JP2015098042A - 接合体の製造方法 - Google Patents

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浅野 秀樹
Hideki Asano
秀樹 浅野
和田 正紀
Masanori Wada
正紀 和田
伊東 一良
Kazuyoshi Ito
一良 伊東
龍介 永尾
Ryusuke Nagao
龍介 永尾
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【課題】レーザー光による多光子吸収現象を発現させて複数の部材を接合し、接合体を製造する方法であって、複数の部材を確実に接合し得る方法を提供する。【解決手段】第1の無機材11と第2の無機材12とを液体14を介して対向させ、積層体15を得る。積層体15にレーザー光13を照射することにより第1及び第2の無機材11,12の少なくとも一方を加熱して溶融させ、第1の無機材11と第2の無機材12とを接合する。【選択図】図1

Description

本発明は、接合体の製造方法に関する。
従来、高エネルギー短パルスレーザー光を利用して複数の部材を接合する方法が提案されている(特許文献1、2等を参照)。この方法では、接合しようとする2つの部材を圧接させた状態で、高エネルギー短パルスレーザー光を照射する。このレーザーの照射により形成されたフィラメント領域において多光子吸収現象が発現する。その結果、フィラメント領域が局所的に加熱され、フィラメント領域が溶融状態となる。溶融状態となったフィラメント領域が固化することにより2つの部材が接合される。
高エネルギー短パルスレーザー光を用いた接合方法では、微少なフィラメント領域が局所的に加熱されるため、部材全体の温度を上昇させることなく接合を行うことができる。
高エネルギー短パルスレーザー光を用いた接合方法では、接合しようとする部材間のギャップが大きい、つまり、隙間が存在すると、レーザーアブレーションが生じ、十分に接合されない場合がある。これに鑑み、特許文献2では、接合させようとする部材間のギャップをレーザー光の中心波長の4分の1程度以下とすることが提案されている。
国際公開第2011/115242号公報 特開2005−066629号公報
しかしながら、接合しようとする2つの部材のうちの少なくとも一方が反っている場合は、接合させようとする部材間のギャップをレーザー光の中心波長の4分の1程度以下とすることができない場合がある。また、少なくとも一方の部材の剛性が低い場合には、接合させようとする部材間のギャップをレーザー光の中心波長の4分の1程度以下とするために、2つの部材を圧接させると、剛性が低い部材が損傷してしまう虞がある。また、2つの部材を圧接させると、接合後に残留応力が残り、接合力を低下させるという問題が生じる場合がある。
本発明の主な目的は、レーザー光による多光子吸収現象を発現させて複数の部材を接合し、接合体を製造する方法であって、複数の部材を確実に接合し得る方法を提供することにある。
本発明に係る接合体の製造方法は、第1の無機材と第2の無機材とを接合し、接合体を製造する方法に関する。本発明に係る接合体の製造方法では、第1の無機材と第2の無機材とを液体を介して対向させ、積層体を得る。積層体にレーザー光を照射することにより第1及び第2の無機材の少なくとも一方を加熱して溶融させ、第1の無機材と第2の無機材とを接合する。
積層体に、超短パルスレーザー光を照射することが好ましい。
第1及び第2の無機材のうちの少なくとも一方が可撓性を有していてもよい。
第1及び第2の無機材のうちの少なくとも一方は、厚みが100μm以下であるガラスフィルムであってもよい。
第1の無機材と第2の無機材との間のギャップが100μm以下となるように第1の無機材と第2の無機材とを対向させることが好ましい。
本発明によれば、レーザー光による多光子吸収現象を発現させて複数の部材を接合し、接合体を製造する方法であって、複数の部材を確実に接合し得る方法を提供することができる。
本発明の一実施形態における接合工程を説明するための模式的断面図である。 本発明の一実施形態において製造された接合体の一部分の模式的断面図である。 実施例において作製した接合体から剥離した第1のガラス板の、レーザー照射部位表面の写真である。 比較例においてレーザー照射後の第1のガラス板のレーザー照射部位表面の写真である。
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものである。図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
図1は、本実施形態における接合工程を説明するための模式的断面図である。図2は、本実施形態において製造された接合体の一部分の模式的断面図である。本実施形態では、主として図1を参照しながら図2に示す接合体1の製造方法について説明する。なお、図1及び図2においては、断面のハッチングを省略している。
まず、第1の無機材11と第2の無機材12とを用意する。本実施形態では、第1の無機材11と第2の無機材12とを接合し、図2に示される接合体1を製造する。
