JP2015039736A - 砥粒、研磨具、および、砥粒の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】従来の洗浄剤や研磨具では洗浄や除去が困難な場合があった、ガラスに付着した水垢などの強固な汚れを小さな力で容易に除去できる研磨具を可能とする砥粒を提供する。【解決手段】多数の一次粒子同士が、互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体により構成された砥粒において、前記砥粒の内部に、前記一次粒子と異なる材質からなる機能付与物質を含有している。【選択図】図５

Description

本発明は、研磨用途（洗浄用途を含む）に用いられる砥粒、砥粒が研磨面に固定された研磨具、および、このような砥粒の製造方法に関する。

浴室、洗面場などに設置されている鏡（ガラス）の表面や、調理用具、水道の蛇口、浴槽、流し台、あるいは、各種窓ガラス、ガラスドア、自動車などの車両の各種ライト類などには、水と接する環境の影響により、水垢が堆積する。これらの中でも特に、浴室の鏡（ガラス）表面の水垢は水から沈積した炭酸カルシウム、あるいは、二酸化ケイ素が主成分であり、非常に強固で除去しにくい。

ここで、特許文献１で提案されている、炭酸水素ナトリウム、クエン酸などからなる洗浄液等とスポンジとを用いて、鏡やガラスの表面の水垢除去を行なうと、水垢の主成分の一つである炭酸カルシウムが溶解するために、水垢を容易に除去できるとされている。これは、洗浄剤中の炭酸水素ナトリウムとクエン酸との化学的作用により発生した炭酸成分が炭酸カルシウムを溶解させるためである。

しかし、このようなメカニズムでは、水垢を軟化させ、溶解させる効果はある程度得られるものの、水垢が厚く、特に水垢がガラスなどに食い込んでいる、いわゆるウロコ状態となっている場合であると、スポンジによるこすり洗浄では完全除去が困難な場合がある。

一方、市販のサンドペーパーを用いて鏡やガラスの表面の水垢除去を試みた場合には鏡（ガラス）表面にも傷がついてしまう場合がある。これは、サンドペーパーで用いられている砥粒がきわめて硬度が高いためである。

また、特許文献２〜４は、多数の一次粒子同士が、互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体により構成された砥粒、および、ガラスやシリコンウェーハなどを研磨対象とした研磨具に関する文献である。しかし、これら文献記載の技術を用いた場合、砥粒の消耗が大きく、鏡やガラスの表面の水垢除去には不十分である場合があった。

図１（ａ）にモデル的に示すように、ガラス１０表面に付着した強固な水垢（汚れ）１１はガラス１０表面から突き出している。さらに、水垢の主成分である炭酸カルシウム、二酸化ケイ素などは硬度が高いので、これら特許文献に記載の砥粒に対し、その摩耗を加速させ、図２の光学顕微鏡写真に示すように破壊してしまう場合があった。このように硬質な水垢が付着したガラス表面を洗浄しようとするときに、当該水垢は、あたかも、ダイアモンドなどが表面に配置された工具（ドレッサー）のように振る舞い特許文献２〜４で提案されているような砥粒を急速に摩耗させる。このため、砥粒のガラス表面あるいは水垢へ切込みが弱くなり、そのために、加工能率が低くなり、充分な除去能力が得られない場合があった。

本発明は、従来の洗浄剤や研磨具では洗浄や除去が困難な場合があった、ガラスに付着した水垢などの強固な汚れを小さな力で容易に除去できると同時に、下地のガラス母材には洗浄傷を与えない研磨具を可能とする砥粒を提供することを目的とする。

本発明の砥粒は、多数の一次粒子同士が、互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体により構成された砥粒において、前記砥粒の内部に、前記一次粒子と異なる材質からなる機能付与物質を含有していることを特徴とする砥粒である。

本発明の砥粒は、多数の一次粒子同士が、互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体により構成された砥粒において、前記砥粒の内部に、前記一次粒子と異なる材質からなる機能付与物質を含有しているこのために、従来の洗浄剤や研磨具では洗浄や除去が困難な場合があった、ガラス表面に付着した水垢などの強固な汚れを小さな力で容易に除去できる、優れた研磨具を提供することが可能となる。

