JP2015109408A - 複合チップ、半導体装置、及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/16238—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bonding area protruding from the surface of the item
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Abstract
【課題】小型化・薄型化を実現し、効率よく製造することのできる半導体装置を提供する。【解決手段】半導体装置は、配線基板と、前記配線基板の同一面上に搭載された、第1の半導体チップ、及び第2の半導体チップと、を備え、前記第1の半導体チップと、前記第2の半導体チップとは、ダイシング領域を介して機械的に結合し第1の複合チップを形成している。【選択図】図1
Description
本発明は、複合チップ、半導体装置、及び半導体装置の製造方法に関する。
近年、半導体装置を搭載している携帯機器等の小型化・薄型化に伴い、半導体装置の小型化・薄型化の要求が高まっている。
特許文献1には、複数の半導体チップを1つのパッケージに実装して構成することで大容量化に対応した半導体装置が開示されている。
特許文献2には、少なくとも2つの半導体チップが搭載された半導体装置の、半導体チップ間で生じる反り量を低減化し、反り形状を安定化するのに有効な半導体装置が開示されている。
配線基板上に複数の半導体チップを並置して搭載し樹脂で注型する場合、半導体チップ間にも樹脂が充填するように封止樹脂の充填性を考慮して半導体チップ間のスペースを決める必要がある。そのため、一般的な半導体装置の製造方法では配線基板上に一定のスペース、例えば、0.2mm程度のスペースが必要になり配線基板の小型化には限界がある。また、一般的な半導体装置の製造方法では、配線基板上に複数の半導体チップを1つずつ搭載しているため、その分工程数が多くなり、製造時の効率が悪いという問題がある。
しかしながら、上記特許文献1、及び2では、このような課題について考慮されていない。例えば、特許文献2には、2つの半導体チップを2.5mm間隔で配置した場合、2コブ状の凹反りが発生することが指摘されているが、配線基板の小形化及び製造効率の向上等は考慮されていない。
しかしながら、上記特許文献1、及び2では、このような課題について考慮されていない。例えば、特許文献2には、2つの半導体チップを2.5mm間隔で配置した場合、2コブ状の凹反りが発生することが指摘されているが、配線基板の小形化及び製造効率の向上等は考慮されていない。
このため、小型化・薄型化に対応し、かつ、製造効率のよい半導体装置の登場が望まれる。
したがって、本発明は、上記した問題点を解決することのできる複合チップ、半導体装置、及び半導体装置の製造方法を得ることを企図している。具体的には、本発明は、配線基板の小型化を実現し、効率よく製造することのできる複合チップ、半導体装置、及び半導体装置の製造方法の提供を目的とする。
本発明の複合チップは、ダイシング領域を介して少なくとも2つの半導体チップを機械的に結合した構成を有する。
本発明の半導体装置は、配線基板と、前記配線基板の同一面上に搭載された、第1の半導体チップ、及び第2の半導体チップと、を備え、前記第1の半導体チップと、前記第2の半導体チップとは、ダイシング領域を介して機械的に結合し第1の複合チップを形成している。
本発明の半導体装置の製造方法は、複数のチップを形成した半導体ウエハから、ダイシング領域を介して機械的に結合した第1の半導体チップと第2の半導体チップを含む第1の複合チップを切り出し、前記第1の複合チップを配線基板上に搭載する。
本発明によれば、半導体装置の小型化・薄型化を可能とし、さらに、製造効率のよい半導体装置を提供できる。
本発明の実施するための形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。また、以下では、2つの半導体チップを結合した複合チップを例に説明するが、本発明の半導体装置に搭載される半導体チップの数を限定しているわけではない。
[1.第1の実施例]
図1は、本発明に係る第1の実施例の半導体装置の構成を示す平面図である。図2(a)は、図1に示した半導体装置のA−A’の断面図であり、図2(b)は、図1に示した半導体装置のB−B’の断面図である。以下、図1、図2(a)、及び図2(b)を適宜参照しながら第1の実施例の半導体装置の構成を説明する。
