JP2006332636A - 有機半導体ポリマーにおけるヘテロ接合を形成する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】初めに第一の有機半導体ポリマーの層12を基板10上に形成する。次に、その上に膜形成材料の溶液を堆積する。第一の有機半導体ポリマー12は、この溶液に対して不溶なので、影響を受けることがない。乾燥することにより、厚さ20nmを有する仮膜14が形成される。次に、有機溶媒に溶解された第二の有機半導体ポリマーの溶液16を前記仮膜14上に堆積し、乾燥させる。前記仮膜14の厚みは、前記第二の有機半導体ポリマーの溶液16が乾燥される時間の間に、厚み分を浸透するように設定される。これによって、前記第一の有機半導体ポリマーの層12に損傷を与えることなく前記仮膜14は分解され、前記第二の有機半導体ポリマーの層19は前記第一有機半導体ポリマーの層12上に接するように形成される。
【選択図】図1
Description
12・・・第一の有機半導体ポリマーの層
14・・・仮膜
16、24・・・液滴
18・・・環形状
19・・・第二の有機半導体ポリマーの層
22・・・ポリマー膜
26・・・クレーター
32・・・陽極
40・・・正孔
42・・・電子
Claims (17)
- 互いに接する第一及び第二の有機半導体ポリマーの層間のヘテロ接合を形成する方法であって、
(1)基板上に第一の有機半導体ポリマーの層を形成する工程と、
(2)前記第一の有機半導体ポリマーが不溶である膜形成材料の溶液を前記第一の有機半導体ポリマーの層の上に堆積する工程と、
(3)前記膜形成材料からなり厚さ20nm以下の厚みを持つ仮膜を形成するために、堆積した前記溶液を乾燥する工程と、
(4)有機溶媒(A)に溶解された第二の有機半導体ポリマーの溶液を前記仮膜上に堆積する工程と、
(5)堆積した前記溶液を乾燥する工程と、を含み、
前記乾燥工程(5)の間に、前記有機溶媒(A)が前記仮膜の厚み分浸透して、前記第一の有機半導体ポリマーの層にほぼ損傷を与えることなく前記仮膜を分解し、前記第二の有機半導体ポリマーの層が前記第一有機半導体ポリマーの層に接するように形成されるように、前記仮膜を構成する前記材料の前記有機溶媒(A)に対する溶解度と、前記仮膜の厚みとが設定されていることを特徴とするヘテロ接合の形成方法。 - 前記第一の有機半導体ポリマーの溶液を前記基板上にスピンコーティングまたはインクジェット印刷した後、当該溶液を乾燥することにより前記第一の有機半導体ポリマーの層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のヘテロ接合を形成する方法。
- 前記膜形成材料の溶液は前記第一の有機半導体ポリマーの層上にスピンコートされることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のヘテロ接合を形成する方法。
- 前記仮膜の厚みが0.5−20nmであることを特徴とする請求項3に記載のヘテロ接合を形成する方法。
- 前記膜形成材料の溶液は、極性が前記有機溶媒(A)の極性よりも大きい有機溶媒(B)に溶解されたポリマーを含むことを特徴とする請求項1乃至4に記載のヘテロ接合を形成する方法。
- 前記溶媒(B)は、アルコール、ケトン、アルデヒド、及びエーテルのいずれかからなる有機溶媒であることを特徴とする請求項5に記載のヘテロ接合を形成する方法。
- 前記ポリマーは、ポリビニルフェノール、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリ(メチルペンテン)、ポリイソプレン、ポリエステルのいずれかからなる有機ポリマーであることを特徴とする請求項5または請求項6に記載のヘテロ接合を形成する方法。
- 前記第二の有機半導体ポリマーの溶液が前記仮膜上にインクジェット印刷され、該インクジェットで吐出された液滴により前記仮膜をいくつかの独立した環形状に分解し、前記環形状はそれぞれ前記液滴が前記仮膜に衝突することによって形成されることを特徴とする請求項1乃至7に記載のヘテロ接合を形成する方法。
- 前記第二の有機半導体ポリマーの溶液が前記仮膜上に所定のパターンでインクジェット印刷されることを特徴とする請求項8に記載のヘテロ接合を形成する方法。
- 前記乾燥工程(5)の間に、前記仮膜が前記有機溶媒(A)に溶解する、もしくは分散することにより、前記仮膜が分解するように、前記仮膜を構成する前記材料と、前記仮膜の厚みと、前記有機溶媒(A)と、を選択することを特徴とする請求項1乃至9に記載のヘテロ接合を形成する方法。
- 前記第一の有機半導体ポリマーの層の厚みが、10−100nmであることを特徴とする請求項1乃至11に記載のヘテロ接合を形成する方法。
- 前記第二の有機半導体ポリマーの層の厚みが、10−100nmであることを特徴とする請求項1乃至12に記載のヘテロ接合を形成する方法。
- 図1を参照して以下に記述された互いに接する第一及び第二の有機半導体ポリマーの層のヘテロ接合を形成する方法。
- 請求項1乃至14に記載された方法によって形成された互いに接し異なる有機半導体ポリマーからなる第一及び第二の有機半導体ポリマーの層を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記半導体装置は、2つ以上のヘテロ接合を有し、当該ヘテロ接合は請求項1乃至14に記載の方法によって形成されていることを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体装置は、LED、薄膜トランジスタ、積層誘電体、または、光起電装置であることを特徴とする請求項16に記載の半導体装置の製造方法。
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