JP2015079589A - マイクロ波イオン源 - Google Patents
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- マイクロ波導入部と、イオン引出部と、プラズマ生成空間を囲むように前記マイクロ波導入部と前記イオン引出部とを接続する側壁部と、を備えるプラズマ室を備え、
前記側壁部及び前記イオン引出部の少なくとも一方は、前記プラズマ生成空間への露出表面を有する二次電子放出材料層を備え、前記露出表面の少なくとも一部に凹凸が形成されていることを特徴とするマイクロ波イオン源。 - 前記プラズマ室に磁場を発生させる磁場発生器をさらに備え、
前記露出表面の少なくとも一部は、前記磁場が前記露出表面に交差する領域を含むことを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波イオン源。 - 前記磁場は、マイクロ波の進行方向に向けられており、
前記凹凸は、前記進行方向に沿って延びる溝部を含むことを特徴とする請求項2に記載のマイクロ波イオン源。 - 前記側壁部が前記二次電子放出材料層を備えることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のマイクロ波イオン源。
- 前記マイクロ波導入部は、前記プラズマ生成空間に導波管からマイクロ波を受け入れるためのマイクロ波導入窓を備えることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のマイクロ波イオン源。
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---|---|---|---|---|
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JPH04351838A (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-07 | Hitachi Ltd | イオンビーム装置の中性化器 |
JP2000040475A (ja) * | 1998-07-22 | 2000-02-08 | Nissin Electric Co Ltd | 自己電子放射型ecrイオンプラズマ源 |
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Patent Citations (4)
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JPH01219161A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | イオン源 |
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