図1は、本発明に係る第1の実施例の半導体装置の構成を示す平面図である。図2(a)は、図1に示した半導体装置のA−A’の断面図であり、図2(b)は、図1に示した半導体装置のB−B’の断面図である。以下、図1、図2(a)、及び図2(b)を適宜参照しながら第1の実施例の半導体装置の構成を説明する。
図1を参照すると、本発明に係る第1の実施例の半導体装置は、配線基板10と、第1の複合チップ20と、を備える。配線基板10と、第1の複合チップ20とは、導電性のワイヤ40によってワイヤボンディングされている。さらに、第1の実施例の半導体装置は、配線基板10と、第1の複合チップ20と、ワイヤ40とを、封止樹脂層50が覆った構成を有している。
配線基板10は、一方の面に絶縁膜の開口部から露出した複数の第1の接続パッド11と、複数の第2の接続パッド12と、複数の第3の接続パッド13と、複数の第4の接続パッド14と、を備える。図2を参照すると、配線基板10は、両面が絶縁膜、例えば、ソルダーレジスト膜で覆われた絶縁基材から構成される。また、配線基板10は、第1の接続パッド11等を備える面の反対側の面に、はんだボール80を搭載するランド90を備える。
第1の複合チップ20は、ダイシング領域23を介して第1の半導体チップ21と、第2の半導体チップ22との長辺側を機械的に結合した構造を有している。ダイシング領域23は配線を備えていないため、第1の半導体チップ21と、第2の半導体チップ22とは電気的に結合をしていない。第1の複合チップ20は、第1の接着部材60、例えばDAF(Die Attach Film)を介して配線基板10に搭載されている。ここで、本発明に係る第1の複合チップ20は、2つの半導体チップの長辺側を結合させた例に限定されるわけではない。第1の複合チップ20は、例えばダイシング領域を介して2つ以上の半導体チップを結合してもよいし、ダイシング領域を介して半導体チップの短辺側を結合してもよい。
ダイシング領域23は、20μm〜80μm程度の幅を有する。一方、複数の半導体チップを個別に配線基板上に搭載する場合、半導体チップ間のクリアランスが少なくとも200μm程度必要である。したがって、ダイシング領域23を介して第1の半導体チップ21と、第2の半導体チップ22とを結合した本発明に係る第1の複合チップ20は、半導体チップを個別に配線基板上に搭載する場合と比べて小さい配線基板10を構成できる。すなわち、本発明に係る第1の実施例の半導体装置は、配線基板10のサイズを小さくすることができるため小型化できる。
また、第1の半導体チップ21、及び第2の半導体チップ22は一方の面上に、一方の短辺に沿って複数の第1の電極パッド24と、他方の短辺に沿って複数の第2の電極パッド25と、を備える。ここで、第1の半導体チップ21、及び第2の半導体チップ22が備える第2の電極パッド25の数は、第1の電極パッド24の数よりも多い。
さらに、第1の半導体チップ21、及び第2の半導体チップ22の表面には、回路形成面を保護するために、第1の電極パッド24、及び第2の電極パッド25を露出するようにパッシベーション膜が形成されている。
第1の接続パッド11と、第1の半導体チップ21が備える第1の電極パッド24とは、導電性のワイヤ40によってワイヤボンディングされている。第2の接続パッド12と、第1の半導体チップ21が備える第2の電極パッド25とは、導電性のワイヤ40によってワイヤボンディングされている。これにより、配線基板10と、第1の半導体チップ21とは、電気的に接続される。
同様に、第3の接続パッド13と、第2の半導体チップ22が備える第1の電極パッド24とは、導電性のワイヤ40によってワイヤボンディングされている。第4の接続パッド14と、第2の半導体チップ22が備える第2の電極パッド25とは、導電性のワイヤ40によってワイヤボンディングされている。これにより、配線基板10と、第2の半導体チップ22とは、電気的に接続される。
なお、第3の接続パッド13は、第3の接続パッド13から第2の半導体チップ22が備える第1の電極パッド24間までの距離が、第1の接続パッド11から第1の半導体チップ21が備える第1の電極パッド24間までの距離よりも長くなる位置に配置される。電極パッド数の多い短辺側のスペ−スを確保することで、ワイヤ40を張設する際にショートするリスクを低減できる。
また、第1の複合チップ20は、配線基板10に第1の電極パッド24を備える短辺側のスペースが、第2の電極パッド25を備える短辺側のスペースよりも広くなるように搭載する。パッド数の多い第1の電極パッド24側のスペースを広くすることで容易に配線の引き回しができる。
ここで、本発明に係る複合チップの構成について説明する。
図3は、本発明に係る複合チップの構成の一例を示すブロック図である。以下、図3を適宜参照しながら、本発明に係る複合チップの一例について詳細に説明する。