第1及び第2の無機材11,12は、それぞれ、無機材料からなるものである限りにおいて特に限定されない。第1及び第2の無機材11,12は、例えば、ガラス材、セラミック材、金属材などにより構成されていてもよい。第1及び第2の無機材11,12の少なくとも一方は、後述する超短パルスレーザー光13を透過させることが可能である材質であることが好ましい。なお、本実施形態では、第1の無機材11が超短パルスレーザー光13を透過させることが可能である材質である。
第1及び第2の無機材11,12の形状も特に限定されない。第1及び第2の無機材11,12は、例えば、板状、立方体状、柱状、フィルム状等であってもよい。
次に、第1の無機材11と第2の無機材12とを液体14を介して対向させ、積層体15を作製する。第1の無機材11と第2の無機材12とは、液体14の表面張力によって相互に固定される。
次に、第1の無機材11側から積層体15に超短パルスレーザー光13を照射する。これにより、第1及び第2の無機材11,12の少なくとも一方を加熱して溶融させ、第1の無機材11と第2の無機材12とを接合させる。より具体的には、フィラメント領域A1が第1の無機材11と第2の無機材12とに跨がって形成されるように超短パルスレーザー光13を照射する。積層体15にフィラメント領域A1が形成されると、フィラメント領域A1において多光子吸収現象が生じる。このため、フィラメント領域A1が局所的に加熱され、フィラメント領域A1が溶融状態となる。超短パルスレーザー光13の照射が終了すると、溶融状態となったフィラメント領域A1は、冷却され、固化する。これにより、図2に示されるように、第1の無機材11と第2の無機材12とに跨がる接合部16が形成される。その結果、図2に示される接合体1が得られる。
本発明において、「超短パルスレーザー光」とは、パルス幅が1×10−9秒未満であるパルスレーザー光をいう。
超短パルスレーザー光がガラスなどの媒質に入射すると、3次の非線形光学効果と、プラズマ形成による屈折率の減少効果とが生じる。これら2つの効果が均衡することにより、所定の距離にわたって最小ビーム径で伝搬するフィラメンデーションという現象が生じる。このフィラメンデーションが生じている領域をフィラメント領域と呼ぶ。
なお、第1の無機材11と第2の無機材12との一方のみを溶融させた場合であっても第1の無機材11と第2の無機材12とを接合し得る。このため、フィラメント領域A1が第1の無機材11と第2の無機材12とに跨がって形成される必要は必ずしもない。第1の無機材11の第2の無機材12側の表層と、第2の無機材12の第1の無機材11側の表層との少なくとも一方にフィラメント領域A1が位置するように超短パルスレーザー光13を照射すればよい。もっとも、第1の無機材11と第2の無機材12とを確実に接合させる観点からは、第1の無機材11と第2の無機材12との両方を溶融させる方が好ましい。よって、フィラメント領域A1が第1の無機材11と第2の無機材12とに跨がって形成されるように超短パルスレーザー光13を照射することが好ましい。従って、第1の無機材11と第2の無機材12とを、フィラメント領域A1が第1の無機材11と第2の無機材12とに跨がって形成され得るような距離で配置することが好ましい。具体的には、第1の無機材11と第2の無機材12との間のギャップが100μm以下となるように、第1の無機材11と第2の無機材12とを対向させることが好ましい。第1の無機材11と第2の無機材12との間のギャップは、50μm以下であることがより好ましく、10μm以下であることがさらに好ましく、5μm以下であることがなお好ましい。また、第1の無機材11と第2の無機材12とが接触することにより発生する損傷を抑制するために、第1の無機材11と第2の無機材12との間のギャップは、0.01μm以上であることが好ましい。
フィラメント領域A1を断面視において縦方向に長く形成する観点からは、超短パルスレーザー光13のパルス幅が適度に短いほうが好ましく、パルスの波長分散量が、前もって補償されていることが好ましい。具体的には、超短パルスレーザー光13のパルス幅は1×10−12秒未満であることが好ましく、パルスの波長分散量は、フィラメントの直前または中央付近で、0であることが好ましい。
ところで、通常は、第1の無機材と第2の無機材とを液体を介さずに直接接触させた状態でレーザー光の照射を行う。この場合、第1の無機材と第2の無機材との間に隙間が存在すると、第1の無機材と第2の無機材とが好適に接合されない場合がある。この原因としては、定かではないが、フィラメント領域においてレーザーアブレーションが生じ、溶融状態が好適に形成されないためであると考えられる。
レーザーアブレーションを抑制する観点からは、第1の無機材と第2の無機材とを隙間なく密着させることが好ましい。しかしながら、第1の無機材または第2の無機材が反っている場合には、第1の無機材と第2の無機材とを隙間なく密着させることは困難である。また、第1及び第2の無機材の少なくとも一方の剛性が低い場合には、密着させるために圧接した際に第1及び第2の無機材の少なくとも一方が損傷してしまう虞がある。さらに、第1の無機材と第2の無機材とを圧接させると、接合後に残留応力が残り、接合力を低下させるという問題を生じる場合がある。