図１は、ガラス表面に付着した水垢を砥粒が表面に配置された研磨具で研磨する状態を示すモデル図である。 図２は、水垢除去に用いられた従来技術にかかる砥粒の状態を示す光学顕微鏡写真である。 図３は、本発明で用いられる、粒状の多孔質体のモデル説明図である。 図４は、本発明の砥粒の使用状況をモデル的に示す図である。 図５は、本発明の一態様の砥粒の製造方法を示すモデル図である。 図６は、本発明の一態様の砥粒を表面に固定した研磨フィルムの一例を示すモデル断面図である。 図７は、本発明の一態様の砥粒を表面に固定した研磨フィルムの他の例を示すモデル断面図である。 図８は、本発明の一態様の砥粒を表面に固定した研磨フィルムの他の例を示すモデル断面図である。 図９（ａ）は実施例における研磨前の鏡の状態を示す写真である。図９（ｂ）は研磨後の鏡の状態を示す写真である。

本発明において、ベースとなる砥粒としては、多数の一次粒子同士が、互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体により構成された砥粒を用いる。

このような粒状の多孔質体を図３にモデル的に示す。この粒状の多孔質体（砥粒１）は硬質な無機材料であり、多数の一次粒子１ａが凝集して形成された二次粒子が、一次粒子同士の結合点に１葉双曲面状（鼓状）のネック１ｂが形成される温度で加熱処理して得た粒状の多孔質体である。さらに、その多数の一次粒子が部分的に、かつ、その間に空隙が形成されている状態で結合している。このような粒状の多孔質体は、たとえば特許文献１などに提示された方法で製造することができる

本発明で用いる砥粒の好ましい平均粒径は、１０μｍ以上３００μｍ以下程度であり、さらに好ましい範囲は４０μｍ以上１００μｍ以下程度である。平均粒径が小さすぎると、砥粒の接着剤からの突き出し量の確保が難しく、作業効率が悪くなる。一方、平均粒径が大きすぎると研磨対象物と、洗浄対象物に洗浄傷を与える恐れがある。

一次粒子としては、酸化ジルコニウム、酸化セリウム（セリア）、シリカ、アルミナ、酸化チタン、または、それらの混合物を用いることができる。これらは、いずれも高い硬度を有するので、これらから構成された粒状の多孔質は高い研磨効果ないし洗浄効果が得られる砥粒となる。

これら一次粒子を用いて、ゾルゲル法や、スプレードライヤ法等の手段の公知の手段で二次粒子を形成することができ、この二次粒子を図３にモデル的に示すような構造が得られる条件で加熱処理を行い、粒状の多孔質体を得る。

このような粒状の多孔質体である砥粒は、研磨ないし洗浄に用いられると徐々に摩耗するが、その際に、研磨（洗浄）対象物に接触する砥粒の外面のみならず、砥粒内部のそれぞれの一次粒子もそれぞれ切刃として機能する。

ここで、図４（ａ）にクエン酸を含有する本発明の一態様の砥粒の使用状態を示すモデル図を、図４（ｂ）に炭酸水素ナトリウムを含有する本発明の一態様の砥粒の使用状態を示すモデル図を、それぞれ示す。これらのように、両者の上端の一次粒子１ａがすべて切刃として機能することが理解される。

このような構成により、１粒の砥粒（二次粒子）であっても実質上多数の砥粒である（一次粒子）ように機能するので、高速での研磨ないし洗浄が可能となる。

このような効果は、特に一次粒子の平均粒径（メディアン径Ｄ５０）が、５μｍ以下であると高くなるので好ましい。さらに、このような平均粒径範囲であると研磨面へのスクラッチ、傷の発生防止効果も同時に得られる。

また、砥粒の圧縮破壊強度が、１ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下であると、研磨や洗浄の際に、適当な摩耗速度が得られるので、高い研磨効果と、被研磨面に対してのスクラッチ傷の発生防止効果とを両立できる。

また、上記の砥粒では、さらに、一次粒子が、バインダを介することなく互いに結合されているために、従来研磨に用いられるときにバインダによる、一次粒子間、および、砥粒間の目詰まりが生じない。このため、高い研磨速度ないし洗浄速度が長期間維持される。

そして、上記の砥粒ではその内部に空隙があるため、一次粒子と異なる材質とはことなる材質からなる様々な種類の機能付与物質をその内部に含有させることができる。さらに、研磨ないし洗浄により徐々に摩耗する際に、内部に含有された機能付与物質を外部に徐々に放出することができる。ここで、機能付与の機能とは、たとえば、水垢や油などを分解する機能、洗浄機能や、鏡やガラスの曇り防止機能等を含む。