本発明に係る複合チップは、例えば、DRAM(Dynamic Random Access Memory)回路が形成された2つの半導体チップがダイシング領域を介して接続した複合チップである。図3を参照すると、複合チップは、第1のメモリチップ200と、第2のメモリチップ300とがダイシング領域を介して接続している。第1のメモリチップ200と、第2のメモリチップ300は、独立に機能する同様のメモリ回路領域を有している。そこで、以下では第1のメモリチップ200を例に説明する。
第1のメモリチップ200は、メモリセルアレイ210と、ロウデコーダ220と、カラムデコーダ230と、アクセス制御回路240と、入出力回路250と、インピーダンス調整回路260と、を備える。
メモリセルアレイ210は、複数のワード線WLと、複数のビット線BLとを備えている。またワード線WLと、ビット線BLとの交点にはメモリセルMCが配置されている。メモリセルMCに用いるメモリの種類は特に限定されない。メモリセルMCには、例えば、DRAMセル、フラッシュメモリセル、ReRAM(Resistance Random Access Memory)セル等を用いることができる。
ロウデコーダ220は、ワード線WLを選択する。カラムデコーダ230は、ビット線BLを選択する。アクセス制御回路240は、ロウデコーダ220と、カラムデコーダ230との動作を制御する。
アクセス制御回路240は、内部クロック発生回路、コマンドデコーダ、アドレスバッファ、及びモードレジスタ等を備える。アクセス制御回路240には、クロック端子241を介して外部からクロック信号CLKが入力される。またアクセス制御回路240には、コマンドアドレス端子242を介して外部からコマンドアドレス信号CAが入力される。アクセス制御回路240は、クロック信号CLKと、コマンドアドレス信号CAとに基づいて、例えば、ロウ制御信号RCTL、カラム制御信号CCTL等の種々の制御信号を生成する。
アクセス制御回路240は、例えば、コマンドアドレス信号CAがロウアドレスにアクセスしている場合、ロウ制御信号RCTLをロウデコーダ220に出力する。この場合、ロウデコーダ220は、ロウ制御信号RCTLに応じたワード線WLを選択する。ロウ制御信号RCTLには、ロウアドレス、センスアンプイネーブル信号等が含まれる。
また、アクセス制御回路240は、例えば、コマンドアドレス信号CAがカラムアドレスにアクセスしている場合、カラム制御信号CCTLをカラムデコーダ230に出力する。この場合、カラムデコーダ230は、カラム制御信号CCTLに応じたビット線BLを選択する。カラム制御信号CCTLには、カラムアドレス、カラムスイッチタイミング信号等が含まれる。さらに、アクセス制御回路240は、カラムアドレスへのアクセス時に入出力制御信号IOCTLを入出力回路250に出力する。入出力制御信号IOCTLは、データdataの入出力動作を制御する信号であり、例えば、入出力タイミング信号、ドライバストレングス信号等を含む。
入出力回路250は、リード動作時においては、メモリセルアレイ210からデータdataを読み出し、読み出したデータdataをデータ出力端子DQから外部に出力する。また入出力回路250は、ライト動作時においては、外部からデータ入力端子DQに入力されたデータdataをメモリセルアレイ210に書き込む。
アクセス制御回路240は、コマンドアドレス信号CAが第1のインピーダンス調整コマンドを示している場合にはコードラッチ信号ZQLをインピーダンス調整回路260に出力する。またアクセス制御回路240は、コマンドアドレス信号CAが第2のインピーダンス制御コマンドを示している場合にはインピーダンス調整開始信号ZQSをインピーダンス調整回路260に出力する。
アクセス制御回路240は、第1のインピーダンス調整コマンドを受信した場合、リード動作時、及びライト動作時であってもコードラッチ信号ZQLを出力できる。これに対して、アクセス制御回路240は、第2のインピーダンス調整コマンドを受信した場合、リード動作時やライト動作時にはインピーダンス調整開始信号ZQSを出力できない。
インピーダンス調整回路260は、インピーダンス調整コマンドに応じたインピーダンス調整信号DRZQを生成する。またインピーダンス調整回路260は、生成したインピーダンス調整信号DRZQを入出力回路250に出力する。
入出力回路250の出力インピーダンスは、インピーダンス調整信号DRZQに基づいて調整される。
次に、図4を適宜参照して、本発明に係る半導体チップを作成する半導体ウエハについて詳細に説明する。
図4(a)は、半導体ウエハの一部を示す平面図であり、図4(b)は、図4(a)に示した半導体ウエハのC−C’の断面図である。
