JP2015092585A - 有機半導体薄膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】有機半導体に親和性の高い有機溶媒に該有機半導体を高濃度に溶解して得た第1のインクと、該有機半導体に親和性の低い有機溶媒からなる第2のインクを用意する工程と、該第1及び第2のインクを各インクヘッドから同時又は交互に吐出させ基板上で混合する工程とを含む有機半導体薄膜の製造方法。
【選択図】図1
Description
(1)有機半導体に親和性の高い有機溶媒に該有機半導体を高濃度に溶解して得た第1のインクと、該有機半導体に親和性の低い有機溶媒からなる第2のインクを用意する工程と、該第1及び第2のインクを基板上で混合する工程とを含む有機半導体薄膜の製造方法。
(2)上記第1及び第2のインクは、基板上に各インクヘッドから同時又は交互に吐出させることを特徴とする(1)に記載の有機半導体薄膜の製造方法。
(3)上記有機半導体は、TIPSペンタセンであることを特徴とする(1)又は(2)に記載の有機半導体薄膜の製造方法。
2 有機半導体を溶かさない有機溶媒によるインク(Bインク)用ヘッド
3 Aインク用ヘッドの開口部
4 Bインク用ヘッドの開口部
5 飛翔するAインクの液滴
6 飛翔するBインクの液滴
7 表面に親水処理を施した基板表面部位
8 表面に疎水処理を施した基板表面部位
9 基板表面に着滴後、親水処理を施した基板表面部位に貯まったインク
10 基板
Claims (6)
- 有機半導体に親和性の高い有機溶媒に該有機半導体を高濃度に溶解して得た第1のインクと、該有機半導体に親和性の低い有機溶媒からなる第2のインクを用意する工程と、該基板上に各インクヘッドから該第1及び第2のインクをそれぞれ吐出させ、該第1及び第2のインクを該基板上で混合する工程と、混合した液滴中において有機半導体層が析出した後、液滴中の溶媒を蒸発させることにより有機半導体膜を形成する工程とを含むインクジェット式装置を用いる有機半導体薄膜の製造方法。
- 上記第1のインクの吐出後、上記第2のインクを吐出させることを特徴とする請求項1に記載の有機半導体薄膜の製造方法。
- 上記第2のインクの吐出後、上記第1のインクを吐出させることを特徴とする請求項1に記載の有機半導体薄膜の製造方法。
- 上記第1のインクおよび上記第2のインクを同時に吐出させることを特徴とする請求項1に記載の有機半導体薄膜の製造方法。
- 上記有機半導体は、TIPSペンタセンであることを特徴とする請求項1又は3に記載の有機半導体薄膜の製造方法。
- 上記有機半導体に親和性の高い有機溶媒は、クロロベンゼンであり、
上記有機半導体に親和性の低い有機溶媒は、N,N−ジメチルホルムアミドであることを特徴とする請求項5に記載の有機半導体薄膜の製造方法。
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