このように機能付与物質を内部に含有させるには、上記のような、多孔質である砥粒を、機能性物質が溶解した溶液に浸漬し、溶液から取り出し、乾燥することで行うことができる。この際、減圧処理、加圧処理、加熱処理、あるいは、冷却処理を、単独で、あるいは、組み合わせて同時に、あるいは、順次行うことができる。このように機能付与物質を内部に含有することにより、砥粒による研磨が行われるにつれて機能付与物質を外部に放出する砥粒とすることができる。なお、機能性物質が液体である場合には、上記のように溶液を用いることなく、直接、浸漬することにより砥粒内部に含有させることができる。

機能付与物質としては、水を含む液体に接したときに前記砥粒の内部から外部に放出される物質が挙げられる。また、前記砥粒が水を含む液体に接したときに、前記水と反応して前記砥粒の内部から外部に放出される反応物を生じる物質であってもよく、さらに、両者を必要に応じて併用してもよい。

前者としては、クエン酸、酢酸などの各種の水溶性の酸類、界面活性剤、ガラス表面に親水性を有する物質、例えば、ポリビニルアルコール等、フッ素系あるいはシリコーン系の水溶性撥水材料などが挙げられる。また、後者としては、炭酸水素ナトリウム（重曹）、さらし粉などの各種固形塩素剤、などが挙げられる。

また、潤滑剤や表面改質剤（撥水などのぬれ性改良剤）等で、水の有無に関係なく、砥粒の摩耗につれて放出される物質を機能付与材料として用いてもよく、さらに、これらを上記機能性材料と組み合わせてもよく、これらの場合も本発明に含まれる。

本発明の砥粒を研磨ないし洗浄に用いる場合には、複数種の砥粒を併用してもよい。たとえば、異なった一種ないし複数種の機能性物質を含有した砥粒を複数種、同時に、あるいは、順次組み合わせて研磨ないし洗浄に用いることができる。

ここで、上述のように鏡やガラスの表面に付着した水垢の除去に特に好ましい機能付与物質の組み合わせは、酸、好ましくはクエン酸などの環境に優しい、比較的弱い酸と、水と反応して炭酸を発生する炭酸水素ナトリウムと、の組み合わせである。

しかし、これらを同時に水に溶解させると、炭酸ガス発生が開始してしまうため、砥粒にこれら機能付与物質を同時に含有させることは困難である。この場合、酸を含有させた砥粒と炭酸水素ナトリウムを含有させた砥粒とを別々に作製し、研磨ないし洗浄の際に両者を併用することで効果的な研磨ないし洗浄が可能となる。

ここで、このような例として、クエン酸を含有した砥粒、および、炭酸水素ナトリウムを含有した砥粒の製造方法について、図５を用いて説明する。

個々に示す砥粒の製造方法は、少なくとも２工程からなり、その１つは、多数の一次粒子同士が互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体を機能付与成分が溶解した溶液に含浸させる含浸工程である。さらに、この含浸工程の後、前記溶液に含浸された前記多孔質体を前記溶液から取り出して乾燥させる乾燥工程を有する。

このような砥粒の製造方法において、まず、機能付与材料を含有させるための砥粒１を容器２０内のクエン酸の水溶液２１に浸漬する。このとき容器２０全体を３００ｈＰａ程度まで１０分間、減圧下に置く。その後、常圧に戻し、溶液から取り出して自然乾燥、あるいは５０℃の恒温槽で１時間ほど水分を蒸発、乾燥させて、本発明の一態様である、クエン酸を含有する砥粒３を得る。

同様に、砥粒１を容器３０内の炭酸水素ナトリウムの水溶液３１に浸漬する。以下、同様にして、本発明の一態様である、炭酸水素ナトリウムを含有する砥粒４を得る。

このような砥粒３および４は、たとえば図６に示すように基材として樹脂製フィルムを用い、その一方の面（研磨面）に、混合した状態でバインダによって介して固定し、研磨具とすることができる。前記フィルムを構成する樹脂としては、ポリカーボネート、ポリエチエンナフタレート、ポリプロピレン、ポリメチルメタアクリレート、ポリエチエンテレフタレートなどが挙げられる。このうち、ポリエチレンテレフタレートであると、厚みのバリエーションがあり、機械的な強度を有し、可撓性にも優れているために好ましい。