図4(a)を参照すると、半導体ウエハを構成する複数の半導体チップは、ダイシング領域23によって区画されている。図4(b)を参照すると、半導体ウエハは、第1の接着部材60、例えば、DAFを介してダイシングテープ100に保持されている。
次に、図5を適宜参照して、本発明に係るダイシング工程について詳細に説明する。
図5(a)は、本発明に係る半導体ウエハのダイシングを示す平面図であり、図5(b)は、図5(a)に示した半導体ウエハのD−D’の断面図である。
半導体ウエハは、例えば、ダイシングブレードによって切断される。第1の複合チップ20は、半導体ウエハを長辺方向に隣接する2つの半導体チップごとに、すなわち、長辺方向のダイシング領域23を1つ置きに切断することで形成できる。
ここで、切断するダイシング領域23は、任意に変更することが可能である。例えば、半導体チップの長辺方向と、短辺方向とを1つ置きに切断することで、4つの半導体チップが結合した複合チップを形成できる。したがって、本発明は、新たな工程を追加しないでも、半導体ウエハを切断するだけで複合チップを形成できる。
図6(a)は、図4、及び図5に示した半導体ウエハからダイシング領域23を介して切断した第1の複合チップ20の平面図である。図6(b)は、図6(a)に示した第1の複合チップ20のE−E’の断面図である。
図6(b)を参照すると、第1の複合チップ20は、第1の電極パッド24、及び第2の電極パッド25を備える面とは反対側の面に第1の接着部材60を備えている。
図7(a)〜(f)は、本発明に係る第1の実施例の半導体装置の組み立てフローを示す断面図である。以下では、図7(a)〜(f)を適宜参照しながら、本発明に係る半導体装置の第1の実施例の組み立てフローを詳細に説明する。
図7(a)は、配線基板10を示している。配線基板10は、絶縁基材の両面を絶縁膜で覆った構造を有する。配線基板10は、一方の面に第1の接続パッド11〜第4の接続パッド14を備え、他方の面に複数のランド90を備える。また、配線基板10は、ダイシングラインによって区画されており、組み立ての完了後にダイシングラインに沿って切断される。
図7(b)は、配線基板10に第1の複合チップ20を搭載する工程を示している。この工程では、第1の複合チップ20は、第1の接着部材60を介して配線基板10の製品形成領域に搭載される。第1の接着部材60には、例えば、DAFを使用することができる。また、第1の複合チップ20は、ダイシング領域23を介して第1の半導体チップ21と、第2の半導体チップ22とを、機械的に結合した構成を有する。
図7(c)は、配線基板10と、第1の複合チップ20とを、導電性のワイヤ40でワイヤボンディングする工程を示している。この工程では、第2の接続パッド12は、第1の半導体チップ21が備える第2の電極パッド25とワイヤボンディングされる。また、図示しないが第1の接続パッド11は、第1の半導体チップ21が備える第1の電極パッド24とワイヤボンディングされる。
同様に、第4の接続パッド14は、第2の半導体チップ22が有する第2の電極パッド25とワイヤボンディングされる。また、図示しないが第3の接続パッド13は、第2の半導体チップ22が備える第1の電極パッド24とワイヤボンディングされる。
上記のように各接続パッドと電極パッドをワイヤボンディングすることで、配線基板10と、第1の複合チップ20とは、電気的に接続される。
同様に、第4の接続パッド14は、第2の半導体チップ22が有する第2の電極パッド25とワイヤボンディングされる。また、図示しないが第3の接続パッド13は、第2の半導体チップ22が備える第1の電極パッド24とワイヤボンディングされる。
上記のように各接続パッドと電極パッドをワイヤボンディングすることで、配線基板10と、第1の複合チップ20とは、電気的に接続される。
図7(d)は、配線基板10と、第1の複合チップ20と、ワイヤ40とを、樹脂で封止する工程を示している。この工程では、配線基板10と、第1の複合チップ20と、導電性のワイヤ40とは、封止樹脂、例えば熱硬化性のエポキシ樹脂で覆うように封止される。封止樹脂は、熱硬化後に封止樹脂層50を形成する。
第1の半導体チップ21、及び第2の半導体チップ22は、ダイシング領域23を介して結合しているため、2つの半導体チップの間に隙間はない。
したがって、本発明に係る半導体装置は、封止樹脂の充填率を考慮すること無く樹脂で封止できるため、製造効率の向上を可能にする。さらには、半導体チップ間の隙間を無くすことで、半導体装置の反りや捻じれを低減でき、樹脂で封止した後の半導体装置の搬送不良や、はんだボールの搭載制度の低下を抑制することも可能にする。
第1の半導体チップ21、及び第2の半導体チップ22は、ダイシング領域23を介して結合しているため、2つの半導体チップの間に隙間はない。
したがって、本発明に係る半導体装置は、封止樹脂の充填率を考慮すること無く樹脂で封止できるため、製造効率の向上を可能にする。さらには、半導体チップ間の隙間を無くすことで、半導体装置の反りや捻じれを低減でき、樹脂で封止した後の半導体装置の搬送不良や、はんだボールの搭載制度の低下を抑制することも可能にする。
図7(e)は、はんだボール80を搭載する工程を示している。この工程では、はんだボール80は、例えば、はんだボールマウンタによってランド90に搭載される。
図7(f)は、半導体装置をダイシングする工程を示している。この工程では、半導体装置は、図示しないダイシング装置が備えるダイシングブレードによって、ダイシングラインに沿って切断される。
[2.第2の実施例]
図8は、本発明に係る第2の実施例の半導体装置の平面図であり、図9は、図8に示した半導体装置のF‐F’の断面図である。以下、図8、及び9を適宜参照しながら、本発明に係る第2の実施例の半導体装置について詳細に説明する。
図8は、本発明に係る第2の実施例の半導体装置の平面図であり、図9は、図8に示した半導体装置のF‐F’の断面図である。以下、図8、及び9を適宜参照しながら、本発明に係る第2の実施例の半導体装置について詳細に説明する。
図8を参照すると、第2の実施例の半導体装置は、第1の半導体チップ21の一方の面上に、ダイシング領域23と対向する長辺に沿って第1の再配線パッド27を備えている。また、第2の半導体チップ22の一方の面上に、ダイシング領域23と対向する長辺に沿って第2の再配線パッド28を備えている。さらに、第2の実施例の半導体装置は、第1の半導体チップ21、及び第2の半導体チップ22の一面上にRDL(Re−Distribution Layer)26を備えている。
第1の再配線パッド27は、第1の半導体チップ21が備える第1の電極パッド24の一部とRDL26によって再配線されている。同様に、第2の再配線パッド28は、第2の半導体チップ22が有する第1の電極パッド24の一部とRDL26によって再配線されている。
図9を参照すると、第1の半導体チップ21と、第2の半導体チップ22との一面上に形成されているRDL26上に、絶縁層29が形成されている。絶縁層29は、RDL26を周囲から絶縁することで電気的に保護している。
[3.第3の実施例]
図10は本発明に係る第3の実施例の半導体装置を示す平面図である。以下、図10を適宜参照しながら、本発明に係る第3の実施例の半導体装置について詳細に説明する。
図10は本発明に係る第3の実施例の半導体装置を示す平面図である。以下、図10を適宜参照しながら、本発明に係る第3の実施例の半導体装置について詳細に説明する。
図10を参照すると、第1の半導体チップ21、及び第2の半導体チップ22は、一方の長辺に沿って第1の電極パッド24を備え、他方の長辺に沿って第2の電極パッド25を備えている。また、第1の半導体チップ21、及び第2の半導体チップ22は、一方の短辺に沿って第1の再配線パッド27を備え、他方の短辺に沿って第2の再配線パッド28を備えている。
第1の半導体チップ21が備える第2の電極パッド25は、RDL26によって、第1の半導体チップ21が備える第1の再配線パッド27、及び第2の再配線パッド28と電気的に接続される。同様に、第2の半導体チップ22の有する第1の電極パッド24は、RDL26によって第2の半導体チップ22が備える第1の再配線パッド27と、第2の再配線パッド28とに電気的に接続される。
以上のように、第3の実施例の半導体装置は、ダイシング領域23と対向する長辺に第1の電極パッド24、及び第2の電極パッド25を備えている場合でも、配線基板10と、第1の複合チップ20との接続を可能にする。
[4.第4の実施例]
図11は、本発明に係る第4の実施例の半導体装置を示す断面図である。以下、図11を適宜参照しながら、本発明に係る第4の実施例の半導体装置について詳細に説明する。
図11は、本発明に係る第4の実施例の半導体装置を示す断面図である。以下、図11を適宜参照しながら、本発明に係る第4の実施例の半導体装置について詳細に説明する。
図11を参照すると、配線基板10は、第1〜第4の接続パッド14の代わりにバンプ接続パッド130を備え、第1の複合チップ20は、接着部材50の代わりにバンプ電極パッド140を備えている。
第4の実施例の半導体装置では、バンプ接続パッド130と、バンプ電極パッド140とは、バンプ120によって電気的に接続されている。すなわち、第1の複合チップ20は、配線基板10にワイヤボンディングされているわけでは無く、フリップチップ実装されている。また、効率よく配線基板10に第1の複合チップ20をフリップチップ実装できるようにバンプ電極パッド140にはんだ、例えば、はんだペーストが塗布される。バンプ電極パッド140に塗布されたはんだは、フリップチップ実装後に、はんだ層150を形成する。
