JP2015120611A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2015120611A5
JP2015120611A5 JP2013264358A JP2013264358A JP2015120611A5 JP 2015120611 A5 JP2015120611 A5 JP 2015120611A5 JP 2013264358 A JP2013264358 A JP 2013264358A JP 2013264358 A JP2013264358 A JP 2013264358A JP 2015120611 A5 JP2015120611 A5 JP 2015120611A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base material
cylindrical base
peripheral surface
outer peripheral
master
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013264358A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2015120611A (ja
JP5848320B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from JP2013264358A external-priority patent/JP5848320B2/ja
Priority to JP2013264358A priority Critical patent/JP5848320B2/ja
Priority to DE112014004375.3T priority patent/DE112014004375B4/de
Priority to KR1020157035938A priority patent/KR101635338B1/ko
Priority to US15/026,509 priority patent/US10207470B2/en
Priority to TW103142131A priority patent/TWI530467B/zh
Priority to CN201480043133.5A priority patent/CN105408265B/zh
Priority to PCT/JP2014/082171 priority patent/WO2015093308A1/ja
Priority to CN201711174780.1A priority patent/CN107894691A/zh
Publication of JP2015120611A publication Critical patent/JP2015120611A/ja
Publication of JP2015120611A5 publication Critical patent/JP2015120611A5/ja
Publication of JP5848320B2 publication Critical patent/JP5848320B2/ja
Application granted granted Critical
Priority to US15/950,596 priority patent/US11090886B2/en
Priority to US17/393,963 priority patent/US12097675B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2013264358A 2013-12-20 2013-12-20 円筒基材、原盤、及び原盤の製造方法 Active JP5848320B2 (ja)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013264358A JP5848320B2 (ja) 2013-12-20 2013-12-20 円筒基材、原盤、及び原盤の製造方法
CN201480043133.5A CN105408265B (zh) 2013-12-20 2014-12-04 圆筒基体材料、原盘及原盘的制造方法
CN201711174780.1A CN107894691A (zh) 2013-12-20 2014-12-04 圆筒基体材料、原盘及原盘的制造方法
KR1020157035938A KR101635338B1 (ko) 2013-12-20 2014-12-04 원통 기재, 원반 및 원반의 제조 방법
US15/026,509 US10207470B2 (en) 2013-12-20 2014-12-04 Cylindrical base, master and master manufacturing method
TW103142131A TWI530467B (zh) 2013-12-20 2014-12-04 A method for manufacturing a cylindrical substrate, a master disk and a master disk
DE112014004375.3T DE112014004375B4 (de) 2013-12-20 2014-12-04 Zylindrische Basis, Master, Verfahren zur Herstellung eines Masters und Verfahren zur Herstellung eines optischen Elements
PCT/JP2014/082171 WO2015093308A1 (ja) 2013-12-20 2014-12-04 円筒基材、原盤、及び原盤の製造方法
US15/950,596 US11090886B2 (en) 2013-12-20 2018-04-11 Cylindrical base, master and master manufacturing method
US17/393,963 US12097675B2 (en) 2013-12-20 2021-08-04 Cylindrical base, master and master manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013264358A JP5848320B2 (ja) 2013-12-20 2013-12-20 円筒基材、原盤、及び原盤の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2015120611A JP2015120611A (ja) 2015-07-02
JP2015120611A5 true JP2015120611A5 (enExample) 2015-10-29
JP5848320B2 JP5848320B2 (ja) 2016-01-27

Family

ID=53402657

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013264358A Active JP5848320B2 (ja) 2013-12-20 2013-12-20 円筒基材、原盤、及び原盤の製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (3) US10207470B2 (enExample)
JP (1) JP5848320B2 (enExample)
KR (1) KR101635338B1 (enExample)
CN (2) CN105408265B (enExample)
DE (1) DE112014004375B4 (enExample)
TW (1) TWI530467B (enExample)
WO (1) WO2015093308A1 (enExample)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6818479B2 (ja) 2016-09-16 2021-01-20 デクセリアルズ株式会社 原盤の製造方法
EP3759551A4 (en) * 2018-02-26 2021-11-24 Carpe Diem Technologies, Inc. SYSTEM AND METHOD FOR CONSTRUCTING A ROLL-TYPE NANOPRINTING LITHOGRAPHY MATRIX (RNIL)
CN113625526A (zh) * 2020-05-08 2021-11-09 光群雷射科技股份有限公司 无缝全像图图案转移方法
TWI822997B (zh) * 2020-05-08 2023-11-21 光群雷射科技股份有限公司 無縫全像圖圖案轉移方法
KR20240137736A (ko) * 2023-03-09 2024-09-20 에스케이하이닉스 주식회사 반도체 장치의 제조 방법
DE102023122606A1 (de) * 2023-08-23 2025-02-27 scia Systems GmbH Optische Linse und Verfahren zum Ionenätzen einer gekrümmten Oberfläche eines Substrats

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4478322B2 (ja) * 2000-11-30 2010-06-09 信越石英株式会社 光学用合成石英ガラスの熱処理用容器および熱処理方法
US20020122902A1 (en) 2000-11-30 2002-09-05 Tetsuji Ueda Blank for an optical member as well as vessel and method of producing the same
US20050181089A1 (en) * 2002-04-15 2005-08-18 Nagase & Co. Ltd Stamper original and its manufacturing method, stamper and its manufacturing method, and optical disk
JP2004308822A (ja) * 2003-04-09 2004-11-04 Ntn Corp 円筒ころ軸受
JP2005064143A (ja) * 2003-08-08 2005-03-10 Seiko Epson Corp レジストパターンの形成方法、配線パターンの形成方法、半導体装置の製造方法、電気光学装置及び電子機器
WO2009148138A1 (ja) * 2008-06-05 2009-12-10 旭硝子株式会社 ナノインプリント用モールド、その製造方法および表面に微細凹凸構造を有する樹脂成形体ならびにワイヤグリッド型偏光子の製造方法
JP4596072B2 (ja) * 2008-12-26 2010-12-08 ソニー株式会社 微細加工体の製造方法、およびエッチング装置
JP5257131B2 (ja) * 2009-02-23 2013-08-07 ソニー株式会社 光学素子の製造方法、ならびに光学素子の作製用原盤およびその製造方法
JP5338536B2 (ja) * 2009-07-16 2013-11-13 コニカミノルタ株式会社 微細な凹凸パターンを有するフィルム構造体、太陽エネルギー収集用プリズムシート及び立体視ディスプレイ用光学フィルム
JP5664471B2 (ja) * 2010-06-28 2015-02-04 信越化学工業株式会社 半導体用合成石英ガラス基板の製造方法
CN103946748A (zh) * 2011-11-22 2014-07-23 旭化成电子材料株式会社 热反应型抗蚀剂材料、模具的制造方法、模具、显影方法以及图案形成材料
DE102012000418A1 (de) * 2011-12-23 2013-06-27 J-Plasma Gmbh Verfahren zum Herstellen von Stablinsen und Vorrichtung hierfür

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2015120611A5 (enExample)
JP6173354B2 (ja) 光透過型インプリント用モールド、大面積モールドの製造方法
JP2009037023A5 (enExample)
JP2014186333A5 (ja) 透過型マスクブランク、透過型マスク及び半導体装置の製造方法
CN106199781B (zh) 一种柔性制作曲面仿生复眼结构的方法
JP2015028537A5 (ja) 光拡散部材の製造方法
KR101729816B1 (ko) 노광 장치
JP5942551B2 (ja) ナノインプリント用マスターテンプレート及びレプリカテンプレートの製造方法
JP2005345737A5 (enExample)
IN2014DN03390A (enExample)
JP2016122684A5 (enExample)
JP2017026701A5 (enExample)
CN106932843A (zh) 一种光栅微透镜层级结构及其制备方法
WO2017193445A1 (zh) 金属光栅偏光片及其制作方法
CN103345010A (zh) 一种基于聚二甲基硅氧烷模板的微透镜阵列元件制作方法
JP6278383B2 (ja) 高コントラスト位置合わせマークを備えたモールドの製造方法
JP6281592B2 (ja) レプリカテンプレートの製造方法
TW201600923A (zh) 光罩及光罩的製造方法
CN102799066A (zh) 一种在二氧化钛有机无机光敏复合薄膜上制备凹透镜阵列结构的方法
TWI450029B (zh) 金屬嵌入光罩及其製造方法
JP5707990B2 (ja) インプリント用モールド、およびインプリント方法
JP5295870B2 (ja) インプリントパターン形成方法
JP2007063502A5 (enExample)
JP2016122751A5 (enExample)
TWI456269B (zh) 光罩用基板、光罩、光罩之製造方法及圖案轉印方法