ここで、内部にクエン酸を含有した砥粒と内部に炭酸水素ナトリウムを含有した砥粒の割合は、含有されるクエン酸質量と炭酸水素ナトリウム質量として１：１〜１：５の範囲（境界値を含む）であることが好ましい。すなわちこの範囲であると、鏡やガラスなどに付着した水垢除去が効果的に行えるため、好ましく、さらに好ましい範囲は１：１〜１：２である。

なお、図７に示したように、内部にクエン酸を含有する砥粒３を単独でフィルムに固定した研磨フィルム（研磨具）も、たとえば、水垢の付着した鏡やガラスの研磨ないし洗浄に用いることができる。ここで、図７に示した研磨フィルムガラスに付着した水垢除去の効果は、図５に示した研磨フィルムに比べ、若干低いものの、水垢の付着した鏡やガラスの研磨ないし洗浄に用いることができる。また、図８に示したように炭酸水素ナトリウムを含有する砥粒４を単独で、フィルムに固定した研磨フィルムも、ガラス表面の油汚れ、手垢など落とす効果が得られる。

本発明の研磨具は、その研磨面に上述のような、機能付与材料を含有する砥粒をその研磨面に固定されていればよく、このような研磨具としては、たとえば、研磨フィルム、研磨シート、テープ、パット、ロール、ベルトなどが挙げられる。

以上、本発明について、好ましい実施形態を挙げて説明したが、本発明の砥粒、研磨具、および、砥粒の製造方法は上記実施形態の構成に限定されるものではない。

当業者は、従来公知の知見に従い、本発明の砥粒、研磨具、および、砥粒の製造方法を適宜改変することができる。このような改変によってもなお本発明の砥粒、研磨具、および、砥粒の製造方法の構成を具備する限り、もちろん、本発明の範疇に含まれるものである。

以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
なお、本実施例において、数平均粒径は、堀場製作所製レーザ回折／散乱式粒度分布測定装置ＬＡ−９２０を用いて、乾式で行い、頻度積算５０％のところの粒径を以って平均粒径（通常、「メディアン径Ｄ５０」と云われる）とした。

また、圧縮破壊強度試験は、平松、岡、木山による報告（日本鉱業会誌、８１，１０２４（１９６５））に基づく島津製作所（株）製微小圧縮試験機ＭＣＴＭ５００ＰＣを用いておこなった。

試験条件として、試験荷重を１０〜１０００ｍＮ、負荷速度は０．４４６ｍＮ／秒とし、平面圧子を用いて、被測定砥粒に対して圧縮を行い、砥粒が圧縮により破壊されたときの強度を測定する。このときの圧縮変位と荷重との関係をグラフに描き、その曲線の屈折部（屈曲部は破壊を示す）での荷重値を読みとり、この値から圧縮破壊強度を算出した。

［実施例１］
粒径が５０〜６０ｎｍからなる超微細の酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）粉末にポリビニルアルコール−水混合物を加えてスラリーとし、これをスプレードライヤで噴霧して、数平均粒径で５０μｍの二次粒子αを得た。

この二次粒子αを電気炉で加熱処理した。この加熱処理により、上記のように二次粒子形成時にバインダとして用いたポリビニルアルコールは完全に除去される。

ここで予め調べた条件に従い、砥粒としての使用時に切刃形成粒子として機能する多孔質粒体内部の一次粒子の直径が５μｍ以下になるように加熱処理温度と加熱処理時間を調整した。

加熱処理後に、得られた砥粒βについて、その断面を走査型電子顕微鏡によって観察したとところ、部分的に、かつ、その間に空隙が形成されており、一次粒子同士の結合点に１葉双曲面状（鼓状）のネックが形成された粒状の多孔質体であることが確認された。

また、砥粒βの数平均粒径は６０μｍであり、圧縮破壊強度は平均で６０〜９０ＭＰａでＢＥＴ細孔比表面積は平均で３０００００ｃｍ²／ｇであった。

このような砥粒βについて、図５を用いて上記で説明したようにして、内部にクエン酸を含有する砥粒β１、および、内部に炭酸水素ナトリウムを含有する砥粒β２を作製した。このとき、５０質量％のクエン酸水溶液、および、１０質量％の炭酸水素ナトリウム水溶液をそれぞれ用いた。砥粒β１のクエン酸（第一の機能付与物質）含有量は、１．２質量％であり、砥粒β２の炭酸水素ナトリウム（第二の機能付与物質）含有量は０．５質量％であった。