さらに、配線基板10と、第1の複合チップ20との間には、樹脂の特性を向上させる樹脂充填剤110が塗布されている。樹脂充填剤110は、絶縁体であり、バンプ120を電気的に保護する役割もしている。
以上のように、第4の実施例の半導体装置は、配線基板10と、第1の複合チップ20とを、はんだでフリップチップ実装するため、ワイヤボンディングに比べて容易に製造できる。また、第4の実施例の半導体装置は、配線基板10に第1の複合チップ20をフリップチップ実装することで薄型化できる。
[5.第5の実施例]
図12は、本発明に係る第5の実施例の半導体装置を示す平面図である。以下、図12を適宜参照しながら、本発明に係る第5の実施例の半導体装置について詳細に説明する。
図12は、本発明に係る第5の実施例の半導体装置を示す平面図である。以下、図12を適宜参照しながら、本発明に係る第5の実施例の半導体装置について詳細に説明する。
図12を参照すると、第5の実施例の半導体装置は、ダイシング領域23を介して第1の半導体チップ21と、第2の半導体チップ22とを、逆向きに結合した第1の複合チップ20を備えている。
第5の実施例の半導体装置は、第1の半導体チップ21と、第2の半導体チップ22の第1の電極パッドを、互いに対向するように配置した構成をしている。パッド数の多い第1の電極パッドを対向するような構成とすることで、配線基板10上の接続パッドの配置を良好に構成することを可能にし、また、配線基板10の小型化も可能にする。
[6.第6の実施例]
図13は、本発明に係る第6の実施例の半導体装置を示す平面図である。図14は、本発明に係る第6の実施例の半導体装置を示す断面図である。以下、図13、及び図14を適宜参照しながら、本発明に係る第6の実施例の半導体装置について詳細に説明する。
図13は、本発明に係る第6の実施例の半導体装置を示す平面図である。図14は、本発明に係る第6の実施例の半導体装置を示す断面図である。以下、図13、及び図14を適宜参照しながら、本発明に係る第6の実施例の半導体装置について詳細に説明する。
図13、及び図14を参照すると、第6の実施例の半導体装置は、配線基板10と、第1の複合チップ20と、第2の複合チップ30とを備える。配線基板10と、第1の複合チップ20との接続構成は、第1の実施例の半導体装置と同様であるため説明は省略する。
第2の複合チップ30は、第3の半導体チップ31と、第4の半導体チップ32とをダイシング領域33を介して接続した構造を有している。第3の半導体チップ31、及び第4の半導体チップ32はそれぞれ、第3の電極パッド34と、第4の電極パッド35と、を備える。
第2の複合チップ30は、例えば、FOW(Film On Wire)等の第2の接着部材70を介して第1の複合チップ20上に搭載されている。この時、第2の接着部材70は、第1の接着部材60よりも厚く構成されており、第1の複合チップ20と、配線基板10とを接続する複数のワイヤの少なくとも一部を埋め込むように配置する。
第2の複合チップ30は、第3の半導体チップ31と第4の半導体チップ32をそれぞれ、第1の半導体チップ21と第2の半導体チップ22に重なるように第1の複合チップ20上に搭載する。ここで、第2の複合チップ30は、第3の半導体チップ31を第2の半導体チップ22に、第4の半導体チップ32を第1の半導体チップ21に重なるように搭載してもよい。また第6の実施例の半導体装置において、2枚の複合チップを搭載しているが、本発明はこれに限定されず、例えば、第2の複合チップ30上に複合チップを更に搭載してもよい。
第2の複合チップ30と、配線基板10とは、第3の電極パッド34、及び第4の電極パッド35と、それに対応する配線基板10が備える各接続パッドとをワイヤ40で接続することによって電気的に接続される。また第1の複合チップ20、第2の複合チップ30、及び複数のワイヤ40は、封止樹脂層50によって全体が覆われた構造を有している。
第6の実施例の半導体装置においても、第1の複合チップ20、及び第2の複合チップ30は、ダイシング領域を介して半導体チップが接続した構成を有するため第1の実施例と同様、樹脂の充填率を考慮することなく半導体装置を小型化できる。また第6の実施例の半導体装置は、小型化できるだけでなく半導体装置の反りや捻じれを低減できる。例えば、第1の半導体チップ21と、第2の半導体チップ22とを離間して配置し、その上に第3の半導体チップ31と、第4の半導体チップ32とを更に搭載した半導体装置では、樹脂を充填する際にボイドの発生するリスクが大きくなる。またこのような構成の半導体装置では、複合チップを搭載する度に段差が大きくなるため、多段に成る程ボイドが発生するリスクは更に高まる。しかしながら第6の実施例の半導体装置は、ダイシング領域を介して接続した半導体チップを重ねて搭載する構造であるためチップ間に溝がなくなる。したがって第6の実施例の半導体装置は、半導体チップの搭載数が増えても半導体チップ間の溝に起因したボイドの発生を低減できる。
