) | アクチュエータの製造方法、および、アクチュエータ | |
JP3535111B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2008039861A (ja) | 光学デバイス | |
JP2002328319A (ja) | 圧電/電歪デバイス及びその製造方法 | |
JP2004208130A (ja) | 圧電トランスデューサ | |
JP5277977B2 (ja) | 光学装置 | |
JP4682589B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびこれを用いた光線掃引装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160615 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170426 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170919 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171019 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6231380 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |