JP2015112709A

JP2015112709A - 研磨シート、及び、研磨具

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Publication number: JP2015112709A
Application number: JP2013259152A
Authority: JP
Inventors: 沢田　清孝; Kiyotaka Sawada; 清孝沢田; 張　軍; Susumu Cho; 軍張
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2013-12-16
Filing date: 2013-12-16
Publication date: 2015-06-22
Anticipated expiration: 2033-12-16
Also published as: JP6337458B2; US20150165592A1; US9440331B2

Abstract

【課題】従来の研磨シートや研磨具で極めて除去困難な、鏡やガラスに付着した水垢、特にウロコ状態となった水垢を、鏡やガラスに傷を付けることなく、小さな力で容易に除去できる研磨シートおよび研磨具を提供する。
【解決手段】表面から突出して、前記表面に平行な上面を有する凸部が複数設けられたシートの、少なくとも前記凸部のｙ上面に、多数の一次粒子同士が互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体により構成された砥粒が、複数配置されている研磨シート。
【選択図】図１

Description

本発明は、研磨に用いる、砥粒をシートに固定した研磨シート、このような研磨シートを有する研磨具に関する。

浴室、洗面場などに設置されている鏡やガラスの表面、調理用具、水道の蛇口、浴槽、流し台などには、水が使用される環境の影響により、水垢が堆積する。これらの中でも特に、鏡やガラス表面の水垢は水中から沈殿した炭酸カルシウム、あるいは、珪素が主成分であり、非常に強固で除去しにくい。

ここで、特許文献１に記載された技術は、洗剤中の炭酸水素ナトリウム（重曹）、及び、クエン酸の化学的作用により、水と反応して炭酸水を発生させることで、水垢の主成分の一つである炭酸カルシウムがその炭酸水に溶解する性質を利用して研磨（洗浄）を行うものである。

しかし、この技術では、食品成分の利用率を高めることにより、環境負荷を大幅に低減することができると云う効果はあるものの、水垢が厚く、特にガラスなどに食い込んでいる場合、いわゆる「ウロコ状態」となっている場合、水垢をある程度軟化させて、溶かす効果はあるものの、スポンジなどによる擦り洗浄ではその完全除去は困難であった。

また、市販のサンドペーパーを用いて鏡やガラスの表面の水垢除去を試みることも行われているが、サンドペーパーの砥粒の材質はアルミナ、シリカ、ジルコニアなどであり、これらは鏡やガラスよりも硬度が高いために、水垢除去は可能であるが、鏡やガラス表面にも傷がついてしまうと云う欠点がある。

さらに、特許文献２に記載された技術は、ガラス、シリコンウェーハなどを対象とした研磨工具に関するものである。ここで、図９にこの技術による砥粒１をバインダ層２
によりシート状の基材の一方の面に配置したシートの例を図９にモデル的に示した。

この発明を応用して、鏡５やガラス表面の水垢除去を試みても十分な効果が発揮されず、特にウロコ状態の水垢６の除去には非常に大きな力を加えながら研磨（洗浄）する必要がある。そして、その場合、水垢の研磨能率が非常に低い上に、さらに、除去した水垢もしくは脱粒した砥粒が、鏡やガラスの表面にスクラッチ、傷などの障害を発生させてしまうと云う問題も発生した。

また、特許文献３により提案されている技術は、図１０にモデル断面図を示すように、シート３０表面にブロック状の研磨層３２がバインダ層３１により互いに間隔を開けて。図１１にモデル斜視図として示すように配置されている研磨工具に関するものである。

実際にこの技術による研磨器具を用いて鏡やガラス表面の水垢除去を試みると、研磨能率、及び、作業効率は良好であるものの、除去した水垢の粒子や研磨器具から脱粒した砥粒による、鏡やガラスの表面のスクラッチ、傷などの発生を完全に解消することは困難である。

そして、特許文献４に記載された技術は、金型の表面に配列されている特定形状の窪みに超微細研磨材粒子を充填したのち、焼成して、粒子同士を部分的に直接接合させて空隙を有する特定形状の集合体を形成した後、バインダ材により基材シート表面にこの細研磨材粒子の集合体に転写させて研磨シートを製造方法する技術である。

この技術による研磨シートを用いて鏡やガラスの表面の水垢除去を試みたところ、研磨能率が低い上に、やはり、鏡やガラスの表面にスクラッチ、傷などを発生させてしまうといった問題が生じた。

本発明では、上記従来の研磨シートの問題を解決する、従来の研磨シートや研磨具で極めて除去困難な、鏡やガラスに付着した水垢、特にウロコ状態となった水垢を、鏡やガラスに傷を付けてしまうリスクを低減しつつ、小さな力で容易に除去できる研磨シートおよび研磨具を提供することを目的とする。

本発明の研磨シートは、上記課題を解決するために、表面から突出して、前記表面に平行な上面を有する凸部が複数設けられたシートの、少なくとも前記凸部の上面に、多数の一次粒子同士が互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体により構成された砥粒が、複数配置されていることを特徴とする。

本発明の研磨シートによれば、表面から突出して、その表面に平行な上面を有する凸部の上面に、砥粒が複数配置されている構成により、従来の研磨シートや研磨具で極めて除去困難な、鏡やガラスに付着した水垢、特にウロコ状態となった水垢は容易に排出されるので、これらにより鏡やガラスに傷を付けてしまうリスクを低減しつつ、小さな力で容易に除去することができる。

本発明で用いる、多数の一次粒子１ａ同士が互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体により構成された砥粒１のモデル図本発明で用いる、複数の凸部が設けられたシート（基材）の例とその製造方法の例を示す図である。本発明の研磨シートの一例を示すモデル断面図である。本発明で用いる、複数の凸部が設けられたシートの他の例の製造方法の例を示す図である。本発明の研磨シートの他の例を示すモデル断面図である。図５に示す研磨シートの裏面側に裏打ち材３を貼り付けて形成した研磨具の例を示すモデル断面図である。本発明の研磨シートのさらに他の例の製造方法を示すモデル図である。図７に示した方法で製造された本発明の研磨シートの例を示すモデル断面図である。従来技術の研磨シートの例とその研磨対象の、水垢が付着した鏡とを示すモデル断面図である。他の従来技術の研磨シートの例を示すモデル断面図である。図１０の研磨シートのモデル斜視図である。

本発明者等は、従来技術にかかる研磨シートについて検討の結果、次のような原因で、鏡やガラスの表面にスクラッチや傷などを発生させてしまう恐れがあることを見いだした。

すなわち、引用文献３に記載された技術では、研磨作業中にサイズの大きい水垢やバインダ層から脱離した砥粒が、シート表面のバインダ層が設けられていない部分に留まり、そこで鏡やガラスの被研磨表面に接触してスクラッチや傷などを発生させてしまうことが生じる恐れがあった。

ここで、バインダ層は、研磨に必要な砥粒のバインダからの突き出し量が確保できる厚さであることが必要であり、バインダ層を厚くしすぎると、砥粒がバインダ層中に沈降して研磨に寄与できなくなる。

また、引用文献４に記載された技術では、バインダが硬化していない状態で砥粒を機材シートに転写し、その後にバインダを硬化させると云う方法であるため、研磨材粒子集合体の個々の研磨材粒子とバインダ層との間の接合力が弱くなり、研磨時に研磨材粒子が脱離して被研磨材を傷つけていた。さらに、微細研磨材粒子集合体は硬く、かつ、可撓性も低くいので、鏡やガラス表面の水垢への形状追従性が低く、研磨能率が低いこともわかった。

このような従来技術についての検討結果を踏まえ、本発明者等は本発明の、表面から突出して、その表面に平行な上面を有する凸部の上面に、砥粒が複数配置されている構成に至った。

以下、図面に基づいて本発明について説明する。

図１は本発明で用いる、多数の一次粒子同士が互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体により構成された砥粒１ａのモデル図である。

この粒状の多孔質体１は硬質な無機材料であり、多数の一次粒子１ａが凝集して形成された二次粒子が、一次粒子同士の結合点に１葉双曲面状（鼓状）のネック１ｂが形成される温度で加熱処理して得た粒状の多孔質体である。さらに、その多数の一次粒子が部分的に、かつ、その間に空隙が形成されている状態で結合している。このような粒状の多孔質体は、たとえば特許文献５などに提示された方法で製造することができる。

一次粒子としては、酸化ジルコニウム、酸化セリウム（セリア）、シリカ、アルミナ、
酸化チタン、または、それらの混合物を用いることができる。これらは、いずれも高い硬度を有するので、これらから構成された粒状の多孔質は高い研磨効果ないし洗浄効果が得られる砥粒となる。

これら一次粒子を用いて、ゾルゲル法や、スプレードライヤ法等の手段の公知の手段で二次粒子を形成することができ、この二次粒子を図３にモデル的に示すような構造が得られる条件で加熱処理を行い、粒状の多孔質体を得る。

このような粒状の多孔質体である砥粒は、研磨ないし洗浄に用いられると徐々に摩耗するが、その際に、研磨（洗浄）対象物に接触する砥粒の外面のみならず、砥粒内部のそれぞれの一次粒子もそれぞれ切刃として機能する。

このような構成により、１粒の砥粒（二次粒子）であっても実質上多数の砥粒である（一次粒子）ように機能するので、高速での研磨ないし洗浄が可能となる。

また、上記の砥粒では、さらに、一次粒子が、バインダを介することなく互いに結合されているために、従来研磨に用いられるときにバインダによる、一次粒子間、および、砥粒間の目詰まりが生じない。このため、高い研磨速度ないし洗浄速度が長期間維持される。

このような効果は、特に一次粒子の数平均粒径（メディアン径Ｄ５０）が、５μｍ以下であると高くなるので好ましい。さらに、このような平均粒径範囲であると研磨面へのスクラッチ、傷の発生防止効果も同時に得られる。

本発明で用いる砥粒の好ましい数平均粒径は、１０μｍ以上３００μｍ以下程度であり、さらに好ましい範囲は４０μｍ以上１００μｍ以下程度である。数平均粒径が小さすぎると、砥粒のバインダからの突き出し量の確保が難しく、作業効率が低下しやすくなるとともに研磨に使用可能な寿命が短くなる恐れがある。一方、平均粒径が大きすぎると研磨対象物に傷を与える恐れがある。

また、砥粒の圧縮破壊強度が、１ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下であると、研磨や洗浄の際に、適当な摩耗速度が得られるので、高い研磨効果と、被研磨面に対してのスクラッチ傷の発生防止効果とを両立できる。

次に、本発明で上記の砥粒を表面に配置するシートについて説明する。

本発明で用いるシートとしては樹脂から構成された、通常、エンボスシートと云われる、凸部が形成されたシートを用いる（本発明では、一般に厚さが２００μｍ以下である「フィルム」も含めて、「シート」と云う。）。

シートの材質としては、一般に用いられる樹脂を用いることができるが、ポリカーボネート、ポリエチエンナフタレート、ポリプロピレン、ポリメチルメタアクリレート、ポリエチエンテレフタレートなどが挙げられ、このうち、ポリエチレンテレフタレートであると、厚みのバリエーションがあり、機械的な強度を有し、可撓性にも優れているために好ましい。

図２には、いわゆる、凸部が形成されたシート、いわゆる、エンボスシートの製造方法の一例を示すモデル説明図（左側）と、この方法で製造された複数の凸部が形成されたシートの例１０のモデル上面図（右側）と、を示す。

すなわち、図２の左側に図示したような、下面が平面でありながら、上面には複数の凸部１０ａがシートの表面から突出して設けられた、複数の凸部が形成されたシート１０は、樹脂シートを図２の左側に示したローラ対の間を通過させて製造することができる。

このようなローラ対は、側面に凹凸が形成された凹凸ローラ（上ローラ）と平面ローラ（下ローラ）とにより構成されたローラ対である。凸部形成の際には、必要に応じてシート、及び／または、少なくとも一方のローラを加熱しながら通過させることができる。

凸部１ａの上面１０ａ１（図３参照）のシート表面１ｂからの高さは、用いる砥粒の大きさにもよるが、通常、１０μｍ以上６００μｍ以下、好ましくは４０μｍ以上２００μｍ以下である。

このとき、凹凸ローラの側面の凹凸形状としては、シートに形成される凸部が、そのシートの表面に垂直な断面が台形であって、かつその台形の、凸部１０ａの上面１０ａ１側の上底と２つの側辺とが成す２つの角度がともに常に鈍角である形状とすることが好ましい。このときの鈍角の角度としては、おおよそおおよそ１００°以上１３５°以下の範囲とすることが、高い研磨効率を得られるので好ましい。より好ましい範囲としては１１０°以上１２０°以下である。

また、凸部１０ａ形成に当たって、シート全体の面積（１００％）に対する凸部の上面１ａ１の総面積が２０％以上８０％以下となるように凸部１０ａを形成することが水垢を小さい力で容易に除去できるため好ましい。より好ましい範囲は４０％以上６０％以下である。

この後、複数の凸部１０ａが形成されたシート１０の凸部１０ａ形成面にバインダを塗布してバインダ層２を形成し（図３参照）、上述の砥粒１をバインダ層１０上に供給する。砥粒１は、バインダ層２により保持されるとともに、その上側面がバインダ層２から突き出すように配置される。このように配置することにより、凸部１０ａの上面１０ａ１、凸部１０ａの側面１０ａ２、さらに、シートの表面１０ｂにも砥粒１が配置される。

バインダ層の形成には、ワイヤバーコータ、ダイコータ、コンマコーター、グラビアコータ、ナイフコータなどが使用できる。

バインダは、接着性に優れるものであることが、被研磨材への傷つきの原因となる、砥粒の脱離やバインダ層自体のシートからの剥離を未然に防ぐために必要である。さらに、研磨に水を併用する（このような研磨の場合を、「洗浄」とも云う。）か、あるいは、浴室や室外の鏡やガラスを研磨する場合には、耐水性があるものであることが必要となる。このようなものとして、ウレタン系、ポリエステル系、ポリオレフィン系のバインダなどが、挙げられる。

バインダ層２の厚さとしては、バインダ層２から砥粒が突き出される必要があるので、用いる砥粒の大きさにもよるが、２μｍ以上１５０μｍ以下、好ましくは１０μｍ以上５０μｍ以下である。

なお、図３では、上面及び底面がともに矩形の凸部１０ａ同士の間のシート表面１０ｂ部分が碁盤目状となるように配置された例を示したが、本発明はこれに限定されることなく、円、楕円、自由曲線などや、これらを任意に組み合わせて配置することができる。

図３には、このように形成された、本発明の研磨シートの第一の態様例のモデル断面図を示す。本発明では、凸部１０ａの上面１ａ１と、凸部１０ａの側面１０ａ２の上面１ａ１付近と、に砥粒１が配置されていることが必要である。

図３に断面を示した研磨シートが、被研磨材と当接、特に圧接されながら摺動されて用いられるときには、次のようにして研磨が進行する。すなわち、上記構成により、最初に接触する凸部１ａの進行方向上流側の側面１０ａ２の上面１０ａ１付近の、いわゆる「肩部」に配置された砥粒が、いわば「切り出す」形で、被研磨材の表面から突出して存在している水垢に対して当接し、研磨が開始される。次いで、その凸部１０ａの上面１ａ１の砥粒により水垢はさらに研磨される。そして、この水垢に当接する次の凸部１０ａの砥粒との間部分では研磨は行われないもの、この部分で研磨シートは被研磨材とさらに近接する。その後、次の凸部１０ａの側面１０ａ２の上面１０ａ１付近に配置された砥粒により、前回接触時よりさらに被研磨材に近い位置で切り出しが開始される。

このように、上面１０ａのみならず、側面１０ａ２の上面１０ａ付近にも砥粒１を配置することにより、高い研磨能率が達成される。そして、この効果は、上述のようにシート１０に形成された凸部１０ａが、シート１０の表面に垂直な断面が台形であって、かつその台形の、凸部１０ａの上面１０ａ１側の上底と２つの側辺とが成す２つの角度がともに常に鈍角である形状とすること拡大される。すなわち、側面１０ａ２に配置された砥粒１がより多く、研磨に関与できるようになるためである。

図３に示された研磨シート例では、一方の面に複数の凸部が設けられ、他方の面が平面の複数の凸部が形成されたシート１０を用いたが、本発明では、一方の面の凸部に相当する他方の面の部分に凹部が設けられたシートを用いてもよい。

図４にはこのようなシートの製造方法をモデル的に示す。この例で用いるローラ対は２つとも側面に凹凸が形成された凹凸ローラである。そして、一方のローラの側面の凸部が被加工シートの一方の面に接するときに、他方のローラの側面の凹部が被加工シートの他方面側に位置するように回転駆動されており、一方の面の凸部に相当する他方の面の部分に凹部が設けられたシート１１が得られる。

図５には、このようにして製造された、複数の凸部１１ａが設けられたシートの例１１を用いて作製した本発明の研磨シートの例（第二の態様例）のモデル断面図を示す。シート１１は、表面１１ｂから突出して、表面１１ｂに平行な上面１１ａ１を有しかつ断面が台形であって、この台形の、上面１１ａ１側の上底と２つの側辺１１ａ２が成す２つの角度がともに常に鈍角である凸部１１ａが、複数設けられたシートである。さらに、凸部１１ａに相当するシートの裏面に凹部１１ｃが設けられている。図５に示した研磨シートの例は、シート１０に代えてシート１１を用いた以外は、上述の第一の態様例と同じである。

このような態様の研磨シートでは、シート１１の材質及び厚さを、研磨シートとして用いたときに凸部１１ａが被研磨材との接触の際に完全にはつぶれないように、適宜選択する必要がある。

これら、上記で説明した本発明の研磨シート例では、そのまま、研磨に用いてもよいが、例えば図６に示すように、砥粒１が配置されていない、裏面に裏打ち材３を貼り合わせて研磨具とすることで、その作業性、取り扱い性を向上させることができる。さらに、この例ではシート１１は裏打ち材３に張り合わされているので、その凸部１１ａが研磨作業時にもつぶれにくくなり、その結果、比較的薄い基材シートを用いても高い作業能率が保たれやすい。

裏打ち材３としては、被研磨材との接触性が低下しないように、可撓性を有するものであることが好ましく、例えばゴムシートやゴム板、各種シート、布（織布や不織布）などが挙げられる。

上記の態様例１及び２では、本願発明において砥粒の配置が必要な、凸部の上面と、その凸部の側面の上面付近との場所以外、すなわち、凸部同士の間のシート表面、すなわち、溝状に形成された部分にも砥粒が配置されていた。しかしながら、この部分の砥粒は研磨に寄与しない場合が多く、その場合、砥粒が本来の必要量よりも多く配置されていることとなる。

次に、このように溝状に形成された部分への砥粒の配置を省いた研磨シートの例（第三の態様例）について説明する。

この例では、ベースとして用いる、複数の凸部が設けられたシートとしては図２を用いて説明したシート１０を用いる。シート１０を凸部が形成された面（表面）が下方となるようにして図７に示すように連続的にノズル部６へ供給する。このとき、ノズル６との接触箇所付近ではシート１０にその裏面に上方からローラ５を接触させる。ローラ５が接触して形成されたシート１０最下点付近に接触するノズル６から、バインダを供給してシート１０の凸部１０ａ１の上面及びその上面付近の側面にバインダ層２を形成させる。すなわち、バインダ層２は、図８に示すように凸部１０ａの上面１０ａ１及び凸部１０ａの側面１０ａ２の上面１０ａ１付近のみに形成され、このバインダ層２に砥粒１を供給することで、バインダ層２に砥粒１を保持させ、配置する。このようにして砥粒１の効率的な配置が達成される。この図８に示された構成によっても、上記２つの態様同様の研磨能率が得られ、このとき、砥粒の必要量が少なくて済む。

以上、本発明について、好ましい実施形態を挙げて説明したが、本発明の研磨シート、および、研磨具は上記実施形態の構成に限定されるものではない。

当業者は、従来公知の知見に従い、本発明の研磨シート、および、研磨具を適宜改変することができる。このような改変によってもなお本発明の研磨シート、および、研磨具の構成を具備する限り、もちろん、本発明の範疇に含まれるものである。

以下、本発明の実施例について説明する。
＜砥粒の作製＞
粒径が５０〜６０ｎｍの超微細の酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）粉末にポリビニルアルコール−水混合物を加えてスラリーとし、これをスプレードライヤで噴霧して、数平均粒径で６０μｍ、最大粒径が８０μｍの二次粒子αを得た。粒径は堀場製作所製レーザ回折／散乱式粒度分布測定装置ＬＡ−９２０を用いて乾式測定を行った。

この二次粒子を電気炉で加熱処理した。この加熱処理により、二次粒子形成時にバインダとして用いたポリビニルアルコールは完全に除去される。

ここで予め調べた条件に従い、砥粒としての使用時に切刃形成粒子として機能する多孔質粒体内部の一次粒子の直径が５μｍ以下になるように加熱処理温度と加熱処理時間を調整し、砥粒を得た。

加熱処理後に、得られた砥粒について、その断面を走査型電子顕微鏡によって観察した。その結果、図１にモデル的に示したように、部分的に、かつ、その間に空隙が形成されており、一次粒子同士の結合点に１葉双曲面状（鼓状）のネックが形成された粒状の多孔質体であることが確認された。

＜複数の凸部が形成されたシートの作成＞
図２に示した方法で、複数の凸部が形成されたシートを作製した。

厚さが２００μｍのポリエチレンテレフタレート製のシートに対して、３ｍｍ角の矩形状の凸部を複数（多数）、碁盤の目状に規則的に、凸部の上面の総面積が、シート全体の面積の５０％となるように形成した。このとき、凸部の上面がシート表面から１００μｍの高さとなるようにした。このシートの断面を観察したところ、凸部の断面（シート長手方向断面、及び、幅方向の２つの断面）はいずれも台形となっていた。そして、その台形の、前記上面側の上底と２つの側辺とが成す２つの角度がとも鈍角（１１０°程度）であることを確認した。

＜バインダ層の形成＞
上記シートの複数の凸部が形成された面に対して、バインダ層を形成した。具体的にはバインダ成分としてウレタン樹脂を溶媒（メチルエチルケトン、トルエン）に対して２５質量％となるように溶解してバインダ溶液を調製した。

＜本発明の研磨シート（実施例）の作製＞
この混合溶液を上記のシートの複数の凸部が形成された面にワイヤバーコータ（テスター産業製ＰＩ−１２１０）を用いて目付が２５ｇ／ｍ²となるように塗布してバインダ層を形成した。このときのバインダ層の最終厚さは平均２０μｍである。

その後、形成されたバインダ層に対して、上記砥粒を、目付が５０ｇ／ｍ²となるように供給し、その後、約６０℃で約１時間乾燥させ、図３に断面をモデル的に示すような、研磨シートを作製した。

＜比較例の研磨シートの作製＞
上記実施例で用いたものと同じシートを用い、その片面に粘着テープによるマスキングを行いながら、３ｍｍ角の矩形のバインダ層を複数、碁盤の目状にかつその総面積がシート全体の面積の５０％となるようにして形成した。このとき、バインダの目付がマスキング部の上面を含めて上記実施例のシート同様になるように塗布した。その後、上記砥粒を、マスキング部の上面を含めて目付が５０ｇ／ｍ²となるように供給し、約６０℃で約１時間乾燥後に、上記のマスキングを除去した。このように形成した研磨シートの砥粒の配置は、上記の実施例の研磨シートの凸部の上面の砥粒の配置と同等となった。

（水垢洗浄実験（鏡研磨実験））
上記実施例の研磨シート、及び、比較例の研磨シートを用いて、水を付加しながら、銭湯の鏡に付着した水垢（ウロコ状の水垢も発生していた）の除去を手作業にて試みた。その結果、本発明の研磨シートは比較例の研磨シートと比べ、小さな力で容易に水垢除去が可能であり、作業時間も比較例の研磨シートを用いた場合と比べて約１／２となった。なお、目視検査の結果、実施例の研磨シートを用いた試験では、鏡表面（ガラス面）にスクラッチや傷などは発生していなかったが、比較例の研磨シートではスクラッチ及び傷が発生した。

このように、実施例の研磨シートでは、表面に平行な上面を有しかつ断面が台形であってその台形の、上面側の上底と２つの側辺とが成す２つの角度がともに常に鈍角である凸部が、複数設けられたシートである。そして、その凸部の上面とその凸部の側面の、上面付近とに砥粒が配置されている構成により、きわめて効果的に水垢の除去を行うことができることが確認された。

さらに、実施例の研磨シートでは凸部の上面の砥粒と、シート表面（凸部同士の間の溝状部）と、の高さとの差を大きくすることができる。このことにより、除去した水垢の主成分である炭酸カルシウムや珪素、もしくは脱粒した砥粒がこの溝状部に到達しても容易に除去され得る。このような理由で、研磨時にスクラッチ及び傷の発生が未然に防止されたものと考えられる。

１砥粒
１ａ一次粒子
１ｂ１葉双曲面状（鼓状）のネック
１０、１１複数の凸部が設けられたシート
１０ａ、１１ａ凸部
１０ａ１、１１ａ１上面
１０ａ２、１１ａ２側面
１０ｂ、１１ｂシートの表面

特開２０１１−２３１１３５号公報特開２００３−１０５３２４号公報特開２００４−８２３２３号公報特開２００４−１０６１２１号公報特許第３９９０９３６号公報

Claims

表面から突出して、前記表面に平行な上面を有する凸部が複数設けられたシートの、少なくとも前記凸部の上面に、多数の一次粒子同士が互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体により構成された砥粒が、複数配置されていることを特徴とする研磨シート。
前記上面に加えて、前記凸部の側面の前記上面付近にも、前記砥粒が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨シート。
前記凸部の前記シートの表面に垂直な断面が台形であって、かつ当該台形の、前記凸部の前記上面側の上底と２つの側辺とが成す２つの角度がともに常に鈍角であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の研磨シート。
前記砥粒が、前記シートにバインダを介して配置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の研磨シート。
請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の研磨シートを有することを特徴とする研磨具。