本実施形態のように第1の無機材11と第2の無機材12との間に液体14を介在させた場合は、第1の無機材11と第2の無機材12とが密着していなくとも、フィラメント領域A1においてレーザーアブレーションが生じにくい。従って、第1の無機材11と第2の無機材12とを好適に接合し得る。
第1及び第2の無機材11,12を圧接させる必要が必ずしもないため、第1及び第2の無機材11,12が損傷しにくい。
また、例えば、第1及び第2の無機材11,12のうちの少なくとも一方が可撓性を有するような場合、具体的には、例えば、厚みが100μm以下であるガラスフィルムであるような場合には、液体14の表面張力により可撓性を有する無機材が他方の無機材の形状に沿って変形する。このため、第1の無機材11と第2の無機材12との間に、隙間が生じにくい。よって、フィラメント領域A1を第1の無機材11と第2の無機材12とに跨がるように確実に形成しやすい。従って、第1及び第2の無機材11,12を確実に接合し得る。
なお、第1の無機材11と第2の無機材12との間に液体14を介在させることによりフィラメント領域A1においてレーザーアブレーションが生じにくくなる理由としては、定かではないが、以下の理由が考えられる。すなわち、間隙の液体14の表面張力により第1の無機材11と第2の無機材12との一方の無機材が他方の無機材の形状に沿って変形し、レーザーアブレーションの原因となる両者の間隙がより狭くなること、及び間隙に液体14が存在することで、極短時間の間に生じる超短パルス光によるアブレーションが抑制されるものと考えられる。なお、アブレーションが抑制されるとパルスのエネルギーの散逸が抑制され、接合に必要な局部における温度上昇が保たれる。
上述のように、液体14は、第1の無機材11と第2の無機材12との間に隙間を生じないようにする機能を有する。このため、液体14は、第1の無機材11と第2の無機材12との間に満たされるものであれば特に限定されない。液体14は、第1の無機材11や第2の無機材12と親和性のあるものが好ましい。好ましく用いられる液体14の具体例としては、例えば、水、アルコール、種々の水溶液等が挙げられる。
また、液体14には、粒子が分散していてもよい。液体14は、例えば、コロイド、エマルジョン、ゾル、ゲルなどであってもよい。
(実施例)
第1のガラス板(日本電気硝子株式会社製OA−10G、縦:30mm、横:30mm、厚み:0.7mm)と、第2のガラス板(日本電気硝子株式会社製TypeA)、縦:25mm、横:5mm、厚み:0.03mm)とを水を介して重ね合わせ、積層体を作製した。三次元レーザー測定器により測定した、第1のガラス板の縦方向及び横方向の反りの平均は1μm以下、第2のガラス板の横方向の反りは30μmであった。また、第2のガラス板は、可撓性を有する。得られた積層体の0.5mm角の領域に、フェムト秒レーザー(エネルギー:9.9uJ、パルス幅:80fs、繰り返し周波数:1kHz、レーザー波長:800nm、走査速度:1mm/sec)を照射した。詳細には、フェムト秒レーザーを一の方向に沿って直線状に走査した後に、一の方向に対して垂直な方向において異なる位置で、一の方向に沿って直線状に走査する工程を複数回行った。
フェムト秒レーザー照射後、2枚のガラス板を剥離させ、第1のガラス板の表面状態を確認することで、2枚の板ガラスの接合状態を確認した。図3に実施例において作製した接合体から剥離した第1のガラス板のレーザー照射部位表面の写真を示す。図3に示される写真から分かるように、第1のガラス板と第2のガラス板とが接合されたことを示す、ガラスの割れが確認できた。
(比較例)
第1のガラス板と第2のガラス版との間に水を介在させなかったこと以外は、実施例と同様にして接合体の作製を試みた。図4に示される写真から分かるように、第1のガラス板と第2のガラス板とは接合されなかった。
1:接合体
11:第1の無機材
12:第2の無機材
13:超短パルスレーザー光
14:液体
15:積層体
16:接合部
A1:フィラメント領域

Claims (5)

  1. 第1の無機材と第2の無機材とを接合し、接合体を製造する方法であって、
    前記第1の無機材と前記第2の無機材とを液体を介して対向させ、積層体を得る工程と、
    前記積層体にレーザー光を照射することにより前記第1及び第2の無機材の少なくとも一方を加熱して溶融させ、前記第1の無機材と前記第2の無機材とを接合する工程と、
    を備える接合体の製造方法。
  2. 前記積層体に、超短パルスレーザー光を照射する、請求項1に記載の接合体の製造方法。
  3. 前記第1及び第2の無機材のうちの少なくとも一方が可撓性を有する、請求項1または2に記載の接合体の製造方法。
  4. 前記第1及び第2の無機材のうちの少なくとも一方は、厚みが100μm以下であるガラスフィルムである、請求項1〜3のいずれか一項に記載の接合体の製造方法。
  5. 前記第1の無機材と前記第2の無機材との間のギャップが100μm以下となるように前記第1の無機材と前記第2の無機材とを対向させる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の接合体の製造方法。
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