本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
10 配線基板
11 第1の接続パッド
12 第2の接続パッド
13 第3の接続パッド
14 第4の接続パッド
20 第1の複合チップ
21 第1の半導体チップ
22 第2の半導体チップ
23 ダイシング領域
24 第1の電極パッド
25 第2の電極パッド
26 RDL(Re−Distribution Layer)
27 第1の再配線パッド
28 第2の再配線パッド
29 絶縁層
30 第2の複合チップ
31 第3の半導体チップ
32 第4の半導体チップ
33 ダイシング領域
34 第3の電極パッド
35 第4の電極パッド
40 ワイヤ
50 封止樹脂層
60 第1の接着部材
70 第2の接着部材
80 はんだボール
90 ランド
100 ダイシングテープ
110 樹脂充填剤
120 バンプ
130 バンプ接続パッド
140 バンプ電極パッド
150 はんだ層
200 第1のメモリチップ
210 メモリセルアレイ
220 ロウデコーダ
230 カラムデコーダ
240 アクセス制御回路
241 クロック端子
242 コマンドアドレス端子
250 入出力回路
260 インピーダンス調整回路
300 第2のメモリチップ
11 第1の接続パッド
12 第2の接続パッド
13 第3の接続パッド
14 第4の接続パッド
20 第1の複合チップ
21 第1の半導体チップ
22 第2の半導体チップ
23 ダイシング領域
24 第1の電極パッド
25 第2の電極パッド
26 RDL(Re−Distribution Layer)
27 第1の再配線パッド
28 第2の再配線パッド
29 絶縁層
30 第2の複合チップ
31 第3の半導体チップ
32 第4の半導体チップ
33 ダイシング領域
34 第3の電極パッド
35 第4の電極パッド
40 ワイヤ
50 封止樹脂層
60 第1の接着部材
70 第2の接着部材
80 はんだボール
90 ランド
100 ダイシングテープ
110 樹脂充填剤
120 バンプ
130 バンプ接続パッド
140 バンプ電極パッド
150 はんだ層
200 第1のメモリチップ
210 メモリセルアレイ
220 ロウデコーダ
230 カラムデコーダ
240 アクセス制御回路
241 クロック端子
242 コマンドアドレス端子
250 入出力回路
260 インピーダンス調整回路
300 第2のメモリチップ
Claims (20)
- ダイシング領域を介して少なくとも2つの半導体チップを機械的に結合した構成を有する、
ことを特徴とする複合チップ。 - 機械的に結合した前記2つの半導体チップを積層した構成を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の複合チップ。 - 配線基板と、
前記配線基板の同一面上に搭載された、第1の半導体チップ、及び第2の半導体チップと、
を備え、
前記第1の半導体チップと、前記第2の半導体チップとは、ダイシング領域を介して機械的に結合し第1の複合チップを形成している、
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の複合チップは樹脂で覆われており、
前記樹脂は前記配線基板上に封止樹脂層を形成している、
ことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。 - 前記第1の複合チップ上に第3の半導体チップ、及び第4の半導体チップを備え、
前記第3の半導体チップと、前記第4の半導体チップとは、ダイシング領域を介して機械的に結合し第2の複合チップを形成している、
ことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。 - 前記第1の複合チップ、及び前記第2の複合チップは樹脂で覆われており、
前記樹脂は前記配線基板上に封止樹脂層を形成している、
ことを特徴とする請求項5に記載の半導体層。 - 前記第1の半導体チップ、及び前記第2の半導体チップは、それぞれ同様の回路構成を有する略長方形の板状の半導体チップであり、前記ダイシング領域を介して互いに長辺が対向して接続されている、