これら砥粒β１およびβ２を質量比で１：２となるように液状のウレタン樹脂（バインダ）に混合し、さらにウレタン樹脂用の溶媒を加えて粘度を調製した後、攪拌機を用いて撹拌混合した。攪拌条件は、室温で、回転数が５０回転／分である。前記質量比でのこれら砥粒に含有されるクエン酸質量と炭酸水素ナトリウム質量の比は１：２である。

その後、前記混合溶液を基材（厚さが７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム）の一方の面にワイヤバーコータ（テスター産業社製ＰＩ−１２１０）を用い、砥粒の目付が７５ｇ／ｍ²となるように塗布した。その後、約６０℃で約１時間乾燥させて、図５にモデル的に示すような、研磨具（研磨フィルム）Ａを作製した。

このように得た研磨フィルムＡを用いて、水を付加しながら鏡に付着した水垢の除去を手作業にて試みた。図９（ａ）に実施例の研磨フィルムを用いる前の、水垢が付着した鏡の写真を、図９（ｂ）に水垢の除去後の鏡の写真を示した。

この水垢の除去作業は、機能付与成分を保有しない砥粒βが前記実施例の研磨フィルムの砥粒と同じ目付で固定された、従来技術にかかる研磨フィルムＢを用いた場合よりも少ない力で行え、極めて容易であり、作業時間はおよそ１／２となった。

このような結果が得られたのは研磨フィルムＡを用いた場合には下記化学式（１）に示す反応によって発生した炭酸水により水垢の炭酸カルシウムを溶解したため、水垢が軟化したためであると推察される。

さらに、この研磨中の鏡に付着している水について、そのｐＨを調べたところ、作業中、少量ずつ供給される水が中性であるのに対して作業終了までｐＨが５．５とほぼ一定で酸性化しており、研磨フィルムＡの砥粒の内部から内部の機能付与成分が徐々に放出されていることが確認された。

なお、これら研磨作業後の鏡について目視で確認したところ、実施例の研磨フィルムを用いた場合には鏡表面には、クラッチや傷などは発生しなかった。

また、前記実施例の研磨フィルムＡでは、その研磨効果が残存している場合、使用後に乾燥させておけば、再度使用することができ、その場合も高い研磨効果が再度得られる。

［実施例２］
内部にクエン酸を含有した砥粒β１のみを用いたことを除き、上記実施例１同様にして、図６にモデル的に示した研磨フィルムＣを作製し、水を付加しながらガラスに付着した水垢の除去を手作業にて試みた。すると、小さな力で容易に水垢除去が可能であった。さらに、ガラス表面には、クラッチや傷なども発生しなかった。

このことは、下記の化学反応式（２）に示すように、水垢主成分の炭酸カルシウムとクエン酸とが化学反応したために、水垢が軟化して、小さな力で容易に除去できたものと推測される。

［化２］
３ＣａＣＯ₃ ＋ ２Ｃ₆Ｈ₈Ｏ₇ →
Ｃａ₃（Ｃ₆Ｈ₅Ｏ₇）₂ ＋ ３Ｈ₂ＣＯ₃ ……（２）

このようにこの研磨フィルムＣを用いた場合には、クエン酸の化学的作用により水垢主成分の炭酸カルシウムを溶かして除去しやすい状態で研磨でき、ガラスへのダメージなしに水垢を高効率に除去することができる。

なお、この研磨フィルムＣは、研磨能力が残っている状態で、乾燥後、たとえば１週間後に再使用しても炭酸カルシウムを溶かす効果が持続するので、作業が容易であった。

［実施例３］
上記の砥粒βの内部に水溶性のシリコーン系撥水剤を含有させた。
すなわち、フロロテクノロジー社製フロロサーフを２０質量％となるように溶解させた水溶液を用い、前記同様にしてシリコーン系撥水剤を含有した砥粒β３を作製した。砥粒β３のシリコーン系撥水剤含有量は、１．５質量％であった。また、この砥粒β３内部にシリコーン系撥水剤が含有されていることは上記同様にして確認した。

