JP2013251373A - 圧電アクチュエータ、それを用いた圧電ミラー素子および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導電性の支持板3と、平板状で、少なくとも一方の主面に導電粒子が焼結した電極4cを有する圧電素子4と備えており、支持板3と圧電素子4の電極4cを有する側の主面とが接着剤層8により接着されており、一部の前記導電粒子(4c−1)が接着剤層8を貫通して、電極4cと支持板3とを電気的に接続している。
【選択図】図1
Description
するように前記光源および前記光学系を制御する制御部と、前記静電潜像を記録媒体に転写する転写部とを備えていることを特徴とする。
で、あるいは組み合わせて使用することができる。少なくとも、支持板4と接着される側の電極である下部電極4cは、導電粒子が焼結したものである。上部電極4bおよび下部電極4cの厚さは、2μm以下、好ましくは1μm以下とすれば撓み量を大きくできる。また、厚さは0.1μm以上、好ましくは0.5μm以上にすることで導通が確保しやすくできる。だだし、この厚さは、下部電極4cについては、後述の突起4c−1の部分を除いた厚さである。上部電極4bにも同様な突起がある場合も、その突起の部分を除いた厚さである。
c−1の高さが高いかのいずれか一方、あるいは両方であることが好ましい。このような下部電極4は、突起4c−1となる導電粒子の割合や大きさを変えた電極ペーストを別々に印刷して形成すればよい。
どを蒸着する。
2・・・トーションバー
3・・・支持板
4・・・圧電素子
4a・・・圧電体
4b・・・上部電極
4c・・・下部電極
4c−1・・・導電粒子の突起
5・・・フレーム
8・・・接着剤層
10・・・圧電ミラー素子
Claims (5)
- 導電性の支持板と、平板状で、少なくとも一方の主面に導電粒子が焼結した電極を有する圧電素子とを備えており、
前記支持板と前記圧電素子の前記電極を有する側の主面とが接着剤層により接着されていて、かつ一部の前記導電粒子が前記接着剤層を貫通して、前記電極と前記支持板とを電気的に接続していることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記圧電素子の前記電極を除く厚さが20μm以下であり、前記電極と前記接着剤層とを合わせた厚さが4μm以下であることを請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 2つの請求項1または2に記載の圧電アクチュエータが、異なる位置に設けられている前記支持板と、
光を反射するミラー部と、
該ミラー部を支持しており、前記支持板に、2つの前記圧電アクチュエータの間で繋がっているトーションバーと、
前記支持板を、2つの前記圧電アクチュエータの外側で固定するフレーム部とを備えていることを特徴とする圧電ミラー素子。 - 光源と、請求項3に記載の圧電ミラー素子を含み、前記光源から出る光を、方向を変えながら外部に放射する光学系とを備えていることを特徴とする電子機器。
- 光源と、感光体と、請求項3に記載の圧電ミラー素子を含み、前記光源から出る光で前記感光体を走査する光学系と、前記感光体に静電潜像を形成するように前記光源および前記光学系を制御する制御部と、前記静電潜像を記録媒体に転写する転写部とを備えていることを特徴とする電子機器。
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JP2012124475A JP2013251373A (ja) | 2012-05-31 | 2012-05-31 | 圧電アクチュエータ、それを用いた圧電ミラー素子および電子機器 |
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2012
- 2012-05-31 JP JP2012124475A patent/JP2013251373A/ja active Pending
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