ことを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第1の半導体チップ、及び前記第2の半導体チップの一方の短辺と、該一方の短辺に対向する前記配線基板のエッジ間の垂直距離が、前記第1の半導体チップ、及び前記第2の半導体チップの他方の短辺と、該他方の短辺に対向する前記配線基板のエッジ間の垂直距離よりも大きい、
ことを特徴とする請求項3〜7のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記配線基板は、
前記第1の半導体チップが有する複数の電極パッドと電気的に接続される複数の第1の接続パッドと、
前記第2の半導体チップが有する複数の電極パッドと電気的に接続される複数の第2の接続パッドと、
を有し、
前記第2の半導体チップが有する複数の電極パッドと前記複数の第2の接続パッド間の接続距離は、前記第1の半導体チップが有する複数の電極パッドと前記複数の第1の接続パッド間の接続距離よりも大きい、
ことを特徴とする請求項3〜8のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 配線基板と、
ダイシング領域を介して複数の半導体チップを結合した複合チップと、
を備え、
前記複合チップは前記配線基板上に搭載されている、
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記複合チップを積層した構成を有する、
ことを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。 - 前記複合チップは、樹脂で覆われており、
前記樹脂は、前記配線基板上に封止樹脂層を形成している、
ことを特徴とする請求項10または11に記載の半導体装置。 - 前記複合チップを形成する複数の半導体チップは、それぞれが同様の回路構成を有する略長方形の半導体チップである、
ことを特徴とする請求項10〜12のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 複数のチップを形成した半導体ウエハから、ダイシング領域を介して機械的に結合した第1の半導体チップと第2の半導体チップを含む第1の複合チップを切り出し、該第1の複合チップを配線基板上に搭載する、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1の複合チップを樹脂で覆い、前記樹脂は前記配線基板上で封止樹脂層を形成する、
ことを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体ウエハから、ダイシング領域を介して機械的に結合した第3の半導体チップと第4の半導体チップを含む第2の複合チップを切り出し、該第2の複合チップを前記第1の複合チップ上に搭載する、
ことを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1の複合チップ、及び前記第2の複合チップを樹脂で覆い、前記樹脂は前記配線基板上で封止樹脂層を形成する、
ことを特徴とする請求項16に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1の半導体チップ、及び前記第2の半導体チップは、同様の回路構成を有する略長方形の板状の半導体チップであり、ダイシング領域を介して互いに長辺が対向して接続されている、
ことを特徴とする請求項14〜17のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1の半導体チップ、及び前記第2の半導体チップの一方の短辺と、該一方の短辺に対向する前記配線基板のエッジまでの垂直距離が、前記第1の半導体チップ、及び前記第2の半導体チップの他方の短辺と、該他方の短辺に対向する前記配線基板のエッジ間の垂直距離が大きくなるように、前記第1の半導体チップ、及び前記第2の半導体チップを前記配線基板上に搭載する、
ことを特徴とする請求項14〜18のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記配線基板は、前記第1の半導体チップが有する複数の電極パッドと電気的に接続される複数の第1の接続パッドと、前記第2の半導体チップが有する複数の電極パッドと電気的に接続される複数の第2の接続パッドと、を有し、
前記第2の半導体チップが有する複数の電極パッドと前記複数の第2の接続パッド間の接続距離は、前記第1の半導体チップが有する複数の電極パッドと前記複数の第1の接続パッド間の接続距離よりも大きい、
ことを特徴とする請求項14〜19のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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