研磨フィルムＡにおける砥粒β１およびβ２の目付を２／３とするとともに、砥粒β３を併用して、砥粒の総目付が同じとなるようにしたことを除き、上記実施例１同様にして研磨フィルムＤを得た。

この研磨フィルムＤを用いて、実施例１の研磨フィルムＡと同様にして鏡の水垢除去作業を行ったところ、作業は研磨フィルムＡ使用時と同様に容易であり、ガラス表面にはクラッチや傷は発生しなかった。

作業終了後に鏡の表面に、水垢の付着がなくなった。これは、研磨フィルムＤの砥粒β３からシリコーン系撥水剤が鏡表面に供給され、鏡の表面に撥水化塗膜が形成されたためと考えられる。

［実施例４］
上記の砥粒βの内部にポリビニルアルコールを含有させた。
すなわち、ポリビニルアルコールとして信越アステック社製ポバールを５０質量％となるように溶解させた水溶液を用い、前記同様にして、シリコーン系撥水剤が含有された砥粒β４を作製した。砥粒β４のポリビニルアルコール含有量は、５質量％であった。また、この砥粒β３内部にシリコーン系撥水剤が含有されていることは上記同様にして確認した。

ただし、研磨フィルムＡにおける砥粒β１およびβ２の目付を２／３とするとともに、砥粒β４を併用して、砥粒の総目付が同じとなるようにしたことを除き、前記実施例１同様にして、研磨フィルムＥを得た。

この研磨フィルムＥを用いて、実施例１の研磨フィルムＡを用いた場合と同様にして鏡の水垢除去作業を行ったところ、作業は研磨フィルムＡ同様に容易であった。そして、ガラス表面には、クラッチや傷は発生しなかった。

作業終了後に鏡の表面に結露や曇りの発生がなくなった。これは、研磨フィルムＥの砥粒β４からポリビニルアルコールが鏡の表面に供給され、親水化塗膜が形成されたためと考えられる。

１ 粒状の多孔質体
１ａ 一次粒子
１ｂ ネック部
２ フィルム
３、４ 本発明の一態様の、内部に機能付与物質を含有した砥粒
５ バインダ

特開２０１１−２３１１３５号公報 特許第３９９０９３６号公報 特開２００４−２６１９４５号公報 特許第４３０１４３４号公報

Claims (10)

1. 多数の一次粒子同士が、互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体により構成された砥粒において、
   前記砥粒の内部に、前記一次粒子と異なる材質からなる機能付与物質を含有していることを特徴とする砥粒。
2. 当該砥粒による研磨が行われるにつれて前記機能付与物質を外部に放出するように構成されていることを特徴とすることを特徴とする請求項１に記載の砥粒。
3. 前記機能付与物質が、水を含む液体に接したときに、前記砥粒の内部から外部に放出される物質であることを特徴とする請求項２に記載の砥粒。
4. 前記機能付与物質が、水溶性の酸、フッ素系の水溶性撥水材料、シリコーン系の水溶性撥水材料、および、ポリビニルアルコールから選ばれる１つ以上の物質であることを特徴とする請求項３に記載の砥粒。
5. 前記機能付与物質が、前記砥粒が水を含む液体に接したときに、前記水と反応して前記砥粒の内部から外部に放出される反応物を生じる物質であることを特徴とする請求項１に記載の砥粒。
6. 前記機能付与物質が、炭酸水素ナトリウムであることを特徴とする請求項５に記載の砥粒。
7. 前記機能付与物質が、前記砥粒が水を含む液体に接したときに、前記砥粒の内部から外部に放出される第一の機能付与物質と、前記水と反応して前記砥粒の内部から外部に放出される反応物を生じる第二の機能付与物質と、により構成されていることを特徴とする請求項１に記載の砥粒。
8. 前記第一の機能付与物質が水溶性の酸であり、かつ、前記第二の機能付与物質が炭酸水素ナトリウムであることを特徴とする請求項７に記載の砥粒。
9. 請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の砥粒が、研磨面に固定されていることを特徴とする研磨具。
10. 少なくとも、多数の一次粒子同士が互いに部分的にかつ空隙が形成された状態で結合している粒状の多孔質体を機能付与成分が溶解した溶液に含浸させる含浸工程と、前記溶液に含浸された前記多孔質体を前記溶液から取り出して乾燥させる乾燥工程と、をこの順で有することを特徴とする請求項１ないし請求項８に記載の砥粒の製造方法。